TWI845863B - Mtf測試設備及其用途 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及一種MTF測試設備及其用途。MTF測試設備包括多個伸縮相機，每個伸縮相機安裝在相機固持器上的固定的預定位置處，每個相機接收由單個待測裝置的至少一個透鏡投影的圖像。處理單元耦接到伸縮相機。處理單元被配置成從每個伸縮相機接收圖像數據並且執行多個MTF測量，伸縮相機安裝在相機固持器上，因為每個伸縮相機捕獲圖像數據，從而在透鏡的不同場位置處的MTF測量。相機固持器包括固持結構和至少兩個支架，至少兩個支架是在第一端部與第二端部之間突出的多個細長元件，端部被可釋放地安裝在固持結構上，並且其中至少兩個相機被安裝在每個支架上，並且支架能單獨地從所述固持結構拆卸。

Description

MTF測試設備及其用途
發明領域
本發明涉及一種MTF測試設備，包括：樣品台、多個伸縮相機以及處理單元，樣品台用於接收至少一個待測裝置，該待測裝置包括至少一個透鏡，伸縮相機各自安裝在相機固持器上的固定的預定位置處，該相機固持器是剛性結構，其中伸縮相機接收由單個待測裝置的至少一個透鏡投影的圖像，處理單元經由至少一個數據鏈路耦接到伸縮相機，其中，伸縮相機被配置為經由數據鏈路將圖像數據發送至處理單元，並且處理單元被配置為從每個伸縮相機接收圖像數據，並且通過從由伸縮相機接收的圖像數據計算每個伸縮相機的MTF測量數據集來執行多個MTF測量，其中，伸縮相機安裝在相機固持器上，由於每個相機捕獲在不同場位置處的MTF測量的圖像數據。本發明進一步涉及MTF測試設備的用途。
發明背景
調製傳遞函數(MTF)是用於直接且定量地指示光學系統的品質的一個參數。MTF測量經常應用於品質控制以用於成像光學元件的表徵。隨著成像應用進入高容量市場，諸如行動電話或汽車應用等，高容量MTF測試成為大批量生產的標準。
例如從US 2017/0048517 A1已知用於高容量MTF測試的MTF測試設備。MTF測試設備能夠測量裝載有多個待測裝置的托盤。通過使用平行移位的多個望遠鏡或准直器來同時執行測量，同時每個准直器或望遠鏡旋轉並向其相應的待測透鏡提供測試結構的圖像。固持望遠鏡或准直器的機械佈置使得准直器和望遠鏡能夠平行移動，其中，每個准直器或望遠鏡圍繞每個待測透鏡的中心旋轉。通過從圍繞透鏡中心的多個點照射透鏡，可以測量表徵視野中的不同點的MTF值。
另一測量原理是基於相對於待測透鏡或待測裝置以不同角度安裝多個固定的伸縮相機。以一個接一個的過程進行測試，其中每個待測裝置(DUT)被移動到測試位置，被測試，從該位置移開，並且然後下一個DUT被移動到測試位置。基於這種測量原理的MTF測試設備例如是由三光股份有限公司(Trioptics GmbH)提供的主映像®專業版(ImageMaster® Pro)。
主映像®專業版MTF測試設備包括多個伸縮相機，每個伸縮相機安裝在固定的預定位置處。這通過使用圓頂形的相機固持器來實現。相機被佈置在圓頂件的內側上、指向圓頂件的曲率中心。伸縮相機對準一個單獨的待測裝置。放置在x-y台上的樣品固持器承載待測裝置(DUT)。樣品固持器依次將DUT一個接一個地移動到測試位置，在測試位置中，伸縮相機捕獲由待測裝置的至少一個透鏡投影的圖像。可並行地表徵DUT的不同場位置的MTF，因為相機安裝在不同位置和取向中。
發明概要
本發明的目的是提供一種MTF測試設備和MTF測試設備的用途，其中，MTF測試設備應當包括多個固定的伸縮相機，每個固定的伸縮相機安裝在固定位置處，以用於表徵待測裝置的視場中的不同點，其中，MTF測試設備應當提供改進的可維護性。
該目的通過MTF測試設備解決，MTF測試設備包括： - 樣品台，該樣品台用於接收至少一個待測裝置，該待測裝置包括至少一個透鏡， - 多個伸縮相機，該多個伸縮相機各自安裝在相機固持器上的固定的預定位置處，該相機固持器是剛性結構，其中，伸縮相機接收由單個待測裝置的至少一個透鏡投影的圖像， - 處理單元，該處理單元經由至少一個數據鏈路耦接至伸縮相機，其中，伸縮相機被配置為經由數據鏈路將圖像數據發送至處理單元，並且處理單元被配置成從每個伸縮相機接收圖像數據，並且處理單元被配置成通過從由所述伸縮相機接收的圖像數據計算每個伸縮相機的MTF測量數據集來執行多個MTF測量， - 其中，伸縮相機安裝在相機固持器上，由於每個伸縮相機捕獲在不同場位置處的MTF測量的圖像數據。
MTF測試設備的改進之處在於，相機固持器包括固持結構和至少兩個支架，至少兩個支架是在第一端部部分和第二端部部分之間突出的細長元件，端部部分可釋放地安裝在固持結構上，並且其中，至少兩個相機安裝在每個支架上，並且支架能夠單獨地從固持結構拆卸。
有利地，相機固持器具有模組化設計。模組包括至少兩個相機和支架，至少兩個相機安裝在每個支架上，支架上安裝有相機。可以容易地更換相機固持器的模組，這允許MTF測量設備的快速服務。此外，模組可以彼此獨立地更換。這是另一個顯著的優點。該技術方面使得MTF測量設備非常便於維護。
在本說明書的上下文中，對“相機”的引用應始終被視為對“伸縮相機”的引用，而無需特別提及相機是伸縮相機。
當考慮以下情況時，可以容易地理解這些優點。如果在MTF測試設備的相機中的一個相機上檢測到錯誤，則服務技術人員可以將包括該相機的支架與安裝在所述支架上的所有其他相機一起更換。換言之，服務技術員更換相機固持器的模組。MTF測試設備在非常短的停機時間之後可再次操作。這增加了MTF測試設備的可用性或正常運行時間，這具有顯著的經濟優勢。從MTF測試設備卸載的模組可以隨後進行維護。當在單獨模組上工作時，可更容易地執行相機的維護，例如相機的更換。此外，這些維護工作可以在MTF測試設備再次處於操作中時執行。當相機被放置在支架上並且與支架一起形成模組時，相機可以在支架上預對準。換言之，現場對準相機所需的時間(這意味著在它們的位置處，它們在MTF測試設備內部操作)可以省去或至少顯著減少。即使經驗較少的用戶或維護技術人員也可以容易地執行對模組的更換。有利地，MTF測試設備具有改進的可用性(隨著增加的正常運行時間)，其中需要的維護最小。
根據本發明的有利實施例，MTF測試設備的進一步改進在於，由於每個支架在第一端部部分與第二端部部分之間在縱向方向上突出，並且支架安裝在固持結構上，使得支架的縱向方向彼此平行。
支架的平行佈置進一步改進MTF測試設備的可維護性。當模組的支架彼此平行佈置時，可快速且容易地更換模組。模組易於訪問。即使是沒有經驗的用戶或服務技術人員也可快速且容易地執行維護工作。
根據本發明的又一有利實施例，MTF測試設備的進一步改進在於，固持結構包括第一側部元件和第二側部元件，側元件形成固持結構的相對的橫向側部，並且支架的第一端部部分安裝在第一側部元件上，並且支架的第二端部部分安裝在第二側部元件上。
固持結構在機械上非常穩定、易於維護並且生產經濟，固持結構包括第一側部元件和第二側部元件以及跨越兩個側部元件之間的空間的支架。因此，能夠提供可靠且適於精確地固持多個相機的固持結構。
在本發明的其他有利實施例中，MTF測試設備進一步改進在於，支架包括在第一端部部分和第二端部部分之間突出的彎曲中心部分，並且至少兩個相機安裝在中心部分中。
支架的彎曲中心部分簡化了安裝在這個支架上的相機的對準。相機被對準以便指向單個待測裝置。這要求相機的光軸是星形對準的。如果相機應進一步具有與待測裝置至少近似相同的距離，則實現這種佈置的最簡單的方式是將相機放置在彎曲的固持器上。這個彎曲的固持器的曲率中心有利地是至少近似於待測裝置的位置。鑒於這種考慮，包括用於保持相機的彎曲中心部分的支架是特別合適的。
MTF測試設備的進一步改進在於，支架的彎曲部至少分部段地彎折成類似於圓的區段，其中，具體地，圓的中心被佈置在相機固持器與樣品台之間，進一步具體地，圓的中心被佈置在樣品台的平面中。
圓的中心有利地佈置在平面中，在該平面中，樣品台固持待測裝置的光學系統(例如，透鏡)。具有彎曲中心部分的支架特別適合於以所需的方式容易地和精確地固持相機。
在又另一個有利的實施例中，當與中心部分中的另一個橫截面相比時，支架的橫截面在第一端部部分和/或第二端部部分中更大。
相機不可避免地產生廢熱。由此，形成相機固持結構的一部分的支架還用作熱橋以用於將廢熱從相機消散。這可以使用在端部部分中比在中心部分中具有更大橫截面的支架來非常有效地執行。這種類型的支架將有效地將廢熱消散到側部元件中，因為當與中心部分相比時，支架的熱導率在端部部分中更高。
根據本發明的另一有利實施例，MTF測試裝置的進一步改進在於，支架是扁平構件，並且每個支架在支架平面中延伸，其中，至少兩個支架被佈置成使得至少兩個支架的支架平面沿著支架平面交叉線交叉，其中，具體地，支架平面交叉線被佈置在相機固持器與樣品台之間，進一步具體地，支架平面交叉線被佈置在樣品台的平面中。
以上進一步解釋了相機被對準以便指向單個待測裝置。這不僅適用於安裝在一個模組中的相機，其指安裝在一個支架上。用於相機對準的這條規則也適用於安裝在不同支架上的相機，其指在不同的模組中。為了保持模組能夠被彼此更換，整個模組(其指支架)被傾斜，以便將該支架的相機對準在單個待測裝置上。這可以通過如上所述的對準單獨支架的支架平面來非常容易並且有效地實現。
這種設計是非常有利的，因為相機固持器的所有模組可以被類似地設計。如果有必要更換一個模組，則無論所述支架的特定安裝位置如何，都可以執行更換。換言之，僅具有一個單個模組作為備件就足夠了，因為該模組可以放置在相機固持器的任何位置處。
根據本發明的另一有利實施例，支架是扁平元件，扁平元件各自具有彼此相對佈置的兩個大表面，其中，相機安裝在支架上，使得每個相機的相機本體直接安裝在支架的兩個大表面中的一個大表面上。
通過將相機本體直接安裝在支架上，可以實現廢熱的有效消散。相機與支架之間的接觸面積越大，廢熱可以從相機消散到支架中越有效。這就是為什麼將相機主體直接安裝在支架的兩個大表面中的一個大表面上具有顯著優勢的原因。
廢熱的消散的進一步改進在於，固持結構和/或至少一個支架包括散熱器，特別是散熱片。
通過提供固持結構(其指具有散熱器的側部元件和/或支架)，由相機產生的廢熱可以有效地消散到環境中。還可能僅為側部元件或支架提供合適的散熱器。除散熱片以外的散熱器，例如液體冷卻系統等，都落在本實施例的範圍內。
MTF測試設備可以通過提供附加的合適的冷卻器件來進一步改進，以便避免在MTF測試設備的殼體內部的熱積聚或大量的熱對流氣流。熱對流氣流可以導致所捕獲的圖像閃爍，並且因此可能降低測量的準確度。例如，可以通過為MTF測試設備的殼體提供風扇來實現有效散熱和光路中的熱對流的最小化，其中風扇產生離開殼體上側的強制上游氣流。
在本發明的有利實施例中，支架與安裝在支架上的伸縮相機一起形成相機模組，並且MTF測試設備中的所有相機模組被類似地設計。這允許用最低的更換部件的存儲成本來容易地更換模組。在第一方式中，僅具有一個單個模組作為庫存的備件就足夠了，因為不管哪個特定模組顯示錯誤的問題，該備件模組都將適於更換它。
因為相機固持器的設計允許廢熱的有效消散，所以可以增加應用在MTF測試設備中的相機的密度和相機的總數。如果相機以正方形圖案安裝，則可以實現高封裝密度。如果相機以六邊形圖案佈置，則甚至可以改進封裝密度。正方形圖案和/或六邊形圖案可分別為至少近似正方形和六邊形。從數學角度考慮到，六邊形圖案是允許相機的最大密度的佈置。可以在MTF測試設備中佈置越多的相機，可以表徵的待測裝置越精確。
該目的還通過使用根據一個或更多個上述實施例的MTF測試設備來解決，該MTF測試設備用於在具有至少一個透鏡的待測裝置的不同場位置處執行多個MTF測量。
關於MTF測試設備已經提及的相同或類似優點也可應用於MTF測試設備的用途。
從根據本發明的實施例的描述連同申請專利範圍和所包括的附圖一起，本發明的進一步特徵將變得明顯。根據本發明的實施例可以實現單獨的特徵或幾個特徵的組合。
具體實施方式
圖1是根據本發明的實施例的MTF測試設備2的測量原理的示意圖。MTF測試設備2包括用於接收多個待測裝置6的樣品台4。為了附圖的清楚起見，僅一個待測裝置6被給定附圖標記。樣品台4是用於接收待測裝置6的高品質托盤。其被設計成避免樣品的不想要的傾斜，如通過示例的方式針對樣品中的兩個樣品指示的。為了清楚起見，過分強調了傾斜角度。
樣品台4能夠在由交叉方向箭頭示出的x-y平面中執行平移運動。樣品台4的運動將待測裝置6一次放置在用於測試的位置處。在完成第一待測試裝置6的MTF測試之後，改變另一個待測裝置6的位置。換言之，MTF測試設備2用於待測裝置6的順序測試，這意味著一次表徵一個裝置6。
MTF測試設備2包括第一伸縮相機8.1，其用於執行軸上MTF測量。此外，MTF測試設備2包括用於執行離軸MTF測量的第二伸縮相機和第三伸縮相機8.2、8.3。伸縮相機8.1…8.3通常使用附圖標記8表示。在本說明書的背景中，當提及“相機”時，應始終認為參考“伸縮相機”，也無需明確提及該相機是“伸縮式”相機。相機8.1……8.3接收由待測裝置6投影的圖像。待測裝置6包括具有至少一個透鏡10的光學系統。僅為了簡化附圖，所描繪的待測裝置6具有單個透鏡10。因為相機8.1……8.3被安裝在不同位置上，所以它們能夠捕獲圖像數據，從而表徵待測裝置6的光學系統(例如，透鏡10)的不同場位置的MTF測量。在本說明書的背景中，當參考透鏡10時，這也可以被認為是對光學系統的參考。
伸縮相機8經由合適的數據鏈路14耦接至處理單元12。處理單元12還形成MTF測試設備2的一部分。伸縮式相機8被配置成經由數據鏈路14將圖像數據發送到處理單元12。為了捕獲圖像數據，伸縮相機8包括圖像感測器16和伸縮成像光學元件18。處理單元被配置成從每個伸縮相機8接收捕獲的圖像數據，並且處理單元被配置成通過從由所述相機8接收的圖像數據計算針對每個相機8的MTF測量數據集合來執行多個MTF測量。
所捕獲的圖像數據通過用定位在透鏡10的焦平面20中的標線的圖像照射待測裝置6的至少一個透鏡10來生成。標線沿著z軸移動以執行離焦掃描。
MTF測試設備2包括固持多個相機8的相機固持器22(圖1中未示出)。MTF測試設備2進一步包括殼體24。處理單元12還可以被佈置在殼體24內部。
圖2是示出MTF測試設備2的相機固持器22上的視圖的簡化立體圖。根據所描繪的實施例，相機固持器22包括固持結構26，該固持結構26被配置為包括第一側部元件28和第二側部元件30。側部元件28、30形成固持結構26的相對的橫向側部。此外，相機固持器22包括多個支架32.1…32.7，支架通常使用附圖標記32表示。支架32是在第一端部部分34和第二端部部分36之間突出的細長元件。在端部部分34、36處，支架32可釋放地安裝在固持結構26上，其指在側部元件28、30上。這例如通過使用螺釘來實現，該螺釘被插入側部元件28、30中的通孔中並且被擰入對應支架32的端面中。每個支架32上安裝有多個相機8。支架32可從固持結構26單獨地拆卸。這意味著支架32可以被單獨地安裝和拆卸。例如，如果相鄰支架32被更換，則無需拆卸一個或更多個附加支架32。這使得相機固持器22易於維護。
圖3是示出相機固持器22的側視圖的簡化立體圖。每個支架32包括在第一端部部分34和第二端部部分36之間突出的彎曲中心部分38。端部部分34、36在圖3中用虛線表示。端部部分34、36沿著支架32的整個長度的例如在1%至10%之間、特別是約5%延伸，該支架32的整個長度是在對應的支架32的端面之間測量的。
具體地，支架32的彎曲中心部分38至少分部段地彎折成類似於圓的區段。支架32被設計成將所述圓的中心佈置在相機固持器22與樣品台4之間(參見圖1)。這個圓的中心具體地被佈置在樣品台4的平面中。它還可以被佈置在透鏡10或待測光學系統的中心平面中。支架32的這種設計對於佈置在支架32上的相機8的對準是特別有用的。因為相機8全部對準一個單個的待測裝置6(參見圖1)並且相機8應該有利地具有到待測裝置6的至少大致相同的距離，有利的是將相機8佈置在圓的區段。這也可以通過使用具有不同形狀的支架32來實現，然而，將相機8放置在中心彎曲部分38上允許將相機8非常均勻地安裝在支架32上的設計。
圖4是相機固持器22上的另一簡化立體側視圖。在第一側部元件28以及支架32的對應端面的部分上存在視圖。支架32是扁平構件，並且每個支架32在支架平面40中延伸。為了說明的目的，使用點劃線展示用於第一支架32.1的第一支架平面40.1。此外，也使用點劃線展示用於第三支架32.3的第三支架平面40.3。支架平面通常使用附圖標記40來表示。相機固持器22的支架32被佈置成使得支架32的支架平面40沿著支架平面交叉線42交叉。支架平面交叉線42被佈置在相機固持器22與樣品台4之間(參見圖1)。具體地，支架平面交叉線42被佈置在樣品台4的平面中。此外，對於每個支架32，如果支架32被設計為具有彎曲的中心部分38，則圓的中心位於支架平面交叉線42中。換言之，相機固持器22的支架32傾斜，使得佈置在支架32上的相機8在單個待測裝置6上對準。
這種設計是特別有利的，因為支架32與相機8一起形成了模組，該模組是容易更換的。它們可以是可更換的，因為相對於包括執行軸上測量的相機8.1的中心模組對稱地佈置的模組(也參見圖5)被設計為相同的。換言之，這兩個支架32可以彼此更換。這不僅適用於直接佈置在中心支架32.4旁邊的支架32，而且也適用於佈置在遠離中心支架32.4的第二線或第三線上的支架32。
這在圖5中的示意性簡化立體俯視圖中可以容易地看到。此外，可以看出，支架32各自在縱向方向L1...L7上突出，該縱向方向L1..L7通常使用參考符號L來表示。支架32的縱向方向L由靠近相機固持器22在其右側示出的雙箭頭指示。支架32的縱向方向L分別在支架32中相應的一個支架的第一端部部分34和第二端部部分36之間突出。支架32被安裝在固持結構26中，其指安裝在第一側部元件28和第二側部元件30上，其中所有支架32的縱向方向L1...L7是彼此平行的。
圖6是示出相機固持器22的中心支架32.4的簡化立體圖。在圖6中在中央支架32.4上可以看出並且對於所有支架32來說都是說明性的是，支架32的橫截面在第一端部部分34和第二端部部分36中比在彎曲的中心部分38中的另一個橫截面更大。這是有利的，因為支架32還可用作用於將來自相機8的廢熱消散到側部元件28、30中的熱橋。與中心部分38相比，端部部分34、36中的橫截面越大，導熱係數越高。這允許熱量消散到固持結構26中，例如消散到側部元件28、30中。
支架32是扁平元件，扁平元件各自具有兩個相對的大表面。在圖6中可見一個大表面44。相機8直接安裝在支架32上，使得每個相機8的相機主體46直接接觸支架32的兩個大表面44中的一個大表面。通過將相機主體46直接安裝在支架32的大表面44上，可以在相機8與支架32之間提供良好的導熱係數。這主要是由於這兩個部件之間的大的接觸表面造成的。這有助於將廢熱從相機8消散到支架32中。
支架32可設置有散熱片47。總體上，這同樣適用於側部元件28、30和固持結構26。散熱片47允許熱量消散到環境(其指消散到殼體24的內部(參見圖1))中。散熱片47在圖4和圖6中示意性地示出。散熱片47可被不同地設計並且可在所示部件的其他部件中延伸。為了將熱量從殼體24中排出，風扇48可以被佈置在殼體24的頂板中或頂板上。它們可以將熱空氣從殼體24的內部排出到外部環境中。
有效的散熱允許相機8被佈置成緊密的封裝。例如，相機8可以以至少大致正方形圖案或六邊形圖案來安裝。在圖5中，僅以示例的方式示出了近似六邊形的佈置。
MTF測試設備2特別適合於使用它在具有至少一個透鏡10的待測裝置6的不同場位置處執行多個MTF測量。
所有命名的特徵(包括單獨從附圖中獲取的那些)以及與其他特徵組合公開的單獨特徵被視為單獨地或組合地對本發明而言是重要的。根據本發明的實施例可以通過單獨的特徵或幾個特徵的組合來實現。與措辭“特別是”或“尤其是”組合的特徵將被視為優選實施例。
2:MTF測試設備 4:樣品台 6:待測裝置 8、8.1、8.2、8.3:伸縮相機 10:透鏡 12:處理單元 14:數據鏈路 16:圖像感測器 18:伸縮成像光學元件 20:成像平面 22:相機固持器 24:殼體 26:固持結構 28:第一側部元件 30:第二側部元件 32.1…32.7、32:支架 34:第一端部部分 36:第二端部部分 38:彎曲的中心部分 40.1、40.3、40:支架平面 42:支架平面交叉線 44:大表面 46:相機本體 47:散熱片 48:風扇 L1…L7、L:縱向方向
以下基於示例性實施例來描述本發明，而並不限制本發明的一般意圖，其中，關於根據本發明的所有細節的公開內容明確地參考附圖，在本文中沒有更詳細地解釋。
附圖示出如下： 圖1是示出MTF測試設備的測量原理的示意圖； 圖2是示出MTF測試設備的相機固持器的視圖的簡化立體圖； 圖3是示出了相機固持器的側視圖的另一簡化立體圖； 圖4是示出了相機固持器上的另一側視圖的又一簡化立體圖，其中，與圖3中的觀察方向相比，觀察方向相差90°； 圖5是示出了相機固持器的頂視圖的簡化立體圖；以及 圖6是示出包括安裝在支架上的多個伸縮相機的相機固持器的單個模組的視圖的另一個簡化立體圖。 在附圖中，相同或相似類型的元件或相應對應部件設置有相同的附圖標記，以便防止項目需要被重新引入。
8:伸縮相機
22:相機固持器
26:固持結構
28:第一側部元件
30:第二側部元件
32.1...32.7:支架
34:第一端部部分
36:第二端部部分

Claims (12)

  1. 一種調製傳遞函數MTF測試設備(2)，包括：樣品台(4)，所述樣品台(4)用於接收至少一個待測裝置(6)，所述待測裝置(6)包括至少一個透鏡(10)，多個伸縮相機(8)，所述多個伸縮相機(8)各自安裝在相機固持器(22)上的固定的預定位置處，所述相機固持器(22)是剛性結構，其中，所述伸縮相機(8)接收由單個待測裝置(6)的所述至少一個透鏡(10)投射的圖像，處理單元(12)，所述處理單元(12)經由至少一個數據鏈路(14)耦接至所述伸縮相機(8)，其中，所述伸縮相機(8)被配置為經由所述數據鏈路(14)將圖像數據發送至所述處理單元(12)，並且所述處理單元(12)被配置成從每個伸縮相機(8)接收圖像數據並且通過從由所述伸縮相機(8)接收的圖像數據計算每個伸縮相機(8)的MTF測量數據集來執行多個MTF測量，其中，所述伸縮相機(8)安裝在所述相機固持器(22)上，使得每個伸縮相機(8)捕獲導致在不同場位置處的MTF測量的圖像數據，其中，所述相機固持器(22)包括固持結構(26)和至少兩個支架(32)，所述至少兩個支架(32)是在第一端部(34)與第二端部(36)之間突出的多個細長元件，所述第一端部(34)和所述第二端部(36)可釋放地安裝在所述固持結構(26)上，並且其中，至少兩個伸縮相機(8)安裝在每個支架(32)上，並且所述支架(32)能夠單獨地從所述固持結構(26)拆卸，且其中所述支架(32)是扁平構件，並且每個支架(32)在支架平面(40)中延伸，其中，所述至少兩個支架(32)被佈置成使得所述至少兩個支架(32)的支架平面(40)沿著支架平面交叉線(42)交叉。
  2. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，每個支架(32)在所述第一端部(34)與所述第二端部(36)之間在縱向方向(L)上突出，並且所述支架 (32)安裝在所述固持結構(26)上，使得所述支架(32)的所述縱向方向(L1…L7)彼此平行。
  3. 如請求項1或2所述的MTF測試設備(2)，其中，所述固持結構(26)包括第一側部元件(28)和第二側部元件(30)，所述第一側部元件(28)和所述第二側部元件(30)形成所述固持結構(26)的相對的橫向側部，並且所述支架(32)的所述第一端部(34)安裝在所述第一側部元件(28)上，並且所述支架(32)的所述第二端部(36)安裝在所述第二側部元件(30)上。
  4. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，所述支架(32)包括在所述第一端部(34)與所述第二端部(36)之間突出的彎曲中心部分(38)，並且所述至少兩個伸縮相機(8)安裝在所述彎曲中心部分(38)中。
  5. 如請求項4所述的MTF測試設備(2)，其中，所述支架(32)的彎曲中心部分(38)至少分部段地彎折成類似于圓的區段，其中，具體地，所述圓的中心被佈置在所述相機固持器(22)與所述樣品台(4)之間，進一步具體地，所述圓的中心被佈置在所述樣品台(4)的平面中。
  6. 如請求項4或5所述的MTF測試設備(2)，其中，當與所述中心部分(38)中的另一個橫截面相比時，所述支架(32)在所述第一端部(34)和/或所述第二端部(36)中的橫截面更大。
  7. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，所述支架平面交叉線(42)被佈置在所述相機固持器(22)與所述樣品台(4)之間，具體地，所述支架平面交叉線(42)被佈置在所述樣品台(4)的平面中。
  8. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，所述支架(32)是扁平元件，所述扁平元件各自具有彼此相對佈置的兩個大表面(44)，其中，所述伸縮相機(8)安裝在所述支架(32)上，使得每個伸縮相機(8)的相機本體(46)直接安裝在所述支架(32)的兩個大表面(44)中的一個大表面上。
  9. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，所述固持結構和/或所述支架中的至少一個支架包括散熱器，特別是散熱片(47)。
  10. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，支架(32)與安裝在支架上的所述伸縮相機(8)一起形成相機模組，並且所有相機模組被類似地設計。
  11. 如請求項1所述的MTF測試設備(2)，其中，所述伸縮相機(8)以至少近似正方形圖案或六邊形圖案來安裝。
  12. 一種如請求項1所述的MTF測試設備(2)的用途，該MTF測試設備(2)用於在具有至少一個透鏡(10)的所述待測裝置(6)的不同場位置處執行多個MTF測量。
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