JP7285894B2 - Mtf測定装置とその使用 - Google Patents
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Description
MTF測定装置は、少なくとも1つのレンズを備える、少なくとも1つの被測定デバイスを受けるサンプルステージと、剛性構造を有するカメラホルダの固定された所定の位置に取り付けられ、単一の被測定デバイスの少なくとも1つのレンズによって投影された像を受ける複数の望遠鏡状カメラと、少なくとも1つのデータリンクを介して望遠鏡状カメラに接続された処理ユニットとを備え、望遠鏡状カメラが、データリンクを介して処理ユニットに画像データを送信するように構成され、処理ユニットが、全ての望遠鏡状カメラから画像データを受信し、望遠鏡状カメラによって取得された画像データから全ての望遠鏡状カメラのMTF測定データセットを計算することにより、複数のMTF測定を行うように構成され、望遠鏡状カメラが、カメラホルダに取り付けられ、全ての望遠鏡状カメラが、異なる視野位置において、MTF測定に帰結する画像データを取得する。
4 サンプルステージ
6 被測定デバイス
8,8.1,8.2,8.3 望遠鏡状カメラ
10 レンズ
12 処理ユニット
14 データリンク
16 イメージセンサ
18 望遠撮像光学系
20 焦点面
22 カメラホルダ
24 ハウジング
26 保持構造
28 第1側部要素
30 第2側部要素
32,32.1~32.7 ブラケット
34 第1端部
36 第2端部
38 湾曲した中央部
40,40.1,40.3 ブラケット平面
42 ブラケット平面交差線
44 表面
46 カメラ本体
47 冷却フィン
48 ファン
L,L1~L7 長手方向
Claims (12)
- 少なくとも1つの被測定デバイス(6)を受け入れるためのサンプルステージ(4)であって、前記被測定デバイス(6)が少なくとも1つのレンズ(10)を備えるサンプルステージ(4)と、
剛性構造であるカメラホルダ(22)の所定の位置に取り付けられた複数の望遠鏡状カメラ(8)であって、前記被測定デバイス(6)の少なくとも1つの前記レンズ(10)によって投影された像を受け取る望遠鏡状カメラ(8)と
少なくとも1つのデータリンク(14)を経由して前記望遠鏡状カメラ(8)に結合された処理ユニット(12)とを備え、
前記望遠鏡状カメラ(8)が、前記データリンク(14)を経由して画像データを前記処理ユニット(12)に送信するように構成され、
前記処理ユニット(12)が、全ての前記望遠鏡状カメラ(8)から前記画像データを受信し、前記望遠鏡状カメラ(8)によって受け取られた前記画像データから全ての望遠鏡状カメラ(8)のMTF測定データセットを演算することによって、複数のMTF測定を実行するように構成され、
前記望遠鏡状カメラ(8)が、カメラホルダ(22)に取り付けられ、全ての前記望遠鏡状カメラ(8)が、異なる視野位置においてMTF測定に帰結する前記画像データを捕捉し、
前記カメラホルダ(22)が、保持構造(26)と、第1端部(34)と第2端部(36)との間に延びる細長い部材である少なくとも2つのブラケット(32)とを備え、
前記第1端部(34)および前記第2端部(36)が、前記保持構造(26)に取り外し可能に取り付けられ、
少なくとも2つの前記望遠鏡状カメラ(8)が、全ての前記ブラケット(32)に取り付けられ、
該ブラケット(32)が、前記保持構造(26)から個別に脱着可能であるMTF測定装置(2)。 - 全ての前記ブラケット(32)が、前記第1端部(34)と前記第2端部(36)との間の長手方向(L)に延び、前記ブラケット(32)が前記保持構造(26)に取り付けられ、前記ブラケット(32)の長手方向(L1~L7)が互いに平行である請求項1に記載のMTF測定装置(2)。
- 前記保持構造(26)が、第1側部要素(28)および第2側部要素(30)を備え、
前記第1側部要素(28)および前記第2側部要素(30)が、前記保持構造(26)の反対側の横方向の側面を形成し、
前記ブラケット(32)の前記第1端部(34)が、前記第1側部要素(28)に取り付けられ、
前記ブラケット(32)の前記第2端部(36)が、前記第2側部要素(30)に取り付けられている請求項1または請求項2に記載のMTF測定装置(2)。 - 前記ブラケット(32)が、前記第1端部(34)と前記第2端部(36)との間に延びる湾曲した中央部(38)を備え、
少なくとも2つの前記望遠鏡状カメラ(8)が、湾曲した前記中央部(38)に取り付けられている請求項1から請求項3のいずれかに記載のMTF測定装置(2)。 - 前記ブラケット(32)の湾曲した前記中央部(38)が、少なくとも部分的に、円の一部のように湾曲し、特に、前記円の中心が、前記カメラホルダ(22)と前記サンプルステージ(4)との間に配置され、さらに、特に、前記円の中心が、前記サンプルステージ(4)の平面内に配置されている請求項4に記載のMTF測定装置(2)。
- 前記ブラケット(32)の断面が、前記第1端部(34)および/または前記第2端部(36)において、前記中央部(38)の断面と比較して大きい請求項4または請求項5に記載のMTF測定装置。
- 前記ブラケット(32)が平坦な部材であり、
全ての前記ブラケット(32)がブラケット平面(40)内に延びており、
少なくとも2つの前記ブラケット(32)の前記ブラケット平面(40)が、ブラケット平面交差線(42)に沿って交差するように配置され、特に、前記ブラケット平面交差線(42)が、前記カメラホルダ(22)と前記サンプルステージ(4)との間に配置され、さらに、特に、前記ブラケット平面交差線(42)が、前記サンプルステージ(4)の平面内に配置されている請求項1から請求項6のいずれかに記載のMTF測定装置。 - 前記ブラケット(32)が、互いに反対向きに配置された2つの大きな表面(44)をそれぞれ有する平坦な部材であり、
前記望遠鏡状カメラ(8)は、全ての該望遠鏡状カメラ(8)のカメラ本体(46)が、前記ブラケット(32)の2つの大きな前記表面(44)のうちの1つに直接取り付けられるように、前記ブラケット(32)に取り付けられている請求項1から請求項7のいずれかに記載のMTF測定装置。 - 前記保持構造(26)および/または前記ブラケット(32)の少なくとも1つが、ヒートシンク、特に冷却フィン(47)を備える請求項1から請求項8のいずれかに記載のMTF測定装置(2)。
- 前記ブラケット(32)が、その上に取り付けられた前記望遠鏡状カメラ(8)とともにカメラモジュールを形成し、全ての前記カメラモジュールが同様に設計されている請求項1から請求項9のいずれかに記載のMTF測定装置(2)。
- 前記望遠鏡状カメラ(8)が、少なくともほぼ正方形状のパターンまたは六角形状のパターンで取り付けられている請求項1から請求項10のいずれかに記載のMTF測定装置(2)。
- 少なくとも1つのレンズ(10)を有する前記被測定デバイス(6)の異なる視野位置において、複数のMTF測定を行う請求項1から請求項11のいずれかに記載のMTF測定装置(2)の使用。
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