JP2015155128A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015155128A5 JP2015155128A5 JP2014030998A JP2014030998A JP2015155128A5 JP 2015155128 A5 JP2015155128 A5 JP 2015155128A5 JP 2014030998 A JP2014030998 A JP 2014030998A JP 2014030998 A JP2014030998 A JP 2014030998A JP 2015155128 A5 JP2015155128 A5 JP 2015155128A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing pad
- polishing
- surface roughness
- roughness
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 183
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 53
- 230000003750 conditioning Effects 0.000 claims description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
Description
本発明の第二の態様は、基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドにドレッサを押し当ててドレッシングをして研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング方法であって、前記研磨パッドのドレッシング中に、前記研磨パッドの表面温度を所定の温度に調整することを特徴とする。
本発明によれば、研磨パッドのドレッシング中に、研磨パッドの表面温度を調整することにより、最適な研磨レートを得るための研磨パッドの表面粗さを効率よく作り上げることができる。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(Rq),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さをモニターすることを特徴とする。
本発明によれば、研磨パッドのドレッシング中に、研磨パッドの表面温度を調整することにより、最適な研磨レートを得るための研磨パッドの表面粗さを効率よく作り上げることができる。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(Rq),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さをモニターすることを特徴とする。
本発明の第三の態様は、基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング方法であって、ドレッサにより前記研磨パッドをドレッシングし、前記研磨パッドの表面粗さを測定し、前記測定して得られた前記研磨パッドの表面粗さと、予め設定した目標表面粗さとを比較し、前記研磨パッドのドレッシング中に、前記比較した結果に基づいて、前記研磨パッドの表面温度を所定の温度に調整することを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記所定の温度は、研磨パッドの表面粗さと研磨パッドの表面温度との関係と、研磨パッドの表面粗さと研磨性能との関係より、所望の研磨性能に対応する研磨パッドの表面温度であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドの表面温度の調整は、温度調整した流体を内部に供給したパッド接触部材を前記研磨パッドに接触させることにより行うか、もしくは、温度調整した流体を前記研磨パッドに供給することにより行うことを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記所定の温度は、研磨パッドの表面粗さと研磨パッドの表面温度との関係と、研磨パッドの表面粗さと研磨性能との関係より、所望の研磨性能に対応する研磨パッドの表面温度であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドの表面温度の調整は、温度調整した流体を内部に供給したパッド接触部材を前記研磨パッドに接触させることにより行うか、もしくは、温度調整した流体を前記研磨パッドに供給することにより行うことを特徴とする。
本発明の第四の態様は、基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッシングして研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング装置であって、前記研磨パッドに押し当てて研磨パッドのドレッシングを行うドレッサと、該ドレッサを回転させるとともに研磨パッドの表面に沿って移動させる機構とを備えたドレッシング装置と、前記研磨パッドの表面粗さを測定する研磨パッドの表面粗さ測定手段と、前記研磨パッドの表面温度を調整する研磨パッドの温度調整手段と、前記ドレッシング装置、前記研磨パッドの表面粗さ測定手段および前記研磨パッドの表面温度調整手段を制御する制御部とを備え、前記研磨パッドの表面粗さ測定手段により、前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(Rq),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さを測定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドの表面粗さ測定手段は、レーザ光を投光する投光部と研磨パッドからの反射光を受光する受光部を備えることを特徴とする。
本発明の第五の態様は、前記研磨パッドを貼り付ける研磨テーブルと、請求項18乃至25のいずれか一項に記載の研磨パッドのコンディショニング装置を備えたことを特徴とする研磨装置である。
本発明の第五の態様は、前記研磨パッドを貼り付ける研磨テーブルと、請求項18乃至25のいずれか一項に記載の研磨パッドのコンディショニング装置を備えたことを特徴とする研磨装置である。
Claims (26)
- 基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドにドレッサを押し当ててドレッシングをして研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング方法であって、
前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(Rq),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さを測定し、測定された表面粗さと予め設定された目標表面粗さとを比較し、比較結果に基づいて前記研磨パッドを加熱又は冷却することにより研磨パッドの表面温度を調整することを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法。 - 前記研磨パッドの表面温度を所定の温度に調整しつつ、前記測定された表面粗さが前記目標表面粗さになるまで前記研磨パッドのドレッシングを行うことを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記所定の温度は、研磨パッドの表面粗さと研磨パッドの表面温度との関係と、研磨パッドの表面粗さと研磨性能との関係より、所望の研磨性能に対応する研磨パッドの表面温度であることを特徴とする請求項2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面粗さが目標表面粗さに到達したら、ドレッシングを終了することを特徴とする請求項2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面温度が予め定めた温度に達したら、ドレッシングを開始することを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面粗さを測定する際には、前記ドレッサを前記研磨パッドに押し当てて揺動させ、前記研磨テーブルを回転させるか、又は、前記ドレッサを前記研磨パッドから離して前記研磨テーブルの回転を止めることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面温度の調整は、温度調整した流体を内部に供給したパッド接触部材を前記研磨パッドに接触させることにより行うか、もしくは、温度調整した流体を前記研磨パッドに供給することにより行うことを特徴とする請求項1又2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 基板の研磨中も、前記研磨パッドの表面温度を調整しつつ、ドレッシングを行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドにドレッサを押し当ててドレッシングをして研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング方法であって、
前記研磨パッドのドレッシング中に、前記研磨パッドの表面温度を所定の温度に調整することを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法。 - 前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(R
q),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗
さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さを
モニターすることを特徴とする請求項9に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。 - 基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング方法であって、
ドレッサにより前記研磨パッドをドレッシングし、
前記研磨パッドの表面粗さを測定し、
前記測定して得られた前記研磨パッドの表面粗さと、予め設定した目標表面粗さとを比較し、
前記研磨パッドのドレッシング中に、前記比較した結果に基づいて、前記研磨パッドの表面温度を所定の温度に調整することを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法。 - 前記所定の温度は、研磨パッドの表面粗さと研磨パッドの表面温度との関係と、研磨パッドの表面粗さと研磨性能との関係より、所望の研磨性能に対応する研磨パッドの表面温度であることを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面温度の調整は、温度調整した流体を内部に供給したパッド接触部材を前記研磨パッドに接触させることにより行うか、もしくは、温度調整した流体を前記研磨パッドに供給することにより行うことを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面粗さが所望の表面粗さになったら、ドレッシングを終了することを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの表面粗さが所望の表面粗さになるまで、前記研磨パッドの表面温度が所定の温度を維持するように研磨パッドの表面温度を調整することを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッド上に、研磨パッドの半径方向に複数のエリアを定義し、エリア毎に異なる温度に調整して、ドレッシングを行うことを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 基板の研磨中も、前記研磨パッドの表面温度を調整しつつ、ドレッシングを行うことを特徴とする請求項9又は11に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 基板を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッシングして研磨パッドの表面粗さを調整する研磨パッドのコンディショニング装置であって、
前記研磨パッドに押し当てて研磨パッドのドレッシングを行うドレッサと、該ドレッサを回転させるとともに研磨パッドの表面に沿って移動させる機構とを備えたドレッシング装置と、
前記研磨パッドの表面粗さを測定する研磨パッドの表面粗さ測定手段と、
前記研磨パッドの表面温度を調整する研磨パッドの温度調整手段と、
前記ドレッシング装置、前記研磨パッドの表面粗さ測定手段および前記研磨パッドの表面温度調整手段を制御する制御部とを備え、
前記研磨パッドの表面粗さ測定手段により、前記研磨パッドのドレッシング中に、算術平均粗さ(Ra),二乗平均平方根粗さ(Rq),粗さ曲線の最大谷深さ(Rv),粗さ曲線の最大山高さ(Rp)および最大高さ粗さ(Rz)の5つの指標のうち少なくとも1つの指標で表される研磨パッドの表面粗さを測定することを特徴とする研磨パッドのコンディショニング装置。 - 前記制御部は、前記研磨パッドの表面粗さ測定手段により測定された表面粗さと予め設定された目標表面粗さとを比較し、比較結果に基づいて前記研磨パッドの温度調整手段を制御することにより研磨パッドの表面温度を調整することを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記制御部には、研磨パッドの表面粗さと研磨パッドの表面温度との関係と、研磨パッドの表面粗さと研磨性能との関係が蓄積されていることを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドの温度調整手段は、温度調整した流体を内部に供給して下面を前記研磨パッドに接触させるパッド接触部材からなるか、もしくは、温度調整した流体を前記研磨パッドに供給するノズルからなることを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記パッド接触部材又は前記ノズルは前記研磨パッドの半径方向に2つ以上設置され、
前記2つ以上のパッド接触部材又は前記ノズルは、各々独立して研磨パッドの表面温度を調整可能であることを特徴とする請求項21に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。 - 前記研磨パッドの表面粗さ測定手段は、前記ドレッサを保持するドレッサアームに取り付けられていることを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドの表面粗さ測定手段は、前記研磨テーブルの回転方向に対して、前記ドレッサの下流側の箇所を測定する位置に配置されていることを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドの表面粗さ測定手段は、レーザ光を投光する投光部と研磨パッドからの反射光を受光する受光部を備えることを特徴とする請求項18に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドを貼り付ける研磨テーブルと、
請求項18乃至25のいずれか一項に記載の研磨パッドのコンディショニング装置を備えたことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014030998A JP6340205B2 (ja) | 2014-02-20 | 2014-02-20 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 |
TW104104535A TWI649159B (zh) | 2014-02-20 | 2015-02-11 | 研磨墊的修整方法及裝置 |
KR1020150021693A KR102179092B1 (ko) | 2014-02-20 | 2015-02-12 | 연마 패드의 컨디셔닝 방법 및 장치 |
CN201510080294.8A CN104858785B (zh) | 2014-02-20 | 2015-02-13 | 研磨垫的修整方法及装置 |
US14/624,820 US9731401B2 (en) | 2014-02-20 | 2015-02-18 | Method and apparatus for conditioning polishing pad |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014030998A JP6340205B2 (ja) | 2014-02-20 | 2014-02-20 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015155128A JP2015155128A (ja) | 2015-08-27 |
JP2015155128A5 true JP2015155128A5 (ja) | 2016-11-24 |
JP6340205B2 JP6340205B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=53797295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014030998A Active JP6340205B2 (ja) | 2014-02-20 | 2014-02-20 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9731401B2 (ja) |
JP (1) | JP6340205B2 (ja) |
KR (1) | KR102179092B1 (ja) |
CN (1) | CN104858785B (ja) |
TW (1) | TWI649159B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6161999B2 (ja) * | 2013-08-27 | 2017-07-12 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
JP2017121672A (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 不二越機械工業株式会社 | ワーク研磨方法および研磨パッドのドレッシング方法 |
US9865477B2 (en) * | 2016-02-24 | 2018-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Backside polisher with dry frontside design and method using the same |
TWI582385B (zh) * | 2016-05-06 | 2017-05-11 | 中華大學 | 一種研磨墊檢測系統及其方法 |
JP6715153B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2020-07-01 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置 |
JP7023455B2 (ja) * | 2017-01-23 | 2022-02-22 | 不二越機械工業株式会社 | ワーク研磨方法およびワーク研磨装置 |
JP6923342B2 (ja) * | 2017-04-11 | 2021-08-18 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置、及び、研磨方法 |
US10350724B2 (en) * | 2017-07-31 | 2019-07-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Temperature control in chemical mechanical polish |
CN107553330B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-07-12 | 德淮半导体有限公司 | 修整盘系统、化学机械研磨装置及修整盘脱落侦测方法 |
CN109702650A (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-03 | 长鑫存储技术有限公司 | 研磨垫修整方法、化学机械研磨方法及装置 |
CN109866108A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-11 | 咏巨科技有限公司 | 抛光垫修整装置及其制造方法以及抛光垫修整方法 |
JP6975078B2 (ja) | 2018-03-15 | 2021-12-01 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
KR102644395B1 (ko) * | 2018-05-02 | 2024-03-08 | 주식회사 케이씨텍 | 패드 어셈블리 및 이를 포함하는 컨디셔너 장치 |
CN110549239A (zh) * | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 长鑫存储技术有限公司 | 化学机械研磨装置及研磨垫表面修整方法 |
JP7066599B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-05-13 | 株式会社荏原製作所 | 温度調整装置及び研磨装置 |
JP7240931B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-03-16 | 株式会社荏原製作所 | 熱交換器の洗浄装置、および研磨装置 |
JP7406980B2 (ja) * | 2019-12-24 | 2023-12-28 | 株式会社荏原製作所 | 研磨ユニット、基板処理装置、および研磨方法 |
CN112405333B (zh) * | 2020-12-04 | 2022-08-16 | 华海清科(北京)科技有限公司 | 一种化学机械抛光装置和抛光方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5708506A (en) * | 1995-07-03 | 1998-01-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for detecting surface roughness in a chemical polishing pad conditioning process |
US5743784A (en) * | 1995-12-19 | 1998-04-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method to determine the coefficient of friction of a chemical mechanical polishing pad during a pad conditioning process and to use it to control the process |
JPH09234663A (ja) | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハ研磨方法及びその装置 |
JP2001223190A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Hitachi Ltd | 研磨パッドの表面状態評価方法及びその装置とそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその製造装置 |
KR20030022105A (ko) * | 2001-02-20 | 2003-03-15 | 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 폴리싱장치 및 드레싱방법 |
JP2003151934A (ja) | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Seiko Epson Corp | Cmp装置及びcmp用研磨パッドの調整方法 |
JP2003257914A (ja) | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Fujitsu Ltd | 化学機械研磨方法と装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2004186493A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置 |
JP2005026453A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Ebara Corp | 基板研磨装置および基板研磨方法 |
JP2005347568A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Ebara Corp | 基板研磨方法及び基板研磨装置 |
JP4206318B2 (ja) | 2003-09-17 | 2009-01-07 | 三洋電機株式会社 | 研磨パッドのドレッシング方法及び製造装置 |
TWI284584B (en) * | 2005-05-09 | 2007-08-01 | Nat Univ Chung Cheng | Method for detecting the using condition and lifetime of the polish pad by sensing the temperature of the grinding interface during the chemical-mechanical polishing process |
KR20100065145A (ko) * | 2007-09-14 | 2010-06-15 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 전자 기기 |
US8292691B2 (en) * | 2008-09-29 | 2012-10-23 | Applied Materials, Inc. | Use of pad conditioning in temperature controlled CMP |
US20110300776A1 (en) * | 2010-06-03 | 2011-12-08 | Applied Materials, Inc. | Tuning of polishing process in multi-carrier head per platen polishing station |
CN202428310U (zh) * | 2011-12-07 | 2012-09-12 | 有研半导体材料股份有限公司 | 一种热调节300mm化学机械抛光用的抛光头 |
JP2013172218A (ja) | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Sony Corp | 撮像装置、画像処理方法およびプログラム |
JP6091773B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2017-03-08 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-02-20 JP JP2014030998A patent/JP6340205B2/ja active Active
-
2015
- 2015-02-11 TW TW104104535A patent/TWI649159B/zh active
- 2015-02-12 KR KR1020150021693A patent/KR102179092B1/ko active IP Right Grant
- 2015-02-13 CN CN201510080294.8A patent/CN104858785B/zh active Active
- 2015-02-18 US US14/624,820 patent/US9731401B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015155128A5 (ja) | ||
JP6340205B2 (ja) | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 | |
KR102181464B1 (ko) | 드레싱 프로세스의 감시 방법 및 연마 장치 | |
JP2016538728A5 (ja) | ||
US10710208B2 (en) | Polishing method and polishing apparatus | |
TWI568534B (zh) | 墊片狀態化掃略力矩模式化以達成恆定移除率 | |
EP2478999A2 (en) | Polishing method and polishing apparatus | |
JP6030720B2 (ja) | 研磨装置および方法 | |
JP2014195847A5 (ja) | ||
JP2010183037A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2015041700A5 (ja) | ||
JP2016510953A5 (ja) | ||
JP2014063972A5 (ja) | ||
JP2015174156A (ja) | 研磨装置 | |
JP2018001325A (ja) | ヘッド高さ調整装置およびヘッド高さ調整装置を備える基板処理装置 | |
JP2021065990A5 (ja) | ||
JP2008284645A (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP2021030408A5 (ja) | ||
JP2017056070A5 (ja) | ||
JP2014166678A (ja) | 研磨装置 | |
JP7264039B2 (ja) | 研磨ヘッド、化学的機械的研磨装置、および、化学的機械的研磨方法 | |
KR20160093939A (ko) | 화학 기계적 연마 장치 및 방법 | |
JP2012139739A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
JP2013244574A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 |