JP2014195847A5

JP2014195847A5 -

Info

Publication number: JP2014195847A5
Application number: JP2013072399A
Authority: JP
Filing date: 2013-03-29
Publication date: 2016-01-07
Anticipated expiration: 2033-03-29

Claims

研磨パッドの偏摩耗を検知する検知システムを有するＣＭＰ装置であって、
テーブル駆動軸に接続され、前記研磨パッドが配置されている回転可能な研磨テーブルと、
基板を保持し、前記研磨パッドに前記基板を押圧するための回転可能な研磨ヘッドと、
前記研磨パッドの研磨面をドレッシングするドレッシング面を有し、ドレッサ駆動軸に接続され、前記ドレッサ駆動軸によって回転するドレッシングヘッドと、揺動アクチュエータに接続され、前記ドレッシングヘッドを前記研磨テーブル上の位置と前記研磨テーブルの外側の位置との間を揺動させるドレッサ揺動軸と、を有するドレッシング装置と、
前記研磨テーブルの回転数、前記テーブル駆動軸によって前記研磨テーブルに加えられる回転トルク、前記ドレッシングヘッドの回転数、前記ドレッサ駆動軸によって前記ドレッシングヘッドに加えられる回転トルク、及び前記揺動アクチュエータによって前記ドレッサ揺動軸に加えられる揺動トルクのうち、少なくとも一つを検知するセンサ装置と、検知されたデータを前記センサ装置から取得し、所定時間における前記検知されたデータの変化量を計算し、前記計算された変化量が所定値を超えたか否かを判定する制御部と、を有する前記研磨パッドの偏摩耗を検知する検知システムと、を有することを特徴とするＣＭＰ装置。
前記変化量の計算は、
前記所定時間における所定個の連続データを平均化し、
前記平均化されたデータの変化量を計算することであることを特徴とする請求項１記載のＣＭＰ装置。
前記平均化は、２乗平均平方根法を使用して前記検知されたデータを平均化することであることを特徴とする請求項２記載のＣＭＰ装置。
前記少なくとも一つを検知することは、前記ドレッシングヘッドの前記回転数と、前記ドレッサ駆動軸によって前記ドレッシングヘッドに加えられる回転トルクとを検知することであることを特徴とする請求項１記載のＣＭＰ装置。
前記所定値を超えたか否かの判定は、
前記平均化されたデータの変化量を取得し、前記取得された変化量が前記所定値を超えたか否かを判定することであることを特徴とする請求項３記載のＣＭＰ装置。
前記変化量が前記所定値を超えたと前記制御部が判定したときに、前記制御部は警報を発することさらに有することを特徴とする請求項１記載のＣＭＰ装置。
前記少なくとも一つを検知することは、前記ドレッシング装置がドレッシングを開始してから所定時間経過後に前記検知を開始することを特徴とする請求項１記載のＣＭＰ装置。
前記所定値を超えたか否かの判定は、前記所定時間の間、前記変化量が前記所定値を超えた回数をカウントし、前記回数が、所定回数を超えたときに所定値を超えたと判定することであることを特徴とする請求項１記載のＣＭＰ装置。
ドレッサ揺動シャフトに接続され且つドレッシング面を有するドレッシングヘッドと、研磨パッドを備えた研磨テーブルと、を有する研磨装置の前記研磨パッドの偏摩耗を検知する方法であって、
前記研磨テーブルと前記研磨パッドを回転させる工程と、
前記ドレッシングヘッドの前記ドレッシング面を回転させる工程と、
回転している前記ドレッシング面を回転している前記研磨パッドに押圧することで前記研磨パッドをドレッシングする工程と、
前記ドレッサ揺動シャフトで前記研磨パッド上の前記ドレッシングヘッドを揺動させる工程と、
前記研磨テーブルの回転数、前記研磨テーブルに加えられる回転トルク、前記ドレッシングヘッドの回転数、前記ドレッシングヘッドに加えられる回転トルク、及び前記ドレッサ揺動軸に加えられる揺動トルクのうち、少なくとも一つを検知する工程と、
前記検知されたデータから、所定時間における前記データの変化量を計算する工程と、
前記計算された変化量が所定値を超えたか否かを判定する工程と、を有する、方法。
請求項９に記載された方法において、
前記所定時間における前記データの変化量を計算する工程は、前記検知されたデータの所定個の連続データを平均化する工程と、前記平均化されたデータの変化量を計算する工程を含む、方法。
請求項１０に記載された方法において、
前記所定個の連続データを平均化する工程は、２乗平均平方根法を使用して前記検知されたデータを平均値化する工程である、方法。
請求項９に記載された方法において、
前記少なくとも一つを検知する工程は、前記ドレッシングヘッドの回転数と、前記ドレッサ駆動軸によって前記ドレッシングヘッドに加えられる回転トルクとを検知する工程である、方法。
請求項１０に記載された方法において、
前記所定値を超えたか否かを判定する工程は、前記平均化されたデータの変化量を取得し、前記取得された変化量が前記所定値を超えたか否かを判定する工程である、方法。
請求項９に記載された方法において、
前記変化量が前記所定値を超えたと判定したときに警報を発する工程をさらに有する、方法。
請求項９に記載された方法において、
前記少なくとも一つを検知する工程は、前記ドレッシング工程を開始してから所定時間経過後に開始する、方法。
請求項９に記載された方法において、
前記計算された変化量が所定値を超えたか否かを判定する工程は、
前記所定時間の間、前記変化量が前記所定値を超えた回数を前記制御部がカウントし、前記回数が所定回数を超えたときに所定値を超えたと判定する工程を含む、方法。