JP2015517923A5 - - Google Patents

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スラリは、研磨パッドアセンブリ１０２を回転させるモータ１１２の中空シャフト１１３を介して研磨パッドアセンブリ１０２に適用される。研磨パッドアセンブリモータ１１２は研磨パッドアセンブリ１０２を回転させ、同時に、基板チャックモータ１１４は基板１０６を回転させる。さらに、ガントリ１０４上に取り付けられる横方向運動モータ１３０も、基板１０６にわたって横方向に往復して振動する研磨パッドアセンブリ１０２を動かす。バフ研磨は、所定の時間、又は所望のエンドポイントに達するまで（例えば、トルク測定センサをモータに連結することができ、印加トルクにおいて検出された変化に基づいてエンドポイントを特定することができる）継続する。使用済みのスラリは、基板チャックモータ１１４の中空シャフト１１５を通してチャネルを介してタンク１１０から流出する。
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