JP2004148479A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨対象物の表面を研磨パッドに圧接して研磨する際に、研磨対象物の被研磨面に対して偏荷重をなくしてほぼ均一な研磨圧を与え、高い研磨精度を得ることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】基台10と、基台10に回転自在に支持されてその上面に研磨パッド21(研磨面)を有した研磨盤20と、研磨対象物Wを保持可能であり研磨対象物Wを保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるようにして研磨パッド21の上に載置される試料ホルダ30と、試料ホルダ30を研磨面に載置した状態で下方に押圧するエアシリンダ40とを備え、研磨盤20を回転させた状態でエアシリンダ40により試料ホルダ30を下方に押圧して研磨対象物Wの表面を研磨パッド21に押し付けて研磨対象物Wの研磨を行う研磨装置1において、エアシリンダ40が研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容するXYテーブル50を介して水平アーム13に支持されて構成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】基台10と、基台10に回転自在に支持されてその上面に研磨パッド21(研磨面)を有した研磨盤20と、研磨対象物Wを保持可能であり研磨対象物Wを保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるようにして研磨パッド21の上に載置される試料ホルダ30と、試料ホルダ30を研磨面に載置した状態で下方に押圧するエアシリンダ40とを備え、研磨盤20を回転させた状態でエアシリンダ40により試料ホルダ30を下方に押圧して研磨対象物Wの表面を研磨パッド21に押し付けて研磨対象物Wの研磨を行う研磨装置1において、エアシリンダ40が研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容するXYテーブル50を介して水平アーム13に支持されて構成されている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨対象物の表面を研磨して平坦化する研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
研磨対象物の表面を研磨して平坦化する方法は、多種多様な分野において適用されている。例えば、スピンドル軸に軸承された研磨パッド部材を用いて、そのパッド面(研磨面)に研磨剤を供給しながらチャックに保持された半導体ウエハを上方から圧接し、パッド面と半導体ウエハを同一方向または逆方向に回転させて半導体ウエハを研磨する研磨装置が知られている(例えば、特許文献1)。
【0003】
このような従来の研磨装置の構成例を図6及び図7に模式的に示している。図6に示している研磨装置100は、エアシリンダ101と、試料ホルダ102と、研磨盤103とから構成されている。エアシリンダ101は、固定盤110に補強部材111を用いて取り付けられている。試料ホルダ102は、エアシリンダ101のロッド101a先端に研磨盤103の上面に対向するように支持され、エアシリンダ101が作動して研磨圧を加えたときに鉛直方向に上下動するようになっている。研磨盤103はベアリング(不図示)等により矢印A方向に回転自在に支持され、その上面には研磨パッド(不図示)が貼り付けられ、研磨の際にはこの研磨パッドが試料ホルダ102に保持された試料W1(例えば、半導体ウエハ)と接触するようになっている。このような構成により、研磨装置100は、エアシリンダ101により試料ホルダ102に保持された試料W1を研磨パッドに圧接し、試料W1と研磨布パッドが(研磨剤を伴って)摩擦されることにより試料W1の表面研磨ができるようになっている。この際、試料ホルダ102が研磨盤103から受ける摩擦力(研磨圧の反力)はロッド101aを介してエアシリンダ101のチューブ101bで支持される。
【0004】
図7(a)及び(b)に示している研磨装置200は、エアシリンダ201と、試料ホルダ202と、研磨盤203とから構成されている。エアシリンダ201は、固定盤210に取り付けられている。試料ホルダ202は、エアシリンダ201のロッド201a先端に自在継手204を介して研磨盤203の上面に対向するように支持され、エアシリンダ201が作動して研磨圧を加えたときに鉛直方向に上下動するようになっている。研磨盤203はベアリング(不図示)等により矢印C方向に回転自在に支持され、その上面には研磨パッド(不図示)が貼り付けられ、研磨の際にはこの研磨パッドが試料ホルダ202に保持された試料W2と接触するようになっている。このような構成により、研磨装置200は、エアシリンダ201により自在継手204を介して試料W2の下面全体が研磨パッドにほぼ均一に圧接され、試料W2と研磨布パッドが(研磨剤を伴って)摩擦されることにより試料W2の表面研磨ができるようになっている。この際、試料ホルダ202が研磨盤203から受ける摩擦力は、試料ホルダ202の側面と当接するように設けられたストッパコロ220で支持され、エアシリンダ201にこの摩擦力が伝わらないようになっている。
【0005】
【特許文献1】
特開平6−155286号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記に示す研磨装置100,200は、それぞれ(エアシリンダにより加圧して)試料ホルダによる研磨圧が大きくなるにつれ、研磨盤から試料ホルダに働く摩擦力(研磨圧の反力)も増大する。
【0007】
このとき、図6に示す研磨装置100において、上記のような摩擦力を受けるエアシリンダ101のチューブ101bの部分については、上述したように補強部材111により剛性が高められている。しかしながら、エアシリンダ101のロッド101aの部分については、摩擦力により微小な曲げを発生させ、これに伴い矢印B方向に試料ホルダ102が傾き、結果的に研磨精度が低くなるという問題点がある。
【0008】
また、図7に示す研磨装置200では、上記のような摩擦力による試料ホルダ202の外径202a及びストッパコロ220の弾性変形や組み立て誤差等により、エアシリンダ201の中心と試料ホルダ202の中心との間に軸ズレDが発生する。このため、エアシリンダ201のロッド201aの先端に設けられている自在継手204によりこの軸ズレDを吸収させているが、結果的に試料W2の下面と研磨盤203との接触圧分布が不均一になり、良好な研磨精度を得ることが難しいという問題点がある。
【0009】
本発明は、この問題点に鑑みてなされたものであり、研磨対象物の表面(被研磨面)を研磨パッドに圧接して研磨する際に、被研磨面に対して偏荷重をなくしてほぼ均一な研磨圧を与え、高い研磨精度を得ることができる研磨装置を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明の研磨装置は、基台と、基台に回転自在に支持されてその上面に研磨面を有した研磨パッド部材(例えば、本実施例における研磨盤20、研磨パッド21)と、研磨対象物を保持可能であり研磨対象物を保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるようにして研磨パッド部材の上に載置される保持装置(例えば、本実施例における試料ホルダ30)と、保持装置を研磨面に載置した状態で下方に押圧する押圧アクチュエータ(例えば、本実施例におけるエアシリンダ40)とを備え、研磨パッド部材を回転させた状態で押圧アクチュエータにより保持装置を下方に押圧して研磨対象物の表面を研磨面に押し付け、研磨対象物の研磨を行う研磨装置において、押圧アクチュエータが、研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容する平面ベアリング(例えば、本実施例におけるXYテーブル50)を介して、固定支持部材(例えば、本実施例における水平アーム13)に支持されていることを特徴とする。
【0011】
このような構成により、研磨対象物の表面(被研磨面)と研磨面とが接触するときに発生する摩擦力により押圧アクチュエータの中心軸に対する保持装置の中心軸の位置が所定位置関係(ほぼ一致)よりずれても、平面ベアリングによって押圧アクチュエータはこの軸ズレに随時応答することができる。その結果、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面に対する偏荷重をなくして被研磨面と研磨面との接触圧(研磨圧)を一定に保ち、高い研磨精度を得ることができる。
【0012】
なお、平面ベアリングは、固定支持部材に取り付けられたベース部材と、これに対向するセンタ部材と、ベース部材とセンタ部材との間に設けられベース部材に対してセンタ部材を研磨面と平行な所定直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレールと、センタ部材に対向するテーブル部材と、センタ部材とテーブル部材との間に設けられセンタ部材に対してテーブル部材を第1ガイドレールの移動方向と直交する方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレールとから構成され、押圧アクチュエータは、テーブル部材に取り付けられていることが望ましい。
【0013】
このような構成により、被研磨面と研磨面との接触圧を常時一定に保つ制御を応答よく行うことができるので、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面における偏荷重をなくし研磨状態の均一性をより高めることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。まず、本発明の研磨装置1は、図1に示すように、基台10と、水平アーム13と、研磨盤20と、試料ホルダ30と、エアシリンダ40と、XYテーブル50とから構成されている。
【0015】
研磨盤20は、基台10の上面に研磨盤駆動軸11により水平且つ回転自在に支持されており、その上面には研磨パッド21が取り付けられている。
【0016】
試料ホルダ30は、後述するエアシリンダ40のピストンロッド42の下端部に設けられ、研磨対象物Wをワックス等により貼付保持可能であり、研磨対象物Wを保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるように研磨パッド21の上に載置される。試料ホルダ30は、図2にも示すように、外周に接している2個の支持ローラ31によって回転自在に支持されており、研磨パッド21の上に載置するだけで研磨パッド21(研磨盤20)の外側aの周速と内側bの周速との差によって自転する。なお、この支持ローラ31は、適度な可撓性を有しており、微小な弾性変形することが可能である。また、研磨パッド21の上面側には、図示していない研磨剤供給装置よりスラリー(研磨剤)が供給されるようになっている。
【0017】
基台10の上面には、上記の研磨盤駆動軸11の側方に支柱12が垂直に延びた状態で設けられており、この支柱14は水平アーム13が固定された第1移動ステージ14を上下方向移動自在に支持している。水平アーム13は研磨盤20の上方を水平に延びており、水平アームの中心軸Mとエアシリンダ40の中心軸40m及び試料ホルダ30の中心軸30mとが一致するように、エアシリンダ40を保持するXYテーブル50を支持している。
【0018】
エアシリンダ40は、後述するXYテーブル50のテーブル部材54に取り付けられているシリンダチューブ41と、シリンダチューブ41内を上下方向に移動自在なピストンロッド42とから構成されている。ピストンロッド42の下端部には、試料ホルダ30がエアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸30mが一致するように取り付けられている。このような構成のエアシリンダ40は、試料ホルダ30を研磨パッド21に載置した状態で、シリンダチューブ41に図示しない空気圧送ラインから圧縮空気を供給してピストンロッド42を伸長作動すなわち下動させることにより、試料ホルダ30を研磨パッド21の研磨面に載置した状態で下方に押圧することができる。
【0019】
XYテーブル50は、図3及び図4に示すように、水平アーム13に取り付けられたベース部材51と、これに対向するセンタ部材52と、ベース部材51とセンタ部材52との間に設けられベース部材51に対してセンタ部材52を研磨パッド21と平行な矢印Xで示す直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレール53と、センタ部材52に対向するテーブル部材54と、センタ部材52とテーブル部材54との間に設けられセンタ部材52に対してテーブル部材54を第1ガイドレール53の移動方向と直交する矢印Yで示す方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレール55とから構成されている。
【0020】
なお、ベース部材51、センタ部材52及びテーブル部材54は、その中心にエアシリンダ40のシリンダロッド42の径よりも大きい径を有する孔Hが形成されており、テーブル部材54に固定されたシリンダチューブ41より下方へ垂直に延びたシリンダロッド42が、センタ部材52及びベース部材51に設けられた孔Hを貫通して、その先端に取り付けられた試料ホルダ30を押圧することができるようになっている。
【0021】
第1ガイドレール53及び第2ガイドレール55は、図5に示すように、キャリア61aによって円筒コロ61bが保持されているコロ部材61と、V字溝62aが形成された一対のレール62とから構成されている。なお、第1ガイドレール53においては、一対のレール62のうち片方がベース部材51に、もう一方がセンタ部材52にボルトBにより固定されている(図4(a)参照)。また、第2ガイドレール55においても第1ガイドレール53と同様に、一対のレール62のうち片方がセンタ部材52に、もう一方がテーブル部材54にボルトBにより固定されている(図4(b)参照)。このような構成により、第1ガイドレール53は、ベース部材51とセンタ部材52に固定された一対のレール62に形成されたV字溝の間にコロ部材61を挟持して、ベース部材51とセンタ部材52とがX方向に相対スライド移動できるようになっている。同様に、第2ガイドレール55は、センタ部材52とテーブル部材52に固定された一対のレール62に形成されたV字溝の間にコロ部材61を挟持して、センタ部材52とテーブル部材54がY方向に相対スライド移動できるようになっている。
【0022】
XYテーブル50は、上記のような構成により、エアシリンダ40を研磨パッド21に対する垂直方向への移動は規制して研磨パッド21に対する平行方向への移動(すなわち、矢印X及び矢印Y方向)は許容するので、研磨時に研磨面と被研磨面の間で生じる摩擦力の増減やこの摩擦力により発生した支持ローラ31の弾性変形等により起こるエアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸との軸ズレを吸収することができる。
【0023】
このような構成の研磨装置1は、研磨盤20(すなわち研磨パッド21)を回転させた状態でエアシリンダ40により試料ホルダ30を下方に押圧して、研磨対象物Wの表面を研磨パッド21に押し付け、研磨対象物Wの研磨を行う。
【0024】
ここで、研磨対象物Wの表面(被研磨面)は、研磨剤の供給を受けつつ、試料ホルダ30(すなわち研磨対象物W自身)の回転運動及び研磨盤20(すなわち研磨パッド21)の回転運動により満遍なく研磨され平坦化される。しかしながら、研磨時に研磨面と被研磨面の間で生じる摩擦力の増減やこの摩擦力による支持ローラ31の弾性変形等により、エアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸30mとが一致せず、軸ズレが発生することがある。
【0025】
このとき、XYテーブル50は、エアシリンダ40を研磨パッド21に対する垂直方向への移動は規制して研磨パッド21に対する平行方向への移動は許容して上記の軸ズレに随時応答することができるため、常にエアシリンダ40は試料ホルダ30の中心を押圧することができる。その結果、研磨対象物Wの被研磨面に対する偏荷重をなくし、被研磨面及び研磨パッド21の研磨面にほぼ均一な圧力を付与することができるため、より高い研磨精度を得ることができる。
【0026】
なお、本発明は上記実施例に限られるものではなく、適宜改良可能である。例えば、上記では研磨対象物Wをワックス等により貼付保持しているが、減圧装置により吸着保持するように構成してもよい。また、上記実施例では、研磨パッド21の外側の周速と内側の周速との差により試料ホルダ30(研磨対象物W)は自転しているが、試料ホルダ30に回転力を付与する強制駆動装置を設けてもよい。上記実施例では、試料ホルダ30の中心軸30mは水平アーム13の中心軸Mと一致するように水平アーム13に固定されているが、試料ホルダ30(研磨対象物W)を研磨パッド21の研磨面上を水平方向及び回転方向に移動自在に支持する揺動装置を設けてもよい。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、研磨パッド部材を回転させた状態で押圧アクチュエータにより保持装置を下方に押圧して研磨対象物の表面を研磨面に押し付け、研磨対象物の研磨を行う研磨装置において、押圧アクチュエータが、研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容する平面ベアリングを介して、固定支持部材に支持されて構成されている。
【0028】
このような構成により、研磨対象物の表面(被研磨面)と研磨面とが接触するときに発生する摩擦力により押圧アクチュエータに対する保持装置の位置が所定位置よりずれても、平面ベアリングによって押圧アクチュエータはその保持装置の位置のずれに随時応答することができる。その結果、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面に対する偏荷重をなくして被研磨面と研磨面との接触圧(研磨圧)を一定に保ち、高い研磨精度を得ることができる。
【0029】
なお、平面ベアリングは、固定支持部材に取り付けられたベース部材と、これに対向するセンタ部材と、ベース部材とセンタ部材との間に設けられベース部材に対してセンタ部材を研磨面と平行な所定直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレールと、センタ部材に対向するテーブル部材と、センタ部材と前記テーブル部材との間に設けられセンタ部材に対してテーブル部材を第1ガイドレールの移動方向と直交する方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレールとから構成され、押圧アクチュエータはテーブル部材に取り付けられて構成されることが望ましい。
【0030】
このような構成により、被研磨面と研磨面との接触圧を常時一定に保つ制御を応答よく行うことができるので、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面における偏荷重をなくし研磨状態の均一性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研磨装置を示す側面図である。
【図2】上記研磨装置の試料ホルダの周辺部を示す部分拡大図である。
【図3】上記研磨装置のXYテーブルを示す斜視図である。
【図4】上記XYテーブルを図3の矢印IVの方向から見た側面図である。
【図5】第1ガイドレール及び第2ガイドレールの構成を示す斜視図である。
【図6】従来の研磨装置の例を示す説明図である。
【図7】従来の研磨装置の例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 研磨装置
10 基台
13 水平アーム (固定支持部材)
20 研磨盤 (研磨パッド部材)
21 研磨パッド (研磨パッド部材)
30 試料ホルダ (保持装置)
40 エアシリンダ(押圧アクチュエータ)
50 XYテーブル(平面ベアリング)
51 ベース部材
52 センタ部材
53 第1ガイドレール
54 テーブル部材
55 第2ガイドレール
W 研磨対象物
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨対象物の表面を研磨して平坦化する研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
研磨対象物の表面を研磨して平坦化する方法は、多種多様な分野において適用されている。例えば、スピンドル軸に軸承された研磨パッド部材を用いて、そのパッド面(研磨面)に研磨剤を供給しながらチャックに保持された半導体ウエハを上方から圧接し、パッド面と半導体ウエハを同一方向または逆方向に回転させて半導体ウエハを研磨する研磨装置が知られている(例えば、特許文献1)。
【0003】
このような従来の研磨装置の構成例を図6及び図7に模式的に示している。図6に示している研磨装置100は、エアシリンダ101と、試料ホルダ102と、研磨盤103とから構成されている。エアシリンダ101は、固定盤110に補強部材111を用いて取り付けられている。試料ホルダ102は、エアシリンダ101のロッド101a先端に研磨盤103の上面に対向するように支持され、エアシリンダ101が作動して研磨圧を加えたときに鉛直方向に上下動するようになっている。研磨盤103はベアリング(不図示)等により矢印A方向に回転自在に支持され、その上面には研磨パッド(不図示)が貼り付けられ、研磨の際にはこの研磨パッドが試料ホルダ102に保持された試料W1(例えば、半導体ウエハ)と接触するようになっている。このような構成により、研磨装置100は、エアシリンダ101により試料ホルダ102に保持された試料W1を研磨パッドに圧接し、試料W1と研磨布パッドが(研磨剤を伴って)摩擦されることにより試料W1の表面研磨ができるようになっている。この際、試料ホルダ102が研磨盤103から受ける摩擦力(研磨圧の反力)はロッド101aを介してエアシリンダ101のチューブ101bで支持される。
【0004】
図7(a)及び(b)に示している研磨装置200は、エアシリンダ201と、試料ホルダ202と、研磨盤203とから構成されている。エアシリンダ201は、固定盤210に取り付けられている。試料ホルダ202は、エアシリンダ201のロッド201a先端に自在継手204を介して研磨盤203の上面に対向するように支持され、エアシリンダ201が作動して研磨圧を加えたときに鉛直方向に上下動するようになっている。研磨盤203はベアリング(不図示)等により矢印C方向に回転自在に支持され、その上面には研磨パッド(不図示)が貼り付けられ、研磨の際にはこの研磨パッドが試料ホルダ202に保持された試料W2と接触するようになっている。このような構成により、研磨装置200は、エアシリンダ201により自在継手204を介して試料W2の下面全体が研磨パッドにほぼ均一に圧接され、試料W2と研磨布パッドが(研磨剤を伴って)摩擦されることにより試料W2の表面研磨ができるようになっている。この際、試料ホルダ202が研磨盤203から受ける摩擦力は、試料ホルダ202の側面と当接するように設けられたストッパコロ220で支持され、エアシリンダ201にこの摩擦力が伝わらないようになっている。
【0005】
【特許文献1】
特開平6−155286号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記に示す研磨装置100,200は、それぞれ(エアシリンダにより加圧して)試料ホルダによる研磨圧が大きくなるにつれ、研磨盤から試料ホルダに働く摩擦力(研磨圧の反力)も増大する。
【0007】
このとき、図6に示す研磨装置100において、上記のような摩擦力を受けるエアシリンダ101のチューブ101bの部分については、上述したように補強部材111により剛性が高められている。しかしながら、エアシリンダ101のロッド101aの部分については、摩擦力により微小な曲げを発生させ、これに伴い矢印B方向に試料ホルダ102が傾き、結果的に研磨精度が低くなるという問題点がある。
【0008】
また、図7に示す研磨装置200では、上記のような摩擦力による試料ホルダ202の外径202a及びストッパコロ220の弾性変形や組み立て誤差等により、エアシリンダ201の中心と試料ホルダ202の中心との間に軸ズレDが発生する。このため、エアシリンダ201のロッド201aの先端に設けられている自在継手204によりこの軸ズレDを吸収させているが、結果的に試料W2の下面と研磨盤203との接触圧分布が不均一になり、良好な研磨精度を得ることが難しいという問題点がある。
【0009】
本発明は、この問題点に鑑みてなされたものであり、研磨対象物の表面(被研磨面)を研磨パッドに圧接して研磨する際に、被研磨面に対して偏荷重をなくしてほぼ均一な研磨圧を与え、高い研磨精度を得ることができる研磨装置を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明の研磨装置は、基台と、基台に回転自在に支持されてその上面に研磨面を有した研磨パッド部材(例えば、本実施例における研磨盤20、研磨パッド21)と、研磨対象物を保持可能であり研磨対象物を保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるようにして研磨パッド部材の上に載置される保持装置(例えば、本実施例における試料ホルダ30)と、保持装置を研磨面に載置した状態で下方に押圧する押圧アクチュエータ(例えば、本実施例におけるエアシリンダ40)とを備え、研磨パッド部材を回転させた状態で押圧アクチュエータにより保持装置を下方に押圧して研磨対象物の表面を研磨面に押し付け、研磨対象物の研磨を行う研磨装置において、押圧アクチュエータが、研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容する平面ベアリング(例えば、本実施例におけるXYテーブル50)を介して、固定支持部材(例えば、本実施例における水平アーム13)に支持されていることを特徴とする。
【0011】
このような構成により、研磨対象物の表面(被研磨面)と研磨面とが接触するときに発生する摩擦力により押圧アクチュエータの中心軸に対する保持装置の中心軸の位置が所定位置関係(ほぼ一致)よりずれても、平面ベアリングによって押圧アクチュエータはこの軸ズレに随時応答することができる。その結果、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面に対する偏荷重をなくして被研磨面と研磨面との接触圧(研磨圧)を一定に保ち、高い研磨精度を得ることができる。
【0012】
なお、平面ベアリングは、固定支持部材に取り付けられたベース部材と、これに対向するセンタ部材と、ベース部材とセンタ部材との間に設けられベース部材に対してセンタ部材を研磨面と平行な所定直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレールと、センタ部材に対向するテーブル部材と、センタ部材とテーブル部材との間に設けられセンタ部材に対してテーブル部材を第1ガイドレールの移動方向と直交する方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレールとから構成され、押圧アクチュエータは、テーブル部材に取り付けられていることが望ましい。
【0013】
このような構成により、被研磨面と研磨面との接触圧を常時一定に保つ制御を応答よく行うことができるので、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面における偏荷重をなくし研磨状態の均一性をより高めることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。まず、本発明の研磨装置1は、図1に示すように、基台10と、水平アーム13と、研磨盤20と、試料ホルダ30と、エアシリンダ40と、XYテーブル50とから構成されている。
【0015】
研磨盤20は、基台10の上面に研磨盤駆動軸11により水平且つ回転自在に支持されており、その上面には研磨パッド21が取り付けられている。
【0016】
試料ホルダ30は、後述するエアシリンダ40のピストンロッド42の下端部に設けられ、研磨対象物Wをワックス等により貼付保持可能であり、研磨対象物Wを保持した状態で被研磨面を研磨面に当接させるように研磨パッド21の上に載置される。試料ホルダ30は、図2にも示すように、外周に接している2個の支持ローラ31によって回転自在に支持されており、研磨パッド21の上に載置するだけで研磨パッド21(研磨盤20)の外側aの周速と内側bの周速との差によって自転する。なお、この支持ローラ31は、適度な可撓性を有しており、微小な弾性変形することが可能である。また、研磨パッド21の上面側には、図示していない研磨剤供給装置よりスラリー(研磨剤)が供給されるようになっている。
【0017】
基台10の上面には、上記の研磨盤駆動軸11の側方に支柱12が垂直に延びた状態で設けられており、この支柱14は水平アーム13が固定された第1移動ステージ14を上下方向移動自在に支持している。水平アーム13は研磨盤20の上方を水平に延びており、水平アームの中心軸Mとエアシリンダ40の中心軸40m及び試料ホルダ30の中心軸30mとが一致するように、エアシリンダ40を保持するXYテーブル50を支持している。
【0018】
エアシリンダ40は、後述するXYテーブル50のテーブル部材54に取り付けられているシリンダチューブ41と、シリンダチューブ41内を上下方向に移動自在なピストンロッド42とから構成されている。ピストンロッド42の下端部には、試料ホルダ30がエアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸30mが一致するように取り付けられている。このような構成のエアシリンダ40は、試料ホルダ30を研磨パッド21に載置した状態で、シリンダチューブ41に図示しない空気圧送ラインから圧縮空気を供給してピストンロッド42を伸長作動すなわち下動させることにより、試料ホルダ30を研磨パッド21の研磨面に載置した状態で下方に押圧することができる。
【0019】
XYテーブル50は、図3及び図4に示すように、水平アーム13に取り付けられたベース部材51と、これに対向するセンタ部材52と、ベース部材51とセンタ部材52との間に設けられベース部材51に対してセンタ部材52を研磨パッド21と平行な矢印Xで示す直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレール53と、センタ部材52に対向するテーブル部材54と、センタ部材52とテーブル部材54との間に設けられセンタ部材52に対してテーブル部材54を第1ガイドレール53の移動方向と直交する矢印Yで示す方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレール55とから構成されている。
【0020】
なお、ベース部材51、センタ部材52及びテーブル部材54は、その中心にエアシリンダ40のシリンダロッド42の径よりも大きい径を有する孔Hが形成されており、テーブル部材54に固定されたシリンダチューブ41より下方へ垂直に延びたシリンダロッド42が、センタ部材52及びベース部材51に設けられた孔Hを貫通して、その先端に取り付けられた試料ホルダ30を押圧することができるようになっている。
【0021】
第1ガイドレール53及び第2ガイドレール55は、図5に示すように、キャリア61aによって円筒コロ61bが保持されているコロ部材61と、V字溝62aが形成された一対のレール62とから構成されている。なお、第1ガイドレール53においては、一対のレール62のうち片方がベース部材51に、もう一方がセンタ部材52にボルトBにより固定されている(図4(a)参照)。また、第2ガイドレール55においても第1ガイドレール53と同様に、一対のレール62のうち片方がセンタ部材52に、もう一方がテーブル部材54にボルトBにより固定されている(図4(b)参照)。このような構成により、第1ガイドレール53は、ベース部材51とセンタ部材52に固定された一対のレール62に形成されたV字溝の間にコロ部材61を挟持して、ベース部材51とセンタ部材52とがX方向に相対スライド移動できるようになっている。同様に、第2ガイドレール55は、センタ部材52とテーブル部材52に固定された一対のレール62に形成されたV字溝の間にコロ部材61を挟持して、センタ部材52とテーブル部材54がY方向に相対スライド移動できるようになっている。
【0022】
XYテーブル50は、上記のような構成により、エアシリンダ40を研磨パッド21に対する垂直方向への移動は規制して研磨パッド21に対する平行方向への移動(すなわち、矢印X及び矢印Y方向)は許容するので、研磨時に研磨面と被研磨面の間で生じる摩擦力の増減やこの摩擦力により発生した支持ローラ31の弾性変形等により起こるエアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸との軸ズレを吸収することができる。
【0023】
このような構成の研磨装置1は、研磨盤20(すなわち研磨パッド21)を回転させた状態でエアシリンダ40により試料ホルダ30を下方に押圧して、研磨対象物Wの表面を研磨パッド21に押し付け、研磨対象物Wの研磨を行う。
【0024】
ここで、研磨対象物Wの表面(被研磨面)は、研磨剤の供給を受けつつ、試料ホルダ30(すなわち研磨対象物W自身)の回転運動及び研磨盤20(すなわち研磨パッド21)の回転運動により満遍なく研磨され平坦化される。しかしながら、研磨時に研磨面と被研磨面の間で生じる摩擦力の増減やこの摩擦力による支持ローラ31の弾性変形等により、エアシリンダ40の中心軸40mと試料ホルダ30の中心軸30mとが一致せず、軸ズレが発生することがある。
【0025】
このとき、XYテーブル50は、エアシリンダ40を研磨パッド21に対する垂直方向への移動は規制して研磨パッド21に対する平行方向への移動は許容して上記の軸ズレに随時応答することができるため、常にエアシリンダ40は試料ホルダ30の中心を押圧することができる。その結果、研磨対象物Wの被研磨面に対する偏荷重をなくし、被研磨面及び研磨パッド21の研磨面にほぼ均一な圧力を付与することができるため、より高い研磨精度を得ることができる。
【0026】
なお、本発明は上記実施例に限られるものではなく、適宜改良可能である。例えば、上記では研磨対象物Wをワックス等により貼付保持しているが、減圧装置により吸着保持するように構成してもよい。また、上記実施例では、研磨パッド21の外側の周速と内側の周速との差により試料ホルダ30(研磨対象物W)は自転しているが、試料ホルダ30に回転力を付与する強制駆動装置を設けてもよい。上記実施例では、試料ホルダ30の中心軸30mは水平アーム13の中心軸Mと一致するように水平アーム13に固定されているが、試料ホルダ30(研磨対象物W)を研磨パッド21の研磨面上を水平方向及び回転方向に移動自在に支持する揺動装置を設けてもよい。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、研磨パッド部材を回転させた状態で押圧アクチュエータにより保持装置を下方に押圧して研磨対象物の表面を研磨面に押し付け、研磨対象物の研磨を行う研磨装置において、押圧アクチュエータが、研磨面に対する垂直方向への移動は規制して研磨面に対する平行方向への移動は許容する平面ベアリングを介して、固定支持部材に支持されて構成されている。
【0028】
このような構成により、研磨対象物の表面(被研磨面)と研磨面とが接触するときに発生する摩擦力により押圧アクチュエータに対する保持装置の位置が所定位置よりずれても、平面ベアリングによって押圧アクチュエータはその保持装置の位置のずれに随時応答することができる。その結果、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面に対する偏荷重をなくして被研磨面と研磨面との接触圧(研磨圧)を一定に保ち、高い研磨精度を得ることができる。
【0029】
なお、平面ベアリングは、固定支持部材に取り付けられたベース部材と、これに対向するセンタ部材と、ベース部材とセンタ部材との間に設けられベース部材に対してセンタ部材を研磨面と平行な所定直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレールと、センタ部材に対向するテーブル部材と、センタ部材と前記テーブル部材との間に設けられセンタ部材に対してテーブル部材を第1ガイドレールの移動方向と直交する方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレールとから構成され、押圧アクチュエータはテーブル部材に取り付けられて構成されることが望ましい。
【0030】
このような構成により、被研磨面と研磨面との接触圧を常時一定に保つ制御を応答よく行うことができるので、押圧アクチュエータは常に保持装置の中心に加圧することができるため、被研磨面における偏荷重をなくし研磨状態の均一性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研磨装置を示す側面図である。
【図2】上記研磨装置の試料ホルダの周辺部を示す部分拡大図である。
【図3】上記研磨装置のXYテーブルを示す斜視図である。
【図4】上記XYテーブルを図3の矢印IVの方向から見た側面図である。
【図5】第1ガイドレール及び第2ガイドレールの構成を示す斜視図である。
【図6】従来の研磨装置の例を示す説明図である。
【図7】従来の研磨装置の例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 研磨装置
10 基台
13 水平アーム (固定支持部材)
20 研磨盤 (研磨パッド部材)
21 研磨パッド (研磨パッド部材)
30 試料ホルダ (保持装置)
40 エアシリンダ(押圧アクチュエータ)
50 XYテーブル(平面ベアリング)
51 ベース部材
52 センタ部材
53 第1ガイドレール
54 テーブル部材
55 第2ガイドレール
W 研磨対象物
Claims (2)
- 基台と、前記基台に回転自在に支持されてその上面に研磨面を有した研磨パッド部材と、研磨対象物を保持可能であり前記研磨対象物を保持した状態で被研磨面を前記研磨面に当接させるようにして前記研磨パッド部材の上に載置される保持装置と、前記保持装置を前記研磨面に載置した状態で下方に押圧する押圧アクチュエータとを備え、前記研磨パッド部材を回転させた状態で前記押圧アクチュエータにより前記保持装置を下方に押圧して前記研磨対象物の表面を前記研磨面に押し付け、前記研磨対象物の研磨を行う研磨装置において、前記押圧アクチュエータが、前記研磨面に対する垂直方向への移動は規制して前記研磨面に対する平行方向への移動は許容する平面ベアリングを介して、固定支持部材に支持されていることを特徴とする研磨装置。
- 前記平面ベアリングは、前記固定支持部材に取り付けられたベース部材と、これに対向するセンタ部材と、前記ベース部材と前記センタ部材との間に設けられ前記ベース部材に対して前記センタ部材を前記研磨面と平行な所定直線方向へスライド移動可能に支持する第1ガイドレールと、前記センタ部材に対向するテーブル部材と、前記センタ部材と前記テーブル部材との間に設けられ前記センタ部材に対して前記テーブル部材を前記第1ガイドレールの移動方向と直交する方向へスライド移動可能に支持する第2ガイドレールとから構成され、
前記押圧アクチュエータは、前記テーブル部材に取り付けられていることを特徴とする特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
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2002
- 2002-11-01 JP JP2002319553A patent/JP2004148479A/ja active Pending
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