JP2015149390A - インプリント装置、型、および物品の製造方法 - Google Patents

インプリント装置、型、および物品の製造方法 Download PDF

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017147343A (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置および物品製造方法
WO2017145924A1 (ja) * 2016-02-26 2017-08-31 キヤノン株式会社 インプリント装置およびその動作方法ならびに物品製造方法
JP2017157821A (ja) * 2016-02-29 2017-09-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
WO2017149992A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP2018082128A (ja) * 2016-11-18 2018-05-24 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP2018088511A (ja) * 2016-02-26 2018-06-07 キヤノン株式会社 インプリント装置およびその動作方法ならびに物品製造方法
KR20180138166A (ko) 2017-06-19 2018-12-28 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 및 물품 제조 방법
KR20190018391A (ko) 2017-08-14 2019-02-22 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
US12463042B2 (en) 2022-05-31 2025-11-04 Canon Kabushiki Kaisha Planarization system and method

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02178913A (ja) * 1988-12-29 1990-07-11 Nec Corp ホトマスク
JPH05289313A (ja) * 1992-04-15 1993-11-05 Rohm Co Ltd ガラスマスク
JP2009023113A (ja) * 2007-07-17 2009-02-05 Dainippon Printing Co Ltd インプリントモールド
JP2009241372A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Hitachi High-Technologies Corp 微細構造転写装置
JP2011040464A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Canon Inc 異物除去装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2011224965A (ja) * 2010-03-31 2011-11-10 Toshiba Corp テンプレートの表面処理方法及び装置並びにパターン形成方法
JP2012504336A (ja) * 2008-09-30 2012-02-16 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド インプリント・リソグラフィ用の粒子削減
JP2012504865A (ja) * 2008-10-02 2012-02-23 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング
JP2013000961A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Panasonic Corp ロール金型の製造方法と光学フィルムの製造方法、並びに、ロール金型と光学フィルム
JP2013022807A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Hitachi High-Technologies Corp 微細構造転写装置及びスタンパ移送方法
JP2014175340A (ja) * 2013-03-06 2014-09-22 Dainippon Printing Co Ltd インプリント方法、インプリント用のモールドおよびインプリント装置

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02178913A (ja) * 1988-12-29 1990-07-11 Nec Corp ホトマスク
JPH05289313A (ja) * 1992-04-15 1993-11-05 Rohm Co Ltd ガラスマスク
JP2009023113A (ja) * 2007-07-17 2009-02-05 Dainippon Printing Co Ltd インプリントモールド
JP2009241372A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Hitachi High-Technologies Corp 微細構造転写装置
JP2012504336A (ja) * 2008-09-30 2012-02-16 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド インプリント・リソグラフィ用の粒子削減
JP2012504865A (ja) * 2008-10-02 2012-02-23 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング
JP2011040464A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Canon Inc 異物除去装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2011224965A (ja) * 2010-03-31 2011-11-10 Toshiba Corp テンプレートの表面処理方法及び装置並びにパターン形成方法
JP2013000961A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Panasonic Corp ロール金型の製造方法と光学フィルムの製造方法、並びに、ロール金型と光学フィルム
JP2013022807A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Hitachi High-Technologies Corp 微細構造転写装置及びスタンパ移送方法
JP2014175340A (ja) * 2013-03-06 2014-09-22 Dainippon Printing Co Ltd インプリント方法、インプリント用のモールドおよびインプリント装置

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170096961A (ko) * 2016-02-17 2017-08-25 캐논 가부시끼가이샤 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법
KR102091908B1 (ko) 2016-02-17 2020-03-20 캐논 가부시끼가이샤 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법
JP2017147343A (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置および物品製造方法
US11036149B2 (en) 2016-02-26 2021-06-15 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus, method of operating the same, and method of manufacturing article
WO2017145924A1 (ja) * 2016-02-26 2017-08-31 キヤノン株式会社 インプリント装置およびその動作方法ならびに物品製造方法
KR102115879B1 (ko) * 2016-02-26 2020-05-27 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 그 동작 방법 및 물품 제조 방법
JP2018088511A (ja) * 2016-02-26 2018-06-07 キヤノン株式会社 インプリント装置およびその動作方法ならびに物品製造方法
KR20180115286A (ko) * 2016-02-26 2018-10-22 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 그 동작 방법 및 물품 제조 방법
CN108701585A (zh) * 2016-02-26 2018-10-23 佳能株式会社 压印装置、操作压印装置的方法和制造物品的方法
TWI680050B (zh) * 2016-02-26 2019-12-21 日商佳能股份有限公司 壓印裝置及其動作方法以及物品製造方法
CN108701585B (zh) * 2016-02-26 2023-09-26 佳能株式会社 压印装置、操作压印装置的方法和制造物品的方法
JP2017157821A (ja) * 2016-02-29 2017-09-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
KR102134212B1 (ko) * 2016-02-29 2020-07-15 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법
KR20180118684A (ko) * 2016-02-29 2018-10-31 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법
WO2017149992A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP2018082128A (ja) * 2016-11-18 2018-05-24 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP2019004116A (ja) * 2017-06-19 2019-01-10 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法
KR20180138166A (ko) 2017-06-19 2018-12-28 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 및 물품 제조 방법
KR20190018391A (ko) 2017-08-14 2019-02-22 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
US12463042B2 (en) 2022-05-31 2025-11-04 Canon Kabushiki Kaisha Planarization system and method

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