JP2020013890A - インプリント装置およびその制御方法、ならびに物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】異物の除去性能の点で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】インプリント装置は、型を保持する型保持部と、基板を保持する基板保持部と、基板保持部により保持された基板の上にインプリント材を供給するインプリント材供給部と、型とインプリント材供給部との間の位置に設けられ、帯電することにより異物を引きつけて捕捉する捕捉部と、基板保持部の下方に配置され、基板保持部に形成されている開口および基板を介して電磁波を照射する照射部と、照射部による電磁波の照射を制御する制御部とを有する。制御部は、インプリント材供給部によりインプリント材の供給が行われている間は照射部による電磁波の照射をON状態にし、インプリント材供給部によるインプリント材の供給の完了に伴い、照射部による電磁波の照射をOFF状態にする照射制御を行う。【選択図】 図1
Description
本発明は、インプリント装置およびその制御方法、ならびに物品製造方法に関する。
インプリント装置は、シリコンウエハやガラスプレート等の基板の上のインプリント材と型とを接触させた状態でインプリント材を硬化させ、硬化したインプリント材から型を剥離することによって基板上にインプリント材のパターンを形成する。
インプリント装置では、硬化したインプリント材から型を剥離する際に型が帯電する剥離帯電という現象が起こる。このような剥離帯電が起こると、周囲の異物(パーティクル)が型に引き寄せられて付着しうる。
また、インプリント装置では、インプリント材と型とを接触させる前に、基板をインプリント材供給部の位置へ移動させてから基板にインプリント材が供給される。その後、基板をインプリント位置へ移動させ、インプリント処理が行われる。ここで、インプリント材供給部とそこから供給されるインプリント材との間の摩擦によって、インプリント材自体の帯電が発生する可能性がある。また、インプリント材供給部から断続的に供給されるインプリント材の液滴が微粒子であることに起因するレナード効果等によっても、インプリント材自体の帯電が発生する可能性がある。基板上のインプリント材が帯電した場合、基板をインプリント材供給部の位置からインプリント位置へ移動させる際に、周囲のパーティクルがインプリント材に引き寄せられて付着しうる。
こうして型やインプリント材に異物が付着した状態で型とインプリント材とを接触させてしまうと、形成されたパターンに欠陥が生じたり、型が破損したりしうる。
これに対する従来技術としては、浮遊するパーティクル、あるいは型や基板に付着しているパーティクルを、帯電プレートを用いてその静電気力により捕捉して除去するものがある。また、型に異物が付着するのを防止するために、帯電した装置内の異物や型に対して除電を行うことが提案されている(例えば特許文献1参照)。除電は、例えばイオナイザーを用いて行われる。
型に異物が付着する確率をさらに下げるべく、上記した帯電プレートによる異物の捕捉とイオナイザーによる型の除電とを併用することも考えられる。しかしこの場合、イオナイザーにより発生したイオンが帯電プレートに引き寄せられ、帯電プレートに異物を引き寄せる静電気力が低下する可能性がある。したがって、帯電プレートによる異物の捕捉とイオナイザーによる型の除電とを併用する場合には、両者の効果を打ち消し合わないような制御が必要である。
本発明は、例えば、異物の除去性能の点で有利なインプリント装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面によれば、型を基板の上のインプリント材に接触させて前記基板の上にパターンを形成するインプリント装置であって、前記型を保持する型保持部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部により保持された前記基板の上に前記インプリント材を供給するインプリント材供給部と、前記型と前記インプリント材供給部との間の位置に設けられ、帯電することにより異物を引きつけて捕捉する捕捉部と、前記基板保持部の下方に配置され、前記基板保持部に形成されている開口および前記基板を介して電磁波を照射する照射部と、前記照射部による電磁波の照射を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記インプリント材供給部により前記インプリント材の供給が行われている間は前記照射部による電磁波の照射をON状態にし、前記インプリント材供給部による前記インプリント材の供給の完了に伴い、前記照射部による前記電磁波の照射をOFF状態にする照射制御を行うことを特徴とするインプリント装置が提供される。
本発明によれば、例えば、異物の除去性能の点で有利なインプリント装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下の実施形態は本発明の実施の具体例を示すにすぎないものであり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、以下の実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の課題解決のために必須のものであるとは限らない。
<第1実施形態>
まず、実施形態に係るインプリント装置の概要について説明する。インプリント装置は、基板上に供給されたインプリント材を型と接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する装置である。
まず、実施形態に係るインプリント装置の概要について説明する。インプリント装置は、基板上に供給されたインプリント材を型と接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する装置である。
インプリント材としては、硬化用のエネルギーが与えられることにより硬化する硬化性組成物(未硬化状態の樹脂と呼ぶこともある)が用いられる。硬化用のエネルギーとしては、電磁波、熱等が用いられうる。電磁波は、例えば、その波長が10nm以上1mm以下の範囲から選択される光、例えば、赤外線、可視光線、紫外線などでありうる。硬化性組成物は、光の照射により、あるいは、加熱により硬化する組成物でありうる。これらのうち、光の照射により硬化する光硬化性組成物は、少なくとも重合性化合物と光重合開始剤とを含有し、必要に応じて非重合性化合物または溶剤を更に含有してもよい。非重合性化合物は、増感剤、水素供与体、内添型離型剤、界面活性剤、酸化防止剤、ポリマー成分などの群から選択される少なくとも一種である。インプリント材は、後述のインプリント材供給部により、液滴状、或いは複数の液滴が繋がってできた島状又は膜状となって基板上に配置されうる。インプリント材の粘度(25℃における粘度)は、例えば、1mPa・s以上100mPa・s以下でありうる。基板の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、金属、半導体、樹脂等が用いられうる。必要に応じて、基板の表面に、基板とは別の材料からなる部材が設けられてもよい。基板は、例えば、シリコンウエハ、化合物半導体ウエハ、石英ガラスである。
図1は、本実施形態におけるインプリント装置の概略構成を示す。上述したように、インプリント技術においては、基板(例えば、デバイス製造用の半導体ウエハ)の上に供給されたインプリント材と型(モールド、テンプレート)とを直接接触させることが必要である。このような接触により、型に欠陥が生じるおそれがあるため、型には寿命がある。そこで、典型的には、まず最初に例えば電子ビーム技術によりガラスや石英のようなテンプレート基板にパターンを形成して、マスターモールドが作製される。通常、このマスターモールドはデバイス製造用の半導体ウエハ上にパターンを形成するのには使用されず、その代わりに、モールド複製処理により1つ以上のレプリカモールドを作製し、そのレプリカモールドを用いて半導体ウエハ上にパターンを形成する。
このようなモールド複製処理は、上記のようなインプリント技術を取り込んで行うことができる。したがって、図1に示すインプリント装置1は、デバイス製造用の基板にインプリントを行う他、マスターモールドに形成されているパターンをレプリカ基板に転写することによりレプリカモールドを作製するものに転用が可能である。本実施形態では、インプリント装置1によりレプリカモールドを作製することに関して説明する。本実施形態において、インプリント装置1は、光(紫外線)の照射によってインプリント材を硬化させる光硬化法を採用するものとする。なお、本実施形態では、図1に示すように、被処理物である基板の表面に沿う平面内で互いに直交する方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向(例えば基板上のインプリント材に対して照射する紫外線の光軸に平行な方向)をZ軸とする。
本実施形態において、レプリカモールドとなるレプリカ基板は、インプリント処理によってマスターモールドの複製となるブランクモールドであり、例えば、石英などの紫外線を透過する素材が用いられる。以下では、レプリカ基板のことを単に「基板」という。
図1において、硬化部20は、インプリント処理において、基板2上のインプリント材8を硬化させるためにインプリント材8に対して紫外線21を照射する。したがって硬化部20は、光源と、この光源から照射された紫外線21をインプリント処理に適切な光に調整する光学素子とを含みうる。
マスターモールドとなる型4は、外周形状が例えば矩形であり、基板2に対向する面に例えば回路パターンなどの転写すべきパターンが形成されたパターン部5を含む。型4の材質には、石英などの紫外線21を透過させる素材が用いられる。
型保持部6は、型4を保持して型4を移動させる駆動機構を有する。型保持部6は、型4における紫外線21の照射面の外周領域を真空吸着力や静電力により引き付けることで型4の保持が可能である。型保持部6は、型4と基板2上のインプリント材8との接触または分離を選択的に行うように型4を各軸方向に移動させる。また、型保持部6は、型4の高精度な位置決めに対応するために、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系を有していてもよい。さらに、Z軸方向だけでなく、X軸方向やY軸方向、または各軸の回転方向であるθ方向の位置調整機能や、型4の傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。なお、インプリント装置1における接触および分離の動作は、型4をZ軸方向に移動させることで実現してもよいが、後述の基板ステージ3をZ軸方向に移動させることで実現してもよく、または、その双方を相対的に移動させてもよい。型保持部6によって型4が配置される領域の周辺には、型4の側面を取り囲むように型周辺部材9が配置されている。ただし、型周辺部材9は、このように型保持部6とは別の部材であってもよいが、型保持部6そのものであってもよい。
基板ステージ3は、基板保持部14を介して基板2を支持し、型4と基板2上のインプリント材8とを接触させるに際して型4とインプリント材8との位置合わせを実施する。また、基板ステージ3は、各軸方向に移動可能とするステージ駆動機構(不図示)を有する。ステージ駆動機構は、X軸およびY軸の各方向に対して、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成されていてもよい。さらに、Z軸方向の位置調整のための駆動系や、基板2のθ方向(Z軸に対する回転方向)の位置調整機能、または基板2の傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。定盤16は、基板ステージ3を載置し、基板ステージ3の移動を案内する。基板ステージ3上の基板2が配置される領域の周辺には、基板2の側面を取り囲むように、基板周辺部材10が配置されている。基板周辺部材10は、基板2の上面と等しい高さの上面を有しうる。
インプリント材供給部7は、型保持部6の側方に配置され、基板2上にインプリント材8(未硬化状態の樹脂)を供給する。インプリント材供給部7からのインプリント材8の供給量は、基板2上に形成されるインプリント材8の目標の厚さや、形成されるパターンの密度などにより適宜決定される。
ガス供給部11は、型4を取り囲むように型周辺部材9に配置されうる。ガス供給部11は、基板2と型4との間の空間にパージガスを供給する。パージガスとしては、インプリント材8の硬化を阻害しないガス、例えば、ヘリウムガス、窒素ガスおよび凝縮性ガス(例えば、ペンタフルオロプロパン(PFP))の少なくとも1つを含むガスが使用されうる。型周辺部材9、基板周辺部材10が設けられた構成は、基板2と型4との間の空間を効率的にパージガスで満たすために有利である。
捕捉部13は、帯電することにより異物を引きつけて捕捉する帯電プレートを含む。捕捉部13は、型4と基板2との間の空間に設けられ、その空間、とくに基板周辺部材10、および、その周辺の異物を静電気力により引きつけて捕捉するクリーニング処理を行う。クリーニング処理は、制御部100が捕捉部13の駆動を制御することによってなされうる。捕捉部13は、型4とインプリント材供給部7との間の位置、例えば型周辺部材9に設けられる。このとき、捕捉部13は、型4とほぼ同一の高さで型4の周辺に配置され、不図示の電源に接続されている。この捕捉部13には、インプリント装置1の接地電位を基準とした電圧をプラス側、マイナス側のどちらでも印加することが可能となっている。捕捉部13の電極は銅箔等の導体で構成され、その表面は酸化等の劣化、高電圧印加時の放電、発塵を防ぐためにポリイミド等のインプリント材フィルムで覆われている。
クリーニング処理は、捕捉部13を基板周辺部材10と対向した状態で電圧を印加し、静電気力によって基板周辺部材10に対して弱い付着力で吸着している異物を離脱させ、捕捉部13に吸着させることで行われる。例えば、パターン部5が剥離帯電によってマイナス側に帯電し、基板周辺部材10に対して電界E0が発生する場合、制御部100は、インプリント処理の前に捕捉部13にマイナス側の電圧を印加し、基板周辺部材10に対して電界Eを発生させる。このとき、制御部100は、電界Eが電界E0より大きくなるように捕捉部13に印加する電圧を制御する。その結果、本来、電界E0で離脱しパターン部5に付着する可能性のある基板周辺部材10上の異物を、予め捕捉部13に吸着させることができる。これにより、剥離帯電したパターン部5に異物が付着するのを防ぐことができる。
制御部100は、インプリント装置1の各構成要素の動作および調整などを制御しうる。制御部100は、例えばCPUおよびメモリを含むコンピュータにより構成され、インプリント装置1の各構成要素に回線を介して接続され、プログラムに従って各構成要素の制御を実行する。なお、制御部100は、インプリント装置1の他の部分と一体で(共通の筐体内に)構成されてもよいし、インプリント装置1の他の部分とは別体で(別の筐体内に)構成されてもよい。
インプリント処理は、制御部100による制御の下、次のように行われる。まず、インプリント材供給部7により、基板2上にインプリント材8が供給される。次に、基板ステージ3により、型4と基板2とが所定の位置関係に位置決めされる。次に、例えば型保持部6を−Z方向に移動させることで、パターン部5をインプリント材8に接触させる。次に、パターン部5をインプリント材8に接触させた状態で、硬化部20によりインプリント材8を硬化させる。最後に、例えば型保持部6を+Z方向に移動させることで、パターン部5を硬化したインプリント材8から剥離する。このようなインプリント処理により、基板2上にインプリント材8のパターンが形成される。
インプリント装置1は、半導体デバイスを製造するための清浄な環境内に置かれるが、異物の発生を完全に無くすのは困難である。インプリント装置を構成する材料自身、材料同士の摺動、インプリント装置外からの持ち込み等によって、パーティクル等の異物が発生しうる。基板2、インプリント材8、あるいはパターン部5に、異物が付着した状態でパターン部5をインプリント材8に接触させてしまうと、パターン欠陥が発生する、あるいは、パターン部5を破損する可能性がある。特に、マスターモールドである型4を複製してレプリカモールドを作製する場合には、マスターモールド自体が非常に高価であるため、パターン部5の破損を避けることはきわめて重要である。
そこで、インプリント装置1は、帯電したインプリント材8に対して除電を行うために、型4と基板2との間の空間にイオンを発生させるべく電磁波を供給する照射部12を備える。本実施形態において、照射部12は、基板保持部14の下方に配置され、基板保持部14に形成されている開口および基板2を介して電磁波を照射する。本実施形態において、基板2は、前述したとおり、レプリカモールドとなるものであり、石英などの素材であるから、難なく電磁波を透過させることができる。
照射部12は、イオナイザーとも呼ばれる。イオナイザーには、コロナ放電方式、エネルギー線(例えば、X線などの電磁波や、α線)照射方式等、いくつかの種類が存在する。一般に、コロナ放電方式はそれ自体がパーティクル発生要因になる可能性があるため、清浄度を保って除電を行うことができるX線照射方式やα線照射方式を採用するとよい。帯電したパターン部5に、直接、X線やα線を照射するとパターン部5の下でイオンが発生し、除電される。一般的にα線は飛程が短く、線源から数cmで消失してしまう。X線はエネルギーにも依存するが、線源から数十cm〜数mまで到達する。そのため、一つの照射線源である程度の範囲を除電したい場合は、X線照射方式の方が有利である。また、高エネルギーX線照射方式を使用することで、インプリント材8が供給される部分の基板2の厚み1mm程度の透過は可能である。図1の例では、照射部12として高エネルギーX線照射方式のイオナイザーを、基板2を保持する側の基板ステージ3上の基板保持部14に形成されている開口の内部に配置されている。
次に、制御部100による照射部12の照射制御に係るインプリント装置の制御方法について説明する。図2は、除電方法を示すフローチャートである。図2に示すフローチャートにおける各工程は、制御部100によって行われうる。
S11では、制御部100は、照射部12による電磁波の照射をOFF状態にしておく。
S12では、制御部100は、不図示の基板搬送機構により、基板2を基板保持部14に搬送する。このとき、制御部100は、基板2の搬送位置を正確に認識するため、不図示のアライメント機構により、基板保持部14に対する基板2の搬送位置を計測するようにしてもよい。その後、基板2は基板保持部14によって保持される。
S13では、制御部100は、基板ステージ3を駆動させて、インプリント材供給部7の位置に基板2を搬送する。このときの基板ステージ3の駆動制御には、S12で計測した搬送位置情報が使用されうる。
S14では、制御部100は、照射部12の電磁波照射をONする。
S12では、制御部100は、不図示の基板搬送機構により、基板2を基板保持部14に搬送する。このとき、制御部100は、基板2の搬送位置を正確に認識するため、不図示のアライメント機構により、基板保持部14に対する基板2の搬送位置を計測するようにしてもよい。その後、基板2は基板保持部14によって保持される。
S13では、制御部100は、基板ステージ3を駆動させて、インプリント材供給部7の位置に基板2を搬送する。このときの基板ステージ3の駆動制御には、S12で計測した搬送位置情報が使用されうる。
S14では、制御部100は、照射部12の電磁波照射をONする。
S15では、電磁波の照射がONされた状態で、制御部100は、インプリント材供給部7を制御して基板2へインプリント材8を供給する。このとき、インプリント材供給部7が供給可能な領域に対して広い範囲に対して供給する必要があるため、基板ステージ3を定速で駆動させ、かつ、インプリント材供給部7と同期を取りながら、インプリント材8を所定の位置へ供給する。インプリント材の供給時には、インプリント材供給部7とそこから供給されるインプリント材8との間の摩擦によって、インプリント材8自体の帯電が発生する可能性がある。また、インプリント材供給部7から断続的に供給されるインプリント材8の液滴が微粒子であることに起因するレナード効果等によっても、インプリント材8自体の帯電が発生する可能性がある。しかし、照射部12は、インプリント材8が供給される基板2の裏側に配置されているため、インプリント材8が供給される空間に対して、照射部12からの電磁波15によりイオンが供給されている状態になっており、除電が可能である。
また、レプリカモールドを作製することを目的としたインプリント装置では、基板2と型4との接触は1ポジション(1ショット)でしか行われない。そのため、照射部12を、基板ステージ3上に複数配置しなくても、効率的にインプリント材8が供給される空間にイオンを供給することが可能である。
S16では、制御部100は、基板2へのインプリント材8の供給の完了に伴い、照射部12による電磁波の照射をOFFする。
S17では、電磁波の照射がOFFされた状態で、制御部100は、基板2上のインプリント材と型4との接触が行われるインプリント位置に基板ステージ3(すなわち基板2)を搬送する。このとき、インプリント材8は除電されているため、基板2がインプリント材供給部7の位置からインプリント位置までの移動の間に、空間に存在するパーティクルがインプリント材8上に付着する可能性を低減できる。その結果、インプリント材8にパーティクルが付着した状態で、パターン部5を接触させてしまうことによる、パターン欠陥の発生、あるいは、パターン部5を破損させる可能性を低減することができる。
S17では、電磁波の照射がOFFされた状態で、制御部100は、基板2上のインプリント材と型4との接触が行われるインプリント位置に基板ステージ3(すなわち基板2)を搬送する。このとき、インプリント材8は除電されているため、基板2がインプリント材供給部7の位置からインプリント位置までの移動の間に、空間に存在するパーティクルがインプリント材8上に付着する可能性を低減できる。その結果、インプリント材8にパーティクルが付着した状態で、パターン部5を接触させてしまうことによる、パターン欠陥の発生、あるいは、パターン部5を破損させる可能性を低減することができる。
S16で照射部12の電磁波照射をOFFする理由について説明する。捕捉部13は、帯電することにより異物を引き付ける帯電プレートを含む。そのため、照射部12の電磁波照射をON状態のままにすると、帯電プレートが存在する空間にもイオンを多数供給してしまう可能性がある。その結果、供給されたイオンにより帯電プレート自体を除電してしまい、捕捉部13のクリーニング処理能力が低下させて可能性があるためである。
上述したように、本実施形態のインプリント装置1により、インプリント材供給部7によるインプリント材8の供給開始から型4と基板2上のインプリント材が接触するまでの間のパーティクルがインプリント材8に付着する可能性を低減できる。そして、インプリント材8にパーティクルが付着した状態で、パターン部5を接触させてしまうことによる、パターン欠陥の発生、あるいは、パターン部5を破損させる可能性を低減することができる。
<第2実施形態>
図3に、第2実施形態におけるインプリント装置1を示す。第1実施形態に係る図1では、照射部12は、基板ステージ3に設けられていた。これに対し本実施形態では、図3に示すように、照射部12は、定盤16に設けられている。また、基板ステージ3には、照射部12から照射された電磁波15が通過する開口が設けられている。そのため、定盤16に設けられた照射部12は、基板ステージ3によって保持された基板2がインプリント材供給部7の下に配置されたときにインプリント材供給部7から供給されるインプリント材8に対して電磁波15を照射できる。このように、第2実施形態におけるインプリント装置1は、少なくともインプリント材供給部7からインプリント材8が供給されているときに電磁波15を照射できる。このような構成としても、インプリント材供給部7によるインプリント材8の供給開始から型4と基板2上のインプリント材とが接触するまでの間のパーティクルがインプリント材8に付着する可能性を低減できる。
図3に、第2実施形態におけるインプリント装置1を示す。第1実施形態に係る図1では、照射部12は、基板ステージ3に設けられていた。これに対し本実施形態では、図3に示すように、照射部12は、定盤16に設けられている。また、基板ステージ3には、照射部12から照射された電磁波15が通過する開口が設けられている。そのため、定盤16に設けられた照射部12は、基板ステージ3によって保持された基板2がインプリント材供給部7の下に配置されたときにインプリント材供給部7から供給されるインプリント材8に対して電磁波15を照射できる。このように、第2実施形態におけるインプリント装置1は、少なくともインプリント材供給部7からインプリント材8が供給されているときに電磁波15を照射できる。このような構成としても、インプリント材供給部7によるインプリント材8の供給開始から型4と基板2上のインプリント材とが接触するまでの間のパーティクルがインプリント材8に付着する可能性を低減できる。
<第3実施形態>
上述の実施形態では、インプリント装置1によりレプリカモールドを作製することに関して説明したが、本実施形態では、インプリント装置1によりデバイス製造用の基板にインプリントを行うことについて説明する。ここでは、基板2における複数のショット領域に対してインプリント処理を行う。図4に、本実施形態におけるインプリント装置1の構成を示す。
上述の実施形態では、インプリント装置1によりレプリカモールドを作製することに関して説明したが、本実施形態では、インプリント装置1によりデバイス製造用の基板にインプリントを行うことについて説明する。ここでは、基板2における複数のショット領域に対してインプリント処理を行う。図4に、本実施形態におけるインプリント装置1の構成を示す。
本実施形態では、基板2における複数のショット領域でインプリント材8が供給されることになる。そのため、図4に示すように、インプリント材供給部7から供給されるインプリント材8に対して電磁波15を照射できるように、複数の照射部12a,12b,12c,12dを基板ステージ3に配置する。また、基板保持部14に、電磁波15を通す開口17を複数設ける。近年ではデバイス製造用の基板も薄型化することが可能になってきており、高エネルギーのX線であれば透過させることが可能である。
制御部100は、例えば、複数の照射部12a,12b,12c,12dのうち、インプリント材供給部7によりインプリント材8を供給する対象のショット領域に対応する照射部を選択する。対象のショット領域に対応する照射部とは、例えば対象のショット領域に最も近い位置に配置されている照射部でありうる。図4に示すように基板の対象ショット領域の上にインプリント材を供給するときに、照射部12dに対して照射制御を行い、その他の照射部12a,12b,12cはOFF状態にする。これにより、第3実施形態におけるインプリント装置は、少なくともインプリント材供給部7からインプリント材8が供給されているときに電磁波15を照射できる。制御部100は、選択した照射部に対して上記した照射制御を行い、その他の照射部については上記の照射制御の間、OFF状態にする。
あるいは、図5に示されるように、インプリント材供給部7からインプリント材8が供給されている間、制御部100は、捕捉部13に対向する位置にある照射部12bからの電磁波15の照射をOFFする。このとき制御部100は、それ以外の照射部12a、12c、12dからの電磁波15の照射をON状態とする。すなわち、制御部100は、複数の照射部のうち、捕捉部13に対向する位置にある照射部を除く照射部を選択し、選択した照射部に対して上記の照射制御を行い、捕捉部13に対向する位置にある照射部については上記の照射制御の間、OFF状態にする。これにより、捕捉部13のクリーニング処理能力の低下を抑制できる。
本実施形態では、基板保持部14に、電磁波15を通すための複数の開口17が形成されている。ただし、照射部12は1つだけとし、複数の開口17のうち、インプリント材供給部7によりインプリント材8を供給する対象のショット領域に対応する開口に照射部12を搬送する機構(駆動部)を更に有してもよい。あるいは、照射部12を複数備え、かつ、上記のような駆動部を備えるような組み合わせの構成にしてもよい。
また、図3のように照射部12を定盤16に設ける構成についても、図5と同様に照射部12を複数にすることが可能である。この場合、インプリント材供給部7と照射部12の位置関係が常に一定となるが、図5の構成と同様に処理することが可能である。
<物品製造方法の実施形態>
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
硬化物のパターンは、上記物品の少なくとも一部の構成部材として、そのまま用いられるか、或いは、レジストマスクとして一時的に用いられる。基板の加工工程においてエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。
次に、図6を参照して、物品製造方法について説明する。工程SAでは、絶縁体等の被加工材2zが表面に形成されたシリコン基板等の基板1zを用意し、続いて、インクジェット法等により、被加工材2zの表面にインプリント材3zを付与する。ここでは、複数の液滴状になったインプリント材3zが基板上に付与された様子を示している。
工程SBでは、インプリント用の型4zを、その凹凸パターンが形成された側を基板上のインプリント材3zに向け、対向させる。工程SCでは、インプリント材3zが付与された基板1zと型4zとを接触させ、圧力を加える。インプリント材3zは型4zと被加工材2zとの隙間に充填される。この状態で硬化用のエネルギーとして光を型4zを介して照射すると、インプリント材3zは硬化する。
工程SDでは、インプリント材3zを硬化させた後、型4zと基板1zを引き離すと、基板1z上にインプリント材3zの硬化物のパターンが形成される。この硬化物のパターンは、型の凹部が硬化物の凸部に、型の凸部が硬化物の凹部に対応した形状になっており、即ち、インプリント材3zに型4zの凹凸パターンが転写されたことになる。
工程SEでは、硬化物のパターンを耐エッチング型としてエッチングを行うと、被加工材2zの表面のうち、硬化物が無いか或いは薄く残存した部分が除去され、溝5zとなる。工程SFでは、硬化物のパターンを除去すると、被加工材2zの表面に溝5zが形成された物品を得ることができる。ここでは硬化物のパターンを除去したが、加工後も除去せずに、例えば、半導体素子等に含まれる層間絶縁用の膜、つまり、物品の構成部材として利用してもよい。
<他の実施形態>
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
1:インプリント装置、2:基板、3:基板ステージ、4:型、5:パターン部、6:型保持部、8:インプリント材、12:電磁波供給部、13:捕捉部、100:制御部
Claims (8)
- 型を基板の上のインプリント材に接触させて前記基板の上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部により保持された前記基板の上に前記インプリント材を供給するインプリント材供給部と、
前記型と前記インプリント材供給部との間の位置に設けられ、帯電することにより異物を引きつけて捕捉する捕捉部と、
前記基板保持部の下方に配置され、前記基板保持部に形成されている開口および前記基板を介して電磁波を照射する照射部と、
前記照射部による電磁波の照射を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記インプリント材供給部により前記インプリント材の供給が行われている間は前記照射部による電磁波の照射をON状態にし、前記インプリント材供給部による前記インプリント材の供給の完了に伴い、前記照射部による前記電磁波の照射をOFF状態にする照射制御を行う
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記インプリント装置は、前記基板保持部を支持して移動する基板ステージを更に有し、
前記照射部は、前記基板ステージに配置される
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記インプリント装置は、
前記基板保持部を支持して移動する基板ステージと、
前記基板ステージを載置し、前記基板ステージの移動を案内する定盤と、
を更に有し、
前記照射部は、前記定盤に配置される
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記照射部を複数備え、
前記制御部は、前記複数の照射部のうち、前記インプリント材供給部により前記インプリント材を供給する対象のショット領域に対応する照射部を選択し、該選択した照射部に対して前記照射制御を行い、その他の照射部については前記照射制御の間、OFF状態にする
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記照射部を複数備え、
前記制御部は、前記複数の照射部のうち、前記捕捉部に対向する位置にある照射部を除く照射部を選択し、該選択した照射部に対して前記照射制御を行い、前記捕捉部に対向する位置にある照射部については前記照射制御の間、OFF状態にする
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記基板保持部には、電磁波を通すための複数の開口が形成されており、
前記インプリント装置は、前記複数の開口のうち、前記インプリント材供給部により前記インプリント材を供給する対象のショット領域に対応する開口に前記照射部を搬送する機構を更に有する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 型を基板の上のインプリント材に接触させて前記基板の上にパターンを形成するインプリント装置の制御方法であって、
インプリント材を供給するインプリント材供給部の位置に前記基板を搬送する工程と、
前記インプリント材供給部と前記基板との間の空間への電磁波の照射をONする工程と、
前記電磁波の照射がONされた状態で、前記インプリント材供給部により前記基板の上にインプリント材を供給する工程と、
前記インプリント材の供給の完了に伴い、前記電磁波の照射をOFFする工程と、
前記電磁波の照射がOFFされた状態で、前記基板を前記接触が行われるインプリント位置に搬送する工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
を有し、前記加工された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018135221A JP2020013890A (ja) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | インプリント装置およびその制御方法、ならびに物品製造方法 |
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JP2020013890A true JP2020013890A (ja) | 2020-01-23 |
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JP (1) | JP2020013890A (ja) |
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WO2021153338A1 (ja) | 2020-01-30 | 2021-08-05 | スタンレー電気株式会社 | 照明装置及び車両用灯具 |
-
2018
- 2018-07-18 JP JP2018135221A patent/JP2020013890A/ja active Pending
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WO2021153338A1 (ja) | 2020-01-30 | 2021-08-05 | スタンレー電気株式会社 | 照明装置及び車両用灯具 |
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