JP2015148499A - 粒子解析装置、およびプログラム - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 252
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 131
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 claims description 18
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 25
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 107
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 45
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
- G01N15/1429—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers using an analyser being characterised by its signal processing
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- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2448—Secondary particle detectors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24571—Measurements of non-electric or non-magnetic variables
- H01J2237/24578—Spatial variables, e.g. position, distance
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24571—Measurements of non-electric or non-magnetic variables
- H01J2237/24585—Other variables, e.g. energy, mass, velocity, time, temperature
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
Abstract
【解決手段】粒子解析装置100は、複数の粒子を含む試料Sを、複数の視野にわたって測定して試料Sの分析を行うための粒子解析装置であって、試料S上で一次線EBを走査して、試料Sから発生する信号を検出する測定部10と、測定部10の測定結果から視野ごとに粒子面積を求め、当該粒子面積を積算して積算値を求める粒子面積積算部222と、前記積算値を得るために測定した試料Sの測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かを判定する判定部226と、を含む。
【選択図】図1
Description
複数の粒子を含む試料を、複数の視野にわたって測定して前記試料の分析を行うための粒子解析装置であって、
前記試料上で一次線を走査して、前記試料から発生する信号を検出する測定部と、
前記測定部の測定結果から視野ごとに粒子面積を求め、当該粒子面積を積算して積算値を求める粒子面積積算部と、
前記積算値を得るために測定した前記試料の測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かを判定する判定部と、
を含む。
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定してもよい。
前記測定部は、前記粒子に対して元素分析を行い、
前記粒子面積積算部は、前記元素分析の結果に基づいて前記粒子を分類し、分類された前記粒子ごとに前記積算値を求め、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとの、前記測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かの判定を行ってもよい。
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとに、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さいか否かを判定し、分類された前記粒子のすべてについて|C(n)−C(n−1)|の値が前記所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定してもよい。
複数の粒子を含む試料を、複数の視野にわたって測定して前記試料の分析を行うためのプログラムであって、
前記試料上で一次線を走査して、前記試料から発生する信号を検出するように測定部を制御する制御部と、
前記測定部の測定結果から視野ごとに粒子面積を求め、当該粒子面積を積算して積算値を求める粒子面積積算部と、
前記積算値を得るために測定した測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かを判定する判定部としてコンピューターを機能させる。
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とす
ると、
前記判定部は、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定してもよい。
前記制御部は、前記粒子の元素分析が行われるように前記測定部を制御し、
前記粒子面積積算部は、前記元素分析の結果に基づいて前記粒子を分類し、分類された前記粒子ごとに前記積算値を求め、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとの、前記測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かの判定を行ってもよい。
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとに、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さいか否かを判定し、分類された前記粒子のすべてについて|C(n)−C(n−1)|の値が前記所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定してもよい。
まず、本実施形態に係る粒子解析装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る粒子解析装置100を模式的に示す図である。
出して、個々の粒子の大きさ等の粒子形状情報を算出し、また自動的にそれらの粒子に電子線を照射して得られる信号を測定することにより粒子の組成の情報を取得し、これらの情報をもとに粒子を規定されたルールに合わせて分類する機能である。
該積算値の割合に基づいて、測定を終了するか否かを判定する。視野数をn、視野数nにおける試料の測定面積に対する粒子面積の積算値の割合をC(n)とすると、判定部226は、|C(n)−C(n−1)|の値が閾値よりも小さい場合に測定を終了させる。視野数nにおける試料の測定面積は、例えば、視野数n×一視野の面積を計算することで求める。また、視野数nにおける粒子面積の積算値は、上記のように、粒子面積積算部222において算出される。
次に、本実施形態に係る粒子解析装置の動作について、図面を参照しながら説明する。図3は、粒子解析装置100の処理部22の処理の一例を示すフローチャートである。図4は、粒子解析装置100の動作を説明するための図であり、測定された試料Sの視野を示している。なお、図4に示す座標(x、y)は、各視野の位置を示している。
次に、制御部220は、抽出した粒子の情報に基づいて偏向器13を制御し、粒子(例えば粒子の重心の位置)に電子線EBを照射する。電子線EBが照射されることにより粒子から発生した特性X線は、エネルギー分散型検出器18および波長分散型検出器19で検出される。この検出器18,19の出力信号(検出信号)は、例えば、記憶部25に記憶される。制御部220は、n番目の視野で抽出されたすべての粒子に対して、元素分析を行う。
割合に基づいて、測定を終了させるか否かの判定を行う。そのため、互いに組成が異なる複数の粒子を含む試料の平均組成情報を得ることができる。
Claims (8)
- 複数の粒子を含む試料を、複数の視野にわたって測定して前記試料の分析を行うための粒子解析装置であって、
前記試料上で一次線を走査して、前記試料から発生する信号を検出する測定部と、
前記測定部の測定結果から視野ごとに粒子面積を求め、当該粒子面積を積算して積算値を求める粒子面積積算部と、
前記積算値を得るために測定した前記試料の測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かを判定する判定部と、
を含む、粒子解析装置。 - 請求項1において、
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定する、粒子解析装置。 - 請求項1において、
前記測定部は、前記粒子に対して元素分析を行い、
前記粒子面積積算部は、前記元素分析の結果に基づいて前記粒子を分類し、分類された前記粒子ごとに前記積算値を求め、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとの、前記測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かの判定を行う、粒子解析装置。 - 請求項3において、
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとに、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さいか否かを判定し、分類された前記粒子のすべてについて|C(n)−C(n−1)|の値が前記所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定する、粒子解析装置。 - 複数の粒子を含む試料を、複数の視野にわたって測定して前記試料の分析を行うためのプログラムであって、
前記試料上で一次線を走査して、前記試料から発生する信号を検出するように測定部を制御する制御部と、
前記測定部の測定結果から視野ごとに粒子面積を求め、当該粒子面積を積算して積算値を求める粒子面積積算部と、
前記積算値を得るために測定した測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かを判定する判定部としてコンピューターを機能させる、プログラム。 - 請求項5において、
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定する、プログラム。 - 請求項5において、
前記制御部は、前記粒子の元素分析が行われるように前記測定部を制御し、
前記粒子面積積算部は、前記元素分析の結果に基づいて前記粒子を分類し、分類された
前記粒子ごとに前記積算値を求め、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとの、前記測定面積に対する前記積算値の割合に基づいて、測定を終了させるか否かの判定を行う、プログラム。 - 請求項7において、
視野数をn、視野数nにおける前記測定面積に対する前記積算値の割合をC(n)とすると、
前記判定部は、分類された前記粒子ごとに、|C(n)−C(n−1)|の値が所定の値よりも小さいか否かを判定し、分類された前記粒子のすべてについて|C(n)−C(n−1)|の値が前記所定の値よりも小さい場合に、測定を終了させると判定する、プログラム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021126A JP6228858B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 粒子解析装置、およびプログラム |
US14/613,596 US9234831B2 (en) | 2014-02-06 | 2015-02-04 | Particle analysis instrument and computer program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021126A JP6228858B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 粒子解析装置、およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015148499A true JP2015148499A (ja) | 2015-08-20 |
JP6228858B2 JP6228858B2 (ja) | 2017-11-08 |
Family
ID=53754614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014021126A Active JP6228858B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 粒子解析装置、およびプログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9234831B2 (ja) |
JP (1) | JP6228858B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US9234831B2 (en) | 2016-01-12 |
US20150219547A1 (en) | 2015-08-06 |
JP6228858B2 (ja) | 2017-11-08 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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