JP2015147262A - 研削方法 - Google Patents
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
Description
4 基台
4a 開口
6 支持壁
8 X軸移動テーブル
10 防水カバー
12 操作パネル
14 保持テーブル
14a 保持面
16 Z軸移動機構
18 Z軸ガイドレール
20 Z軸移動テーブル
22 Z軸ボールネジ
24 Z軸パルスモータ
26 支持構造
28 研削ユニット(研削手段)
30 スピンドルハウジング
30a 収容室
30b 開口
32 スピンドル
32a 先端部(下端部)
32b 中間部
32c 基端部(上端部)
32d 貫通孔
34 ホイールマウント
34a 開口
34b ボルト挿通孔
36 研削ホイール
38 ボルト
40 研削砥石
42 モータ
44 ステータ
46 ロータ
48 配線
50 回転制御装置
52 交流電源
54 ロータリートランス
56 給電部
58 受電部
60 ステータコア
62 給電コイル
64 ローターコア
66 受電コイル
68 配線
70 電圧調整装置
72 周波数調整装置
74 振動制御装置
76 導線
78 装着プレート
78a 貫通孔
78b ネジ孔
80 ベースプレート
80a プレート部
80b 連結部
80c 凹部
80d 溝
80e 貫通孔
80f 貫通孔
82 ボルト
84 超音波振動子(超音波生成手段)
86 導線
88 コネクタ
90 薄板
92 ネジ
11 板状物
13 保護部材
Claims (1)
- 板状物を保持し回転可能な保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状物を研削する研削砥石を含む研削ホイールと該研削ホイールが装着されるスピンドルとを有した研削手段と、該研削砥石に超音波振動を生成する超音波生成手段と、を備えた研削装置で板状物を研削する研削方法であって、
板状物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該超音波生成手段を作用させて該研削砥石に第一の振幅を有する振動を該スピンドルの軸心方向に生じさせつつ該保持テーブルで保持された板状物を該研削手段で研削する第一研削ステップと、
該第一研削ステップを実施した後、該超音波生成手段を作用させて該研削砥石に該第一の振幅よりも小さい第二の振幅を有する振動を該スピンドルの軸心方向に生じさせつつ該保持テーブルで保持された板状物を該研削手段で研削する第二研削ステップと、を備えたことを特徴とする研削方法。
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JP2013132721A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Disco Corp | 研削ホイール |
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2014
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