JP2015137374A - めっき装置およびめっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】めっき装置は、めっき液を内部に貯留するためのめっき槽24と、基板Wを保持し、めっき槽24内に基板Wを垂直姿勢で配置する基板ホルダ8と、基板ホルダ8に保持された基板Wに対向するようにめっき槽24内に配置されたアノード33と、基板Wとアノード33との間に電圧を印加する電源35と、めっき槽24の上部開口部23を閉じてめっき槽24内に密閉空間54を形成する蓋機構46と、密閉空間54内にパージガスを供給して該密閉空間54をパージガスで満たすパージガス供給機構56とを備える。
【選択図】図3
Description
2 ロードポート
3 制御部
4 アライナ
6 スピン・リンス・ドライヤ(SRD)
8 基板ホルダ
10 テーブル
12 基板搬送ロボット
14 基板ホルダ開閉機構
16 基板ホルダ起倒機構
20 保管槽
22 前洗浄槽
23 上部開口部
24 めっき槽
25 内槽
26 リンス槽
27 オーバーフロー槽
27a 側板
28 ブロー槽
29 めっき液循環ライン
31 ポンプ
33 アノード
34 アノードホルダ
35 電源
36 温度調整器
37 フィルタ
38 パドル
39 調整板
40 トランスポータ
41 気体除去装置
42 固定ベース
43 リフタ
44 アーム
45 グリッパ
46 蓋機構
47,48 蓋
49,50 支持部材
51,52 アクチュエータ
54 密閉空間
56 パージガス供給機構
57 パージガス供給ポート
58 パージガス源
60 パージガス移送ライン
60a,60b 分岐ライン
61 越流堰
62,63 流量調整弁
65 バブリングポート
66 ガス供給源
67 ガス供給ライン
70 第1保持部材
72 第2保持部材
74 シールホルダ
76 基板側シール部材
78 ホルダ側シール部材
82 クランパ
83 ホルダハンガ
84 内側ハンガ部
85 外側ハンガ部
86 ハンドレバー
90 導電体
91 接続端子
Claims (12)
- 上部開口部を有し、めっき液を内部に貯留するためのめっき槽と、
基板を保持し、前記めっき槽内に前記基板を垂直姿勢で配置する基板ホルダと、
前記基板ホルダに保持された前記基板に対向するように前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加する電源と、
前記上部開口部を閉じて前記めっき槽内に密閉空間を形成する蓋機構と、
前記密閉空間内にパージガスを供給して該密閉空間をパージガスで満たすパージガス供給機構とを備えたことを特徴とするめっき装置。 - 前記めっき槽は、前記基板ホルダに保持された前記基板を収容する内槽と、該内槽をオーバーフローしためっき液を受けるオーバーフロー槽とを備え、
前記パージガス供給機構は、前記オーバーフロー槽に接続されたパージガス供給ポートを備えていることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - 前記パージガス供給ポートは、前記内槽内のめっき液の液面よりも下方であって、かつ前記オーバーフロー槽内のめっき液の液面よりも上方に位置していることを特徴とする請求項2に記載のめっき装置。
- 前記パージガス供給ポートは、前記内槽をオーバーフローして前記オーバーフロー槽に流入するめっき液に向かって前記パージガスを噴出するように配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載のめっき装置。
- 前記パージガス供給機構は、前記基板のめっき中にパージガスを前記密閉空間内に供給することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 前記蓋機構が前記上部開口部を閉じた後、前記パージガス供給機構は、前記基板のめっき時に供給される流量よりも高い流量でパージガスを前記密閉空間内に供給して前記密閉空間内をパージガスで満たすことを特徴とする請求項5に記載のめっき装置。
- 前記めっき槽内のめっき液を攪拌するパドルをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 基板を保持した基板ホルダを、めっき槽の上部開口部を通じて前記めっき槽内に運び、
前記基板を垂直姿勢で前記めっき槽内のめっき液に浸漬させ、
前記めっき槽の上部開口部を蓋で閉じて前記めっき槽内に密閉空間を形成し、
前記密閉空間内にパージガスを供給して、前記密閉空間をパージガスで満たし、
前記基板と、該基板に対向して配置されたアノードとの間に電圧を印加して前記基板をめっきすることを特徴とするめっき方法。 - 前記めっき槽を構成する内槽とオーバーフロー槽との間で前記めっき液を循環させながら、前記内槽をオーバーフローして前記オーバーフロー槽に流入する前記めっき液に向かって前記パージガスを噴出させることを特徴とする請求項8に記載のめっき方法。
- 前記基板のめっき中に、前記密閉空間にパージガスを供給することを特徴とする請求項8または9に記載のめっき方法。
- 前記めっき槽の上部開口部を蓋で閉じた後に前記密閉空間をパージガスで満たすときのパージガスの流量は、前記基板のめっき時に前記密閉空間に供給されるパージガスの流量よりも高いことを特徴とする請求項10に記載のめっき方法。
- 前記めっき液を攪拌しながら前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加して前記基板をめっきすることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか一項に記載のめっき方法。
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