JP2015136711A - カルボン酸ガス濃度の推定方法及び半田付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応用のカルボン酸ガスを導入したチャンバー内におけるカルボン酸ガス濃度を推定する方法では、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、第一の温度計と第二の温度計の温度差(ΔTx)から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定する。半田付け装置は、加熱ステージ、不活性ガスとカルボン酸ガスとの混合ガス導入手段、ガス排出手段、第一の温度計、第二の温度計とを備えたものである。
【選択図】図1
Description
カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔTx)から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定することを特徴とする、カルボン酸ガス濃度の推定方法。
(2)反応用のカルボン酸ガスを導入したチャンバー内におけるカルボン酸ガス濃度を推定する方法であって、
反応用のカルボン酸ガス濃度を変えて、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔT)を求めることで、カルボン酸ガス濃度と温度差(ΔT)との関係を示す検量線を予め作成しておき、作成した検量線と、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度についての前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔTx)から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定することを特徴とする、カルボン酸ガス濃度の推定方法。
(3)カルボン酸ガス濃度と温度差(ΔT)との関係を示す検量線を、酸処理温度が異なる複数の条件下で作成し、前記検量線の傾きと酸処理温度との関係を示す関係式を求め、前記関係式から所定の酸処理温度における検量線の傾きを求め、前記検量線の傾きと前記温度差(ΔTx)とから、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定する、前記(2)記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
(4)第一の温度計が、カルボン酸が吸収しない波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計である、前記(1)〜(3)いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
(5)表面温度が常温〜350℃の物体に適用される、前記(1)〜(4)いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
(6)前記(1)〜(5)いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法を用いて、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定し、カルボン酸ガス濃度の推定値、チャンバー容積及びチャンバー内圧力から、チャンバー内のカルボン酸量を算出することを特徴とする、カルボン酸量の推定方法。
(7)加熱ステージ、不活性ガスとカルボン酸ガスとの混合ガス導入手段、及びガス排出手段を有するチャンバーを含む半田付け装置であって、
前記チャンバーが、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)と、を備えていることを特徴とするチャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定可能な半田付け装置。
(8)第一の温度計が、カルボン酸が吸収しない波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計であり、前記チャンバーが、第一の温度計及び第二の温度計に対応する2つの透過窓を備えている、前記(7)記載の半田付け装置。
それらにより、カルボン酸ガスによる酸処理において、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を、還元反応を進行させる最低限の濃度で管理できる;チャンバー内への過剰のカルボン酸ガスの導入を抑制できコストを削減できる;チャンバー内のカルボン酸ガス濃度の変化を把握することで酸処理の終了判定ができる;等の利点を有する。
また、酸処理後は、チャンバー内のカルボン酸ガスを排出する際に、排出が完了したことを判定することができ、カルボン酸ガスと長時間接触することによるチャンバー材の腐蝕を防止することができる。
図1に示す構成で、チャンバー容量が20Lの半田付け装置を用いて試験を行った。チャンバー10内を真空引きした後、該チャンバー内に設置した加熱プレート30を、150℃に加熱し、温度が安定した後、ギ酸ガス濃度2.4%のギ酸ガスと不活性ガスとの混合ガスを、チャンバー内に導入し、第一の温度計37が示す温度(T1)と第二の放射温度計38が示す温度(T2)を、同時に測定することで、T1とT2の温度差(ΔT)を求めた。ギ酸ガス濃度を1.2%、0.6%に変更して、同様の操作を繰り返した。図3参照。
加熱プレートの温度を250℃、350℃に変更して、同様の操作を繰り返した。図4参照。
前記の加熱プレートの温度毎に、ギ酸ガス濃度(%)と温度差(ΔT)の関係をプロットし、一次回帰直線で近似して検量線を作成した。図5参照。
また、図5に示した3本の検量線について、横軸に酸処理温度(プレート設定温度)、縦軸に検量線の傾き(%/ΔT)をプロットし、前記検量線の傾きと酸処理温度との関係を示す関係式(一次回帰直線)を作成した。図6参照。
酸処理温度200℃における検量線の傾きは、実施例1にて作成した一次回帰直線(図6)を用いることで、0.037(%/ΔT)として求めることができる。また、前記検量線の傾きと、酸処理温度200℃における2つの温度計の測定温度差(ΔT)とから、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を算出することが可能となる。
酸処理温度200℃におけるカルボン酸量は、実施例2にて算出したカルボン酸ガス濃度にチャンバー容量(20L)を乗じて、該チャンバー内におけるカルボン酸ガス量を算出した後、温度測定時点におけるチャンバー内圧力を常圧に換算することで、チャンバー内のカルボン酸ガス量を算出することが可能となる。
20 バルブ
21 バルブ
25 ガス導入手段
26 ガス排出手段
30 加熱ステージ
31 被接合部材
32 被接合部材
35 半田
37 第一の温度計
37w 透過窓
38 第二の放射温度計
38w 透過窓
Claims (8)
- 反応用のカルボン酸ガスを導入したチャンバー内におけるカルボン酸ガス濃度を推定する方法であって、
カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔTx)から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定することを特徴とする、カルボン酸ガス濃度の推定方法。 - 反応用のカルボン酸ガスを導入したチャンバー内におけるカルボン酸ガス濃度を推定する方法であって、
反応用のカルボン酸ガス濃度を変えて、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔT)を求めることで、カルボン酸ガス濃度と温度差(ΔT)との関係を示す検量線を予め作成しておき、作成した検量線と、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度についての前記第一の温度計と前記第二の温度計の温度差(ΔTx)から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定することを特徴とする、カルボン酸ガス濃度の推定方法。 - カルボン酸ガス濃度と温度差(ΔT)との関係を示す検量線を、酸処理温度が異なる複数の条件下で作成し、前記検量線の傾きと酸処理温度との関係を示す関係式を求め、前記関係式から所定の酸処理温度における検量線の傾きを求め、前記検量線の傾きと前記温度差(ΔTx)とから、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定する、請求項2記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
- 第一の温度計が、カルボン酸が吸収しない波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計である、請求項1〜3いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
- 表面温度が常温〜350℃の物体に適用される、請求項1〜4いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法。
- 請求項1〜5いずれか記載のカルボン酸ガス濃度の推定方法を用いて、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定し、カルボン酸ガス濃度の推定値、チャンバー容積及びチャンバー内圧力から、チャンバー内のカルボン酸量を算出することを特徴とする、カルボン酸量の推定方法。
- 加熱ステージ、不活性ガスとカルボン酸ガスとの混合ガス導入手段、及びガス排出手段を有するチャンバーを含む半田付け装置であって、
前記チャンバーが、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計(第一の温度計)と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計(第二の温度計)と、を備えていることを特徴とするチャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定可能な半田付け装置。 - 第一の温度計が、カルボン酸が吸収しない波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計であり、前記チャンバーが、第一の温度計及び第二の温度計に対応する2つの透過窓を備えている、請求項7記載の半田付け装置。
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