JP6184713B2 - パーティクル測定方法および熱処理装置 - Google Patents
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Description
<1.熱処理装置の構成>
図1および図2は本発明にかかる熱処理装置の構成を示す側断面図である。この熱処理装置は、キセノンフラッシュランプからの閃光(フラッシュ光)によって円形の半導体ウェハー等の基板の熱処理を行う装置である。
次に、本発明に係る熱処理装置の処理について説明する。図5〜図7は、本発明に係る熱処理装置の処理のフローチャートを示す図である。図5および図6は、熱処理装置に対してメンテナンスを行ったときの装置の立ち上げ処理の処理フローS100を示し、図7は、チャンバー65内のクリーニング処理(清浄処理)に係るステップS120(図5)の詳細を示している。なお、図7のクリーニング処理はコントローラ10の指示に従ってランプ電源回路等の各機構部が作動することにより実行されるものである。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の熱処理装置の構成は第1実施形態と全く同じである。第1実施形態ではメンテナンス作業終了後に気中パーティクル濃度を測定してチャンバー65のクリーニング処理を行っていたが、第2実施形態においては、半導体ウェハーWの熱処理中に気中パーティクル濃度を測定して必要に応じたクリーニング処理を行う。すなわち、本発明に係る熱処理装置には、気中パーティクル濃度を測定する測定部50がチャンバー65に付設されており、半導体ウェハーWの処理中であっても随時チャンバー65内の気中パーティクル濃度を測定することができる。そこで、第2実施形態では、半導体ウェハーWの定常処理中にチャンバー65内の気中パーティクル濃度を測定し、その濃度レベルに応じたパーティクル除去処理を行うのである。
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。例えば、RTP装置や枚葉式のCVD装置などフラッシュランプ以外により熱処理が行われる装置に対して気中パーティクル濃度を測定する本発明が適用されたとしても、本発明の有用性を損なうものではない。また、本実施形態に係る熱処理装置では、加熱プレートによって熱処理時の基板の予備加熱が行われているが、ハロゲンランプ等からの放射熱により予備加熱が行われても良い。
11 CPU(算定部)
14 磁気ディスク(記憶部)
50 測定部
51 投光部
52 受光部
53 制御演算部
63、64 側板
65 チャンバー(処理室)
68 ゲートバルブ
79、84 排出路(第2排気部)
80、81、85 開閉弁
89 マスフローコントローラ
91 導入路
92 プローブ
93 排出路(第1排気部)
94 排気管
95 開閉弁
Claims (6)
- 基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容する処理室と、
前記処理室の側壁に取り付けられ、前記処理室内の処理空間における気中パーティクル濃度を測定する測定部と、
前記測定部の排気を行う第1排気部と、
前記処理室内の排気を行う第2排気部と、
を備え、
前記第1排気部の内径が、前記第2排気部の内径よりも細い熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記処理空間における気中パーティクル濃度と前記処理室に収容された基板に付着するパーティクルの個数との相関関係を示す相関情報を格納する記憶部と、
前記測定部による測定結果および前記相関情報に基づいて前記処理室に収容される予定の基板に付着するパーティクルの個数を算定する算定部と、
をさらに備える熱処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の熱処理装置において、
前記処理室内に収容した基板に対して閃光を照射することによって該基板を加熱するフラッシュランプをさらに備える熱処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1つの請求項に記載の熱処理装置であって、
前記処理室内の前記処理空間における気中パーティクルを除去する除去部、
をさらに備える熱処理装置。 - 熱処理装置の処理室内に収容した基板に付着するパーティクルの個数を測定するパーティクル測定方法であって、
前記処理室の側壁には前記処理室内の処理空間における気中パーティクル濃度を測定する測定部が取り付けられるとともに、前記測定部の排気を行う第1排気部および前記処理室内の排気を行う第2排気部が設けられ、前記第1排気部の内径は前記第2排気部の内径よりも細く、
前記処理室内の処理空間における気中パーティクル濃度と前記処理室に収容された基板に付着するパーティクルの個数との相関関係を示す相関情報を取得する相関情報取得工程と、
前記測定部によって前記処理空間における気中パーティクル濃度を測定する測定工程と、
前記測定工程にて測定された気中パーティクル濃度と前記相関情報とに基づいて前記処理室に収容される予定の基板に付着するパーティクルの個数を算定する算定工程と、
を備えるパーティクル測定方法。 - 請求項5に記載のパーティクル測定方法において、
前記処理室内の気中パーティクルを除去する除去工程と、
前記除去工程の後に前記測定工程および前記算定工程を行って算定された前記処理室に収容される予定の基板に付着するパーティクルの個数が、所定の規定値以下である場合に、実際に基板を前記処理室に収容して当該基板に付着するパーティクルの個数を測定する実測工程と、
をさらに備えるパーティクル測定方法。
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