JP5275188B2 - 処理開始可否判定方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
10 基板処理装置
11 チャンバ
14 排気系
15 粗引きライン
18 ISPM
Claims (5)
- 基板を収容する減圧室と、該減圧室を排気する排気系とを備える基板処理装置において前記基板に施す所定の処理の開始可否を判定する処理開始可否判定方法であって、
前記基板処理室内でシーズニング処理を実行するシーズニング処理実行ステップと、
前記シーズニング処理の実行後に前記基板処理装置内に残留する微粒子の数を継続的に計測する微粒子数計測ステップと、
前記微粒子数計測ステップにおいて計測された微粒子の数の時間経過に伴う減少度合いを監視する微粒子数変動監視ステップと、
前記微粒子数変動監視ステップにおいて監視されている前記微粒子の数の減少度合いが変化したときに、前記所定の処理を開始可能と判定する処理開始判定ステップとを有し、
前記微粒子数変動監視ステップにおいて、前記減少度合いを指数関数で近似することを特徴とする処理開始可否判定方法。 - 前記微粒子の数の減少度合いが変化するまでは、前記所定の処理よりも高温及び/又は低圧の雰囲気で実行される他の処理を前記基板に施すことを特徴とする請求項1記載の処理開始可否判定方法。
- 前記微粒子数変動監視ステップでは、前記排気系内を流れる前記微粒子の数を計測することを特徴とする請求項1又は2記載の処理開始可否判定方法。
- 前記微粒子数変動監視ステップでは、前記減圧室内に残留する前記微粒子の数を計測することを特徴とする請求項1又は2記載の処理開始可否判定方法。
- 基板を収容する減圧室と、該減圧室を排気する排気系とを備える基板処理装置において前記基板に施す所定の処理の開始可否を判定する処理開始可否判定方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、前記処理開始可否判定方法は、
前記基板処理室内でシーズニング処理を実行するシーズニング処理実行ステップと、
前記シーズニング処理の実行後に前記基板処理装置内に残留する微粒子の数を継続的に計測する微粒子数計測ステップと、
前記微粒子数計測ステップにおいて計測された微粒子の数の時間経過に伴う減少度合いを監視する微粒子数変動監視ステップと、
前記微粒子数変動監視ステップにおいて監視されている前記微粒子の数の減少度合いが変化したときに、前記所定の処理を開始可能と判定する処理開始判定ステップとを有し、
前記微粒子数変動監視ステップにおいて、前記減少度合いを指数関数で近似することを特徴とする記憶媒体。
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