JP6058523B2 - 半田付け方法及び半田付け装置 - Google Patents
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Description
(2)真空チャンバー内の加熱ステージを、カルボン酸の熱分解温度(T℃)以上かつ半田の融点未満の温度に保持した状態で、不活性ガスを流し込む、前記(1)記載の半田付け方法。
(3)真空チャンバー内を減圧状態にして、不活性ガスを流し込む、前記(1)記載の半田付け方法。
(4)真空チャンバーの両側にガス排出手段を設け、これらのガス排出手段から不活性ガスを排気する、前記(1)記載の半田付け方法。
本実施形態の半田付け装置の概略構成図を図1に示す。真空チャンバー10は、加熱ステージ30を内蔵し、該加熱ステージ30は、その上に基板31、半導体チップ32等の被接合部材を載置し加熱するためのものである。基板31と半導体チップ32との間に半田35(鉛半田、鉛フリー半田)が挟持される。
SnO + HCOOH → Sn + H2O + CO2
本実施形態では、冷却工程において、真空チャンバー内の加熱ステージを、カルボン酸の熱分解温度以上かつ半田の融点未満の温度に保持した状態で、不活性ガスを流し込む半田付け方法の実施例を説明する。なお、本実施例で用いるカルボン酸はギ酸である。また、半田付け装置の構成(図1)ならびに(a)還元工程及び(b)接合工程は、実施形態1と同様であるため説明を省略する。半田付け装置の構成は、実施形態1と同じ構成には同じ符号を用いる。
本実施形態では、真空チャンバー内を減圧状態にして、不活性ガスを流し込む半田付け方法の実施例を説明する。半田付け装置の構成(図1)ならびに(a)還元工程及び(b)接合工程は、実施形態1と同様であるため説明を省略する。半田付け装置の構成は、実施形態1と同じ構成には同じ符号を用いる。
本実施形態では、実施形態1とは構成が異なる気流方向調整手段を設置した半田付け装置を用いた実施例を説明する。尚、気流方向調整手段以外の装置構成、ならびに(a)還元工程及び(b)接合工程は、実施形態1と同様であるため説明を省略する。また、図2は本実施形態における半田付け装置の構成図であり、実施形態1と同じ構成には同じ符号を付している。
本実施形態では、実施形態4とは同じ構成の気流方向調整手段を設置し、ガス排出手段を2箇所に設けた半田付け装置を用いた実施例を説明する。尚、ガス排出手段以外の装置構成、ならびに(a)還元工程及び(b)接合工程は、実施形態1と同様であるため説明を省略する。また、図3は本実施形態における半田付け装置の構成図であり、実施形態1と同じ構成には同じ符号を付している。
20 バルブ
21 バルブ
25 カルボン酸ガス導入手段
26 ガス排出手段
27 不活性ガス導入手段
28 バルブ
29,29´ 気流方向調整手段
30 加熱ステージ
31 基板被接合体(被接合部材)
32 半導体チップ(被接合部材)
34 カルボン酸
35 半田
37 放射温度計
37w 透過窓
Claims (5)
- カルボン酸ガスを用いた半田付け方法において、
半田付けされた接合部材を冷却する冷却工程で、真空チャンバーの壁面に沿わせて不活性ガスを流し込むと共に、前記接合部材の方向に流れる不活性ガスの気流を形成させ、真空チャンバー内のカルボン酸ガスをこれら不活性ガスの気流に乗せて排気することを特徴とする半田付け方法。 - 真空チャンバー内の加熱ステージを、カルボン酸の熱分解温度(T℃)以上かつ半田の融点未満の温度に保持した状態で、不活性ガスを流し込む請求項1記載の半田付け方法。
- 真空チャンバー内を減圧状態にして、不活性ガスを流し込む請求項1記載の半田付け方法。
- 真空チャンバーの両側にガス排出手段を設け、これらのガス排出手段から不活性ガスを排気する請求項1記載の半田付け方法。
- 半田付けする被接合部材を載置及び加熱するための加熱ステージを有する真空チャンバーと、真空チャンバーへカルボン酸ガスを供給するカルボン酸ガス導入手段と、真空チャンバーへ不活性ガスを供給する不活性ガス導入手段と、真空チャンバー内のガスを排気するガス排出手段とを有する半田付け装置であって、真空チャンバーの入口部に、導入される不活性ガスの気流を、真空チャンバーの壁面に沿って流れる気流と、半田付けされた接合部材の方向に流れる気流と、に調整可能な気流方向調整手段を設けたことを特徴とする半田付け装置。
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