JP2015135841A - 酸化アルミニウム薄膜の形成方法 - Google Patents
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- InAlAsからなる半導体層の表面を酸化することで、前記半導体層の表面に酸化アルミニウムを含んで構成された酸化層を形成する第1工程と、
前記酸化層を加熱するとともに前記酸化層の表面を酸素プラズマで処理することで前記酸化層に含まれている酸化インジウムを分解して除去する第2工程と、
前記酸化層に含まれている酸化インジウムを分解して除去した後、前記酸化層を加熱するとともに前記酸化層の表面を酸素プラズマで処理することで前記酸化層に含まれている酸化ヒ素を分解して除去し、前記半導体層の表面に酸化アルミニウム薄膜を形成する第3工程と
を備え、
前記第2工程では、酸化ヒ素が分解しない範囲の温度で前記酸化層を加熱し、
前記第3工程では、酸化アルミニウムが分解しない範囲の温度で前記酸化層を加熱する ことを特徴とする酸化アルミニウム薄膜の形成方法。 - 請求項1記載の酸化アルミニウム薄膜の形成方法において、
前記第1工程では、InAlAsからなる半導体層を加熱するとともに前記半導体層の表面を酸素プラズマで処理することで、前記半導体層の表面に前記酸化層を形成する
ことを特徴とする酸化アルミニウム薄膜の形成方法。 - 請求項1記載の酸化アルミニウム薄膜の形成方法において、
前記第1工程では、液相酸化法により前記半導体層の表面に前記酸化層を形成する
ことを特徴とする酸化アルミニウム薄膜の形成方法。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPH09172163A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
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-
2014
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Patent Citations (4)
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6016041586; Narayan Chandra Paul, 外4名: 'Oxidation of InAlAs and Its Application to Gate Insulator of InAlAs/InGaAs Metal Oxide Semiconductor' Japanese Journal of Applied Physics Vol. 44, No. 3, 2005, pp. 1174-1180 * |
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