JP2015134495A - 樹脂成形方法および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】安価であって、線膨張率が小さく、かつ様々な液体に対する耐性が強く、型離れが良好で寸法精度が高い成形品を作ることができる樹脂成形方法を提供する。【解決手段】樹脂成形方法が、熱硬化性樹脂を可塑化して（Ｓ２）金型装置のキャビティ内に注入するステップ（Ｓ３）と、キャビティ内の熱硬化性樹脂を硬化させるステップ（Ｓ４）と、型を開くステップ（Ｓ５）と、を含む。型を開くステップ（Ｓ５）は、キャビティを構成している型が熱硬化性樹脂のガラス転移点Ｔｇ以上の温度であるときに行う。【選択図】図２

Description

本発明は、樹脂成形方法および液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

例えば液体吐出ヘッドのベースプレートのように高い寸法精度が必要な部品は、金属やセラミック（例えばアルミナ）によって形成される場合がある。アルミナ等のセラミックを用いると、高い寸法精度で部品を形成することが容易であるとともにインキ等の液体に対する耐性が高い。しかし、アルミナは高価であるため製造コストの上昇を招く。

特許文献１には、エポキシ樹脂と、エポキシ樹脂硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーと、シリコーン樹脂と、熱可塑性樹脂と、シランカップリング剤とを含むエポキシ樹脂成形材料を用いて、自動車駆動用モータの部品を成形することが提案されている。

特開２００９−１５５３７０号公報

特許文献１に記載のエポキシ樹脂成形材料は、アルミナよりも安価であり、フィラーが多く充填されているので線膨張係数が小さい。そのため、他の部材と接合された状態で大きく膨張して応力を生じたり変形したりするおそれが小さい。また、エポキシ樹脂成形材料等の熱硬化性樹脂は、金型装置のキャビティ内に注入して成形した後に型開きする際に、硬化して弾性率が高いために、成形品が面で型に付着して円滑な型開きが行えないことがある。成形後の成形品の型離れ（離型）が良好でないと、微細構造を有する成形品を製造する場合にカケなどの成形不良を生じていた。

そこで、本発明の目的は、安価であって、型離れが良好な成形品を作ることができる樹脂成形方法と、それを利用した液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにある。

本発明の樹脂成形方法は、熱硬化性樹脂を可塑化して金型装置のキャビティ内に注入するステップと、キャビティ内の熱硬化性樹脂を硬化させるステップと、型を開くステップと、を含む。型を開くステップは、キャビティを構成している型が熱硬化性樹脂のガラス転移点以上の温度であるときに行う。

この方法によると、ガラス転移点以上の温度で弾性変形し易い状態で型開きするため、成形品が弾性変形しながら少しずつ型から剥がれ、成形品の広い面状の部分が一気に型から剥がれる場合に比べて離型性が向上する。

本発明では、成形後の型開きのタイミングを規定することによって離型性が向上するので、型開き時に成形品の寸法精度を低下させることがない。従って、効率よく容易に高精度の成形品を得ることができる。このことは、特に液体吐出ヘッドのベースプレート等のように、線膨張率の低さや溶出しにくさといった要件を満たしつつ高い寸法精度を必要とする部材を形成する際に非常に有効である。

（ａ）〜（ｃ）は本発明の樹脂成形方法の一例を説明するための模式図である。 図１に示す樹脂成形方法のフローチャートである。 （ａ），（ｂ）は図１，２に示す樹脂成形方法で成形されたベースプレートを含む液体吐出ヘッドの側面図および低面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図３〜４に示す液体吐出ヘッドの素子基板の拡大断面図である。 ２つの型の抜き勾配を変えた例を説明するための拡大断面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の熱硬化性樹脂の成形方法の一例では、図１に示す金型装置１００を用いてトランスファー成形を行う。具体的には、金型装置１００は、互いに対向する２つの型１００Ａ，１００Ｂを有している。両型１００Ａ，１００Ｂは互いに接離可能、すなわち互いに接することも離れることも可能である。両型１００Ａ，１００Ｂが互いに接合した（閉じた）状態で、それらの間に、所望の成形品の形状を有するキャビティ１０１が構成される。金型装置１００には、樹脂通路（ランナーおよびゲート）１０２を介してキャビティ１０１に連通する加熱室（ポットまたはチャンバーとも言う）１０３が設けられている。

本実施形態では、熱硬化性樹脂、例えばエポキシ樹脂を成形材料として、金型装置１００を用いてトランスファー成形を行う。図２のフローチャートに示すように、まず、１回の成形に必要な量のエポキシ樹脂１０４を、固形のペレットまたはタブレット等の形態で、加熱室１０３内に配置する（ステップＳ１、図１（ａ）参照）。そして、加熱室１０３内でエポキシ樹脂１０４を加熱して可塑化する（ステップＳ２）。可塑化したエポキシ樹脂１０４を加熱室１０３から押し出して、樹脂通路１０２を介してキャビティ内に注入する（ステップＳ３、図１（ｂ）参照）。キャビティ１０１内でエポキシ樹脂１０４を加熱して架橋反応を生じさせて硬化させる（ステップＳ４）。エポキシ樹脂１０４が硬化したら、型１００Ａ，１００Ｂがエポキシ樹脂１０４のガラス転移点Ｔｇ以上の温度に保たれている状態で、型１００Ａ，１００Ｂを開く（ステップＳ５）。その際に、イジェクトピン１０５を型１００Ｂから突き出して、エポキシ樹脂１０４からなる成形品をキャビティ１０１から取り出す（ステップＳ６、図１（ｃ）参照）。本実施形態ではこのようにして樹脂成形を行う。
ガラス転移点Ｔｇとは、樹脂の固体弾性領域とゴム弾性領域の間、すなわち動的粘弾性状態の温度であって、貯蔵弾性率Ｅ’と損失弾性率Ｅ''の比であるtanδがピークとなるときの温度である。

エポキシ樹脂は、耐熱性と耐薬品性に優れているためインク等の液体に接しても溶出しにくく、さらに比較的線膨張係数が小さいという利点があり、硬化収縮率が小さく、また、主に接着剤として用いられる接着性の高い材料である。このような、線膨張係数が小さい材料は、ガラス転移点温度が高いので、従来は、型温がガラス転移温度より低い温度で成形を行っていた。そのため、固体弾性領域で、型を開いて成形品を取り出す。この時、エポキシ樹脂の高い接着性および弾性率のために、成形後の成形品の型離れ（離型）が良好でなく、型開き時に成形品が型に付着して円滑な取り出しが行えず、場合によっては、成形品にカケなどが生じるおそれがある。

一方、本実施形態では、溶出しにくく、弾性率が高くかつ線膨張係数が小さいというエポキシ樹脂の利点を維持しつつ、型開きのタイミングを工夫する。つまり、型１００Ａ、１００Ｂがエポキシ樹脂１０４のガラス転移点Ｔｇ以上の温度に保たれている状態で型１００Ａ，１００Ｂを開くことで、成形後の成形品の型離れ（離型）が良好になる。また、寸法精度の良い成形品が容易にかつ効率よく形成できる。エポキシ樹脂等の樹脂のガラス転移点Ｔｇにおける貯蔵弾性率Ｅ’は、概ね、室温における貯蔵弾性率Ｅ’の１／２〜１／１０以下程度であり、弾性変形し易い状態である。従って、ガラス転移点以上の温度で型開きを行うと、成形品１０４の比較的広い面状の部分が型から一気に剥がれるのではなく、成形品がある程度変形しながら徐々に型から剥がれ、その都度、線状の部分が順次型から剥がれていくので、簡単に型離れする。より高温で貯蔵弾性率Ｅ’が最小レベルであるゴム弾性領域で型開きを行うと、樹脂がより弾性変形し易いため、離型性がさらに向上する。その結果、成形品１０４の寸法精度の低下が抑えられる。

次に、このような樹脂成形方法を用いて成形した成形品を、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドに適用した形態について説明する。図３〜４に示すように、液体吐出ヘッド１は、細長いベースプレート２の一方の面上に、記録媒体の搬送方向に交差する方向に沿って２列に並ぶように、シリコンからなる複数の素子基板３が千鳥状に配置され、さらにその上方に電気配線基板４が配置されている。電気配線基板４はフレキシブルプリント基板であり、各素子基板３をそれぞれ露出させるための複数の孔部４ａと、各素子基板３にそれぞれ電気的に接続する接続部４ｂを有している。ベースプレート２の他方の面は、液体供給部材５に接合されている。液体供給部材５は、液体貯留部６ａ，７ａを有する１対の中空部材６，７から構成されている。ベースプレート２は、両液体貯留部６ａ，７ａを塞ぐ共通の蓋となるように液体供給部材５に接合されており、素子基板３が配置されるそれぞれの位置に対向する貫通穴２ａを有している。

各素子基板３は、図５に示すように、基板８と吐出口形成部材９とを含む積層構造である。基板８には、貫通穴２ａと連通する供給口１０が形成されている。吐出口形成部材９には、圧力室１１と、圧力室１１に連通して外部へ開口する吐出口１２が設けられている。基板８の、各圧力室１１に対向する位置には、吐出エネルギー発生素子、例えば発熱抵抗体１３がそれぞれ配置されている。従って、図示しない液体タンクから液体供給部材５の液体貯留部６ａ，７ａに供給された液体は、ベースプレート２の貫通穴２ａから供給口１０を介して、各圧力室１１に流入する。

図示しない制御回路から電気配線基板４の接続部４ｂを介して素子基板３に伝えられた電気信号が、図示しない電気配線を介して発熱抵抗体１３に供給されると、発熱抵抗体１３が駆動されて発熱する。吐出エネルギーとして熱が付与された圧力室１１内の液体は、熱により発泡し、その発泡圧により吐出口１２から外部に吐出する。例えば、液体がインクである場合には、液体吐出ヘッド１に対向する位置に置かれた記録媒体（図示せず）に、前記したように吐出口１２から吐出したインクが付着して、文字や画像などを記録媒体上に形成する。図３〜５に示す液体吐出ヘッド１は、使用される記録媒体の幅以上の長さの吐出口列を有し、スキャンすることなく幅広い領域への液体吐出が可能なフルライン型ヘッドであり、図３に示す保持部１４によって、図示しない筐体に固定されている。

このような液体吐出ヘッド１において、素子基板３は、一般的に、シリコン製の基材にＭＥＭ（Micro Electro Mechanical）技術などの微細加工技術を施すことによって形成される。近年の液体吐出ヘッド１では、記録の高速化および高精細化のために小さな吐出口１２が高密度に配列されるので、高い記録品質を得るためには、素子基板３や素子基板３を支持する支持部材であるベースプレート２の寸法精度および平面度が高くなければならない。

特に、図３〜４に示すような記録媒体の長さに対応した長さを有する長尺の液体吐出ヘッド１では、仮にベースプレート２と素子基板３との熱膨張の差が所定以上に大きいと、反りなどの変形を生じたり、応力が生じて歪みの原因となったりする可能性がある。その場合、ベースプレート２と素子基板３との接着の信頼性の低下などの影響が生じる。従って、ベースプレート２と素子基板３の間に過大な応力が生じないようにベースプレート２と素子基板３との線膨張の差を小さくすること、つまりベースプレート２の線膨張係数を小さくすることが望まれる。また、ベースプレート２は液体（インク）に接する部分を有しており、仮にベースプレート２を構成する材料が数ｐｐｍでもインク中に溶出すると、吐出口１２の近傍でインクが蒸発して析出物が付着する可能性がある。その場合、析出物によって液滴のヨレ等が発生して吐出不良を引き起こすといった吐出性能低下や、析出物が吐出口１２に詰まることによる吐出不能を生じる。従って、ベースプレート２には、高い耐薬品性（少なくとも、使用されるインクに対する高い耐性）が望まれる。

このような観点から、液体吐出ヘッド１のベースプレート２の材料として、耐熱性および耐薬品性が良好で線膨張係数が低いエポキシ樹脂が好適である。ただし、前記したように、エポキシ樹脂は接着性が高く、成形後に型離れしにくい材料であるため、従来は成形作業の効率と成形品の寸法精度が低下する可能性があった。

そこで、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法では、前記した樹脂成形方法によってベースプレート２を形成することと、そのベースプレート２の上に複数の素子基板３を接合することを含む。すなわち、ベースプレート２の形成において、前記したエポキシ樹脂の種々の利点を維持しつつ、成形後の離型性を向上させるために、型開きのタイミングを工夫している。成形後の成形品が十分に冷却される前、具体的には固体弾性領域になる前の、温度がガラス転移点以上の状態で型開きを行うことで、成形品が弾性変形しながら容易に型離れし、成形作業の効率が向上するとともに、寸法精度の高い成形品を得ることができる。

本発明の具体的な実施例について、比較例と対比しながら説明する。
本明細書中で説明する実施例および比較例における成形材料１０４の組成は以下の通りである。
・エポキシ樹脂（三菱化学株式会社 jERキュア828EL） ９５重量部
・イミダゾール（三菱化学株式会社 jERキュアEMI24） ４重量部
・シランカップリング剤（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社 OSILQUEST A-187 SILANE） ５重量部
・レオロジーコントロール剤（ビッグケミー・ジャパン株式会社 BYK-410） ０．５重量部
・高分子量湿潤分散剤（ビッグケミー・ジャパン株式会社 DISPERBYK-145） ０．５重量部
・溶融シリカ（電気化学工業株式会社 FB-950） ８００重量部
・溶融シリカ（電気化学工業株式会社 FB-5D） １００重量部
この成形材料（エポキシ樹脂）１０４はワックスや金属脂肪酸塩等の内部離型剤を含んでいない。その代わり、金型装置１００の型１００Ａ，１００Ｂのキャビティ１０１内面には二次加工用離型剤（ダイキン工業株式会社 MS-600）を吹き付けて、ムラをなくすように拭き取っておく。

この成形材料１０４を１５０℃で４時間加熱し、さらに１８０℃で１．５時間加熱して熱硬化させてから、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）を行って、反応熱が出ておらず架橋反応が完了していることを確認した。そして、動的粘弾性測定装置（エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 DMS6100）を用いて、成形材料１０４の動的粘弾性測定を行った。その結果、この成形材料１０４の貯蔵弾性率Ｅ’は約１４０℃から急激に低下し、ガラス転移点Ｔｇ（Ｔａｎδがピークとなる温度）は１７０℃であり、約１９０℃以上の時にゴム弾性領域になることが判った。

この成形材料１０４をプラネタリーミキサーで混練して粘土状にし、粘土状の成形材料を、図１に示す加熱室内に配置して加熱して可塑化する。この時の加熱時間（射出待ち時間）は、本発明の実施例では１０秒である（ただし、成形材料１０４を加熱室１０３内に配置する前にマイクロウェーブによる成形材料１０４の予熱を行った）。こうして可塑化した成形材料１０４を、樹脂通路１０２を介してキャビティ１０１内に注入してさらに加熱し、架橋反応を生じさせて熱硬化させる。この加熱時間（硬化時間）は、本発明の実施例では７５秒である。そして、成形材料１０４の熱硬化後に、型１００Ａ，１００Ｂが成形材料１０４のガラス転移点Ｔｇ（１７０℃）以上である状態で、型１００Ａを型１００Ｂから離れさせて型開きを行う。そして、成形品１０４を型１００Ｂから取り出す。

この成形方法において、実施例１では型１００Ａ，１００Ｂがともに１９０℃の状態で型開きを行い、実施例２では型１００Ａが２００℃で１００Ｂが１９０℃の状態で型開きを行い、実施例３では型１００Ａ，１００Ｂがともに１７０℃の状態で型開きを行った。その結果、表１に示すように、実施例１〜３のいずれにおいても型離れ（離型性）が良好で、成形品１０４の寸法精度の低下が避けられた。これは、成形材料（エポキシ樹脂）１０４がガラス転移点Ｔｇ以上の温度であると、弾性率が低く、離型時に容易に弾性変形するため、型１００Ａから成形材料１０４を引き剥がそうとする力が局在化して効率よく作用するからである。特に実施例１，２は、成形材料１０４がゴム弾性領域にある状態で型開きが行われるので、成形材料１０４がより弾性変形し易く、型離れがさらに良好であった。

このように、成形材料１０４がガラス転移点Ｔｇ以上の温度（好ましくはゴム弾性領域となる温度）である状態で型開きを行うことが、本発明の効果を実現するために好ましい。ただし、成形時および成形直後に成形材料１０４自体の温度を測定することは困難である。そのため、型１００Ａ，１００Ｂの温度を測定して、その測定温度を成形材料１０４の温度と実質的に等しいとみなして作業を行えばよい。型１００Ａ，１００Ｂの温度の測定は、キャビティ１０１の内面またはその近傍で行うことが好ましい。

これに対し、比較例１では、射出待ち時間、すなわち成形材料１０４を射出前に可塑化するための加熱時間を設けず、成形材料１０４の流動性が向上する前にキャビティ１０１内に注入した。そして、成形材料１０４を７５秒間加熱して熱硬化させた後に、型１００Ａ，１００Ｂがともに成形材料１０４（エポキシ樹脂）のガラス転移点Ｔｇ（１７０℃）より低い１５０℃の状態で型開きを行って成形品１０４を取り出した。この比較例１では、成形材料１０４の流動性が低い状態でキャビティ１０１内に押し出したため、型１００Ａ，１００Ｂの表面の柔らかい離型剤が成形材料１０４中のフィラーにより削られて剥がれ落ちた。そして、離型剤が失われた型１００Ａ，１００Ｂの表面に付着した成形材料１０４は型１００Ａ，１００Ｂの表面から離れず、離型ができなかった。

比較例２では、成形材料の射出前に５秒間の射出待ち時間を設け、成形材料をキャビティ内に注入して７５秒間加熱して熱硬化させた後に、型１００Ａ，１００Ｂが成形材料のガラス転移点Ｔｇより低い１５０℃の状態で型開きを行って成形品を取り出した。比較例３〜５では、実施例１〜３と同様に１０秒間の射出待ち時間を設け成形材料１０４をキャビティ１０１内に注入して７５秒間加熱して熱硬化させた。その後に、比較例３では型１００Ａ，１０００Ｂがともに１５０℃の状態で、比較例４では型１００Ａ，１００Ｂがともに１６０℃の状態で、比較例５では型１００Ａ，１００Ｂがともに１６５℃の状態で、型開きを行って成形品１０４を取り出した。比較例２〜５では型１００Ａ，１００Ｂの表面の離型剤が剥がれることはなかったが、型開き時に成形材料１０４の弾性率が高いため弾性変形しにくく、成形材料１０４がある程度変形しながら徐々に型１００Ａ，１００Ｂから剥がれていくことはできない。成形材料１０４が弾性変形しないため、比較的広い面状の部分が型１００Ａ，１００Ｂから一気に剥がれなければならず、イジェクトピン１０５で成形品１０４を押しても型１００Ｂから円滑に離れることはできなかった。

この比較例１〜５に比べて、前記した実施例１〜３では成形材料１０４の弾性率が小さく弾性変形可能であるため、成形材料１０４がある程度変形しながら徐々に型１００Ａ，１００Ｂから剥がれていき、円滑な型離れが可能であった。

なお、生産性を考慮すると成形時間が短い方が良いが、成形性を考慮すると、成形時間を短くし過ぎると成形材料１０４自体の反応率が低くなり、型開き時に成形品１０４の塑性変形や割れを生じるおそれがある。そのため、型開き時の反応率が９０％以上になるようにすることが好ましく、９３％以上になるようにすることがより好ましい。前記した実施例および比較例における反応率は９３％程度であった。この反応率は以下の通りである。
反応率＝（成形前の材料の発熱量−成形後の材料の発熱量）／（成形前の材料の発熱量）×１００
発熱量は、示差走査熱量測定装置（メトラー・トレド株式会社 DSC822）を用いて測定した。

成形品１０４と接触する面積が型１００Ａと型１００Ｂとで異なる場合には、接触面積が大きい方の型に成形品１０４が付着して、離型が不完全になるおそれがある。このような不完全な離型を防ぐためには、接触面積が大きい方の型の抜き勾配（抜きテーパー）を大きく、接触面積が小さい方の型の抜き勾配を小さくすることが好ましい。例えば、図６に模式的に示すように、上方の型１００Ａの方が下方の型１００Ｂよりも成形品との接触面積が大きい場合には、上方の型１００Ａの抜き勾配ｔ１が下方の型１００Ｂの抜き勾配ｔ２よりも大きくなるように設計する。これによって、離型性の低下が防げる。

本発明で用いられる成形材料は、前記した組成に限られず、線膨張が小さく硬化収縮率の小さい様々なエポキシ樹脂成形材料が好適に使用可能である。さらに、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂成形材料を用いることもできる。また、熱硬化性樹脂成形材料は、溶出しない量や種類であればワックス等の内部離型剤を含有していてもよい。

本発明は、液体吐出ヘッド１の部品（ベースプレート２や素子基板３）に限定されず、あらゆる成形品の形成に適用できる。特に、液体と接することが多く、液体中に溶出することを極力防ぎたい部材、例えば、浄水器等の浄水関連装置や飲食物製造装置や医療装置等の部品の形成に利用すると非常に効果的である。

以上説明した通り、本発明によれば、線膨張係数が低く硬化収縮率の低い材料であっても、成形後の離型が簡単に行え、離型剤を含まない熱硬化性樹脂の成形においても、型に離型処理を施せば容易に離型を行える。

１ 液体吐出ヘッド
２ ベースプレート
３ 素子基板
１００ 金型装置
１００Ａ，１００Ｂ 型
１０１ キャビティ
１０２ 樹脂通路
１０３ 加熱室
１０４ エポキシ樹脂（熱硬化性樹脂、成形材料、成形品）

Claims (17)

1. 熱硬化性樹脂を可塑化して金型装置のキャビティ内に注入するステップと、前記キャビティ内の前記熱硬化性樹脂を硬化させるステップと、前記キャビティを構成している型が前記熱硬化性樹脂のガラス転移点以上の温度であるときに前記型を開くステップと、を含む樹脂成形方法。
2. 前記型を開くステップは、前記型が、前記熱硬化性樹脂がゴム弾性領域となる温度であるときに行う、請求項１に記載の樹脂成形方法。
3. 前記熱硬化性樹脂はエポキシ樹脂である、請求項１または２に記載の樹脂成形方法。
4. 前記熱硬化性樹脂を前記キャビティ内に注入するステップでは、加熱室内で加熱されて可塑化した前記熱硬化性樹脂を、前記型に設けられた樹脂通路を介して、前記型を閉じた状態の前記キャビティ内に注入して、トランスファー成形を行う、請求項１から３のいずれか１項に記載の樹脂成形方法。
5. 前記熱硬化性樹脂は、内部離型剤を含んでいない熱硬化性樹脂である、請求項１から４のいずれか１項に記載の樹脂成形方法。
6. 前記熱硬化性樹脂は、金属脂肪酸塩を含んでいない熱硬化性樹脂である、請求項１から５のいずれか１項に記載の樹脂成形方法。
7. 前記キャビティは、互いに対向して接離可能な少なくとも２つの前記型から構成されており、一方の前記型と前記熱硬化性樹脂からなる成形品との間の抜き勾配と、他方の前記型の前記成形品との間の抜き勾配とは異なっている、請求項１から６のいずれか１項に記載の樹脂成形方法。
8. 少なくとも２つの前記型のうち、前記成形品との接触面積が大きい方の型の抜き勾配は、前記成形品との接触面積が小さい方の型の抜き勾配よりも大きい、請求項７に記載の樹脂成形方法。
9. ベースプレートの上に素子基板が積層され、前記素子基板には吐出エネルギー発生素子と吐出口とが設けられており、前記素子基板に供給された液体に前記吐出エネルギー発生素子から吐出エネルギーを付与することによって前記液体を前記吐出口から外部へ吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、請求項１から８のいずれか１項に記載の樹脂成形方法によって前記ベースプレートを形成することと、前記ベースプレートの上に前記素子基板を接合することとを含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
10. １つの前記ベースプレートの上に複数の前記素子基板を接合する、請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
11. エポキシ樹脂を可塑化して金型装置のキャビティ内に注入するステップと、前記キャビティ内の前記エポキシ樹脂を硬化させるステップと、前記キャビティを構成している型が前記エポキシ樹脂のガラス転移点以上の温度であるときに前記型を開き成形品である支持部材を取り出すステップと、前記支持部材の上に、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を備える複数の素子基板を接合するステップとを含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
12. 前記型を開くステップは、前記型が、前記エポキシ樹脂がゴム弾性領域となる温度であるときに行う、請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
13. 前記エポキシ樹脂はフィラーを含む、請求項１１または１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記エポキシ樹脂を前記キャビティ内に注入するステップでは、加熱室内で加熱されて可塑化した前記エポキシ樹脂を、前記型に設けられた樹脂通路を介して、前記型を閉じた状態の前記キャビティ内に注入して、トランスファー成形を行う、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
15. 前記エポキシ樹脂は、内部離型剤を含んでいない、請求項１１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
16. 前記エポキシ樹脂は、金属脂肪酸塩を含んでいない、請求項１１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
17. 前記キャビティは、互いに対向して接離可能な少なくとも２つの前記型から構成されており、一方の前記型と前記エポキシ樹脂からなる前記成形品との間の抜き勾配と、他方の前記型の前記成形品との間の抜き勾配とは異なっている、請求項１１から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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