JP2015115543A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記半導体層の一部上面に接触して形成され、電流供給線と連結される電流供給部を含む第一電極と、
前記電流供給部の非形成領域の鉛直下方の一部領域に形成され、前記半導体層の一部底面に接触し、前記発光層からの射出光を反射させる材料で形成された第二電極と、
前記電流供給部の鉛直下方を含む領域に形成され、前記半導体層の一部底面に接触する第一電流遮断層とを有し、
前記第一電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗が、前記第二電極と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも高いことを特徴とする。
前記第二電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗が、前記第二電極と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも高く、前記第一電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも低いものとしても構わない。
前記第二電極、前記第一電流遮断層、及び前記第二電流遮断層の底面が前記導電層の上面に接触している構成としても構わない。
前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層は、前記発光層からの射出光を透過させる材料で構成されていても構わない。このとき、具体的な例として、前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層は、ITOを含有する材料で構成することができる。
1.1d≦D≦3d
の関係を満たす構成としても構わない。
基板上に前記半導体層を形成する工程(a)と、
前記半導体層の第一面上の所定の領域に前記第二電極を形成するための材料膜を成膜した後、コンタクトアニールを施して前記第二電極を形成する工程(b1)と、
前記工程(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない所定の領域に前記第一電流遮断層を形成するための材料膜を成膜した後、前記工程(b1)よりも低温度でコンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程(b2)と、
前記工程(b2)の実行後、前記半導体層の前記第一面とは反対側の第二面上に前記第一電極を形成する工程(c)と、
前記第一電極上において、前記基板の面に垂直な方向に関して前記第一電流遮断層に対向する領域の一部に前記電流供給線を連結して前記電流供給部を形成する工程(d)とを有することを特徴とする。
前記工程(b2)は、前記工程(b3)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極及び前記第二電流遮断層が形成されていない箇所に前記第一電流遮断層を形成するための材料膜を成膜した後、前記工程(b1)及び前記工程(b3)よりも低温度でコンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程とすることができる。
前記工程(b2)の実行後、前記第二電極、前記第一電流遮断層、及び前記第二電流遮断層に跨るように、金属材料膜を成膜後、前記工程(b2)と同等以下の温度でコンタクトアニール処理を行って反射層を形成する工程(b4)を有し、
前記工程(b4)の実行後に、前記工程(c)を実行するものとしても構わない。
基板上に前記半導体層を形成する工程(a)と、
前記半導体層の第一面上の所定の領域に、最上層にPtを含む多層構造を有する材料膜を成膜した後、コンタクトアニールを施して前記第二電極を形成する工程(b1)と、
前記工程(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない箇所に、Ptの膜厚を前記工程(b1)よりも薄膜として、最上層にPtを含む多層構造を有する前記材料膜を成膜した後、コンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程(b2)と、
前記工程(b2)の実行後、前記半導体層の前記第一面とは反対側の第二面上に前記第一電極を形成する工程(c)と、
前記第一電極上において、前記基板の面に垂直な方向に関して前記第一電流遮断層に対向する領域の一部に前記電流供給線を連結して前記電流供給部を形成する工程(d)とを有することを特徴とする。
前記工程(b2)は、前記工程(b3)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極及び前記第二電流遮断層が形成されていない箇所に、Ptの膜厚を前記工程(b1)及び前記工程(b3)よりも薄膜として前記材料膜を成膜した後、コンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程とすることができる。
本発明の半導体発光素子の第一実施形態の構成及びその製造方法について説明する。
図1Aは、第一実施形態の半導体発光素子を上から見たときの模式的な平面図である。図1Aにおいて、半導体発光素子1は光取り出し方向が紙面上向き(Z方向)である。
基板11は、例えばCuW、W、Mo等の導電性基板、又はSi等の半導体基板で構成される。
基板11の上層には、多層構造からなる導電層12が形成されている。本実施形態において、導電層12は、保護層13、ハンダ層15、及び保護層17を含む構成である。
上述したように、半導体層30は、p型半導体層31、発光層33、及びn型半導体層35が基板11側からこの順に積層されて形成される。
第一電極41は、n型半導体層35の一部領域の上面に形成されており、例えばCr−Auで構成される。なお、図1Aに示すように、第一電極41は半導体発光素子1の中央から−Y方向の位置において幅広部分を有しており、この領域に電流供給線45の一端が接続された電流供給部43が形成されている。電流供給線45の他端は、半導体発光素子1が配置されている基板11の給電パターン等に接続される(不図示)。なお、図1Aでは、半導体発光素子1が電流供給部43を2箇所備える場合を図示しているが、これは一例であって電流供給部43の数を限定する趣旨ではない。
第二電極25は、例えばAg系の金属(NiとAgの合金)、Al、又はRh等を含む金属材料で構成することができる。本実施形態では、第二電極25がNi/Agの多層構造体で形成されているものとして説明する。
本実施形態において、第一電流遮断層21及び第二電流遮断層23は、第二電極25と同一の金属材料で形成されている。しかし、第一電流遮断層21及び第二電流遮断層23は、p型半導体層31との接触箇所においてショットキー接触が形成されている。すなわち、第一電流遮断層21とp型半導体層31との接触箇所における接触抵抗、及び第二電流遮断層23とp型半導体層31との接触箇所における接触抵抗は、いずれも第二電極25とp型半導体層31との接触箇所における接触抵抗よりも高くなっている。
絶縁層19は、例えばSiO2、SiN、Zr2O3、AlN、Al2O3等で構成される。この絶縁層19は、X−Y平面に平行な方向に関して半導体層30の外側の位置に形成されており、隣接する半導体発光素子との間の絶縁性を確保するためのアイソレーション層として機能する他、後述するように素子分離時におけるエッチングストッパー層としても機能する。
図1Dに示すように、電流供給部43を構成する箇所における第一電極41(図1Dにおける−Y側に位置する第一電極41)の鉛直下方には、p型半導体層31との接触抵抗の高い第一電流遮断層21が形成されている。そして、電流供給部43からY方向に離れた位置において、第一電極41が形成されていない一部領域の鉛直下方にはp型半導体層31との接触抵抗が最も低い第二電極25が形成されている。また、電流供給部43からY方向に離れた位置において、第一電極41が形成されている領域の鉛直下方には、第一電流遮断層21よりはp型半導体層31との接触抵抗が低く第二電極25よりはp型半導体層31との接触抵抗が高い第二電流遮断層23が形成されている。
次に、半導体発光素子1の第一の製造方法の一例につき、図2A〜図2Gに示す模式的な製造工程図、及び図3を参照して説明する。なお、以下で説明する製造条件や膜厚等の寸法はあくまで一例であって、これらの数値に限定されるものではない。
図2Aに示すように、成長基板61上にエピタキシャル層39を形成する。このステップS1は例えば以下の手順により行われる。
成長基板61としてc面サファイア基板を準備して、これに対してクリーニングを行う。このクリーニングは、より具体的には、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相蒸着)装置の処理炉内に成長基板61(c面サファイア基板)を配置し、処理炉内に流量が10slmの水素ガスを流しながら、炉内温度を例えば1150℃に昇温することにより行われる。
成長基板61の表面に、GaNよりなる低温バッファ層を形成し、更にその上層にGaNよりなる下地層を形成する。これらの低温バッファ層及び下地層がアンドープ層36に対応する。
次に、アンドープ層36の上層にn型半導体層35を形成する。n型半導体層35の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
次に、n型半導体層35の上層にInGaNで構成される井戸層及びn型AlGaNで構成される障壁層が周期的に繰り返される多重量子井戸構造を有する発光層33を形成する。
次に、発光層33の上層に、AlGaNで構成されるp型半導体層31を形成する。p型半導体層31の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
ステップS1で得られたウェハに対して活性化処理を行う。より具体的には、RTA(Rapid Thermal Anneal:急速加熱)装置を用いて、窒素雰囲気下中650℃で15分間の活性化処理を行う。
p型半導体層31の上面の所定箇所に絶縁層19を形成する(図2B参照)。
p型半導体層31の上面の所定領域に第二電極25を形成する(図2B参照)。第二電極25の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
p型半導体層31の上面のうち、第二電極25が形成されていない領域の一部に、第二電流遮断層23を形成する(図2C参照)。より詳細には、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25が形成されていない領域であって、電流供給部43の形成予定箇所からY方向に一定程度遠い領域に第二電流遮断層23を形成する。
p型半導体層31の上面のうち、第二電極25及び第二電流遮断層23が形成されていない領域に、第一電流遮断層21を形成する(図2D参照)。すなわち、第一電流遮断層21は、第二電流遮断層23よりも電流供給部43の形成予定箇所に近い領域に形成される。
第二電極25、第一電流遮断層21、及び第二電流遮断層23の上面に跨るように、全面に保護層17を形成する。その後、保護層17の上面にハンダ層15を形成する(図2E参照)。
次に、成長基板61とは別に準備された基板11に、上記保護層17と同様の方法で保護層13を形成する。基板11としては、上述したようにCuW、W、Mo等の導電性基板、又はSi等の半導体基板を利用することができる。
次に、成長基板61を剥離する。より具体的には、成長基板61を上に、基板11を下に向けた状態で、成長基板61側からKrFエキシマレーザを照射して、成長基板61とエピタキシャル層39の界面を分解させることで成長基板61の剥離を行う。
次に、図2Gに示すように、隣接する素子同士を分離する。具体的には、隣接素子との境界領域に対し、ICP装置を用いて絶縁層19の上面が露出するまで半導体層30をエッチングする。このとき、上述したように絶縁層19はエッチングストッパーとして機能する。
次に、n型半導体層35の上面の所定の領域、より詳細には、第二電極25の形成領域の鉛直上方を除いた一部の領域、すなわち第一電流遮断層21の鉛直上方の領域の一部、及び第二電流遮断層23の鉛直上方の領域の一部に第一電極41を形成する。第一電極41の形成方法の一例としては、膜厚100nmのCrと膜厚3μmのAuを蒸着した後、窒素雰囲気中で250℃、1分間程度のアニール処理を行う。このステップS11が工程(c)に対応する。
そして、各素子同士を例えばレーザダイシング装置によって分離し、基板11の裏面を例えばAgペーストにてパッケージと接合する。更に、第一電流遮断層21の鉛直上方に形成されている第一電極41の一部領域を電流供給部43として、電流供給線45を接続するワイヤボンディングを行う。例えば、50gの荷重でΦ100μmのボンディング領域にAuからなる電流供給線45を連結させることで、ワイヤボンディングを行う。このステップS12が工程(d)に対応する。
次に、半導体発光素子1の第二の製造方法の一例につき説明する。なお、第一の製造方法と共通する箇所については、その旨を記載して適宜省略する。
p型半導体層31の上面の所定領域に所定の導電性材料で構成された材料膜を成膜する。ここでは、当該材料膜として、Ag/Ni/Ti/Ptの多層膜を用いる。より具体的には、例えばスパッタ装置にて、p型半導体層31の上面の所定の領域に、膜厚130nmのAg、膜厚30nmのNi、膜厚20nmのTi、及び膜厚30nmのPtを成膜する。なお、この材料膜として、p型半導体層31との密着性を高めるために、Ag層の下層に膜厚1.5nm程度のNiを成膜しても構わない。
次に、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25が形成されていない領域であって、電流供給部43の形成予定箇所からY方向に一定程度遠い領域に、所定の導電性材料で構成された材料膜を成膜する。ここでは、ステップS4Aと同様に、Ag/Ni/Ti/Ptの多層膜を用いる。より具体的には、例えばスパッタ装置にて、p型半導体層31の上面の所定の領域に、膜厚130nmのAg、膜厚30nmのNi、膜厚20nmのTi、及びステップS4Aよりも薄膜の膜厚20nmのPtを成膜する。なお、この材料膜として、p型半導体層31との密着性を高めるために、Ag層の下層に膜厚1.5nm程度のNiを成膜しても構わない。
次に、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25及び第二電流遮断層23が形成されていない領域に、所定の導電性材料で構成された材料膜を成膜する。ここでは、ステップS4A及びステップS5Aと同様に、Ag/Ni/Ti/Ptの多層膜を用いる。より具体的には、例えばスパッタ装置にて、膜厚130nmのAg、膜厚30nmのNi、膜厚20nmのTi、及びステップS5Aよりも更に薄膜の膜厚10nmのPtを成膜する。
本発明の半導体発光素子の第二実施形態の構成及びその製造方法について説明する。なお、第一実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付している。
図5Aは、第二実施形態の半導体発光素子を上から見たときの模式的な平面図である。図5Aにおいて、半導体発光素子1aは光取り出し方向が紙面上向き(Z方向)である。
半導体発光素子1aは、第一実施形態の半導体発光素子1に加えて導電性の反射層18を更に備えている点が異なる。この反射層18は、発光層33から射出される光を反射する機能を有する導電性材料であり、導電層12の最上層を構成している。ここで、反射層18は、例えば第二電極25と同一の材料で構成することができる。
本実施形態において、第一電流遮断層21及び第二電流遮断層23は、第二電極25とは異なり、発光層33から射出される光を透過する性質を有する導電性酸化膜(例えばITO)で形成されている。なお、第一実施形態と同様、第一電流遮断層21及び第二電流遮断層23は、p型半導体層31との接触箇所においてショットキー接触が形成されている。
本実施形態の半導体発光素子1aにおいても、第一電極41の直下には半導体層30との接触抵抗の高い層(第一電流遮断層21、第二電流遮断層23)が設けられるため、第一電極41から半導体層30内を鉛直方向に大部分の電流が流れることが防止される。そして、特に、電流が供給される電流供給部43の直下には、電流供給部43から離れた位置と比べて更に接触抵抗の高い層(第一電流遮断層21)を設けることで、電流供給部43の近傍に電流が集中することを防止している。これにより、半導体発光素子1aが高出力デバイスとして利用される場合、すなわち高電流が供給される場合においても、電流供給部43の近傍に電流が集中して高温になることが防止されるので、従来に比べて長寿命の素子が実現される。
次に、半導体発光素子1aの製造方法の一例につき、図2A〜図2D及び図7A〜図7Dに示す模式的な製造工程図、並びに図6を参照して説明する。なお、第一実施形態の半導体発光素子1の製造方法と共通する内容については、その旨を記載して適宜説明を割愛する。
ステップS5と同様に、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25が形成されていない領域の一部に、第二電流遮断層23を形成する(図2C参照)。より詳細には、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25が形成されていない領域であって、電流供給部43の形成予定箇所からY方向に一定程度遠い領域に第二電流遮断層23を形成する。
ステップS6と同様に、p型半導体層31の上面のうち、第二電極25及び第二電流遮断層23が形成されていない領域に、第一電流遮断層21を形成する(図2D参照)。すなわち、第一実施形態と同様、第一電流遮断層21は、第二電流遮断層23よりも電流供給部43の形成予定箇所に近い領域に形成される。
第二電極25、第一電流遮断層21、及び第二電流遮断層23の上面に跨るように、全面に反射層18を形成する(図7A参照)。この反射層18は、上述したように発光層33から射出される光を反射する機能を有する導電性材料であり、例えば、第二電極25と同一の材料で構成することができる。
反射層18の上層に、第一実施形態のステップS7と同様の方法で保護層17を形成する。その後、保護層17の上面にハンダ層15を形成する(図7B参照)。
以下は、第一実施形態と同様にステップS8〜S12を実行する。すなわち、ステップS8と同様、成長基板61とは別に準備された基板11に、上記保護層17と同様の方法で保護層13を形成した後、成長基板61と基板11とを貼り合わせる(図7B参照)。
以下、半導体発光素子及びその製造方法の別実施形態につき説明する。
11 : 基板
12 : 導電層
13 : 保護層
15 : ハンダ層
17 : 保護層
18 : 反射層
19 : 絶縁層
21 : 第一電流遮断層
23 : 第二電流遮断層
24 : 絶縁層
25 : 第二電極
30 : 半導体層
31 : p型半導体層
33 : 発光層
35 : n型半導体層
36 : アンドープ層
39 : エピタキシャル層
41 : 第一電極
43 : 電流供給部
45 : 電流供給線
61 : 成長基板
70,70a,70b : 検証用素子
71 : p型AlGaN層
72 : Ag層
73,73a : Ni層
74 : Ti層
75 : Pt層
76 : 素子分離絶縁層
77 : プローブ
78 : ITO層
100 : 従来の半導体発光素子
101 : 支持基板
102 : ボンディング層
103 : 反射電極
104 : オーミック接触層
105 : 電流遮断層
106 : アイソレーション層
107 : 半導体層
108 : n側電極
109 : 電流供給部
111 : p型半導体層
112 : 発光層
113 : n型半導体層
117 : n型半導体層の割れ
118 : n型半導体層の溶融
Claims (14)
- 基板上に、p型半導体層、発光層及びn型半導体層を含む半導体層を有してなる半導体発光素子であって、
前記半導体層の一部上面に接触して形成され、電流供給線と連結される電流供給部を含む第一電極と、
前記電流供給部の非形成領域の鉛直下方の一部領域に形成され、前記半導体層の一部底面に接触し、前記発光層からの射出光を反射させる材料で形成された第二電極と、
前記電流供給部の鉛直下方を含む領域に形成され、前記半導体層の一部底面に接触する第一電流遮断層とを有し、
前記第一電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗が、前記第二電極と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも高いことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記基板面に平行な方向に関して前記第一電流遮断層の形成箇所よりも前記電流供給部から遠い位置において、前記第一電極の形成領域の鉛直下方を含む領域に形成され、前記半導体層の一部底面に接触する第二電流遮断層を有し、
前記第二電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗が、前記第二電極と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも高く、前記第一電流遮断層と前記半導体層との接触箇所における接触抵抗よりも低いことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記基板の上層に形成された導電層を有し、
前記第二電極、前記第一電流遮断層、及び前記第二電流遮断層の底面が前記導電層の上面に接触していることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子。 - 前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層は、前記発光層からの射出光を反射させる材料で構成されることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体発光素子。
- 前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層が、Ag、Al、Ni、Ti、又はPtを含有する金属材料で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体発光素子。
- 前記導電層は、最上層に前記発光層からの射出光を反射させる材料で形成された反射層を有し、
前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層は、前記発光層からの射出光を透過させる材料で構成されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体発光素子。 - 前記第一電流遮断層及び前記第二電流遮断層がITOを含有する材料で構成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子。
- 前記基板面に平行な方向に関し、前記電流供給部の幅をd、前記第一電流遮断層の幅をDとしたとき、
1.1d≦D≦3d
の関係を満たすことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法であって、
基板上に前記半導体層を形成する工程(a)と、
前記半導体層の第一面上の所定の領域に前記第二電極を形成するための材料膜を成膜した後、コンタクトアニールを施して前記第二電極を形成する工程(b1)と、
前記工程(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない所定の領域に前記第一電流遮断層を形成するための材料膜を成膜した後、前記工程(b1)よりも低温度でコンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程(b2)と、
前記工程(b2)の実行後、前記半導体層の前記第一面とは反対側の第二面上に前記第一電極を形成する工程(c)と、
前記第一電極上において、前記基板の面に垂直な方向に関して前記第一電流遮断層に対向する領域の一部に前記電流供給線を連結して前記電流供給部を形成する工程(d)とを有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記工程(a)及び(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない所定の領域に前記第二電流遮断層を形成するための材料膜を成膜した後、前記工程(b1)よりは低温度且つ前記工程(b2)よりは高温度でコンタクトアニール処理を行って前記第二電流遮断層を形成する工程(b3)を有し、
前記工程(b2)は、前記工程(b3)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極及び前記第二電流遮断層が形成されていない箇所に前記第一電流遮断層を形成するための材料膜を成膜した後、前記工程(b1)及び前記工程(b3)よりも低温度でコンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程であることを特徴とする請求項9に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記工程(b1)、前記工程(b2)、及び前記工程(b3)で成膜される材料膜が同一の金属材料で構成されることを特徴とする請求項9又は10に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(b1)で成膜される材料膜が金属材料であり、前記工程(b2)及び前記工程(b3)で成膜される材料膜がITOであり、
前記工程(b2)の実行後、前記第二電極、前記第一電流遮断層、及び前記第二電流遮断層に跨るように、金属材料膜を成膜後、前記工程(b2)と同等以下の温度でコンタクトアニール処理を行って反射層を形成する工程(b4)を有し、
前記工程(b4)の実行後に、前記工程(c)を実行することを特徴とする請求項9又は10に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法であって、
基板上に前記半導体層を形成する工程(a)と、
前記半導体層の第一面上の所定の領域に、最上層にPtを含む多層構造を有する材料膜を成膜した後、コンタクトアニールを施して前記第二電極を形成する工程(b1)と、
前記工程(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない箇所に、Ptの膜厚を前記工程(b1)よりも薄膜として、最上層にPtを含む多層構造を有する前記材料膜を成膜した後、コンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程(b2)と、
前記工程(b2)の実行後、前記半導体層の前記第一面とは反対側の第二面上に前記第一電極を形成する工程(c)と、
前記第一電極上において、前記基板の面に垂直な方向に関して前記第一電流遮断層に対向する領域の一部に前記電流供給線を連結して前記電流供給部を形成する工程(d)とを有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記工程(a)及び(b1)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極が形成されていない所定の領域に、Ptの膜厚を前記工程(b1)より薄膜で且つ前記工程(b2)より厚膜として前記材料膜を成膜した後、コンタクトアニール処理を行って前記第二電流遮断層を形成する工程(b3)を有し、
前記工程(b2)は、前記工程(b3)の実行後、前記半導体層の前記第一面上であって前記第二電極及び前記第二電流遮断層が形成されていない箇所に、Ptの膜厚を前記工程(b1)及び前記工程(b3)よりも薄膜として前記材料膜を成膜した後、コンタクトアニール処理を行って前記第一電流遮断層を形成する工程であることを特徴とする請求項13に記載の半導体発光素子の製造方法。
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