JP2015115370A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6700777B2 (ja) * 2015-12-24 2020-05-27 キヤノン株式会社 インプリント装置、情報処理装置および物品製造方法
JP6748461B2 (ja) * 2016-03-22 2020-09-02 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント装置の動作方法および物品製造方法
JP6706983B2 (ja) 2016-07-12 2020-06-10 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6978877B2 (ja) 2017-09-04 2021-12-08 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7100485B2 (ja) * 2018-04-26 2022-07-13 キヤノン株式会社 インプリント装置およびデバイス製造方法
JP7091138B2 (ja) * 2018-05-15 2022-06-27 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法
JP7383450B2 (ja) 2019-10-23 2023-11-20 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP7657631B2 (ja) * 2021-03-29 2025-04-07 キヤノン株式会社 評価装置、プログラム、評価方法、成形システム、および物品製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5772905A (en) * 1995-11-15 1998-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Nanoimprint lithography
TW571087B (en) * 2003-06-02 2004-01-11 Chen-Hung He Method and system for monitoring the mold strain in nanoimprint lithography technique
TWI235628B (en) * 2004-03-26 2005-07-01 Ind Tech Res Inst Monitoring system and method for imprint process
US7798801B2 (en) * 2005-01-31 2010-09-21 Molecular Imprints, Inc. Chucking system for nano-manufacturing
JP2007081048A (ja) * 2005-09-13 2007-03-29 Canon Inc ナノインプリント用型、装置および方法
JP4810319B2 (ja) * 2006-06-09 2011-11-09 キヤノン株式会社 加工装置及びデバイス製造方法
JP5196743B2 (ja) * 2006-06-29 2013-05-15 キヤノン株式会社 加工方法及び装置、並びに、デバイス製造方法
WO2008129962A1 (ja) * 2007-04-19 2008-10-30 Konica Minolta Holdings, Inc. 成形装置及びその制御方法
US20100101493A1 (en) * 2008-10-27 2010-04-29 Molecular Imprints, Inc. Dispense System
US8432548B2 (en) * 2008-11-04 2013-04-30 Molecular Imprints, Inc. Alignment for edge field nano-imprinting
JP5669377B2 (ja) * 2009-11-09 2015-02-12 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
US8747092B2 (en) * 2010-01-22 2014-06-10 Nanonex Corporation Fast nanoimprinting apparatus using deformale mold
WO2011118006A1 (ja) * 2010-03-25 2011-09-29 パイオニア株式会社 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム
JP5833636B2 (ja) 2010-04-27 2015-12-16 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド ナノインプリント・リソグラフィのテンプレート製作方法およびそのシステム
JP5190497B2 (ja) 2010-09-13 2013-04-24 株式会社東芝 インプリント装置及び方法
JP6200135B2 (ja) * 2012-07-24 2017-09-20 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および、物品製造方法

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