JP2015111845A - 弾性表面波フィルタ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10…アンテナ端子
11…送信側信号端子
12…受信側信号端子
13…受信フィルタ
20…送信フィルタ
21…直列腕
22,23,24…並列腕
30,40…弾性表面波共振子
31…圧電基板
31a…主面
32,42…IDT電極
33,43…誘電体層
33a,43a…SiO2層
33b,43b…SiN層
50…送信フィルタチップ
P1,P2,P3…並列腕共振子
S1,S2,S3…直列腕共振子
Claims (6)
- 直列腕と、
前記直列腕において接続されている直列腕共振子と、
前記直列腕とグラウンドとを接続している並列腕と、
前記並列腕に設けられている並列腕共振子と、
を有するラダー型弾性表面波フィルタ部を備え、レイリー波を主モードとして利用する弾性表面波フィルタ装置であって、
前記直列腕共振子と前記並列腕共振子とのそれぞれは、圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されたIDT電極と、前記IDT電極を覆うように形成された誘電体層とを有する弾性表面波共振子により構成されており、
前記圧電基板がLiNbO3基板からなり、オイラー角(φ,θ,ψ)において、θが25°〜45°の範囲内にあり、ψが前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位及び前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位であって、
前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子の誘電体層が、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子の誘電体層よりも厚くされており、前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが0°±1°の範囲内にあり、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが1°〜8°の範囲内にあり、
前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位が、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位に対してなす角度が、0°より大きく8°以下である、弾性表面波フィルタ装置。 - 直列腕と、
前記直列腕において接続されている直列腕共振子と、
前記直列腕とグラウンドとを接続している並列腕と、
前記並列腕に設けられている並列腕共振子と、
を有するラダー型弾性表面波フィルタ部を備え、レイリー波を主モードとして利用する弾性表面波フィルタ装置であって、
前記直列腕共振子と前記並列腕共振子とのそれぞれは、圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されたIDT電極と、前記IDT電極を覆うように形成された誘電体層とを有する弾性表面波共振子により構成されており、
前記圧電基板がLiNbO3基板からなり、オイラー角(φ,θ,ψ)において、θが25°〜45°の範囲内にあり、ψが前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位及び前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位であって、
前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子の誘電体層が、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子の誘電体層よりも薄くされており、前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが1°〜8°の範囲内にあり、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが0°±1°の範囲内にあり、
前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位が、前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方位に対してなす角度が、0°より大きく8°以下である、弾性表面波フィルタ装置。 - 前記並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが3.5°〜6.5°の範囲内にある、請求項1に記載の弾性表面波フィルタ装置。
- 前記直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子のψが3.5°〜6.5°の範囲内にある、請求項2に記載の弾性表面波フィルタ装置。
- 前記誘電体層は、SiO2層を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
- 前記直列腕共振子の圧電基板と、前記並列腕共振子の圧電基板とが共通の圧電基板により構成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2017068877A1 (ja) * | 2015-10-23 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
DE102017108105A1 (de) | 2016-04-21 | 2017-10-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filtervorrichtung für elastische Wellen |
WO2018164210A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
KR20200139228A (ko) * | 2018-05-14 | 2020-12-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트엔드 회로 및 통신 장치 |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6198536B2 (ja) * | 2013-09-11 | 2017-09-20 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 |
US9496846B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-11-15 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device and electronic apparatus including same |
US9641151B2 (en) * | 2014-07-31 | 2017-05-02 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave filters and duplexers using same |
KR20170034389A (ko) * | 2014-07-31 | 2017-03-28 | 스카이워크스 필터 솔루션즈 재팬 씨오., 엘티디. | 탄성파 필터 및 이것을 이용한 듀플렉서 |
CN107078720B (zh) * | 2014-10-06 | 2021-12-24 | 株式会社村田制作所 | 梯型滤波器以及双工器 |
DE112016000289B4 (de) | 2015-01-07 | 2023-03-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Zusammengesetze Filtervorrichtung |
JP6332101B2 (ja) | 2015-03-26 | 2018-05-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
DE102015106191A1 (de) * | 2015-04-22 | 2016-10-27 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bauelement mit verbesserter Akustik |
CN107636961B (zh) * | 2015-06-22 | 2021-02-23 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
CN114665840A (zh) * | 2015-10-23 | 2022-06-24 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2017159409A1 (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 株式会社村田製作所 | 複合フィルタ装置 |
KR102076960B1 (ko) * | 2016-03-31 | 2020-02-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 복합 필터 장치, 고주파 프론트엔드 회로 및 통신 장치 |
DE102016107309B3 (de) * | 2016-04-20 | 2017-08-31 | Snaptrack, Inc. | Multiplexer |
WO2017195446A1 (ja) | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
CN109417378B (zh) * | 2016-06-14 | 2023-03-14 | 株式会社村田制作所 | 多路调制器、高频前端电路以及通信装置 |
KR101953219B1 (ko) * | 2016-11-24 | 2019-02-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
KR102311837B1 (ko) * | 2016-12-05 | 2021-10-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
CN110089030B (zh) | 2016-12-20 | 2023-01-06 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 |
CN106656098B (zh) * | 2016-12-23 | 2020-11-24 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种超大带宽声表面波滤波器 |
WO2018135489A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP6949552B2 (ja) | 2017-05-18 | 2021-10-13 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ |
JP6913619B2 (ja) * | 2017-12-12 | 2021-08-04 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
US20220116015A1 (en) * | 2018-06-15 | 2022-04-14 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode thickness, mark, and pitch |
WO2019188864A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
JP2019195166A (ja) | 2018-05-04 | 2019-11-07 | スカイワークス ソリューションズ, インコーポレイテッドSkyworks Solutions, Inc. | 通過帯域幅を維持しながらのフィルタ遷移帯域における周波数温度係数の改善 |
CN110601677A (zh) * | 2018-06-13 | 2019-12-20 | 天工方案公司 | 铌酸锂滤波器中添加高速层的杂散剪切水平模式频率控制 |
US11967945B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-04-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters |
US10790801B2 (en) | 2018-09-07 | 2020-09-29 | Vtt Technical Research Centre Of Finland Ltd | Loaded resonators for adjusting frequency response of acoustic wave resonators |
DE112019005403T5 (de) * | 2018-10-31 | 2021-07-15 | Resonant Inc. | Fest montierter transversal angeregter akustischer filmvolumenresonator |
DE102019121082A1 (de) * | 2019-08-05 | 2021-02-11 | RF360 Europe GmbH | SAW-Filtervorrichtung mit verbessertem Wärmeverhalten und Verfahren für Design und Herstellung |
US20220123715A1 (en) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Bulk acoustic wave device with integrated temperature sensor and heater |
CN117321912A (zh) * | 2021-03-30 | 2023-12-29 | 株式会社村田制作所 | 使用横向激发薄膜体声谐振器的用于6GHz WI-FI的滤波器 |
CN113708739B (zh) * | 2021-08-27 | 2024-06-18 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种声波滤波器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283688A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルター |
JP2005214713A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Sony Corp | 湿度状態検出システム |
WO2007125734A1 (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2008079227A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Fujitsu Media Device Kk | フィルタおよび分波器 |
JP2009524955A (ja) * | 2006-01-26 | 2009-07-02 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電子音響部材 |
WO2009119007A1 (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
WO2010122767A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子と、これを用いた電子機器 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4243960A (en) * | 1978-08-14 | 1981-01-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and materials for tuning the center frequency of narrow-band surface-acoustic-wave (SAW) devices by means of dielectric overlays |
JPH0846467A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタの周波数調整方法 |
US5632909A (en) * | 1995-06-19 | 1997-05-27 | Motorola, Inc. | Filter |
JP4063414B2 (ja) | 1998-08-25 | 2008-03-19 | 沖電気工業株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JP2000196409A (ja) | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波フィルタ |
JP3387469B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ |
JP4352572B2 (ja) * | 2000-04-03 | 2009-10-28 | パナソニック株式会社 | アンテナ共用器 |
JP3414384B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2003-06-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
US7061345B2 (en) * | 2001-12-14 | 2006-06-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filter circuit with series and parallel elements |
JP4333673B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2009-09-16 | パナソニック株式会社 | アンテナ共用器 |
-
2011
- 2011-12-28 CN CN201180065346.4A patent/CN103329437B/zh active Active
- 2011-12-28 DE DE112011104736.3T patent/DE112011104736B4/de active Active
- 2011-12-28 KR KR1020137018727A patent/KR101516653B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-28 WO PCT/JP2011/080362 patent/WO2012098816A1/ja active Application Filing
- 2011-12-28 JP JP2012553591A patent/JP5713027B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-17 US US13/943,963 patent/US9124243B2/en active Active
-
2014
- 2014-12-25 JP JP2014262191A patent/JP6025815B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283688A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルター |
JP2005214713A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Sony Corp | 湿度状態検出システム |
JP2009524955A (ja) * | 2006-01-26 | 2009-07-02 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電子音響部材 |
WO2007125734A1 (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2008079227A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Fujitsu Media Device Kk | フィルタおよび分波器 |
WO2009119007A1 (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
WO2010122767A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子と、これを用いた電子機器 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10958238B2 (en) | 2015-07-02 | 2021-03-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
JPWO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2017068877A1 (ja) * | 2015-10-23 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JPWO2017068877A1 (ja) * | 2015-10-23 | 2018-06-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
US10425116B2 (en) | 2015-10-23 | 2019-09-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device, high frequency front-end circuit, and communication apparatus |
DE102017108105A1 (de) | 2016-04-21 | 2017-10-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filtervorrichtung für elastische Wellen |
US10056879B2 (en) | 2016-04-21 | 2018-08-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device |
DE102017108105B4 (de) | 2016-04-21 | 2023-02-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filtervorrichtung für elastische Wellen |
KR20190108607A (ko) * | 2017-03-09 | 2019-09-24 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
US10680577B2 (en) | 2017-03-09 | 2020-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device, multiplexer, high-frequency front-end circuit, and communication apparatus |
KR102215432B1 (ko) | 2017-03-09 | 2021-02-16 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
JPWO2018164210A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2019-11-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2018164210A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
KR20200139228A (ko) * | 2018-05-14 | 2020-12-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트엔드 회로 및 통신 장치 |
KR102605779B1 (ko) | 2018-05-14 | 2023-11-24 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트엔드 회로 및 통신 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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