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各物体区域グループは、単一の独立したデバイス、例えば、デジタルミラーデバイス（ＤＭＤ）として実現することができる。本発明により、対物系は、光学インテグレーター上のこれらのデバイスの像をこれらの像が途切れなく当接するように組み合わせる。従って、全てのデバイスの分解能が加算されるので、空間光変調器の各物体区域内の空間分解能を極めて高くすることができる。このようにして、１０ 8 ピクセル程度まで高くすることができる全体分解能を生成することができる。
時には、段階状のものではなく、傾斜部分を含む放射照度分布を生成することが望ましい。この放射照度分布は、２つの矩形格子が互いに平行に配置されず、図１８に示すように角度αを有する場合に達成することができる。次に、マイクロミラー５６の像５６’は、光入射ファセット７５の側辺と角度αを形成する格子１１４を形成する。この時に、隣接するマイクロミラー５６の中心は、光入射ファセット７５の境界線に対して同じ角度αを形成する像１１６を有する直線に沿って位置合わせされる。この角度αが、ｍ＝０，１，２，３，．．．である時にｍ・４５°と明確に異なる場合に、放射照度分布は、図１３及び図１５に示すような段階状分布の形状を持たなくなる。
矩形物体区域１１０が正方形光入射ファセット７５上に結像されることになる場合に、対物系５８はアナモフィックのものでなければならない。より具体的には、倍率Ｍの絶対値は、走査方向Ｙに沿ってよりも交差走査方向Ｘに沿って小さく、すなわち、｜ＭX｜＜｜ＭY｜である必要がある。これを図２３に例示しており、この図では、単一矩形物体区域１１０と光学ラスター要素７４の光入射ファセット７５との間に対物系５８の２つの円柱レンズ１２４、１２６が配置されている。交差走査方向Ｘに沿った物体区域１１０の長さがＬXであり、走査方向Ｙに沿った長さがＬYである場合に、｜Ｍ X ／Ｍ Y ｜は、ＬY／ＬXに等しくなければならない。
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