JP2013047797A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 予め決められたスキャンライン画像データに応答して、一連の一次元光ピクセルで構成される一次元スキャンライン画像を発生するための方法であって、
1つ以上の光源から第1の束密度の有する1つ以上の光ビームを発生させることにより、均質光を発生させることを含み、前記発生した1つ以上の光ビームの全てがホモジナイザに案内されると共に、前記ホモジナイザから出た前記均質光が均一の二次元均質光場を形成し且つ第2の束密度を有し、前記第1の束密度は前記第2の束密度より大きく、
前記予め決められたスキャンライン画像データに従って前記均質光を変調することを含み、前記変調された均質光が二次元変調光場を形成し、
前記均質光が前記変調されてなる変調光をアナモルフィックに画像化しかつ集中させることを含み、前記集中された変調光が一次元スキャンライン画像を形成し、前記一連の一次元光ピクセルの各々は、スキャンラインに垂直に位置合わせされた複数の光変調素子から受け取られた前記二次元変調光場の同時に組み合わされた部分を備え、
前記変調光をアナモルフィックに集中させることは、
第1の集束レンズ及び第2の集束レンズを用いて、処理方向に交差する方向に、前記変調光の部分を投影しかつ拡大することを含み、前記変調光の部分が、前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間で処理方向に平行のままであり、
前記第1の集束レンズ及び前記第2の集束レンズより下流に位置する第3の集束レンズを用いて、前記処理方向に平行な方向に前記変調光の部分を集中させることを含む、
方法。 - 前記均質光を変調することは、
複数の行及び複数の列に配置された前記複数の光変調素子の上に前記均質光を案内することを含み、前記複数の列の各々は、前記複数の光変調素子の関連付けられたグループを含み、
前記複数の光変調素子の各々を制御することを含み、前記予め決められたスキャンライン画像データに応答して、前記複数の光変調素子の各々が、第1の変調状態及び第2の変調状態の1つに調整され、前記複数の光変調素子の各々が前記第1の変調状態にあるとき、前記複数の光変調素子の各々は、関連付けられ且つ受け取られた前記均質光の部分を変調して、前記関連付けられ且つ変調された前記均質光の部分が、対応する予め定められた方向に案内されると共に、前記複数の光変調素子の各々が前記第2の変調状態にあるとき、前記複数の光変調素子の各々は、前記関連付けられ且つ受け取られた前記均質光の部分を変調して、前記関連付けられ且つ変調された前記均質光の部分が、前記対応する予め定められた方向に沿って通過せず、
前記変調光をアナモルフィックに集中させることは、
前記複数の光変調素子の各々から受け取られた前記変調光の部分をアナモルフィックに集中させることを含み、前記複数の列の各々の前記複数の光変調素子の関連付けられた各グループから受け取られた前記変調光の部分は、前記一次元スキャンライン画像の関連付けられた画像領域の上に集中する、
請求項1に記載の方法。 - 前記均質光を変調することは、デジタル・マイクロミラー・デバイス、電子光学回折変調器アレイ、及び熱光学吸収素子から成るアレイの1つを利用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記均質光を変調することは、
基板に配置された複数の微小電気機械式ミラー機構に前記均質光を案内することを含み、
前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々を制御することを含み、前記予め決められたスキャンライン画像データの対応する部分に従って、前記基板に対して傾いた第1の位置と前記基板に対して傾いた第2の位置との間で、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々のミラーが動かされる、
請求項1に記載の方法。 - 前記均質光を変調することは、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々を位置させることを含み、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々のミラーが前記基板に対して傾いた第1の位置に位置するとき、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々のミラーは、前記均質光の関連付けられ部分を反射させ、前記反射された部分は、アナモルフィック光学系に案内されると共に、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々のミラーが前記基板に対して傾いた第2の位置に位置するとき、前記複数の微小電気機械式ミラー機構の各々のミラーは、前記均質光の前記関連付けられ部分を反射させ、前記反射された部分は、前記アナモルフィック光学系から離れる、
請求項4に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/216,877 | 2011-08-24 | ||
US13/216,877 US9030515B2 (en) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | Single-pass imaging method using spatial light modulator and anamorphic projection optics |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013047797A JP2013047797A (ja) | 2013-03-07 |
JP2013047797A5 true JP2013047797A5 (ja) | 2015-09-17 |
JP5820347B2 JP5820347B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=47044754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012170722A Active JP5820347B2 (ja) | 2011-08-24 | 2012-08-01 | 空間光変調器およびアナモフィック投影光学を用いた単一通過画像形成システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9030515B2 (ja) |
EP (1) | EP2561993B1 (ja) |
JP (1) | JP5820347B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9630424B2 (en) * | 2011-08-24 | 2017-04-25 | Palo Alto Research Center Incorporated | VCSEL-based variable image optical line generator |
US8767270B2 (en) * | 2011-08-24 | 2014-07-01 | Palo Alto Research Center Incorporated | Single-pass imaging apparatus with image data scrolling for improved resolution contrast and exposure extent |
US8390917B1 (en) * | 2011-08-24 | 2013-03-05 | Palo Alto Research Center Incorporated | Multiple line single-pass imaging using spatial light modulator and anamorphic projection optics |
US9354379B2 (en) * | 2014-09-29 | 2016-05-31 | Palo Alto Research Center Incorporated | Light guide based optical system for laser line generator |
JP6546868B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2019-07-17 | パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド | Vcselベースの可変画像光線発生装置 |
WO2018075100A1 (en) * | 2016-06-21 | 2018-04-26 | The Regents Of The University Of California | Mems-based spatial light modulator and method of forming |
KR20220114292A (ko) | 2021-02-08 | 2022-08-17 | 한국전자통신연구원 | 초분광 이미징 공간 분해능 향상이 가능한 광학 시스템 및 이를 이용한 광정렬 방법 |
US11506892B1 (en) | 2021-05-03 | 2022-11-22 | GM Global Technology Operations LLC | Holographic display system for a motor vehicle |
US11762195B2 (en) | 2021-05-06 | 2023-09-19 | GM Global Technology Operations LLC | Holographic display system with conjugate image removal for a motor vehicle |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3800699A (en) | 1970-06-17 | 1974-04-02 | A Carley | Fountain solution image apparatus for electronic lithography |
US5105369A (en) | 1989-12-21 | 1992-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Printing system exposure module alignment method and apparatus of manufacture |
US5101236A (en) | 1989-12-21 | 1992-03-31 | Texas Instruments Incorporated | Light energy control system and method of operation |
US5041851A (en) | 1989-12-21 | 1991-08-20 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator printer and method of operation |
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EP1327527A1 (de) | 2002-01-15 | 2003-07-16 | Imip Llc | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines fotografischen Bilds |
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JP4223936B2 (ja) | 2003-02-06 | 2009-02-12 | 株式会社リコー | 投射光学系、拡大投射光学系、拡大投射装置及び画像投射装置 |
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US8282221B2 (en) | 2003-11-01 | 2012-10-09 | Silicon Quest Kabushiki Kaisha | Projection apparatus using variable light source |
US7061581B1 (en) | 2004-11-22 | 2006-06-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
TW200640245A (en) | 2005-02-04 | 2006-11-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Rendering device and rendering method |
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JP4983156B2 (ja) | 2006-08-29 | 2012-07-25 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像形成装置 |
CN1916768A (zh) | 2006-09-08 | 2007-02-21 | 中国科学院光电技术研究所 | 个性化隐形眼镜定制设备 |
US8199178B1 (en) | 2007-05-03 | 2012-06-12 | Silicon Light Machines Corporation | Linear array of two dimensional dense-packed spatial light modulator |
US7719766B2 (en) | 2007-06-20 | 2010-05-18 | Texas Instruments Incorporated | Illumination source and method therefor |
JP5029667B2 (ja) * | 2008-12-29 | 2012-09-19 | ソニー株式会社 | 画像記録媒体 |
WO2010092188A1 (en) | 2009-02-16 | 2010-08-19 | Micronic Laser Systems Ab | Improved slm device and method |
EP2732203A4 (en) | 2011-07-11 | 2015-03-11 | Raytheon Co | COMPACT LIGHT HOMOGENIZER |
US8405913B2 (en) | 2011-08-24 | 2013-03-26 | Palo Alto Research Center Incorporated | Anamorphic projection optical system |
US8472104B2 (en) | 2011-08-24 | 2013-06-25 | Palo Alto Research Center Incorporated | Single-pass imaging system using spatial light modulator anamorphic projection optics |
US8872875B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-10-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Single-pass imaging system with anamorphic optical system |
US8520045B2 (en) | 2011-08-24 | 2013-08-27 | Palo Alto Research Center Incorporated | Single-pass imaging system with spatial light modulator and catadioptric anamorphic optical system |
-
2011
- 2011-08-24 US US13/216,877 patent/US9030515B2/en active Active
-
2012
- 2012-08-01 JP JP2012170722A patent/JP5820347B2/ja active Active
- 2012-08-20 EP EP12180980.0A patent/EP2561993B1/en active Active
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