JP5809637B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2009年11月18日に出願した米国仮出願第61/262,225号の優先権を主張し、その全体を本願に参考として組み込む。
上の式で、λは使用される放射の波長であり、NAはパターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1はレイリー定数とも呼ばれるプロセス依存調整係数であり、CDは印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズの縮小は、以下の3つの方法、露光波長λを短縮することによって、開口数NAを増加させることによって、あるいはk1の値を低下させることによって達成することができる、と言える。
- 放射ビームB(例えば、EUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
- パターニングデバイス(例えば、マスクまたはレチクル)MAを支持するように構成され、かつパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに連結されているサポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
- 基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、かつ基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに連結されている基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
- パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、屈折投影レンズシステム)PSとを備える。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (12)
- パターニングデバイスから基板上にパターンを投影するリソグラフィ装置であって、放射ビームを調整して前記放射ビームを前記パターニングデバイス上に誘導する照明システムを有し、前記照明システムは、
第1反射コンポーネントおよび第2反射コンポーネントであって、前記第1反射コンポーネントは、前記放射ビームの放射を前記第2反射コンポーネントに誘導し、かつ複数の移動可能な反射要素を含んでおり、各移動可能な反射要素は、照明モードを変更するために少なくとも第1位置と第2位置との間で移動可能であり、前記第2反射コンポーネントは前記照明システムの瞳面に関連している、第1反射コンポーネントおよび第2反射コンポーネントと、
所望の照明モードを実施するために前記複数の移動可能な反射要素をそれぞれの所望の位置に設定する制御システムであって、前記移動可能な反射要素のうちの第1移動可能な反射要素が欠陥を有しかつ前記それぞれの所望の位置に設定されることができない場合、前記第1移動可能な反射要素による悪影響を少なくとも部分的に改善するために、前記移動可能な反射要素のうちの第2移動可能な反射要素をその所望の位置とは異なる修正位置に設定する制御システムと、を含む、リソグラフィ装置。 - 前記第2移動可能な反射要素が、その所望の位置において、前記第1移動可能な反射要素によって放射が誘導されたであろう前記瞳面における第1点と反対である前記瞳面における第2点に放射を誘導する移動可能な反射要素であるように、前記制御システムが構成され、
前記第2点は、前記照明システムの光軸に対して前記第1点とは反対である、または、前記瞳面内に位置するとともに前記照明システムの光軸を通過する仮想線に対して前記第1点とは反対である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1移動可能な反射要素が放射を前記瞳面における第1点に誘導した場合、前記第2移動可能な反射要素が、修正位置に設定されて、前記第1点と反対である前記瞳面における第2点に放射を誘導するように、前記制御システムが構成され、
前記第2点は、前記照明システムの光軸に対して前記第1点とは反対である、または、前記瞳面内に位置するとともに前記照明システムの光軸を通過する仮想線に対して前記第1点とは反対である、請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1移動可能な反射要素が、第1テレセントリック性エラーを引き起こすように放射を誘導した場合、前記第1テレセントリック性エラーに対向する第2テレセントリック性エラーを引き起こすように放射を誘導するために前記第2移動可能な反射要素を修正位置に設定するように、前記制御システムが構成される、請求項1〜3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1移動可能な反射要素が、前記基板に放射が到達しないような方向に前記放射を誘導した場合、前記基板に前記放射が到達しないように前記放射を誘導するように前記第2移動可能な反射要素を修正位置に設定するように、前記制御システムが構成される、請求項1〜4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御システムは、さらに、
欠陥のある移動可能な反射要素および前記欠陥のある移動可能な反射要素の位置を識別する情報を記憶するメモリと、
前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記位置を前記欠陥のある移動可能な反射要素の所望の位置と比較する比較器とを含み、
前記制御システムは、前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記位置が前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記所望の位置と等しくない場合にのみ、前記第2移動可能な反射要素を修正位置に設定する、請求項1〜5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - デバイスを製造するリソグラフィ方法であって、前記方法は、
放射ビームを第1反射コンポーネント上に誘導することであって、それによって前記放射ビームは前記第1反射コンポーネントから反射して第2反射コンポーネントに入射し、その後前記放射ビームはパターニングデバイスに入射し、前記第1反射コンポーネントは複数の移動可能な反射要素を含み、各移動可能な反射要素は、前記パターニングデバイスの照明モードを変更するように少なくとも第1位置と第2位置との間で移動可能である、ことと、
前記移動可能な反射要素のうちの第1移動可能な反射要素が欠陥を有しかつ所望の照明モードを定義するために所望の位置に設定されることができない場合、前記第1移動可能な反射要素による悪影響を少なくとも部分的に改善するために、前記移動可能な反射要素のうちの第2移動可能な反射要素を、所望の照明モードを定義するためのその所望の位置とは異なる修正位置に設定することと、
前記パターニングデバイスを用いて前記放射ビームをパターニングすることと、
前記パターン付き放射ビームを基板上に投影することと、を含む、リソグラフィ方法。 - 所望の位置における前記第2移動可能な反射要素は、前記第1移動可能な反射要素によって放射が誘導されたであろう前記第2反射コンポーネント上の第1点と反対である前記第2反射コンポーネント上の第2点に放射を誘導し、
前記第2点は、前記第1反射コンポーネントおよび前記第2反射コンポーネントが一部を形成する照明システムの光軸に対して前記第1点と反対である、または、前記第2反射コンポーネントに位置しかつその中心を通過する仮想線に対して前記第1点とは反対である、請求項7に記載のリソグラフィ方法。 - 前記第1移動可能な反射要素は、放射を前記第2反射コンポーネント上の第1点に誘導し、前記第2移動可能な反射要素は、修正位置に設定され、それによって前記第2移動可能な反射要素は、前記第1点と反対である前記第2反射コンポーネント上の第2点に放射を誘導し、
前記第2点は、前記第1反射コンポーネントおよび前記第2反射コンポーネントが一部を形成する照明システムの光軸に対して前記第1点と反対である、または、前記第2反射コンポーネントに位置しかつその中心を通過する仮想線に対して前記第1点とは反対である、請求項7または8に記載のリソグラフィ方法。 - 前記第1移動可能な反射要素は、第1テレセントリック性エラーを引き起こすように放射を誘導し、前記第2移動可能な反射要素は、前記第1テレセントリック性エラーに対向する第2テレセントリック性エラーを引き起こすように放射を誘導するために修正位置に設定される、請求項7〜9のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
- 前記第1移動可能な反射要素は、前記基板に放射が到達しないような方向に前記放射を誘導し、前記第2移動可能な反射要素は、前記基板に前記放射が到達しないように前記放射を誘導するように修正位置に設定される、請求項7〜10のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
- 欠陥のある移動可能な反射要素および前記欠陥のある移動可能な反射要素の位置を識別する情報を記憶することと、
前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記位置を前記欠陥のある反射要素の所望の位置と比較することと、
前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記位置が前記欠陥のある移動可能な反射要素の前記所望の位置と等しくない場合にのみ、前記第2移動可能な反射要素を修正位置に設定することと、をさらに含む、請求項7〜11のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
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