JP2015109437A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- シリコンウェーハの研磨方法であって、
表面を有するシリコンウェーハを提供すること；
化学機械研磨パッドであって、原材料成分｛
多官能イソシアナート；及び
硬化剤パッケージ［
少なくとも５重量％のアミン開始ポリオール硬化剤（ここで、このアミン開始ポリオール硬化剤は、１分子当たり少なくとも１個の窒素原子を含有し；このアミン開始ポリオール硬化剤は、１分子当たり平均少なくとも３個のヒドロキシル基を有する）；
２５〜９５重量％の高分子量ポリオール硬化剤（ここで、この高分子量ポリオール硬化剤は、７，５００〜２５，０００の数平均分子量ＭＮを有しており；そしてこの高分子量ポリオール硬化剤は、１分子当たり平均３〜１０個のヒドロキシル基を有する）；及び
０〜７０重量％の二官能硬化剤（ここで、この二官能硬化剤は、ジオール硬化剤及びジアミン硬化剤よりなる群より選択される）を含む］を含む｝
の反応生成物である研磨層（ここで、
この研磨層は、０．４g/cm３を超える密度；５〜４０のショアＤ硬度；１００〜４５０％の破断点伸び；及び２５〜１５０μm/時のカットレートを示し、そしてこの研磨層は、シリコンウェーハの研磨用に適した研磨表面を有する）
を含む化学機械研磨パッドを提供すること；及び
研磨層の研磨表面と、シリコンウェーハの表面との間に動的接触（ここで、シリコンウェーハの表面が研磨される）を作り出すことを含む方法。 - シリコンウェーハの表面が、前表面であり；そしてシリコンウェーハの前表面が、＜０．０７５ppmのヘイズまでヘイズフリー研磨される、請求項１に記載の方法。
- 硬化剤パッケージ中の反応性水素基と、多官能イソシアナート中の未反応イソシアナート基との化学量論比が、０．８５〜１．１５である、請求項２に記載の方法。
- 多官能イソシアナートが、脂肪族多官能イソシアナート、芳香族多官能イソシアナート及びこれらの混合物よりなる群から選択される、請求項２に記載の方法。
- 多官能イソシアナートが、２〜１２重量％の未反応ＮＣＯ基を有するイソシアナート末端ウレタンプレポリマーである、請求項４に記載の方法。
- 硬化剤パッケージが、
５〜２０重量％のアミン開始ポリオール硬化剤（ここで、このアミン開始ポリオール硬化剤は、１分子当たり２個の窒素原子を含有し；このアミン開始ポリオール硬化剤は、１分子当たり平均４個のヒドロキシル基を有しており；そしてこのアミン開始ポリオール硬化剤は、２００〜４００の数平均分子量ＭＮを有する）；
５０〜７５重量％の高分子量ポリオール硬化剤（ここで、この高分子量ポリオール硬化剤は、１０，０００〜１２，０００の数平均分子量ＭＮを有しており；そしてこの高分子量ポリオール硬化剤は、１分子当たり平均６個のヒドロキシル基を有する）；
１０〜３０重量％の二官能硬化剤（ここで、この二官能硬化剤は、４，４’−メチレン−ビス−（２−クロロアニリン）（ＭＢＯＣＡ）；４，４’−メチレン−ビス−（３−クロロ−２，６−ジエチルアニリン）（ＭＣＤＥＡ）、及びこれらの異性体よりなる群から選択されるジアミン硬化剤である）を含む［ここで、
この硬化剤パッケージ中の反応性水素基と、多官能イソシアナート中の未反応イソシアナート基との化学量論比は、０．９５〜１．０５であり；
この研磨層は、０．６５〜０．８５g/cm３の密度；１０〜４０のショアＤ硬度；１５０〜３５０％の破断点伸び；及び３０〜６０μm/時のカットレートを示す］、請求項５に記載の方法。 - イソシアナート末端ウレタンプレポリマーが、５〜７重量％の未反応ＮＣＯ基を有しており；そしてイソシアナート末端ウレタンプレポリマーが、４００〜２，５００の数平均分子量ＭＮを示す、請求項６に記載の方法。
- 研磨層が、そこに形成された螺旋溝パターンを有する、請求項７に記載の方法。
- 円周有溝率が、研磨表面の外周から研磨表面の中心までの大部分の距離に及ぶ区域において、研磨層の半径の関数としてその平均値の１０％以内にとどまる、請求項８に記載の方法。
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