JP2015109419A - 半導体デバイスの製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する工程と、前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する工程と、を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する工程と、前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する工程と、を行う。
【選択図】図4
Description
基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する工程と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する工程と、
を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する工程と、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
処理炉202には加熱手段(加熱機構、加熱系)としてのヒータ207が設けられている。ヒータ207は上方が閉塞された円筒形状に形成されている。
半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に、例えばゲート電極を構成する金属膜を形成する工程の一例について図4を用いて説明する。金属膜を形成する工程は、上述した基板処理装置10の処理炉202を用いて実行される。以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
ウエハ200に対して、金属含有ガス(例えばWF6ガス)と第1の還元ガス(例えばB2H6ガス)とを時分割して(非同期、間欠的、パルス的に)所定回数供給して、基板上に第1の非晶質金属層(例えばW層)を形成する工程と、
第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、金属含有ガスと第2の還元ガス(例えばH2ガス)とを同時に供給して、第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層(例えばW層)を形成する工程と、
を時分割して所定回数行うことによりウエハ200上に非晶質金属膜(例えばW膜)を形成する工程と、
非晶質金属膜が形成されたウエハ200に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを同時に供給して、ウエハ200上に形成された非晶質金属膜の上に結晶化した金属層(例えばW層)を形成する工程と、
を行う。
ウエハ200に対して、WF6ガスとB2H6ガスとを時分割して所定回数(n1回)供給して、第1の非晶質W層(アモルファスW層、α−W層とも称する)を形成するステップ(第1の成膜工程)と、
第1のα−W層が形成された基板に対して、WF6ガスとH2ガスとを同時に供給して、第1のα−W層の上に第2のα−W層を形成するステップ(第2の成膜工程)と、
を時分割して時分割して所定回数(n2回)行うことによりウエハ200上に非晶質W膜(アモルファスW膜、α−W膜とも称する)を形成するステップと、
ウエハ200上に形成された非晶質W膜(アモルファスW膜、α−W膜とも称する)を加熱するステップ(加熱工程、アニール工程)と、
を行い、ウエハ200上に結晶化したW膜を形成する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介してマニホールド209の下端開口を閉塞した状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づき、APCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電量がフィードバック制御される(温度調整)。なお、ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。続いて、回転機構267によりボート217およびウエハ200の回転を開始する。なお、回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
非晶質のW膜(α−W膜)を形成する工程(ステップ)を実行する。非晶質W膜形成工程は、第1の成膜工程および第2の成膜工程を含む。
第1のα−W層を形成する工程(ステップ)を実行する。第1の成膜工程は、以下に説明する第1の還元ガス供給工程、残留ガス除去工程、金属含有ガス供給工程、残留ガス除去工程を含む。
バルブ334を開き、ガス供給管330内にB2H6ガスを流す。ガス供給管330内を流れたB2H6ガスは、MFC332により流量調整されてノズル430のガス供給孔430aから処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してB2H6ガスが供給されることとなる。すなわちウエハ200の表面はB2H6ガスに暴露されることとなる。このとき同時にバルブ534を開き、キャリアガス供給管530内にN2ガスを流す。キャリアガス供給管530内を流れたN2ガスは、MFC532により流量調整されてB2H6ガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル410,420内へのB2H6ガスの侵入を防止するために、バルブ514,524を開き、キャリアガス供給管510,520内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管310,320,ノズル410,420を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
続いて、バルブ334を閉じ、B2H6ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留するB2H6ガスもしくは還元反応に寄与した後のB2H6ガスを処理室201内から排除する。ウエハ200が存在する空間に残留する未反応もしくは還元反応に寄与した後のB2H6ガスを除去する。このときバルブ514,524,534は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、処理室201内に残留する未反応もしくは還元反応に寄与した後のB2H6ガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このとき、第1の還元ガス供給工程により処理室201内に副生成物が生じていた場合、この副生成物も処理室201内から排除される。
バルブ314を開き、ガス供給管310内にWF6ガスを流す。ガス供給管310内を流れたWF6ガスは、MFC312により流量調整されてノズル410のガス供給孔410aから処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してWF6ガスが供給されることとなる。すなわちウエハ200の表面はWF6ガスに暴露されることとなる。このとき同時にバルブ514を開き、キャリアガス供給管510内にN2ガスを流す。キャリアガス供給管510内を流れたN2ガスは、MFC512により流量調整されてWF6ガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル420,430内へのWF6ガスの侵入を防止するために、バルブ524,534を開き、キャリアガス供給管520,530内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管320,330,ノズル420,430を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
所定膜厚のα−W含有層が形成された後、バルブ314を閉じ、WF6ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはα−W含有層の形成に寄与した後のWF6ガスを処理室201内から排除する。すなわち、α−W含有層が形成されたウエハ200が存在する空間に残留する未反応もしくはα−W含有層の形成に寄与した後のWF6ガスを除去する。このときバルブ514,524,534は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、処理室201内に残留する未反応もしくはα−W含有層の形成に寄与した後のWF6ガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述した第1の還元ガス供給工程、残留ガス除去工程、金属含有ガス供給工程、残留ガス除去工程を順に時分割して(非同期、間欠的、パルス的に)行うサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、すなわち、第1の還元ガス供給工程、残留ガス除去工程、金属含有ガス供給工程、残留ガス除去工程を1サイクルとして、これらの処理をn1サイクル(n1は1以上の整数)だけ実行することにより、ウエハ200上に、所定の厚さの第1のα−W層を形成する。所定の厚さは、第1層目の第1のα−W層については、シード層として必要とされる膜厚を考慮して決定する。第2層目以降の第1のα−W層については、次に第2の成膜工程を行う際に、第1のα−W層の上に形成するW層が結晶化せずに非晶質であるW層(第2のα−W層)として形成可能となるために必要な膜厚を考慮して決定する。例えば、第2層目以降では、サイクル数を制御して、膜厚を1Åから2Å程度に調整するとよい。このときに形成される第1のα−W層は、表面が滑らか(スムーズ)であって、かつ緻密な連続膜となる。上述の工程は、複数回繰り返すのが好ましい。
第2のα−W層(非晶質のW層)を形成する工程(ステップ)を実行する。第2の成膜工程は、以下に説明する金属含有ガスおよび第2の還元ガス供給工程、残留ガス除去工程を含む。
バルブ314,324を開き、ガス供給管310,320内にそれぞれWF6ガス、H2ガスを流す。ガス供給管310内を流れたWF6ガスおよびガス供給管320内を流れたH2ガスは、MFC312,322によりそれぞれ流量調整されてノズル410,420のガス供給孔410a,420aからそれぞれ処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してWF6ガスおよびH2ガスが供給されることとなる。すなわちウエハ200の表面はWF6ガスおよびH2ガスに暴露されることとなる。このとき同時にバルブ514,524を開き、キャリアガス供給管510,520内にそれぞれN2ガスを流す。キャリアガス供給管510,520内を流れたN2ガスは、MFC512,522によりそれぞれ流量調整されてWF6ガスもしくはH2ガスと一緒にそれぞれ処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル430内へのWF6ガスおよびH2ガスの侵入を防止するために、バルブ534を開き、キャリアガス供給管530内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管330,ノズル430を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
所定膜厚の第2のα−W層が形成された後、バルブ314,324を閉じ、WF6ガスおよびH2ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第2のα−W層の形成に寄与した後のWF6ガスおよびH2ガスを処理室201内から排除する。すなわち、第2のα−W層が形成されたウエハ200が存在する空間に残留する未反応もしくは第2のα−W層の形成に寄与した後のWF6ガスおよびH2ガスを除去する。このときバルブ514,524,534は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、処理室201内に残留する未反応もしくは第2のα−W層の形成に寄与した後のWF6ガスおよびH2ガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このとき、第2の成膜工程により処理室201内に副生成物が生じていた場合、この副生成物も処理室201内から排除される。
上述した第1の成膜工程、第2の成膜工程を、時分割してn2回(n2は1以上の整数)だけ実行することにより、ウエハ200上に、第1のα−W層と第2のα−W層とがナノレベルで交互に積層されてなる積層膜として構成される所定の厚さのα−W膜を形成する。上述のステップは複数回繰り返すのが好ましい。
成膜後、形成されたα−W膜に対して、窒素(N2)雰囲気でアニール処理(加熱処理)を行うことが望ましい。アニール処理は、第2の成膜工程に引き続き、処理室201内で実施しても、他のアニール装置にウエハ200を移動してアニール処理してもよい。ここでは、α−W膜を形成した後、引き続き処理室201内でアニールする方法について説明する。
α−W膜が結晶化されないためであり、1200℃より高くなるとウエハ200が溶解し始めてしまうためである。アニール処理することにより、ウエハ200上に形成されたα−W膜を結晶化させて結晶化W膜とすることができる。
ウエハ200上に形成されたα−W膜を結晶化させて結晶化W膜とした後、バルブ514,524,534を開いたままで、ガス供給管510,520,530のそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済ウエハ200がボート217に支持された状態でマニホールド209の下端から処理室201の外部に搬出(ボートアンロード)される。処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
図6(b)の場合、600℃に加熱することで、非晶質層の下方まで結晶化されていることがわかる。したがって、W膜を形成した後にアニール処理を行うことで、W膜が結晶化され、結合度の強い膜に改質できることがわかる。
本実施形態によれば、異なる手法を用いて形成した2種の非晶質のW層を組み合わせて所望の膜厚を有する非晶質のW膜を形成し、その非晶質のW膜をアニールすることにより、ラフネスが小さく、かつ抵抗率が低く結晶化したW膜を、開口部が狭い極細溝へ形成することができる。
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
本発明の一態様によれば、
基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して(非同期、間欠的、パルス的に)所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する工程と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する工程と、
を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する工程と、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する工程と、
を有する半導体装置の製造方法、または基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の温度は100℃〜250℃の範囲内の温度であって、好ましくは150℃〜200℃の範囲内の温度であって、より好ましくは200℃であり、前記第2の温度は500〜1200℃の範囲内の温度であって、好ましくは500〜800℃の範囲内の温度であって、より好ましくは600℃である。
付記1もしくは付記2のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の非晶質金属層を形成する工程、前記第2の非晶質金属層を形成する工程、および結晶化した金属層を形成する工程は、それぞれ同じ処理室内で行う。
付記1〜3のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記非晶質金属膜を形成する基板は、シリコン基板の処理面に金属含有膜が形成され、基板の裏面及び側面には金属含有膜が形成されていない。
付記4に記載の方法であって、好ましくは、
前記金属含有膜はチタン窒化膜である。
付記1〜5のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の還元ガスはボラン系ガスまたはシラン系ガスであって、第2の還元ガスは他元素非含有の水素含有ガスである。
付記6に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の還元ガスはジボラン(B2H6)ガスであって、前記第2の還元ガスは水素(H2)ガスである。
付記1〜7のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記金属含有ガスはタングステン含有ガスであって、前記第1の非晶質金属層、前記第2の非晶質金属層は非晶質のタングステン層であり、前記非晶質金属膜は非晶質のタングステン膜である。
付記8に記載の方法であって、好ましくは、
前記タングステン含有ガスは、タングステンを含むハロゲン化合物であって、六フッ化タングステン(WF6)である。
付記1〜9のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記基板を第2の温度で加熱する工程では、前記非晶質金属膜が形成された基板を加熱することにより、前記非晶質金属層の少なくとも一部を結晶化させる。
付記1〜10のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記基板はシリコン製の基板であり、前記基板の表面の少なくとも一部には金属含有膜が形成されており、前記非晶質金属膜を形成する工程では、前記基板の表面に形成された金属含有膜および前記基板を構成するシリコンに接する第1層目として前記第1の非晶質金属層を形成し、最終層として前記第2の非晶質金属層を形成する。
本発明の他の態様によれば、
処理面に金属含有膜が形成され、裏面及び側面には金属含有膜が形成されていないシリコン製の基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する工程と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する工程と、
を時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法、または基板処理方法が提供される。
付記12に記載の方法であって、好ましくは、
前記非晶質金属膜を形成する工程は、前記基板を第1の温度に維持した状態で行い、その後、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する加熱工程を行う。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内の基板に対して金属含有ガスを供給する第1ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第1の還元ガスを供給する第2ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第2の還元ガスを供給する第3ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して、前記金属含有ガスと前記第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する処理と、前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと前記第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する処理と、を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する処理と、前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する処理と、を行わせるように、前記ヒータ、前記第1ガス供給系、前記第2ガス供給系、および前記第3ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内の基板に対して金属含有ガスを供給する第1ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第1の還元ガスを供給する第2ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第2の還元ガスを供給する第3ガス供給系と、
前記処理室内に載置された基板であって、処理面に金属含有膜が形成され、裏面及び側面には金属含有膜が形成されていないシリコン製の基板に対して、前記金属含有ガスと前記第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する処理と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと前記第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する処理と、
を時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する処理を行わせるように、前記ヒータ、前記第1ガス供給系、前記第2ガス供給系、および前記第3ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して(非同期、間欠的、パルス的に)所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する手順と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する手順と、
を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する手順と、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム、および該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理面に金属含有膜が形成され、裏面及び側面には金属含有膜が形成されていないシリコン製の基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して(非同期、間欠的、パルス的に)所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する手順と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する手順と、
を時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム、または該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
201 処理室
202 処理炉
121 コントローラ
Claims (5)
- 基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する工程と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する工程と、
を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する工程と、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記基板を前記第2の温度で加熱する工程では、前記非晶質金属膜が形成された基板を加熱することにより、前記非晶質金属層の少なくとも一部を結晶化させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の温度は100℃〜250℃の範囲内の温度であり、前記第2の温度は500〜1200℃の範囲内の温度である請求項1もしくは請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内の基板に対して金属含有ガスを供給する第1ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第1の還元ガスを供給する第2ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して第2の還元ガスを供給する第3ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して、前記金属含有ガスと前記第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する処理と、前記第1の非晶質金属層が形成された前記基板に対して、前記金属含有ガスと前記第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する処理と、を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する処理と、前記非晶質金属膜が形成された前記基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する処理と、を行わせるように、前記ヒータ、前記第1ガス供給系、前記第2ガス供給系、および前記第3ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板に対して、金属含有ガスと第1の還元ガスとを時分割して所定回数供給して、前記基板上に第1の非晶質金属層を形成する手順と、
前記第1の非晶質金属層が形成された基板に対して、前記金属含有ガスと第2の還元ガスとを同時に供給して、前記第1の非晶質金属層の上に第2の非晶質金属層を形成する手順と、
を、前記基板を第1の温度に維持した状態で、時分割して所定回数行うことにより前記基板上に非晶質金属膜を形成する手順と、
前記非晶質金属膜が形成された基板を第1の温度より高い第2の温度で加熱する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム。
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