JP2015103348A - 酸化物超電導線材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、金属製の基材上に中間層を介し酸化物超電導層を設けた積層体であって、酸素アニール処理を施した後の酸化物超電導層を備えた積層体に対し、前記酸化物超電導層上に直にCuまたはCu合金の安定化層をスパッタ法により成膜する場合、一度に成膜するCu層またはCu合金層の膜厚を2.1μm以下として1回または複数回成膜することによりCuまたはCu合金の安定化層を形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
酸化物超電導層は成膜したままの状態では酸素が不足した状態であるので、成膜後に酸素アニールを施し、酸化物超電導層の結晶に酸素を供給する必要がある。また、酸化物超電導層を保護すること、抵抗率が小さく、酸化物超電導層との反応性が低く、酸素アニール時の酸素の透過性などを考慮し、酸化物超電導層の上にAgの保護層を形成することがなされている。更に、酸化物超電導線材は、通電状態において何らかの原因により常電導転移した場合の電流バイパス路を確保する必要があるので、電流を分流させる構造として、Agの保護層上にCuの金属安定化層を積層する構造が採用されている。
以下の特許文献1には、板状の金属基体上に超電導特性を有しない酸化物層を介し酸化物超電導層を形成し、この上に銅からなる安定化層を設けた構造が開示されている。
(1)Cuは酸化する際、酸化物超電導層から酸素を奪うので、Cuの安定化層の成膜後に酸素アニールを行うことはできない。従って、酸化物超電導線材として高い臨界電流値(Ic)を得るためには、酸化物超電導層に酸素アニールを施した後にCuの安定化層を成膜しなくてはならない。
(2)Cuの成膜方法には、種々の方法が知られているが、汎用性の高いスパッタリング法によるとCu粒子が基板に衝突する際、Cu粒子の運動エネルギーが熱エネルギーに変換され、基板が発熱し易く、この発熱のために酸化物超電導層から酸素が抜けやすくなり、Icが低下する問題がある。成膜方法のなかでスパッタリング法によるCuの膜は下地に対し密着性に優れる傾向があるので、好ましい成膜方法と考えられるものの、上述のIc低下の問題を回避する必要がある。
スパッタ法におけるArガス圧力はスパッタ粒子のエネルギーに関係する。Arガス圧をある程度大きくすることにより、スパッタ粒子のエネルギーを小さくできる。特に、Arガス圧を1.5Pa以上とすることにより、酸化物超電導層からの酸素の脱離を抑制し、臨界電流値の高い酸化物超電導線材を得ることができる。
第1の安定化層に加え第2の安定化層を備えることで通電電流のバイパス路としての安定化層を十分な厚さ確保し易いので、安定性に優れた酸化物超電導線材を得ることができる。
前記基材2は、長尺とするためにテープ状であることが好ましく、ハステロイ(米国ヘインズ社製商品名)に代表されるニッケル合金などの耐熱性に優れた高強度の金属材料からなる。また、基材2として、ニッケル合金に集合組織を導入した配向Ni−W合金テープ基材を適用することもできる。基材2の厚さは、目的に応じて適宜調整すれば良く、10〜500μmの範囲とすることができる。
拡散防止層5Aは、Si3N4、Al2O3、GZO(Gd2Zr2O7)等から構成され、例えば厚さ10〜400nmに形成される。
ベッド層は、界面反応性を低減し、その上に形成される膜の配向性を得るため層であり、Y2O3、Er2O3、CeO2、Dy2O3、Er2O3、Eu2O3、Ho2O3、La2O3等からなり、その厚さは例えば10〜100nmである。
キャップ層5Cは、上述の配向層5Bの表面に成膜されて結晶粒が面内方向に自己配向し得る材料からなり、具体的には、CeO2、Y2O3、Al2O3、Gd2O3、ZrO2、YSZ、Ho2O3、Nd2O3、LaMnO3等からなる。キャップ層5Cの膜厚は50〜5000nmの範囲に形成できる。
酸化物超電導線材1において、拡散防止層5Aあるいはベッド層はイオンビームスパッタ法により形成することができ、配向層5BはIBAD(イオンビームアシスト蒸着法)法により、キャップ層5Cと酸化物超電導層6はPLD法(パルスレーザー蒸着法)により成膜できる。これらの層を形成する成膜法は特に限定されるものではなく、いずれの成膜法を用いても良いが、配向層5は2軸配向性の良好な層とするためにIBAD法を利用することが好ましい。
安定化層8はRFスパッタ法などにより多層構造に形成されている。なお、安定化層8を成膜する以前に、400〜500℃で10時間程度、酸素雰囲気中において酸素アニールがなされている。
スパッタ法は膜を成形する粒子の持つエネルギーが大きく、他の成膜法に比べて基材側への付着力の強い膜の作成が可能となる。成膜用のチャンバーの内部にCuあるいはCu合金のターゲットを設置する。
Cu合金のターゲットを用いる場合、Cu-Sn合金、Cu-Ag合金のターゲットを用いることができる。
この例のスパッタ装置20は、断面四角型の縦長の隔壁21により区画された成膜室22を有する上部チャンバー23と、上部チャンバー23の底部側に接続して設けられ、成膜室22に通じる基材移動室25を有する下部チャンバー26を備えている。この例の下部チャンバー26は横断面台形状に形成され、その天井部に形成された通過孔26aを上部チャンバー23の底壁に形成された通過孔23aに連通させて上部チャンバー23と一体化されている。
また、下部チャンバー26の内部には転向リール群28の左右に位置するように中心軸を個々に水平に向けた第1のリール33と第2のリール34がそれらの中心軸回りに回転自在に設けられている。
なお、図2では記載を略しているが上部チャンバー23の一部に真空ポンプなどの減圧装置とガス供給管が接続され、チャンバー23、26の内部をArガス等の不活性ガスを供給した減圧雰囲気に調整することができる。
チャンバー23、26の内部にArガス等の不活性ガスを送り込み、積層体7が構成する走行レーン29とターゲット30の間に数100V〜数1000Vの電圧を印加し、プラズマ化した不活性ガスイオンをターゲットに向けて加速し、衝突させてターゲット30の粒子をスパッタすることで、酸化物超電導層6上にCu層またはCu合金層を成膜することができる。
減圧可能なチャンバー23、26の内部に、テープ状の積層体7を巻き付けた第1のリール33と、この第1のリール33に対向する位置に第2のリール34を設けているので、リール33から積層体7を転向リール群27、28に送り出し、転向リール群27,28の間で走行レーン29を形成しつつ酸化物超電導層6の表面側に成膜することができる。
また、不活性ガス圧を0.2Pa〜3.0Paの範囲とすることにより、スパッタ時のArガス圧力を高め、基材上の酸化物超電導層6に衝突する直前のCu原子の運動エネルギーを小さくすることができ、基材2と酸化物超電導層6を含めた積層体7の発熱を抑制することができる。
安定化層8を成膜する場合、第1のリール33から、第2のリール34側にテープ状の積層体7を送り、1層目のCu層を形成したならば、第2のリール34側から第1のリール33側にテープ状の積層体7を送る操作を行い、2層目のCu層を形成する。2層目のCu層の成膜が終了したならば、再度、第1のリール33側から第2のリール34側にテープ状の積層体7を送りながら成膜する処理と、第2のリール側から第1のリール側にテープ状の積層体7を送りつつ成膜する処理を繰り返し交互に行い、必要な膜厚のCu層あるいはCu合金層を堆積することで金属安定化層8を形成できる。
このように2.1μm以下の膜厚のCu層またはCu合金層を形成するならば、スパッタ粒子の堆積によりテープ状の積層体7を加熱したとしても、積層体7を300℃以上の高温に加熱するおそれが少ないので、成膜時に酸化物超電導層6から酸素が脱離する割合を抑制できる。
従って、複数のCu層またはCu合金層からなる積層構造の安定化層8を形成した場合であっても、臨界電流値の低下していない、優れた超電導特性の酸化物超電導線材1を得ることができる。
例えば、酸化物超電導層6の表面に直にCu層又はCu合金層を形成する初回の成膜では、酸化物超電導層6にダメージを与えにくくするために、スパッタ粒子のエネルギーを低くして成膜し、2層目以降の成膜においては、すでにCu層又はCu合金層があるので、1層目のときよりも成膜速度を大きくしてCu層又はCu合金層を形成してもよい。
また、例えば初回の成膜のときに、1μm以下の薄いCu層又はCu合金層を形成することでダメージを抑制しつつCu層を形成し、2層目以降の成膜では、1層目よりも厚く(1μm超えて2.1μm以下)の膜厚で成膜してもよい。
酸化物超電導層6の電流を転流するバイパスとして機能する安定化層の膜厚を大きくするために、図3に示す構造のように酸化物超電導線材1の外周に第2安定化層9を複合することができる。
図4は図1に示す酸化物超電導線材1の外周に金属テープからなるCuあるいはCu合金製の第2安定化層11を半田層12を介し複合した複合酸化物超電導線材13の一例構造を示す。この例の第2安定化層11は、酸化物超電導線材1の全周を囲んでも良いが、図4の例では、基材2の外面側幅方向中央部のみを残して酸化物超電導線材1の周囲を囲むように第2安定化層11が配置されている。
酸化物超電導層6の電流を転流するバイパスとして機能する安定化層の膜厚を大きくするために、図4に示す構造のように酸化物超電導線材1の外周に第2安定化層11を複合することができる。
洗浄後の基板表面にイオンビームスパッタ法によりAl2O3からなる厚さ100nmの拡散防止層を形成し、更にその上にイオンビームスパッタ法を用いてY2O3からなる厚さ30nmのベッド層を形成した。イオンビームスパッタ法の実施にあたりテープ状の基材はスパッタ装置の内部においてリールに巻回しておき、一方のリールから他方のリールに繰り出す間に成膜できるようにしてテープ状基材の全長にわたり、拡散防止層とベッド層を形成した。次に、イオンビームアシスト蒸着法によりベッド層上に厚さ5〜10nmのMgOの配向層を形成した。この場合、アシストイオンビームの入射角度は、テープ状基材成膜面の法線に対し、45゜とした。
次に、この線材に対し酸素アニールを500℃で10時間行い、26時間かけて炉冷して酸化物超電導素線を得た後、酸素アニール炉から酸化物超電導素線を取り出した。
酸化物超電導素線を酸素アニール炉から取り出して12時間以内に、RFスパッタ装置を用い、出力600W、Arガス圧1.7Paとして酸化物超電導層上にCu層からなる安定化層を積層し、安定化層付きの酸化物超電導線材を得た。
また、安定化層を形成する場合、前述の酸素アニール炉から取り出すまでの方法は同一として、複数の酸化物超電導素線を作製し、これら酸化物超電導素線に対し、以下の表1に示す、異なる厚さのCu安定化層をArガス圧1.7Paで形成し、複数の酸化物超電導線材を得た。
各酸化物超電導線材について臨界電流値(Ic)を測定し、その評価を以下の表1にCu安定化層の膜厚とともに記載する。Icの評価は、Ag保護層超電導線材の状態を基準とし、この値からIcが5%以上低下した場合に×印で表記した。
また、厚さ2.1μmを超える膜厚のCuの安定化層を製造する場合は、複数回のスパッタ法を繰り返し行って成膜することにより実現できることがわかる。
また、得られた各酸化物超電導線材において膜厚1.0μmのCu層について、外径2.7mmの円柱状のピンをCu層上に接着後、Cu層に対し90゜方向に引張力を加えて剥離力を測定するスタッドプル法により剥離力を測定したところ、全ての試料で70〜90MPaの剥離力を得ることができた。この剥離力は、酸化物超電導層にAgの保護層を成膜した場合に得られる剥離力と同等である。このことから、酸化物超電導層に対しスパッタ法により形成した上述の膜厚のCu層は、Ag層と同程度の優れた剥離力を有することがわかった。
Claims (3)
- 金属製の基材上に中間層を介し酸化物超電導層が設けられ、前記酸化物超電導層に酸素アニールが施された積層体を準備する工程と、
前記酸化物超電導層の直上にCu層またはCu合金層をスパッタ法により形成する工程と、を有し、
前記Cu層またはCu合金層を、一度に成膜する厚さを2.1μm以下として1回以上成膜することにより形成する、酸化物超電導線材の製造方法。 - スパッタ法を行う場合にArガス雰囲気中においてスパッタを行い、Arガス圧を1.5Pa以上とする請求項1に記載の酸化物超電導線材の製造方法。
- 前記Cu層またはCu合金層を成膜して第1の安定化層を形成した後、めっきあるいは金属テープの貼り合わせにより第2の安定化層を形成する工程を備えた請求項1または請求項2に記載の酸化物超電導線材の製造方法。
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CN111272533A (zh) * | 2020-03-07 | 2020-06-12 | 北京工业大学 | 一种研究高温超导材料氧元素扩散机制的样品制备方法 |
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