JP2015094693A - 半導体試験治具、測定装置、試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願の発明に係る半導体試験治具は、導電性の材料で形成されたベース板12と、該ベース板12に固定され、絶縁性の材料で形成された複数の枠14aが格子状に設けられた枠体14と、を備える。そして、該枠体14には該ベース板12を露出させる貫通孔18a、18bが形成されたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体試験治具10の平面図である。半導体試験治具10は、例えばアルミニウムなどの導電性の材料で形成されたベース板12を備えている。ベース板12の角には切り欠き部12aが形成されている。ベース板12の外周部分には4つの穴12bが形成されている。切り欠き部12aと穴12bは例えばベース板12に対する機械加工により作成する。切り欠き部12aと4つの穴12bはまとめて位置合わせ部と称する。
図8は、本発明の実施の形態2に係る半導体試験治具の一部拡大図である。ベース板12には枠体60が固定されている。枠体60の枠60aには、貫通孔62a、62b、62c、62dが形成されている。貫通孔62a、62b、62c、62dは枠60aの各辺に1つずつ形成されているので、設置部16は貫通孔62a、62b、62c、62dに囲まれている。他の設置部についても同様である。
図10は、本発明の実施の形態3に係る半導体試験治具100の平面図である。平面視での枠体102の中央に貫通孔104が形成されている。貫通孔104は枠体102に1箇所だけ形成されている。
図13は、本発明の実施の形態4に係る半導体試験治具150の平面図である。枠体152の角部に貫通孔154、156、158、160が形成されている。そして、Aで示された4つの設置部16にのせられた縦型半導体チップに対しては貫通孔154をとおしてベース板12に当てられた第1プローブを用いる。Bで示された4つの設置部16にのせられた縦型半導体チップに対しては貫通孔156をとおしてベース板12に当てられた第1プローブを用いる。Cで示された4つの設置部16にのせられた縦型半導体チップに対しては貫通孔158をとおしてベース板12に当てられた第1プローブを用いる。Dで示された4つの設置部16にのせられた縦型半導体チップに対しては貫通孔160をとおしてベース板12に当てられた第1プローブを用いる。
図14は、本発明の実施の形態5に係る測定装置と測定方法を示す断面図である。この測定装置は、枠体の形状と、縦型半導体チップ及びベース板の吸着機構に特徴がある。まず、枠体の形状について説明する。枠体14の上に枠体14と同じ材料で形成された貫通孔延長部200が固定されている。枠体14と貫通孔延長部200が枠体202を構成している。枠体202の貫通孔204は、枠体14だけの貫通孔よりも長くなっている。
Claims (12)
- 導電性の材料で形成されたベース板と、
前記ベース板に固定され、絶縁性の材料で形成された複数の枠が格子状に設けられた枠体と、を備え、
前記枠体には前記ベース板を露出させる貫通孔が形成されたことを特徴とする半導体試験治具。 - 前記貫通孔は、前記複数の枠のそれぞれに少なくとも1つ設けられたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験治具。
- 前記貫通孔は、前記複数の枠のそれぞれを囲むように複数設けられたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験治具。
- 前記貫通孔は、前記枠体の中央に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験治具。
- 前記貫通孔は、前記枠体の角部に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験治具。
- 前記貫通孔は、前記枠体に1箇所形成されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験治具。
- 前記枠体のうち前記貫通孔を形成する部分は他の部分より高く形成された凸部となっていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体試験治具。
- 前記凸部の側面は曲面又は平面で形成されたことを特徴とする請求項7に記載の半導体試験治具。
- 前記ベース板のうち前記枠体によって区切られた部分に貫通穴が形成されたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体試験治具。
- 前記枠体の側面は斜面であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体試験治具。
- 位置合わせ部として用いる切り欠き、穴、凹部、又は凸部を有する導電性の材料で形成されたベース板と、前記ベース板に固定され、絶縁性の材料で形成された複数の枠が格子状に設けられた枠体と、を備え、前記枠体には前記ベース板を露出させる貫通孔が形成された半導体試験治具と、
前記位置合わせ部を利用して前記半導体試験治具を予め定められた場所にのせるステージと、
第1プローブと前記第1プローブよりも短い第2プローブを有する測定器と、を備えたことを特徴とする測定装置。 - 導電性の材料で形成されたベース板と、前記ベース板に固定され、絶縁性の材料で形成された複数の枠が格子状に設けられた枠体と、を備える半導体試験治具の前記ベース板の前記枠体によって区切られた部分に、上面電極と下面電極を有する縦型半導体チップの前記下面電極を接触させる工程と、
前記半導体試験治具をステージにのせる工程と、
前記枠体に前記ベース板を露出させるように形成された貫通孔に第1プローブをとおして前記第1プローブを前記ベース板にあてつつ、第2プローブを前記上面電極にあてて、前記縦型半導体チップの電気的特性を測定する工程と、を備えたことを特徴とする試験方法。
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