JP3192062U - 試験アセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、参照により本明細書に援用されかつ本明細書において譲受人に譲渡される、2013年5月15日に出願された台湾特許出願第102209078号に基づき、その優先権の利益を主張するものである。
Claims (9)
- 半導体デバイスを試験するように構成された試験アセンブリであって、
表面、および前記表面上に配置された複数のパッドを具備する、主回路板と、
前記主回路板の前記表面上に取り外し可能に配置され、かつ複数の貫通穴を具備する、中間誘電板と、
前記中間誘電板上に配置され、かつ、複数の第1のパッド、複数の第2のパッド、第1の表面、および前記第1の表面に対向する第2の表面を具備する、中間回路板であって、前記中間誘電板が前記中間回路板と前記主回路板との間に配置され、前記第1のパッドが前記第1の表面上に配置され、前記第2のパッドが前記第2の表面上に配置され、前記第1の表面が前記中間誘電板に面する、中間回路板と、
前記貫通穴にそれぞれ配置された複数の中間導体素子であって、そのそれぞれが前記主回路板の前記パッドのうちの1つと前記中間回路板の前記第1のパッドのうちの1つとを電気的に接続する、中間導体素子と、
前記中間回路板の前記第2の表面上に配置され、かつ前記中間回路板の前記第2のパッドにそれぞれ電気的に接続された、複数の試験プローブであって、そのそれぞれが前記中間回路板と前記中間導体素子のうちの1つとを通じて前記主回路板に電気的に接続された、試験プローブと
を備える、試験アセンブリ。 - 前記中間回路板が、前記中間誘電板上に取り外し可能に配置される、請求項1に記載の試験アセンブリ。
- 前記中間導体素子が、前記貫通穴にそれぞれ取り外し可能に配置される、請求項1または2に記載の試験アセンブリ。
- 底部カバー、複数の第1の固定要素、および複数の第2の固定要素をさらに備え、前記底部カバーが貫通開口部を備え、前記中間回路板および前記中間誘電板が、前記第1の固定要素により前記底部カバーに取り外し可能に固定され、前記底部カバーが、前記第2の固定要素により前記主回路板に取り外し可能に固定され、前記試験プローブが前記貫通開口部に対応している、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の試験アセンブリ。
- 前記中間回路板の前記第2の表面上に配置されかつ前記貫通開口部に対応するプローブベースをさらに備え、前記試験プローブが前記プローブベースによって支持される、請求項4に記載の試験アセンブリ。
- 前記中間誘電板、前記中間導体素子、前記中間回路板、前記底部カバー、および前記試験プローブが、サブアセンブリを形成するために前もって組み合わせられ、前記サブアセンブリが、前記主回路板上に取り外し可能に配置される、請求項4または5に記載の試験アセンブリ。
- 前記中間導体素子のそれぞれが、ポゴピンである、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の試験アセンブリ。
- 前記試験プローブのそれぞれが、カンチレバー型プローブである、請求項1ないし7のいずれか一項に記載の試験アセンブリ。
- 前記表面に対向する前記主回路板のもう一方の表面上に配置された主補剛材をさらに備える、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の試験アセンブリ。
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