JP2015093422A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法は、表面に開口し液体を吐出する吐出口が形成されている吐出口形成部材を備える液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、溶媒および光酸発生剤を含んでいる第１の層形成部材を用いて、第１の層を形成する工程と、前記第１の層に、溶媒および光酸発生剤を含んでいる第２の層形成部材を用いて、第２の層を形成する工程と、前記第１の層および前記第２の層の一部の領域を硬化させ、前記一部の領域とは異なる領域を除去して前記吐出口を形成し、前記第１の層および前記第２の層を前記吐出口形成部材とする工程と、を含み、前記第２の層形成部材として、前記第１の層形成部材を溶解する溶媒が含まれており且つ前記第１の層形成部材に含まれる光酸発生剤の酸の強度よりも弱い強度を有する光酸発生剤が含まれている部材を用い、前記第２の層形成部材の溶解度パラメータと前記第１の層形成部材の溶解度パラメータとの差の絶対値が、４以下の所定の値であることを特徴とする。
Claims (7)
- 表面に開口し液体を吐出する吐出口が形成されている吐出口形成部材を備える液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、
溶媒および光酸発生剤を含んでいる第１の層形成部材を用いて、第１の層を形成する工程と、
前記第１の層に、溶媒および光酸発生剤を含んでいる第２の層形成部材を用いて、第２の層を形成する工程と、
前記第１の層および前記第２の層の一部の領域を硬化させ、前記一部の領域とは異なる領域を除去して前記吐出口を形成し、前記第１の層および前記第２の層を前記吐出口形成部材とする工程と、を含み、
前記第２の層形成部材として、前記第１の層形成部材を溶解する溶媒が含まれており且つ前記第１の層形成部材に含まれる光酸発生剤の酸の強度よりも弱い強度を有する光酸発生剤が含まれている部材を用い、
前記第２の層形成部材の溶解度パラメータと前記第１の層形成部材の溶解度パラメータとの差の絶対値が、４以下の所定の値であることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記第２の層形成部材に含まれる前記光酸発生剤の量を調整することによって、前記第２の層形成部材に含まれる前記光酸発生剤の強度を前記第１の層形成部材に含まれる前記光酸発生剤の強度よりも弱くすることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記第２の層形成部材に含まれる溶媒は、前記第１の層形成部材に含まれる溶媒の沸点よりも沸点が低いことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記第２の層形成部材には、撥水成分が含まれていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法によって製造されたことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
- 請求項５に記載の液体吐出ヘッド用基板、および当該液体吐出ヘッド用基板と電気的に接続する電気配線部材を含むことを特徴する液体吐出ヘッド。
- 請求項６に記載の液体吐出ヘッドを備えて、記録媒体に画像を記録することを特徴とする記録装置。
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