JP2015072943A - 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置1は、半導体回路12が形成されている基板部11と、半導体回路12と接続されている導体層20と、誘電率がシリコンよりも低い低誘電率材料からなる絶縁層30とを含む多層配線回路13とを有し、前記絶縁層30が側面に露出している半導体チップ10と、前記半導体チップ10の外周面の少なくとも前記絶縁層30が露出している領域を覆う、前記低誘電率材料よりも耐湿性に優れた材料からなる保護層40と、を具備する。
【選択図】図2
Description
<半導体装置の構成>
図1及び図2に示すように、第1実施形態の半導体装置1は、半導体チップ10と、半導体チップ10の外周面に配設された保護層40と、を具備する。
次に、図3から図7を用いて、半導体装置1の製造方法について説明する。
基体部11となるシリコン等からなる半導体ウエハ11Wに、半導体製造技術を用いて、例えば、撮像素子等の半導体回路12が形成される。
図3に示すように、半導体ウエハ11Wに、微細配線(不図示)を有する半導体回路12と外部接続端子21とを接続するための再配線回路である多層配線回路13が形成されたウエハ1Wが作製される。なお、半導体回路12が撮像素子の場合には、半導体回路12の周囲に多層配線回路13が形成される。
図4及び図5に示すように、ウエハ1Wに、それぞれの半導体回路12及び多層配線回路13を取り囲むように、4本の直線状の幅がW1の溝(トレンチ)40Tが形成される。
図6に示すように、ウエハ1Wの溝40Tが保護材料40Mで充填される。保護材料40Mは、絶縁層30よりも耐湿性に優れた材料であれば、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂等の樹脂でも良いが、無機材料、例えば、めっき法により形成される銅、ニッケル、クロム又は金等の金属材料、又は、CVD法により形成される絶縁材料からなることが好ましい。銅等の金属材料、酸化シリコン及び窒化シリコン等の絶縁材料は、耐湿性が特に優れている。
図7に示すように、溝40Tに沿って、すなわち、ブレードの中心が溝40Tの中心と一致するように、ウエハ1Wが切断される。このとき、保護材料40Mが側面に露出するように、溝40Tの幅W1よりも幅がW2の狭い切りしろで切断される。すなわち、溝形成工程で用いたブレードよりも、厚さの薄いブレードにより切断される。
次に、第2実施形態の半導体装置1A及び半導体装置1Aの製造方法について説明する。半導体装置1A等は半導体装置1等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
次に、図10から図13を用いて、半導体装置1Aの製造方法について説明する。
半導体装置1と同様の方法で、半導体ウエハに、複数の半導体回路12及び多層配線回路13が形成される。そして、半導体ウエハが、それぞれが半導体回路12及び多層配線回路13を含み、絶縁層30が側面に露出している複数の半導体チップ10Aに個片化される。なお、すでに個片化されている半導体チップ10Aを外部業者等から入手してもよい。
図10及び図11に示すように複数の半導体チップ10Aが、所定間隔W3で保持基板50に接着層51を介して接合された再配列基板60が作製される。すなわち、再配列基板60には、複数の半導体チップ10Aが、間に幅W3の隙間(溝)40Gが生じるように保持基板50にチップリプレイスされている。なお、図10では、縦横の間隔が同じW3であるが、縦横の間隔は異なっていてもよい。
図12に示すように、再配列基板60の隣り合う半導体チップ10Aの間の隙間(溝)40Gが、低誘電率材料よりも耐湿性に優れた保護材料40Mで充填される。保護材料充填工程は既に説明した第1実施形態と略同様である。
<再配列基板切断工程>
次に、変形例の半導体装置1B、1C及び半導体装置1B、1Cの製造方法について説明する。半導体装置1B、1C等は半導体装置1等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
10…半導体チップ
11…基体
12…半導体回路
13…多層配線回路
20…導体層
30…絶縁層
40…保護層
40M…保護材料
50…保持基板
51…接着層
60…再配列基板
Claims (7)
- 半導体回路が形成されている基板部と、前記半導体回路と接続されている導体層と誘電率がシリコンよりも低い低誘電率材料からなる絶縁層とを含む多層配線回路とを有し、前記絶縁層が側面に露出している半導体チップと、
前記半導体チップの外周面の少なくとも前記絶縁層が露出している領域を覆う、前記低誘電率材料よりも耐湿性に優れた材料からなる保護層と、を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体装置の外周面が、切断面であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記保護層に覆われていない前記半導体チップの外周面と、前記保護層の外周面とが、段差のない連続した切断面であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記保護層は、めっき法により形成される金属材料、又は、CVD法により形成される絶縁材料からなることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体装置。
- 半導体ウエハに、複数の半導体回路を形成する工程と、
それぞれの前記半導体回路と接続されている導体層と、誘電率がシリコンよりも低い低誘電率材料からなる絶縁層とを含む複数の多層配線回路が形成される工程と、
前記半導体ウエハに、半導体回路及び多層配線回路を取り囲む、前記絶縁層を貫通する溝が形成される工程と、
前記溝が、前記低誘電率材料よりも耐湿性に優れた保護材料で充填される工程と、
前記保護材料が側面に露出するように、前記溝に沿って、前記溝の幅よりも狭い切りしろで、前記半導体ウエハが切断される工程と、を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエハに、複数の半導体回路を形成する工程と、
それぞれの前記半導体回路と接続されている導体層と、誘電率がシリコンよりも低い低誘電率材料からなる絶縁層とを含む複数の多層配線回路が形成される工程と、
前記半導体ウエハが、それぞれが半導体回路及び多層配線回路を含み、前記絶縁層が側面に露出している複数の半導体チップに個片化される工程と、
前記複数の半導体チップが、所定間隔で保持基板に接合された再配列基板が作製される工程と、
前記再配列基板の前記複数の半導体チップの隙間が、前記低誘電率材料よりも耐湿性に優れた保護材料で充填される工程と、
前記保護材料が側面に露出するように、前記隙間に沿って、前記隙間の幅よりも狭い切りしろで、前記再配列基板が切断される工程と、を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記保護材料は、めっき法により形成される金属材料、又は、CVD法により形成される絶縁材料であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008041804A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008277639A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009043779A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009212271A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009231791A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-10-08 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010103574A (ja) * | 2006-05-16 | 2010-05-06 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 半導体チップ及び半導体チップパッケージ |
JP2010283367A (ja) * | 2008-03-31 | 2010-12-16 | Casio Computer Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011211023A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Panasonic Corp | モジュールとその製造方法 |
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2013
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010103574A (ja) * | 2006-05-16 | 2010-05-06 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 半導体チップ及び半導体チップパッケージ |
JP2008041804A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008277639A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009043779A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009231791A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-10-08 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009212271A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010283367A (ja) * | 2008-03-31 | 2010-12-16 | Casio Computer Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011211023A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Panasonic Corp | モジュールとその製造方法 |
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