JP2015066691A - 印刷装置及び印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被印刷媒体上に適切な量の印刷材料を印刷できる印刷装置を提供する。【解決手段】印刷装置１０００は、マスク側基材３１０と、主面３１０Ａ側に凹状に形成された凹部３２０と、凹部３２０の内側に形成された凹部側開口部３２１と、主面３１０Ａのうち、凹部３２０の外側に形成された主面側開口部３３０とを備えたマスク３００と、スキージ４００を所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる駆動部５００と、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御部６００と、を有する。【選択図】 図３

Description

本発明は、印刷装置等に関し、例えば、被印刷媒体に印刷材料を印刷する印刷装置等に関する。

近年、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器の小型軽量化が進んでいる。これに伴い、電子機器を構成する電子基板に、様々な大きさやピッチ幅の電子部品を混在して実装することが要求されている。

また、近年、プリント配線板等の電子基板に形成された電子部品用のパッド上に、半田ペースト等の印刷材料を、供給する印刷装置の技術が広く知られている。このような技術では、まず、電子基板上のパッドに対応させて開口部が設けられたメタルマスクを、電子基板上に配置する。次に、スキージを用いて、メタルマスク上の印刷材料を開口部に充填する。そして、メタルマスクを電子基板から離す。この結果、印刷材料が電子基板のパッド上に供給される。なお、マスクの厚みに対する開口部の幅の比は、２以上が一般的に望ましい。なぜなら、マスクの厚みに対する開口部の幅の比が、２よりも小さい場合、電子基板からメタルマスクを離す際、電子基板のパッドに接着している力よりメタルマスクの壁面のせん断応力（ずり応力）が大きくなるからである。この結果、メタルマスクの開口部に流し込まれた印刷材料が、メタルマスクの開口部に残ってしまい、適切な量の印刷材料をパッド上に供給することができなくなる。

ところで、上述したメタルマスクを用いた技術において、例えば、０．１ｍｍ×０．１ｍｍパッドに対応する小型電子部品を電子基板上に実装する場合、メタルマスクの厚みは、上述した理由により、０．０５ｍｍ程度に設定することが好ましい。これにより、パッド上に適切な量の印刷材料を供給することができる。しかしながら、上述した小型電子部品よりも大きい大型電子部品を同一の電子基板に実装する場合、マスクの厚みが０．０５ｍｍでは薄すぎるため、大型電子部品に対応するパッド上に適切な量の印刷材料を供給することができないという問題があった。

上述した問題を解決する技術として、例えば、特許文献１には、ハーフエッチングされた段付きメタルマスクを用いて様々な大きさやピッチ幅の電子部品を実装する技術が開示されている。

なお、上記に関連する印刷装置の技術として、特許文献２には、例えば、先端を多数の切れ目により幅方向に多数に分割して暖簾状にしたスキージを用いて、半田を配線板に印刷する技術が開示されている。

特開平７−１０１０３３号公報 特開２００３−２１１８６２号公報

しかしながら、上述した特許文献１で例示した段付きメタルマスクを用いた技術では、スキージは、ハーフエッチングされた段付きメタルマスクの凹部において、段差近傍の印刷材料を掻き取ることができず、凹部に印刷材料が残ってしまう場合があった。このため、段付きメタルマスクの凹部において、段差近傍に、凹部内の開口部が設けられていた場合、凹部内の開口部上に残留した印刷材料の影響により、凹部内の開口部に対応するパッド上に、適切な量の印刷材料を供給することができない。すなわち、例えば、凹部内の開口部の幅が、当該開口部の高さに対して小さい場合、前述したように開口部内に印刷材料が残ってしまうため、パッドへの印刷材料の供給量が不足する。また、例えば、凹部内の開口部の幅が、当該開口部の高さに対して十分に大きい場合には、開口部上に残る印刷材料もパッド上に供給されるため、印刷材料の供給量が過多となる。その結果、パッド上の印刷材料が不足する場合は、電子部品と電子基板との接続不良が発生し、パッド上の印刷材料が過多となる場合には、ショート等が発生するという問題があった。

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、被印刷媒体上に適切な量の印刷材料を印刷できる印刷装置を提供することにある。

本発明の印刷装置は、開口部を有するマスク上でスキージを摺動させることにより、印刷材料を前記開口部に充填する印刷装置において、前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部とを備え、前記スキージを所定の方向に前記主面上で摺動させる駆動部と、前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御部と、を有する。

本発明の印刷方法は、開口部を有するマスク上でスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、前記スキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む。

また、本発明の印刷方法は、開口部を有するマスク上で第１及び第２のスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、前記第１及び第２のスキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、前記第１及び第２のスキージの各々の摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む。

本発明にかかる技術によれば、被印刷媒体上に適切な量の印刷材料を印刷できる。

電子基板の構成の一例を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置のマスクの構成を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置の構成を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置を構成するマスクの変形例を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置の変形例の構成を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における印刷装置の変形例である印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第２の実施の形態における印刷装置の構成を示す図である。 本発明の第２の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第２の実施の形態における印刷装置が、電子基板に印刷材料を印刷する方法を説明するための図である。 本発明の第３の実施の形態における印刷装置の構成を示す図である。 本発明の第３の実施の形態における印刷装置を構成する印刷材料除去部が、スキージに付着した印刷材料を除去する動作について説明するための図である。 本発明の第４の実施の形態における印刷装置を構成する抑止部の構成を示す図である。 本発明の第４の実施の形態における印刷装置を構成する抑止部の動作を説明するための図である。 関連技術の第１の印刷方法を示す図である。 関連技術の第２の印刷方法を示す図である。

＜第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００について、図１〜１５に基づいて説明する。印刷装置１０００は、マスク３００とスキージ４００と駆動部５００と制御部６００と保持部７００と回転部８００とを有している。なお、図１〜１４の図中Ｘ、Ｙ方向は、後述するスキージ４００が摺動する方向に対応する。

説明の便宜上、印刷装置１０００の構成を説明する前に、まず、図１を用いて、電子基板１００の構成を説明する。図１は、電子基板１００の構成の一例を示す図である。図１（ａ）は、電子基板１００の俯瞰図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ´切断線における断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示されるように、電子基板１００は、基板側基材１１０とパッド１２０、１３０とを有する。なお、電子基板１００は、本発明の被印刷媒体に相当する。基板側基材１１０は、板材である。基板側基材１１０には、ガラスエポキシ、ポリイミド、ＢＴレジン、セラミックス等の一般的に用いられている材料を用いることができる。なお、基板側基材１１０の表面上には、ソルダーレジストが塗布されていてもよい。

図１（ａ）、（ｂ）に示されるように、パッド１２０、１３０は、基板側基材１１０上に形成されている。パッド１２０、１３０上には、後述する印刷材料である半田ペースト９００がマスク３００を介して印刷され、電子部品２００ａ、２００ｂが実装される。なお、図１（ａ）では、電子部品２００ａ、２００ｂの外周を二点鎖線で示している。パッド１２０上には、パッド１３０上に実装される電子部品２００ｂよりも小さい電子部品２００ａが実装される。そのため、パッド１２０の面積は、パッド１３０の面積よりも小さく、パッド１２０上に印刷される半田ペースト９００の量は、パッド１３０上に印刷される半田ペースト９００の量よりも少ない。

なお、電子部品２００ａ、２００ｂには、例えば、ＣＳＰ（Chip Size Package）やＱＦＰ（Quad Flat Package）等を用いることができる。

次に、図２を用いて、印刷装置１０００を構成するマスク３００の構成を説明する。図２は、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００のマスク３００の構成を示す図である。図２（ａ）は、マスク３００の俯瞰図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ´切断線における断面図である。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、マスク３００は、マスク側基材３１０と凹部３２０と凹部側開口部３２１と主面側開口部３３０とを有する。なお、ここでは、マスク３００は、メタルマスクである例を示している。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、マスク側基材３１０は、一対の主面３１０Ａ、３１０Ｂが互いに略平行になるように向かい合っている。マスク側基材３１０には、ニッケルやステンレス等の一般的に用いられている材料を用いることができる。なお、マスク側基材３１０は、本発明の板状の基材に相当する。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、凹部３２０は、マスク側基材３１０の主面３１０Ａ側に凹状に形成されている。凹部３２０は、エッチング法により形成される。具体的には、マスク３００において、凹部３２０となる場所以外の場所をアディティブ工法によって形成し、凹部３２０となる部分をエッチングすることで、マスク３００の凹部３２０は形成される。なお、ここでは、図２（ａ）に示されるように、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線α、βが形成する領域は、矩形状である正方形である例を示している。図２（ａ）では、Ｘ方向に平行な交差線をαで示し、Ｙ方向に平行な交差線をβで示している。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、凹部側開口部３２１は、凹部３２０の内側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成されている。マスク側基材３１０の厚み方向とは、一対の主面３１０Ａ、３１０Ｂに対して、略垂直方向をいう。凹部側開口部３２１は、前述したパッド１２０に対応する位置と大きさに形成される。また、凹部側開口部３２１内の体積は、後述する主面側開口部３３０内の体積よりも小さい。なお、凹部側開口部３２１は、本発明の開口部に対応している。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、主面側開口部３３０は、主面３１０Ａのうち、凹部３２０の外側にマスク側基材３１０の厚み方向に形成されている。主面側開口部３３０は、前述したパッド１３０に対応する位置と大きさに形成される。なお、主面側開口部３３０は、本発明の開口部に対応している。

次に、図３を用いて、印刷装置１０００を構成するスキージ４００、駆動部５００、制御部６００、保持部７００、回転部８００の構成について説明する。図３は、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００の構成を示す図である。図３（ａ）は、印刷装置１０００の構成を示す俯瞰図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ´切断線における断面図である。図３（ｃ）は、印刷装置１０００の構成を説明するための図である。なお、図３（ａ）では、制御部６００を省略して示している。

図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、スキージ４００は、マスク側基材３１０の主面３１０Ａ上に配置される。また、スキージ４００は、保持部７００に保持される。スキージ４００は、主面３１０Ａ上を摺動することにより、主面３１０Ａ上の半田ペースト９００を、主面側開口部３３０及び凹部側開口部３２１内に充填する。

なお、スキージ４００の詳細な動作については、後述する。なお、スキージ４００は、メタルスキージやウレタンスキージやプラスチックスキージ等の一般的なスキージを用いることができる。

図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、駆動部５００は、制御部６００と回転部８００に接続されている。駆動部５００は、スキージ４００を所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。また、駆動部５００は、制御部６００により制御される。

図３（ｃ）に示されるように、制御部６００は、駆動部５００と回転部８００に接続されている。また、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。なお、ここでは、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、前述した交差線α、βに沿う方向であるＸ、Ｙ方向に制御する。言い換えれば、制御部６００は、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する複数の交差線のうち、互いに略平行に配置されない少なくとも２つの交差線（ここでは、α及びβ）に沿う方向に制御する。なお、制御部６００のより詳細な動作については、後述する。

また、制御部６００は、駆動部５００を制御することにより、スキージ４００の摺動速度とスキージ４００の主面３１０Ａ上の位置を制御する。また、制御部６００は、保持部７００の昇降部（不図示）を制御することにより、スキージ４００の主面３１０Ａに対して略垂直な方向における位置を制御する。

図３（ｂ）、（ｃ）に示されるように、保持部７００は、回転部８００の回転軸８１０とスキージ４００を保持することにより、スキージ４００と回転部８００とを連結する。なお、保持部７００は、スキージ４００を主面３１０Ａに対して略垂直な方向に移動可能にする昇降部を有する。

図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、回転部８００は、駆動部５００と保持部７００に接続されている。また、回転部８００は、回転軸８１０を有する。回転部８００は、回転軸８１０を回転させることにより、スキージ４００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸である（図中ＣＬ）を中心軸にして回転させる。なお、回転軸８１０は、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸ＣＬに対応している。なお、回転部８００のより詳細な動作については、後述する。

また、図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、半田ペースト９００は、マスク３００上に配置される。なお、半田ペースト９００は、本発明の印刷材料に相当する。

次に、図４〜１３を用いて、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００が、電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する方法について詳細に説明する。図４〜１３は、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００が、電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する方法を説明するための図である。図４〜７は、スキージ４００が、図３に示すＸ方向に摺動する動作を説明するための図である。図８、９は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向を制御する動作を説明するための図である。図１０〜１３は、スキージ４００が、図３に示すＹ方向に摺動する動作を説明するための図である。なお、以下の説明では、スキージ４００、駆動部５００、制御部６００、保持部７００、回転部８００を総称してスキージユニットとよぶ。

まず、図４（ａ）に示されるように、電子基板１００を、ステージ（不図示）上に配置する。

次に、図４（ｂ）に示されるように、マスク３００を、電子基板１００上に配置する。この際、電子基板１００のパッド１２０及び１３０上に、マスク３００の凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０がくるように、マスク３００を電子基板１００上に配置する。

そして、図４（ｃ）に示されるように、スキージユニット、半田ペースト９００を、主面３１０Ａ上に配置する。このとき、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、図３（ａ）に示した凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線αに沿う方向であるＸ方向に制御する。また、制御部６００は、印刷作業を行う作業者が入力する入力値に基づいて、スキージ４００の摺動方向をＸ方向に設定する制御をする。なお、制御部６００は、制御部６００に搭載されたカメラ（不図示）等で凹部３２０を撮影し、その撮影画像に基づいて、スキージ４００の摺動方向を制御してもよい。

次に、駆動部５００が、スキージ４００をＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。

図５は、駆動部５００が、スキージ４００をＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる動作を説明するための図である。図５（ａ）は、駆動部５００が、スキージ４００をＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる動作を説明するための断面図であり、図３（ｂ）に対応している。また、図５（ａ）は、図５（ｂ）のＣ−Ｃ´切断線における断面図でもある。図５（ｂ）は、図５（ａ）の俯瞰図である。図５（ｃ）は、図５（ｂ）のＤ−Ｄ´切断線における断面図である。

図５（ａ）に示されるように、駆動部５００は、スキージ４００をＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。スキージ４００が、主面３１０Ａ上を摺動することにより、凹部３２０内に半田ペースト９００を流し込む。このとき、図５（ａ）〜（ｃ）に示されるように、スキージ４００は、凹部３２０内で撓み、凹部３２０の底面上を摺動するので、凹部３２０内に流し込まれた半田ペースト９００が掻き取られる。一方、スキージ４００が凹部３２０内で撓むため、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に半田ペースト９００が残留する。

次に、スキージ４００が、凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００を充填する。

図６は、スキージ４００が、凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００を充填する動作を説明するための図である。図６（ａ）は、スキージ４００が、凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００を充填する動作を説明するための断面図であり、図３（ｂ）に対応している。図６（ｂ）は、図６（ａ）の俯瞰図である。図６（ｃ）は、図６（ｂ）のＤ−Ｄ´切断線における断面図である。

図６（ａ）〜（ｃ）に示されるように、スキージ４００が、主面３１０Ａ上を摺動することにより、凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００を流し込むとともに充填する。このときも、図５（ａ）を用いて説明した内容と同様に、スキージ４００は、図６（ａ）、（ｃ）に示されるように、凹部３２０の底面上を摺動するので、凹部３２０内に流し込まれた半田ペースト９００が掻き取られる。一方、図６（ｂ）、（ｃ）に示されるように、スキージ４００の撓みにより、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍の凹部側開口部３２１上には、半田ペースト９００が残留する。

次に、図７に示されるように、スキージ４００が、主面３１０Ａ上を摺動し、半田ペースト９００を主面側開口部３３０内に流し込むとともに、充填する。このとき、スキージ４００は、主面３１０Ａ上を摺動するので、主面３１０Ａ上の半田ペースト９００が掻き取られる。

次に、制御部６００が、スキージ４００の摺動方向を制御する。

図８、９は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向を制御する動作を説明するための図である。図８（ａ）は、スキージ４００が、Ｘ方向の摺動を終え、制御部６００がスキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をする前の状態を示す断面図であり、図３（ｂ）に対応している。図８（ｂ）は、図８（ａ）の俯瞰図である。図８（ｃ）は、図８（ｂ）の斜視図である。図９（ａ）は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をした後の状態を示す俯瞰図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）の斜視図である。

なお、図８（ｂ）、（ｃ）及び図９では、説明の便宜上、駆動部５００及び制御部６００を省略して示している。また、図８（ｃ）、図９（ｂ）では、説明の便宜上、凹部側開口部３２１を省略して示している。

図８（ａ）に示されるように、保持部７００が、スキージ４００を主面３１０Ａに対して垂直方向に上昇させる。

図８、９に示されるように、制御部６００が、回転部８００の回転を制御する。これにより、回転部８００は、制御部６００の制御を受け、保持部７００を回転させることにより、スキージ４００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸（図中ＣＬ）を中心軸にして回転させる。なお、ここでは、制御部６００は、回転部８００の回転軸８１０を、主面３１０Ａ上で時計回りに９０度回転させる。このようにして、制御部６００は、図８（ｂ）に示す交差線αに沿うＸ方向と異なる交差線βに沿うＹ方向にスキージ４００が摺動するように、スキージ４００の摺動方向を制御する。

なお、ここでは、前述したように、交差線α、βが形成する領域は矩形状である正方形であるから、Ｙ方向は、Ｘ方向に対して、略垂直な方向となる。なお、ここでは、回転部８００の回転方向を主面３１０Ａ上で時計回りとした。しかしながら、回転部８００の回転方向は、印刷装置１０００の配線（不図示）の絡まりや配管（不図示）等のねじれを考慮し、適宜変更可能である。

次に、スキージ４００を、マスク３００の端面側に交差線αと平行に配置する。

図１０は、スキージ４００を、交差線αと平行に配置した状態を示す図である。図１０（ａ）は、スキージ４００を、交差線αと平行に配置した状態を示す俯瞰図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の斜視図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のＤ−Ｄ´切断線における断面図である。なお、図１０（ａ）、（ｂ）では、駆動部５００及び制御部６００を省略して示している。また、図１０（ｂ）では、凹部側開口部３２１を省略して示している。

図１０（ａ）〜（ｃ）に示されるように、スキージユニットを、図９に示した位置から図１０（ａ）〜（ｃ）に示す位置に移動させる。すなわち、スキージユニットを、交差線αと平行に配置する。その後、保持部７００が、スキージ４００を主面３１０Ａに対して垂直下方に下降させる。

次に、図１１（ａ）、（ｂ）に示されるように、駆動部５００は、スキージ４００をＹ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。このとき、同時に、スキージ４００は、凹部３２０の底面上を摺動するので、前述した段差近傍の凹部側開口部３２１上に交差線αに沿って残留していた半田ペースト９００が掻き取られる。

図１１の動作の後、図１２に示されるように、図５、６で説明した主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に残留した半田ペースト９００が除去された。

最後に、マスク３００を、電子基板１００上から離す。

図１３は、半田ペースト９００が印刷された電子基板１００を示す図である。図１３（ａ）は、半田ペースト９００が印刷された電子基板１００を示す俯瞰図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＡ−Ａ´切断線における断面図である。

図１３（ａ）、（ｂ）に示されるように、マスク３００を、電子基板１００上から離す。これにより、電子基板１００上のパッド１２０、１３０上に半田ペースト９００が印刷される。なお、この後、パッド１２０、１３０上の半田ペースト９００上に、電子部品２００ａ、２００ｂを実装する。そして、電子基板１００をリフロー炉（不図示）で加熱した後、冷却する。これにより、電子基板１００のパッド１２０、１３０と電子部品２００ａ、２００ｂの電極（不図示）を半田付けすることができる。

なお、この後、図１４に示されるように、２枚目の電子基板１００ａをステージ上に配置し、電子基板１００ａに半田ペースト９００を印刷する動作を行ってもよい。図１４を用いて、２枚目の電子基板１００ａに半田ペースト９００を印刷する方法を説明する。

図１４は、印刷装置１０００が、電子基板１００ａに半田ペースト９００を印刷する方法を説明するための図である。図１４（ａ）は、スキージ４００が、−Ｘ方向に摺動する動作を説明するための図である。なお、−Ｘ方向とは、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｘ方向の逆方向である。図１４（ｂ）は、スキージ４００が、Ｙ方向に摺動する動作を説明するための図である。なお、図１４では、駆動部５００及び制御部６００を省略して示している。

まず、図１３の動作の後、２枚目の電子基板１００ａをステージ上に配置する。その後、図１４（ａ）に示されるように、制御部６００が回転部８００の回転を制御することにより、スキージ４００の摺動方向を−Ｘ方向に設定する制御をする。そして、スキージユニットを主面３１０Ａ上の端部（図中右側）に移動させる。そして、図１４（ａ）に示されるように、駆動部５００が、スキージ４００を−Ｘ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。

次に、図１４（ｂ）に示されるように、図１４（ａ）の動作の後、前述したように、制御部６００が回転部８００の回転を制御することにより、スキージ４００の摺動方向を、−Ｘ方向に平行でないＹ方向に設定する制御をする。そして、スキージユニットを主面３１０Ａ上の端部（図中下側）に移動させる。そして、図１４（ｂ）に示されるように、駆動部５００が、スキージ４００をＹ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。これにより、２枚目の電子基板１００ａに半田ペースト９００を印刷することができる。

次に、図１５を用いて、印刷装置１０００を構成するマスク３００の変形例であるマスク３００Ｘについて説明する。図１５は、マスク３００Ｘの俯瞰図である。

前述したように、マスク３００の主面３１０Ａのうち、交差線が形成する領域は、矩形状であった。これに対して、図１５に示されるように、マスク３００Ｘにおいて、主面３１０Ａのうち、交差線Ｐ、Ｑ、Ｒが形成する領域は、六角形状である。これは、凹部側開口部３２１が、六角形状に形成されているためである。なお、図１５では、説明の便宜上、凹部側開口部３２１を省略して示している。なお、凹部側開口部３２１は、電子基板上のパッド（不図示）の形状に対応している。

このようなマスク３００Ｘを使用して電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する場合、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線Ｐ、Ｑ、Ｒのうち、少なくとも異なる２つの交差線（例えば、ＰとＱ）に沿う方向（ここでは、Ｓ、Ｔ方向）に制御する。また、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線Ｐ、Ｑ、Ｒにそれぞれ沿う方向であるＳ、Ｔ、Ｕ方向に制御してもよい。なお、ここでは、マスク３００Ｘにおいて、主面３１０Ａのうち、交差線が形成する領域は、六角形状である例を示したが、例えば、平行四辺形状や五角形状や円状であってもよい。

次に、図１６及び図１７を用いて、印刷装置１０００の変形例である印刷装置１０００Ａについて説明する。

まず、図１６を用いて、印刷装置１０００Ａの構成について説明する。図１６は、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００の変形例を示す図である。図１６（ａ）は、印刷装置１０００Ａの構成を示す俯瞰図である。図１６（ｂ）は、印刷装置１０００Ａの構成を説明するためのブロック図である。なお、図１６（ａ）では、昇降部７１０は、省略して示している。

図１６（ａ）、（ｂ）に示されるように、印刷装置１０００Ａは、マスク３００とスキージ４００Ａ、４００Ｂと駆動部５００Ａと制御部６００Ａと回転部８００Ａとを有している。なお、スキージ４００Ａは、本発明の第１のスキージに相当し、スキージ４００Ｂは、本発明の第２のスキージに相当する。

ここで、図３と図１６とを対比する。図３では、印刷装置１０００は、スキージ４００を有していたが、図１６では、印刷装置１０００Ａは、スキージ４００Ａ、４００Ｂを有する点で、図３に示される印刷装置１０００と互いに相違する。以下の説明では、図１〜１５で示した構成と同等の構成については、説明を省略する。

図１６（ａ）、（ｂ）に示されるように、印刷装置１０００Ａは、スキージ４００Ａ、４００Ｂを有する。スキージ４００Ａ、４００Ｂは、互いに異なる方向に摺動できるように構成される。

また、駆動部５００Ａは、スキージ４００Ａ及び４００Ｂを、所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。なお、ここでは、駆動部５００Ａは、スキージ４００Ａ及びスキージ４００Ｂを共に所定の方向に移動させる例を示している。しかしながら、駆動部５００Ａは、スキージ４００Ａ、４００Ｂをそれぞれ個別に、所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させてもよい。

また、制御部６００Ａは、スキージ４００Ａ及び４００Ｂの各々の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。なお、ここでは、制御部６００Ａは、スキージ４００Ａ、４００Ｂの摺動方向を共に制御する例を示している。しかしながら、制御部６００Ａは、スキージ４００Ａ及び４００Ｂの摺動方向をそれぞれ個別に制御してもよい。また、鵜制御部６００Ａは、後述する昇降部７１０を制御する。

図１６（ａ）、（ｂ）に示されるように、保持部７００Ａは、昇降部７１０とスキージ用支持部材７２０Ａ、７２０Ｂを有する。昇降部７１０は、制御部６００Ａにより制御される。昇降部７１０は、スキージ用支持部材７２０Ａ、７２０Ｂを、主面３１０Ａに対して略垂直方向にそれぞれ昇降させることにより、スキージ４００Ａ、４００Ｂをそれぞれ昇降させる。

図１６（ａ）、（ｂ）に示されるように、スキージ用支持部材７２０Ａ、７２０Ｂは、保持部本体７００Ａとスキージ４００Ａ、４００Ｂに接続されている。スキージ用支持部材７２０Ａ、７２０Ｂは、保持部７００Ａとスキージ４００Ａ及び４００Ｂとを連結する。

次に、図１７を用いて、印刷装置１０００Ａが、電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する方法について説明する。図１７は、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００の変形例である印刷装置１０００Ａが、電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する方法を説明するための図である。図１７（ａ）は、駆動部５００Ａが、スキージ４００ＡをＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる動作を説明するための図である。図１７（ｂ）は、駆動部５００Ａが、スキージ４００ＢをＹ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる動作を説明するための図である。なお、図１７（ａ）、（ｂ）では、昇降部７１０は省略して示している。

図４〜１３に示したように、印刷装置１０００では、スキージ４００が、主面３１０Ａ上をＸ方向に摺動した後に、Ｙ方向に摺動する。

一方、印刷装置１０００Ａでは、スキージ４００Ａが、主面３１０Ａ上をＸ方向に摺動し、スキージ４００Ｂが、主面３１０Ａ上をＹ方向に摺動する。

まず、図１７（ａ）に示されるように、スキージ４００Ａを、主面３１０Ａ上に配置する。このとき、制御部６００Ａは、スキージ４００Ａの摺動方向をＸ方向に設定する制御をする。また、このとき、昇降部７１０は、スキージ４００Ｂを主面３１０Ａに対して略垂直上方に上昇させる。これにより、図１７（ａ）に示されるように、スキージ４００Ｂは、主面３１０Ａに接触しないように配置される。なお、図１７（ａ）は、図４（ｃ）に対応する。

次に、駆動部５００Ａが、スキージ４００Ａを、主面３１０Ａ上でＸ方向に摺動させる。このとき、スキージ４００Ａは、凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０に半田ペースト９００を充填する。また、このとき、図５、６で説明した場合と同様に、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍の凹部側開口部３２１上には、半田ペースト９００が残留する。なお、この動作は、前述した図５〜８の動作に対応する。

次に、制御部６００Ａが、回転部８００の回転を制御する。制御部６００Ａは、交差線αに沿うＸ方向と異なる交差線βに沿うＹ方向にスキージ４００Ｂが摺動するように、スキージ４００Ｂの摺動方向を制御する。なお、この動作は、前述した図８〜９の動作に対応する。

次に、図１７（ｂ）に示されるように、スキージ４００Ｂを、マスク３００の端面側に交差線αと平行に配置する。このとき、図１７（ｂ）に示されるように、昇降部７１０は、スキージ４００Ａを主面３１０Ａに対して略垂直上方に上昇させる。これにより、図１７（ｂ）に示されるように、スキージ４００Ａは、主面３１０Ａに接触しないように配置される。一方、図１７（ｂ）に示されるように、昇降部７１０は、スキージ４００Ｂを主面３１０Ａに対して略垂直下方に下降させる。これにより、図１７（ｂ）に示されるように、スキージ４００Ｂは、主面３１０Ａに接触するように配置される。なお、図１７（ｂ）は、図１０（ｃ）に対応する。

次に、駆動部５００Ａが、スキージ４００Ｂを、主面３１０Ａ上でＹ方向に摺動させる。このとき、スキージ４００Ｂは、主面３１０Ａ上及び凹部３２０内を摺動することにより、凹部３２０内に残留する半田ペースト９００を掻き取る。なお、この動作は、前述した図１１の動作に対応する。

以降、前述した印刷装置１０００と同様の動作を行う。

以上の通り、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００は、開口部（凹部側開口部３２１、主面側開口部３３０）を有するマスク３００上でスキージ４００を摺動させることにより、半田ペースト９００を凹部側開口部３２１、主面側開口部３３０に充填する。マスク３００は、マスク側基材３１０と、凹部３２０と、凹部側開口部３２１と、主面側開口部３３０とを備えている。マスク側基材３１０は、一対の主面３１０Ａ、３１０Ｂが互いに向かい合っている。凹部３２０は、マスク側基材３１０の主面３１０Ａ側に凹状に形成されている。凹部側開口部３２１は、凹部３２０の内側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成されている。主面側開口部３３０は、主面３１０Ａのうち、凹部３２０の外側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成されている。駆動部５００は、スキージ４００を所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。制御部６００は、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。

このように、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００では、スキージ４００が、主面３１０Ａ上を摺動することにより、半田ペースト９００を凹部側開口部３２１に充填する。このとき、同時に、スキージ４００は、凹部３２０内で撓み、凹部３２０の底面上を摺動するので、凹部３２０内に流し込まれた半田ペースト９００が掻き取られるが、スキージ４００が凹部３２０内で撓むため、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に半田ペースト９００が残留する。しかしながら、制御部６００が、スキージの摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。このとき、スキージ４００は、前述したように、凹部３２０の底面上を摺動するので、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に残留する半田ペースト９００は、スキージ４００により掻き取られる。

ここで、図２５、２６を用いて、関連技術の第１及び第２の印刷方法について説明する。

まず、図２５を用いて、関連技術の第１の印刷方法について説明する。図２５は、関連技術の第１の印刷方法について説明するための図である。図２５（ａ）は、関連技術の電子基板１００上に配置されたマスク３００の凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００が流し込まれている状態を示す断面図である。図２５（ｂ）は、マスク３００を電子基板１００から離した状態を示す断面図である。

図２５（ａ）に示されるように、関連技術の第１の印刷方法では、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に半田ペースト９００が残留している。図２５（ａ）に示されるように、マスク３００の凹部３２０の底面から主面３１０Ｂまでの厚みに対して、凹部側開口部３２１の開口の幅が小さい。

このとき、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に半田ペースト９００が残留していると、図２５（ｂ）に示されるように、マスク３００を電子基板１００から離した際、凹部側開口部３２１に半田ペースト９００が残り、パッド１２０への半田ペースト９００の印刷量が不足する。なぜなら、半田ペースト９００が電子基板１００のパッド１２０に接着している力より、マスク３００の壁面のせん断応力（ずり応力）が大きくなるからである。

次に、図２６を用いて、関連技術の第２の印刷方法について説明する。図２６は、関連技術の第２の印刷方法について説明するための図である。図２６（ａ）は、関連技術の電子基板１００上に配置されたマスク３００の凹部側開口部３２１内に半田ペースト９００が流し込まれている状態を示す断面図である。図２６（ｂ）は、マスク３００を電子基板１００から離した状態を示す断面図である。

図２６（ａ）では、マスク３００の凹部３２０の底面から主面３１０Ｂまでの厚みに対して、凹部側開口部３２１の開口の幅が十分に大きい。このとき、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に半田ペースト９００が残留していると、図２６（ｂ）に示されるように、マスク３００を電子基板１００から離した際、凹部側開口部３２１上に残留していた半田ペースト９００も、パッド１２０上に印刷される。従って、パッド１２０への半田ペースト９００の印刷量が過多となる。

これに対して、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００は、制御部６００が、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。これにより、スキージ４００は、交差線に沿う方向に主面３１０Ａ上を摺動するので、交差線に沿う方向に沿って、マスク３００と凹部３２０の段差近傍に残る半田ペースト９００を除去することができる。従って、マスク３００と凹部３２０の段差近傍に残る半田ペースト９００を効果的に除去することができる。この結果、電子基板１００のパッド１２０、１３０上に適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

また、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００において、主面３１０Ａのうち、交差線が形成する領域は矩形状であり、制御部６００は、第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向にスキージ４００が摺動するように、スキージ４００の摺動方向を制御する。これにより、少ない摺動回数で、マスク３００と凹部３２０の段差近傍に残る半田ペースト９００をより効果的に除去することができる。その結果、電子基板１００のパッド１２０、１３０上に適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

また、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００は、スキージ４００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる回転部８００を有し、制御部６００は、回転部８００の回転を制御することにより、スキージ４００の摺動方向を制御する。これにより、スキージ４００の摺動方向を自在に変更することができる。従って、スキージ４００は、主面３１０Ａ上を様々な方向で自在に摺動することができる。このとき、スキージ４００は、凹部３２０の底面上を摺動するので、主面３１０Ａと凹部３２０との段差近傍に残留する半田ペースト９００は、スキージ４００により掻き取られる。この結果、マスク３００と凹部３２０の段差近傍に残る半田ペースト９００をより効果的に除去することができるので、電子基板１００のパッド１２０、１３０上に適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

また、本発明の第１の実施の形態における印刷方法は、開口部（凹部側開口部３２１、主面側開口部３３０）を有するマスク３００上でスキージ４００を摺動させ、半田ペースト９００を凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０に充填することにより、半田ペースト９００を電子基板１００に印刷する印刷方法であって、マスク配置ステップと、摺動ステップと、制御ステップと、を含む。マスク３００は、マスク側基材３１０と、マスク側基材３１０の主面３１０Ａ側に凹状に形成された凹部３２０と、凹部３２０の内側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部３２１と、主面３１０Ａのうち、凹部３２０の外側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部３３０と、を備える。マスク配置ステップは、電子基板１００上にマスク３００を配置する。摺動ステップは、スキージ４００を、所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。制御ステップは、スキージ４００の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。

この印刷方法は、上述した印刷装置１０００の装置の発明を方法の発明としたものであるから、上述した印刷装置１０００と同様の作用効果を奏する。

また、本発明の第１の実施の形態における印刷方法において、主面３１０Ａのうち、交差線が形成する領域は矩形状であり、制御ステップでは、第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向にスキージ４００が摺動するように、スキージ４００の摺動方向を制御する。この印刷方法は、上述した印刷装置１０００の装置の発明に対応する方法の発明であるから、上述した印刷装置１０００と同様の作用効果を奏する。

また、本発明の第１の実施の形態における印刷装置１０００の変形例である印刷装置１０００Ａにおいて、スキージは、スキージ４００Ａと４００Ｂとであって、互いに異なる方向に摺動できるように構成される。従って、凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０に半田ペースト９００を充填するスキージ４００Ａと、凹部３２０の底面上に残留する半田ペースト９００を掻き取るスキージ４００Ｂとが独立している。これにより、スキージ４００Ｂは、スキージ４００Ａよりも半田ペースト９００が付着する量が少なくなる。その結果、スキージ４００ＢがＹ方向に摺動する際、余分な半田ペースト９００が凹部側開口部３２１上に落下することを防止できる。そのため、電子基板１００上のパッド１２０に、適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

また、印刷装置１０００Ａにおける印刷方法は、開口部（凹部側開口部３２１、主面側開口部３３０）を有するマスク３００上でスキージ４００Ａ及び４００Ｂを摺動させ、半田ペースト９００を凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０に充填することにより、半田ペースト９００を電子基板１００に印刷する印刷方法であって、マスク配置ステップと、摺動ステップと、制御ステップと、を含む。マスク３００は、マスク側基材３１０と、マスク側基材３１０の主面３１０Ａ側に凹状に形成された凹部３２０と、凹部３２０の内側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部３２１と、主面３１０Ａのうち、凹部３２０の外側にマスク側基材３１０の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部３３０と、を備える。マスク配置ステップは、電子基板１００上にマスク３００を配置する。摺動ステップは、スキージ４００Ａ及び４００Ｂを、所定の方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。制御ステップは、スキージ４００Ａ及び４００Ｂの各々の摺動方向を、凹部３２０と主面３１０Ａが交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する。

この印刷方法は、上述した印刷装置１０００Ａの装置の発明を方法の発明としたものであるから、上述した印刷装置１０００Ａと同様の作用効果を奏する。

また、印刷装置１０００Ａにおける印刷方法において、主面３１０Ａのうち、交差線が形成する領域は矩形状であり、制御ステップでは、第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向にスキージ４００Ｂが摺動するように、スキージ４００Ｂの摺動方向を制御する。この印刷方法は、上述した印刷装置１０００Ａの装置の発明に対応する方法の発明であるから、上述した印刷装置１０００Ａと同様の作用効果を奏する。

＜第２の実施の形態＞
図１８を用いて、本発明の第２の実施の形態における印刷装置１０００ａの詳細な構成を説明する。図１８は、本発明の第２の実施の形態における印刷装置１０００ａの構成を示す図である。図１８（ａ）は、印刷装置１０００ａの俯瞰図である。図１８（ｂ）は、図１８（ａ）のＣ−Ｃ´切断線における断面図である。なお、図１８（ａ）では、制御部６００を省略して示している。

なお、図１８では、図１〜１７で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１７に示した符号と同等の符号を付している。なお、図１８の図中Ｘ、Ｙ方向は、スキージ４００が摺動する方向に対応する。

図１８（ａ）、（ｂ）に示されるように、印刷装置１０００ａは、マスク３００と、スキージ４００と、駆動部５００と、制御部６００と、保持部７００と、回転部８００ａと、ガイドレール１１００とを有する。

ここで、図３と図１８とを対比する。図１８では、スキージ４００が摺動する方向に沿って延在し、スキージ４００を所定の方向に摺動できるように案内するガイドレール１１００を更に有し、回転部８００ａは、ガイドレール１１００を回転させることにより、スキージ４００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる点で、図３に示される印刷装置１０００と互いに相違する。以下の説明では、図１〜１７で示した構成と同等の構成については、説明を省略する。

図１８（ａ）、（ｂ）に示されるように、印刷装置１０００ａは、ガイドレール１１００を更に有する。ガイドレール１１００は、駆動部５００と回転部８００ａに接続されている。ガイドレール１１００は、スキージ４００が摺動する方向（図中Ｘ方向）に沿って延在し、スキージ４００を所定の方向に摺動できるように案内する。ガイドレール１１００は、ガイドレール側保持部１１１０を有している。ガイドレール側保持部１１１０は、回転部８００ａの回転軸８１０を保持し、ガイドレール１１００と回転部８００ａを連結する。

なお、図１８（ｂ）に示されるように、駆動部５００は、ガイドレール１１００に接続されている。また、駆動部５００は、ガイドレール１１００によって案内され、スキージ４００を所定の方向に摺動させる。

なお、図１８（ｂ）に示されるように、保持部７００は、駆動部５００とスキージ４００とを連結する。

図１８（ａ）、（ｂ）に示されるように、回転部８００ａは、回転軸８１０を回転させることにより、ガイドレール１１００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸である（図中ＣＬ１）を中心軸にして回転させる。この結果、スキージ４００は、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸である（図中ＣＬ１）を中心軸にして回転する。なお、回転軸８１０は、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸ＣＬ１に対応している。なお、回転部８００ａのより詳細な動作については、後述する。

次に、図１８〜２０を用いて、印刷装置１０００ａが、電子基板１００に半田ペースト９００を印刷する方法を説明する。なお、前述した印刷装置１０００と同様の動作については説明を省略する。

まず、図１８（ａ）、（ｂ）に示されるように、スキージ４００をマスク３１０Ａ上に配置する。なお、この動作は、前述した印刷装置１０００の図４（ｃ）の動作に対応する。

次に、駆動部５００が、ガイドレール１１００に沿って、スキージ４００をＸ方向に主面３１０Ａ上で摺動させる。

この動作の後、図１９に示されるように、スキージ４００は、主面３１０Ａ上の端部（図中右側）に移動された。

次に、制御部６００が、スキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をする。

図１９、２０は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向を制御する動作を説明するための図である。図１９（ａ）は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をする前の状態を示す俯瞰図である。図１９（ｂ）は、図１９（ａ）の斜視図である。図２０（ａ）は、制御部６００がスキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をした後の状態を示す俯瞰図である。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）の斜視図である。なお、図１９、２０では、制御部６００を省略して示している。

図１９、２０に示されるように、回転部８００ａは、制御部６００の制御を受け、ガイドレール１１００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸（図中ＣＬ１）を中心軸にして回転させる。この結果、スキージ４００は、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸（図中ＣＬ１）を中心軸にして回転する。なお、ここでは、回転部８００ａは、ガイドレール１１００を、主面３１０Ａ上で時計回りに９０度回転させる。これにより、制御部６００は、スキージ４００の摺動方向をＹ方向に設定する制御をする。なお、この動作は、前述した印刷装置１０００の図８〜１０の動作に対応する。

以降、前述した印刷装置１０００と同様の動作を行う。なお、前述した印刷装置１０００と同様、印刷装置１０００ａは、２枚目の電子基板１００ａに半田ペースト９００を印刷することができる。このときの動作については、説明を省略する。

このように、本発明の第２の実施の形態における印刷装置１０００ａは、スキージ４００が摺動する方向に沿って延在し、スキージ４００を所定の方向に摺動できるように案内するガイドレール１１００を有する。また、回転部８００ａは、ガイドレール１１００を回転させることにより、スキージ４００を、マスク３００の主面３１０Ａに対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる。これにより、ガイドレール１１００を回転させるだけで、スキージ４００の摺動方向及び主面３１０上において摺動を開始する位置を制御することができる。この結果、スキージ４００の摺動方向をより簡単に制御することができる。

＜第３の実施の形態＞
図２１を用いて、本発明の第３の実施の形態における印刷装置１０００ｂの詳細な構成を説明する。図２１は、本発明の第３の実施の形態における印刷装置１０００ｂの構成を示す図である。図２１（ａ）は、印刷装置１０００ｂを示す俯瞰図である。図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のＤ−Ｄ´切断線における断面図である。なお、図２１では、図１〜２０で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜２０に示した符号と同等の符号を付している。なお、図２１の図中Ｘ、Ｙ方向は、スキージ４００が摺動する方向に対応する。なお、図２１では、説明の便宜上、制御部６００は省略して示している。

図２１に示されるように、印刷装置１０００ｂは、マスク３００と、スキージ４００と駆動部５００と、制御部６００と、保持部７００と、回転部８００と、印刷材料除去部１２００とを有する。

ここで、図３と図２１とを対比する。図２１では、印刷装置１０００ｂは、印刷材料除去部１２００を更に有する点で、図３に示される印刷装置１０００と互いに相違する。以下の説明では、図１〜２０で示した構成と同等の構成については、説明を省略する。

図２１（ａ）、（ｂ）に示されるように、印刷装置１０００ｂは、印刷材料除去部１２００を有する。印刷材料除去部１２００は、マスク３００の主面３１０Ａ上であって、スキージ４００の摺動方向における両端部のうち、少なくとも一方の端部に設けられ、スキージ４００に付着する半田ペースト９００を除去する。なお、図２１（ａ）、（ｂ）では、印刷材料除去部１２００は、マスク３００の主面３１０Ａ上の両端部に設ける例を示している。しかしながら、印刷材料除去部１２００は、マスク３００の主面３１０Ａ上の一端部に設けてもよい。

なお、前述したように、スキージ４００は、主面３１０Ａ上をＸ方向に摺動した後、Ｙ方向に摺動する。このとき、印刷材料除去部１２００は、主面３１０Ａ上で、Ｙ方向に略垂直な方向における端部に、Ｙ方向に略垂直な方向に延在して形成される。また、ここでは、印刷材料除去部１２００は、主面３１０Ａに対して垂直な方向に９０度の角度Ａで形成されている例を示している。しかしながら、印刷材料除去部１２００は、上述した角度で形成されている必要はなく、例えば、Ａ＝３０〜１２０度の範囲で調整をするなど、適宜変更可能である。

次に、図２２を用いて、印刷材料除去部１２００が、スキージ４００に付着した半田ペースト９００を除去する動作について説明する。図２２は、本発明の第３の実施の形態における印刷装置１０００ｂを構成する印刷材料除去部１２００が、スキージ４００に付着した半田ペースト９００を除去する動作について説明するための図である。なお、図２２（ａ）は、図１０（ｃ）に対応する図である。

図２２（ａ）〜（ｃ）に示されるように、印刷材料除去部１２００は、スキージ４００に付着した半田ペースト９００を除去する。これにより、スキージ４００に付着した半田ペースト９００が、凹部３２０内の凹部側開口部３２１上に落下することを防止できる。また、スキージ４００の摺動時の半田ペースト９００の量を適量に調節できる。

以上の通り、本発明の第３の実施の形態における印刷装置１０００ｂは、印刷材料除去部１２００を有する。印刷材料除去部１２００は、マスク３００の主面３１０Ａ上であって、スキージ４００の摺動方向における両端部のうち、少なくとも一方の端部に設けられ、スキージ４００に付着する半田ペースト９００を除去する。これにより、スキージ４００に付着した半田ペースト９００が、凹部３２０内の凹部側開口部３２１上に落下することを防止できるので、余分な半田ペースト９００が凹部側開口部３２１上に残留することを防止できる。その結果、前述した印刷装置１０００と同様に、電子基板１００上のパッド１２０に、適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

＜第４の実施の形態＞
図２３を用いて、本発明の第４の実施の形態における印刷装置１０００ｃを構成する抑止部１３００の詳細な構成を説明する。図２３（ａ）は、抑止部１３００が取り付けられたスキージ４００の側面図である。また、図２３（ａ）は、スキージ４００を摺動していない際の状態を示している。図２３（ｂ）は、図２３（ａ）の正面図である。図２３（ｃ）は、スキージ４００を摺動する際の状態を示している。なお、図２３では、図１〜２２で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜２０に示した符号と同等の符号を付している。

図３と図２３とを対比する。図２３では、スキージ４００がマスク３００の主面３１０Ａ上から離れたとき、スキージ４００に付着している半田ペースト９００が、主面３１０Ａ上に落下することを抑止する抑止部１３００を更に有する点で、図３に示される印刷装置１０００と互いに相違する。以下の説明では、図１〜２２で示した構成と同等の構成については、説明を省略する。

図２３（ａ）、（ｂ）に示されるように、抑止部１３００は、保持部７００と接続されている。抑止部１３００は、スキージ４００がマスク３００の主面３１０Ａ上から離れたとき、スキージ４００に付着している半田ペースト９００が、主面３１０Ａ上に落下することを抑止する。また、抑止部１３００は、回転軸１３１０を有している。回転軸１３１０は、抑止部１３００本体と保持部７００を連結する。また、図２３（ｃ）に示されるように、抑止部１３００は、回転軸１３１０を中心軸にして回転可能である。抑止部１３００は、通常、図２３（ｃ）に示される状態に維持される。なお、抑止部１３００の回転の制御は、制御部６００が行う。

次に、図２４を用いて、抑止部１３００の動作について説明する。図２４は、印刷装置１０００ｃを構成する抑止部１３００の動作を説明するための図である。なお、図２４（ａ）は、図４（ｃ）に対応し、図２４（ｂ）は、図８（ａ）に対応する。なお、図２４の図中Ｘ方向は、スキージ４００の摺動方向に対応する。

前述した印刷装置１０００と同様に、図２４に示されるように、スキージ４００は、主面３１０Ａ上をＸ方向に摺動する。

次に、図２４（ｂ）に示されるように、スキージ４００のＸ方向の摺動が終わったとき、保持部７００がスキージ４００を主面３１０Ａに対して垂直上方に上昇させる。このとき、すなわち、スキージ４００がマスク３００の主面３１０Ａ上から離れたとき、抑止部１３００は、回転軸１３１０を回転させ、スキージ４００と主面３１０Ａとの間を間仕切る。これにより、スキージ４００に付着している半田ペースト９００が、主面３１０Ａ上に落下することを抑止する。なお、抑止部１３００は、スキージ４００のＹ方向の摺動のときも同様の動作を行う。

なお、ここでは、前述したスキージが１つである印刷装置１０００に、抑止部を更に設けた印刷装置１０００ｃの場合について説明した。しかしながら、抑止部１３００は、前述したスキージが２つある印刷装置１０００Ａに設けられてもよい。この場合、抑止部１３００は、スキージ４００Ａに設けられることが望ましい。なぜなら、スキージ４００Ａは、凹部側開口部３２１及び主面側開口部３３０内に半田ペースト９００を充填するため、スキージ４００Ｂよりも多くの半田ペースト９００が付着するからである。しかしながら、抑止部１３００は、スキージ４００Ｂに設けられてもよく、また、スキージ４００Ａ及び４００Ｂの両方に設けられてもよい。

以上の通り、本発明の第４の実施の形態における印刷装置１０００ｃは、抑止部１３００を更に有する。抑止部１３００は、スキージ４００がマスク３００の主面３１０Ａ上から離れたとき、スキージ４００に付着している半田ペースト９００が、主面３１０Ａ上に落下することを抑止する。また、スキージ４００が主面３１０Ａ上から離れたとき、半田ペースト９００が糸を引き、次のスキージングに影響を及ぼすことを防止することができる。この結果、主面３１０Ａ上や凹部側開口部３２１上に余分な半田ペースト９００を残留させることがないので、前述した印刷装置１０００と同様に、電子基板１００上のパッド１２０に、適切な量の半田ペースト９００を印刷することができる。

前記実施の形態の一部又は全部は、以下の付記のように記載され得るが、以下に限られない。
（付記１）
開口部を有するマスク上でスキージを摺動させることにより、印刷材料を前記開口部に充填する印刷装置において、
前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部とを備え、
前記スキージを所定の方向に前記主面上で摺動させる駆動部と、
前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御部と、を有する印刷装置。
（付記２）
前記主面のうち、前記交差線が形成する領域は、矩形状であり、
前記制御部は、前記第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向に前記スキージが摺動するように、前記スキージの摺動方向を制御する付記１に記載の印刷装置。
（付記３）
前記スキージを、前記マスクの前記主面に対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる回転部を有し、
前記制御部は、前記回転部の回転を制御することにより、前記スキージの摺動方向を制御する付記１又は２に記載の印刷装置。
（付記４）
前記スキージが摺動する方向に沿って延在し、前記スキージを所定の方向に摺動できるように案内するガイドレールを有し、
前記回転部は、前記ガイドレールを回転させることにより、前記スキージを、前記マスクの前記主面に対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる付記３に記載の印刷装置。
（付記５）
前記マスクの前記主面上であって、前記スキージの摺動方向における両端部のうち、少なくとも一方の端部に設けられ、前記スキージに付着する前記印刷材料を除去する印刷材料除去部を有する付記１から４のいずれか１項に記載の印刷装置。
（付記６）
前記スキージが前記マスクの前記主面上から離れたとき、前記スキージに付着している前記印刷材料が、前記主面上に落下することを抑止する抑止部を有する付記１から５のいずれか１項に記載の印刷装置。
（付記７）
前記スキージは、第１のスキージと第２のスキージとであって、互いに異なる方向に摺動できるように構成される付記１から６のいずれか１項に記載の印刷装置。
（付記８）
開口部を有するマスク上でスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、
前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、
前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、
前記スキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、
前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む印刷方法。
（付記９）
前記主面のうち、前記交差線が形成する領域は、矩形状であり、
前記制御ステップでは、前記第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向に前記スキージが摺動するように、前記スキージの摺動方向を制御する付記８に記載の印刷方法。
（付記１０）
開口部を有するマスク上で第１及び第２のスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、
前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、
前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、
前記第１及び第２のスキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、
前記第１及び第２のスキージの各々の摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む印刷方法。
（付記１１）
前記主面のうち、前記交差線が形成する領域は、矩形状であり、
前記制御ステップでは、前記第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向に前記第２のスキージが摺動するように、前記第２のスキージの摺動方向を制御する付記１０に記載の印刷方法。

１００ 電子基板
１００ａ 電子基板
１１０ 基板側基材
１２０ パッド
１３０ パッド
２００ａ 電子部品
２００ｂ 電子部品
３００ マスク
３００Ｘ マスク
３１０ マスク側基材
３２０ 凹部
３２１ 凹部側開口部
３３０主面側開口部
４００ スキージ
４００Ａ スキージ
４００Ｂ スキージ
５００ 駆動部
５００Ａ 駆動部
６００ 制御部
６００Ａ 制御部
７００ 保持部
７００Ａ 保持部
７１０ 昇降部
７２０Ａ スキージ用支持部材
７２０Ｂ スキージ用支持部材
８００ 回転部
８００Ａ 回転部
８００ａ 回転部
８１０ 回転軸
９００ 半田ペースト
１０００ 印刷装置
１０００Ａ 印刷装置
１０００ａ 印刷装置
１０００ｂ 印刷装置
１０００ｃ 印刷装置
１１００ ガイドレール
１２００ 印刷材料除去部
１３００ 抑止部
１３１０ 抑止部側回転軸

Claims (9)

1. 開口部を有するマスク上でスキージを摺動させることにより、印刷材料を前記開口部に充填する印刷装置において、
   前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部とを備え、
   前記スキージを所定の方向に前記主面上で摺動させる駆動部と、
   前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御部と、を有する印刷装置。
2. 前記主面のうち、前記交差線が形成する領域は、矩形状であり、
   前記制御部は、前記第１の方向に対して、略垂直な方向である第２の方向に前記スキージが摺動するように、前記スキージの摺動方向を制御する請求項１に記載の印刷装置。
3. 前記スキージを、前記マスクの前記主面に対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる回転部を有し、
   前記制御部は、前記回転部の回転を制御することにより、前記スキージの摺動方向を制御する請求項１又は２に記載の印刷装置。
4. 前記スキージが摺動する方向に沿って延在し、前記スキージを所定の方向に摺動できるように案内するガイドレールを有し、
   前記回転部は、前記ガイドレールを回転させることにより、前記スキージを、前記マスクの前記主面に対して略垂直な軸を中心軸にして回転させる請求項３に記載の印刷装置。
5. 前記マスクの前記主面上であって、前記スキージの摺動方向における両端部のうち、少なくとも一方の端部に設けられ、前記スキージに付着する前記印刷材料を除去する印刷材料除去部を有する請求項１から４のいずれか１項に記載の印刷装置。
6. 前記スキージが前記マスクの前記主面上から離れたとき、前記スキージに付着している前記印刷材料が、前記主面上に落下することを抑止する抑止部を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の印刷装置。
7. 前記スキージは、第１のスキージと第２のスキージとであって、互いに異なる方向に摺動できるように構成される請求項１から６のいずれか１項に記載の印刷装置。
8. 開口部を有するマスク上でスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、
   前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、
   前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、
   前記スキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、
   前記スキージの摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む印刷方法。
9. 開口部を有するマスク上で第１及び第２のスキージを摺動させ、印刷材料を前記開口部に充填することにより、印刷材料を被印刷媒体に印刷する印刷方法において、
   前記マスクは、板状の基材と、前記基材の主面側に凹状に形成された凹部と、前記凹部の内側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された凹部側開口部と、前記主面のうち、前記凹部の外側に前記基材の厚み方向に貫通するように形成された主面側開口部と、を備え、
   前記被印刷媒体上に前記マスクを配置するマスク配置ステップと、
   前記第１及び第２のスキージを、所定の方向に前記主面上で摺動させる摺動ステップと、
   前記第１及び第２のスキージの各々の摺動方向を、前記凹部と前記主面が交差する交差線のうち、少なくとも異なる２つの交差線に沿う方向に制御する制御ステップと、を含む印刷方法。

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