JP2015064332A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015064332A5
JP2015064332A5 JP2014117766A JP2014117766A JP2015064332A5 JP 2015064332 A5 JP2015064332 A5 JP 2015064332A5 JP 2014117766 A JP2014117766 A JP 2014117766A JP 2014117766 A JP2014117766 A JP 2014117766A JP 2015064332 A5 JP2015064332 A5 JP 2015064332A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
light receiving
layer
photoelectric conversion
discontinuous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014117766A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6352687B2 (ja
JP2015064332A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2014117766A external-priority patent/JP6352687B2/ja
Priority to JP2014117766A priority Critical patent/JP6352687B2/ja
Priority to TW103127513A priority patent/TWI645210B/zh
Priority to KR1020167004346A priority patent/KR20160047469A/ko
Priority to PCT/JP2014/004290 priority patent/WO2015029389A1/en
Priority to CN201480046020.0A priority patent/CN105474396A/zh
Priority to US14/908,319 priority patent/US9929199B2/en
Priority to EP14777187.7A priority patent/EP3039719B1/en
Publication of JP2015064332A publication Critical patent/JP2015064332A/ja
Publication of JP2015064332A5 publication Critical patent/JP2015064332A5/ja
Publication of JP6352687B2 publication Critical patent/JP6352687B2/ja
Application granted granted Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2014117766A 2013-08-28 2014-06-06 放射線検出器およびその製造方法、撮像装置、ならびに撮像表示システム Expired - Fee Related JP6352687B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014117766A JP6352687B2 (ja) 2013-08-28 2014-06-06 放射線検出器およびその製造方法、撮像装置、ならびに撮像表示システム
TW103127513A TWI645210B (zh) 2013-08-28 2014-08-11 輻射偵測器、製造輻射偵測器的方法成像單元及成像顯示系統
CN201480046020.0A CN105474396A (zh) 2013-08-28 2014-08-21 辐射检测器、制造辐射检测器的方法、成像单元以及成像显示系统
PCT/JP2014/004290 WO2015029389A1 (en) 2013-08-28 2014-08-21 Radiation detector, method of manufacturing the radiation detector, imaging unit, and imaging and display system
KR1020167004346A KR20160047469A (ko) 2013-08-28 2014-08-21 방사선 검출기, 방사선 검출기의 제조 방법, 촬상 장치, 및 촬상 표시 시스템
US14/908,319 US9929199B2 (en) 2013-08-28 2014-08-21 Radiation detector, imaging unit, and imaging and display system
EP14777187.7A EP3039719B1 (en) 2013-08-28 2014-08-21 Radiation detector, method of manufacturing the radiation detector, imaging unit, and imaging and display system

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013177175 2013-08-28
JP2013177175 2013-08-28
JP2014117766A JP6352687B2 (ja) 2013-08-28 2014-06-06 放射線検出器およびその製造方法、撮像装置、ならびに撮像表示システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015064332A JP2015064332A (ja) 2015-04-09
JP2015064332A5 true JP2015064332A5 (enExample) 2017-04-06
JP6352687B2 JP6352687B2 (ja) 2018-07-04

Family

ID=51627334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014117766A Expired - Fee Related JP6352687B2 (ja) 2013-08-28 2014-06-06 放射線検出器およびその製造方法、撮像装置、ならびに撮像表示システム

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9929199B2 (enExample)
EP (1) EP3039719B1 (enExample)
JP (1) JP6352687B2 (enExample)
KR (1) KR20160047469A (enExample)
CN (1) CN105474396A (enExample)
TW (1) TWI645210B (enExample)
WO (1) WO2015029389A1 (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10061036B2 (en) 2015-02-19 2018-08-28 Sony Corporation Radiation detector, method of manufacturing radiation detector, and imaging apparatus
US12298454B2 (en) 2015-08-10 2025-05-13 Shanghai United Imaging Healthcare Co., Ltd. Apparatus and method for PET detector
US9696439B2 (en) * 2015-08-10 2017-07-04 Shanghai United Imaging Healthcare Co., Ltd. Apparatus and method for PET detector
CN107658361A (zh) * 2016-07-25 2018-02-02 群创光电股份有限公司 主动矩阵式影像感测装置
JP2018081945A (ja) * 2016-11-14 2018-05-24 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器
TWI659223B (zh) * 2018-04-12 2019-05-11 Silicon Optronics, Inc. Ｘ射線感測裝置及其製造方法
EP4111179A4 (en) * 2020-02-27 2023-11-15 Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. IMAGING SYSTEM
CN113325459B (zh) * 2021-05-28 2024-04-12 京东方科技集团股份有限公司 平板探测器及其制备方法、摄影设备
JP7449264B2 (ja) * 2021-08-18 2024-03-13 株式会社東芝 放射線検出器

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5171996A (en) * 1991-07-31 1992-12-15 Regents Of The University Of California Particle detector spatial resolution
US5132539A (en) * 1991-08-29 1992-07-21 General Electric Company Planar X-ray imager having a moisture-resistant sealing structure
JP2721476B2 (ja) * 1993-07-07 1998-03-04 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出素子及びその製造方法
JPH09325185A (ja) * 1996-06-03 1997-12-16 Toshiba Fa Syst Eng Kk 放射線検出器とその製造方法と透視検査装置とｃｔスキャナ
JP4220017B2 (ja) * 1998-06-23 2009-02-04 浜松ホトニクス株式会社 シンチレータパネル、放射線イメージセンサ及びその製造方法
JP2003014850A (ja) * 2002-06-13 2003-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd シンチレータユニットおよびシンチレータユニットの製造方法
US6953925B2 (en) * 2003-04-28 2005-10-11 Stmicroelectronics, Inc. Microlens integration
JP2009530798A (ja) * 2006-01-05 2009-08-27 イルミテックス， インコーポレイテッド Ｌｅｄから光を導くための独立した光学デバイス
US20070187787A1 (en) * 2006-02-16 2007-08-16 Ackerson Kristin M Pixel sensor structure including light pipe and method for fabrication thereof
JP5089195B2 (ja) * 2006-03-02 2012-12-05 キヤノン株式会社 放射線検出装置、シンチレータパネル、放射線検出システム及び放射線検出装置の製造方法
US20090189055A1 (en) * 2008-01-25 2009-07-30 Visera Technologies Company Limited Image sensor and fabrication method thereof
US7704897B2 (en) * 2008-02-22 2010-04-27 Applied Materials, Inc. HDP-CVD SiON films for gap-fill
DE102009013112A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von mikrooptoelektronischen Bauelementen und mikrooptoelektronisches Bauelement
JP2011017683A (ja) * 2009-07-10 2011-01-27 Fujifilm Corp 放射線画像検出器及びその製造方法
JP5721994B2 (ja) 2009-11-27 2015-05-20 株式会社ジャパンディスプレイ 放射線撮像装置
JP5448877B2 (ja) * 2010-01-25 2014-03-19 富士フイルム株式会社 放射線検出器
JP5844545B2 (ja) * 2010-05-31 2016-01-20 富士フイルム株式会社 放射線撮影装置
JP2012032645A (ja) * 2010-07-30 2012-02-16 Fujifilm Corp 放射線撮影装置及び放射線撮影システム
JP2012141291A (ja) * 2010-12-16 2012-07-26 Fujifilm Corp 放射線撮影装置
US8648310B2 (en) * 2011-01-18 2014-02-11 Varian Medical Systems, Inc. Indirect X-ray imager having semi-transparent layers
JP5978625B2 (ja) * 2011-06-07 2016-08-24 ソニー株式会社 放射線撮像装置、放射線撮像表示システムおよびトランジスタ
JP5628103B2 (ja) * 2011-06-30 2014-11-19 富士フイルム株式会社 放射線検出器、放射線画像撮影システム、断線検出プログラム、及び断線検出方法
JP2013113756A (ja) * 2011-11-30 2013-06-10 Toshiba Corp 放射線検出器およびその製造方法
JP5895504B2 (ja) * 2011-12-15 2016-03-30 ソニー株式会社 撮像パネルおよび撮像処理システム
JP2013134097A (ja) * 2011-12-26 2013-07-08 Canon Inc シンチレータパネル、放射線検出装置、及び、それらを用いた放射線検出システム
KR101965259B1 (ko) * 2012-07-27 2019-08-08 삼성디스플레이 주식회사 엑스선 검출기
US9691809B2 (en) * 2013-03-14 2017-06-27 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Backside illuminated image sensor device having an oxide film and method of forming an oxide film of a backside illuminated image sensor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104981907B (zh) 半导体基板、摄像元件及摄像装置
JP5794020B2 (ja) 固体撮像装置
US10096635B2 (en) Semiconductor structure and manufacturing method thereof
JP2013080838A5 (enExample)
JP2009158863A5 (enExample)
TWI573258B (zh) 光學感測器封裝及光學感測器總成
KR102252490B1 (ko) 이미지 센서 패키지, 모듈, 및 그 제조 방법
TWI590166B (zh) 凸紋印花成像之組合式感測器陣列
JP2013124976A5 (enExample)
JP2016100597A (ja) 画像感知モジュールとその製造方法、及びカメラ装置
CN107590426B (zh) 三维图像感测器以及三维图像提取装置
CN106595876A (zh) 集成有效元与光学参考元的像素以及微测辐射热计
JP2018206917A5 (enExample)
CN104347644B (zh) 具有透镜组件的图像检测器及相关方法
JP2015170638A (ja) 撮像素子パッケージ及び撮像装置
JP2013026565A5 (enExample)
TWI589946B (zh) 鏡頭調焦方法與光學模組
JP2009086092A (ja) 光学部品の製造方法及び撮影装置の製造方法
TW201508367A (zh) 用於降低組裝傾角的影像擷取模組
TWM470285U (zh) 影像擷取模組及其影像感測單元
CN113826104B (zh) 平铺图像传感器
TWI841745B (zh) 圖像採集裝置及電子設備
JP2008258920A (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
TW201918792A (zh) 光罩玻璃基板上之透光薄膜雜質去除組件
JP2008226969A (ja) 光通信モジュール