JP2015059875A

JP2015059875A - 検査結果表示データ生成装置、検査結果表示装置、基板検査システムおよび検査結果表示データ生成方法

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Publication number: JP2015059875A
Application number: JP2013194775A
Authority: JP
Inventors: 誉下平; Homare Shimodaira
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2013-09-20
Filing date: 2013-09-20
Publication date: 2015-03-30

Abstract

【課題】表示部に表示させた際に、不良箇所を確実かつ容易に特定可能な検査結果表示データを生成する。
【解決手段】処理部３１が、複数の配線パターンが形成された被検査基板１０を撮像して得られる被検査基板１０の平面画像を示す撮像データＤｉｍ２ａを入力すると共にこの平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を撮像データＤｉｍ２ａに対して実行して画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成する画像補正処理と、被検査基板１０を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンＰｅについてのパターン画像を示す画像データＤｉｍ１を入力すると共にこの画像データＤｉｍ１と補正撮像データＤｉｍ２ｂとに基づいて、パターン画像が補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データＤｉｍ３を生成する表示用データ生成処理とを実行する。
【選択図】図１

Description

本発明は、被検査基板についての検査結果を表示装置に表示させるための表示データを生成する検査結果表示データ生成装置と、この検査結果表示データ生成装置および検査結果を表示する表示装置を有する検査結果表示装置と、この検査結果表示装置および被検査基板を検査する基板検査装置を有する基板検査システムと、被検査基板についての検査結果を表示装置に表示させるための表示データを生成する検査結果表示データ生成方法とに関するものである。

この種の検査結果表示装置として、下記の特許文献１に開示されているパターン欠陥解析支援装置が知られている。このパターン欠陥解析支援装置は、プリント配線板の布線検査装置により検出され出力された不良配線のネットデータと、プリント配線板の配線パターンのガーバーデータとをそれぞれファイルから抽出して読み込み、不良配線のネットデータに基づき、ガーバーデータから不良配線のパターンデータを抽出してグラフィック表示し、不良配線の欠陥解析を支援する。

具体的には、このパターン欠陥解析支援装置は、プリント配線板が一定の位置にセットされるセットテーブルと、セットテーブルを駆動し移動させるテーブル駆動ユニットと、セットテーブルの上方に設置されてプリント配線板を拡大倍率で実写すると共にプリント配線板の拡大画像の画像信号を出力するカメラユニットと、画像信号を入力して拡大画像を表示する拡大表示ユニットと、組込コンピュータとを備え、組込コンピュータが、ネットデータに基づきガーバーデータから不良配線のパターンデータを抽出し、不良配線のパターンデータのＸＹ座標範囲を算出し、カメラユニットの視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力に基づいて選択すると共に選択した部分座標範囲の座標データをテーブル駆動ユニットへ出力することで、テーブル駆動ユニットに対してセットテーブルを座標データの位置へ移動させ、カメラユニットが、プリント配線板を実写し、拡大表示ユニットが、カメラユニットの画像信号を表示し、組込コンピュータが、選択した部分座標範囲内のパターンデータのビットマップデータを拡大表示ユニットに、カメラユニットの画像信号の表示に重ねてグラフィック表示させる。

したがって、解析者は、このパターン欠陥解析支援装置を使用することにより、拡大表示ユニットにカメラユニットの画像信号の表示に重ねてグラフィック表示されるパターンデータのビットマップデータを参照しながら、不良パターン上の欠陥箇所を特定することが可能になっている。

特許第４１０２９７６号公報（第５−７頁、第１図）

ところが、従来の検査結果表示装置には、以下の課題が存在する。すなわち、従来の検査結果表示装置では、セットテーブルの上方に設置されたカメラユニットで実写したプリント配線板の拡大画像をそのまま拡大表示ユニットに表示させている。しかしながら、カメラユニットで実写した画像には、台形歪みや樽型歪みなどの種々の歪みが生じているため、パターンデータのビットマップデータを拡大画像に重ねた際に、本来重なるべき不良配線の画像からこのビットマップデータがずれて、このずれが大きいときには拡大表示ユニットに表示されているこのビットマップデータから不良配線を特定するのが困難になるという課題が存在している。

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、表示部に表示させた際に、不良配線などの不良箇所を確実かつ容易に特定可能な検査結果表示データを生成し得る検査結果表示データ生成装置および検査結果表示データ生成方法を提供することを主目的とする。また、不良箇所を確実かつ容易に特定させ得る検査結果表示装置および基板検査システムを提供することを他の主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査結果表示データ生成装置は、複数の配線パターンが形成された被検査基板を撮像して得られる当該被検査基板の平面画像を示す撮像データを入力すると共に当該平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を前記撮像データに対して実行して当該画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データを生成する画像補正処理と、前記被検査基板を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンについてのパターン画像を示す画像データを入力すると共に当該画像データと前記補正撮像データとに基づいて、当該パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データを生成する表示用データ生成処理とを実行する。

また、請求項２記載の検査結果表示装置は、請求項１記載の検査結果表示データ生成装置、撮像部および表示部を備え、前記撮像部は、前記被検査基板を撮像して前記平面画像を示す前記撮像データを前記検査結果表示データ生成装置に出力し、前記表示部は、前記検査結果表示データ生成装置で生成された前記検査結果表示用データを入力すると共に、当該検査結果表示用データに基づいて前記パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた前記画像を画面上に表示する。

また、請求項３記載の基板検査システムは、請求項１記載の検査結果表示データ生成装置および請求項２記載の検査結果表示装置のうちのいずれかの装置と、前記被検査基板に対する検査を実行して前記不良箇所を検出すると共に、当該被検査基板の設計データに基づいて、当該不良箇所に関連する前記配線パターンについての前記パターン画像を示す前記画像データを前記検査結果表示データ生成装置に出力する検査処理を実行する基板検査装置とを備えている。

また、請求項４記載の検査結果表示データ生成方法は、複数の配線パターンが形成された被検査基板を撮像して得られる当該被検査基板の平面画像を示す撮像データを入力すると共に当該平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を前記撮像データに対して実行して当該画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データを生成する画像補正処理と、前記被検査基板を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンについてのパターン画像を示す画像データを入力すると共に当該画像データと前記補正撮像データとに基づいて、当該パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データを生成する表示用データ生成処理とを実行する。

請求項１記載の検査結果表示データ生成装置、および請求項４記載の検査結果表示データ生成方法では、被検査基板を撮像して得られる平面画像を示す撮像データを入力してこの平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を実行して画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データを生成する画像補正処理と、被検査基板を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンについての画像が補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データを生成する表示用データ生成処理とを実行する。

したがって、この検査結果表示データ生成装置およびこの検査結果表示データ生成方法によれば、表示部に出力して画面に画像を表示させたときに、不良箇所に関連する配線パターン上にこの配線パターンについての識別し得る態様での画像がずれることなく正確に重ねられた画像を表示させ得る検査結果表示用データを生成させることができる。すなわち、この検査結果表示データ生成方法およびこの方法を実行する検査結果表示データ生成装置によれば、表示部に表示される配線パターンの画像（識別し得る態様での画像）に基づいて、実際の被検査基板での不良箇所を確実かつ容易に特定し得る検査結果表示用データを生成させることができる。

また、請求項２記載の検査結果表示装置および請求項３記載の基板検査システムによれば、検査結果表示用データに基づいて、不良箇所に関連する配線パターン上にこの配線パターンについての識別し得る態様での画像がずれることなく正確に重ねられた画像を表示部の画面に表示させることができるため、画面に表示されている配線パターンの画像（識別し得る態様での画像）に基づいて、実際の被検査基板での不良箇所の位置を確実かつ容易に特定することができる。

基板検査システム１、検査結果表示装置３および検査結果表示データ生成装置２２の各構成を示す構成図である。被検査基板１０の補正平面画像である。不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅ（Ｐｅ１，Ｐｅ２）である。図２に示す補正平面画像に図３に示す画像Ｐｅを重ねた画像を画面２４ａに表示させた状態を示す説明図である。図４に示す画像のうちの不良箇所の画像Ｐｅ１，Ｐｅ２を含む画像を画面２４ａに拡大表示させた状態を示す説明図である。他の不良箇所の画像Ｐｅ３〜Ｐｅ６を含む画像を画面２４ａに拡大表示させた状態を示す説明図である。

以下、検査結果表示データ生成装置、検査結果表示装置、基板検査システムおよび検査結果表示データ生成方法の各実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

まず、基板検査システム１の構成について、図１を参照して説明する。

基板検査システム１は、図１に示すように、基板検査装置２および検査結果表示装置３を備え、被検査基板１０の検査および検査結果の表示を実行可能に構成されている。この場合、被検査基板１０は、図２に示す画像で示されるように、表面に複数の配線パターンＰが形成されると共に、配線パターンＰの端部にランド（不図示）が形成されている。また、被検査基板１０には、複数の電子部品１１，１２，・・・，１６，１７，・・・が、その電極や端子がランドにハンダ付けされることによって実装されている。

なお、同図では、発明の理解を容易にするため、配線パターンＰについては同じ太さの線で表しているが、各配線パターンの実際の太さはまちまちである。また、複数の電子部品のうちの電子部品１１〜１７のみを記載しているが、被検査基板１０の他の領域にも他の電子部品が実装されている。また、被検査基板１０の表面（少なくとも表面の周縁部全域）には、被検査基板１０に電子部品を自動実装する際に、実装機が有するランドやスルーホールや配線パターンＰなどの導体パターンの設計上の座標値を、被検査基板１０に形成されている実際のランドやスルーホールや配線パターンＰの座標値に合わせるためのマーク（フィデューシャルマーク）Ｍが導体パターンで形成されている。

基板検査装置２は、被検査基板１０に対する検査処理を実行する。この検査処理では、基板検査装置２は、被検査基板１０の検査対象（配線パターンＰや実装されている電子部品１１，１２，・・・）に検査信号を出力すると共に、この検査信号の出力に起因して検査対象に生じる電気信号を測定し、測定された電気信号に基づいて検査対象に不具合が発生しているか否かを検査する。

この検査処理では、配線パターンＰについては、短絡不良（導体パターンでの短絡不良および半田ブリッジでの短絡不良）、絶縁不良および断線不良などの不具合の発生の有無を検査して、不具合の発生している箇所（不良箇所）を検出する。また、電子部品１１，１２，・・・については、部品実装間違い、部品不良、および電極や端子のランド（すなわち配線パターン）とのハンダ接続不良などの不具合の発生の有無を検査して、不具合の発生している電子部品（不良箇所）を検出する。

また、基板検査装置２は、被検査基板１０に対する検査処理の結果、被検査基板１０の不良箇所を検出したときには、被検査基板１０の設計データ（配線パターンＰやマークＭなどを形成する導体パターンの位置（座標値）および外形を特定するデータであって、被検査基板１０を表面側から見たときのデータ（ガーバーデータ））に基づいて、不良箇所に関連する１または２以上の配線パターンＰの画像Ｐｅ（パターン画像。図３参照）を示す画像データＤｉｍ１を、被検査基板１０を識別するための識別データＤｉｄと共に不図示の記憶部（基板検査装置２に内蔵されている記憶部）に記憶する。この場合、配線パターンＰの画像とは、被検査基板１０を配線パターンＰが形成されている表面（電子部品１１，１２，・・・の実装面でもある）側から正面視した平面画像である。

また、基板検査装置２は、例えば、基板の搬送ラインに設置されて、新たな基板が搬送されて来る都度、この基板を被検査基板１０として上記の検査処理を実行して、不良箇所を検出したときには、上記の画像データＤｉｍ１を識別データＤｉｄと共に記憶部に記憶する。なお、画像データＤｉｍ１および識別データＤｉｄについては、基板検査装置２内の記憶部に記憶させる構成に代えて、図示はしないが、基板検査装置２の外部に配設されている記憶装置に記憶させる構成を採用することもできる。

検査結果表示装置３は、基板検査装置２による検査の結果を表示する表示装置であって、図１に示すように、撮像部２１、検査結果表示データ生成装置２２、操作部２３および表示部２４を備えている。

撮像部２１は、例えばデジタルカメラで構成されて、配線パターンＰが形成されている表面側を上にして不図示のテーブル上における規定位置に配設されている被検査基板１０について、この表面側から被検査基板１０全体を撮像することにより、被検査基板１０全体の表面側からの平面画像（静止画像）を示す撮像データＤｉｍ２ａを生成して、検査結果表示データ生成装置２２に出力する。

検査結果表示データ生成装置２２は、処理部３１および記憶部３２を備えている。なお、記憶部３２には、基板検査装置２の検査処理の対象になる被検査基板１０についての設計データＤｄｇが記憶されている。

処理部３１は、コンピュータで構成されて、撮像部２１から出力される撮像データＤｉｍ２ａに基づいて補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成する画像補正処理、および補正撮像データＤｉｍ２ｂと基板検査装置２に記憶されている画像データＤｉｍ１とに基づいて検査結果表示用データＤｉｍ３を生成する表示用データ生成処理を実行する。

操作部２３は、一例としてキーボードやスイッチなどで構成されて、撮像部２１が撮像する被検査基板１０の識別データＤｉｄや処理部３１に対するコマンドデータＤｃｍｄを処理部３１に出力する。表示部２４は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）で構成されて、処理部３１から入力した検査結果表示用データＤｉｍ３で示される画像を画面２４ａ（図４参照）に表示する。

次に、基板検査システム１の動作について、検査結果表示装置３および検査結果表示データ生成装置２２の動作と共に説明し、併せて検査結果表示データ生成方法についても説明する。

この基板検査システム１では、まず、各被検査基板１０を基板検査装置２によって検査する。この際に、基板検査装置２は、検査処理の結果、不良箇所を検出した被検査基板１０については、不良箇所に関連する配線パターンＰについての平面形状を表す画像Ｐｅを示す画像データＤｉｍ１をこの被検査基板１０の識別データＤｉｄと共に記憶する。一例として、基板検査装置２は、１つの被検査基板１０において、電子部品１６，１７の間を通過する２本の配線パターンＰ１，Ｐ２間に不具合が発生していることを検出したときには、被検査基板１０の設計データに基づいて、不良箇所に関連する配線パターンＰ１，Ｐ２（この例では配線パターンＰ１，Ｐ２自体が不良箇所）の画像Ｐｅ（この例では、画像Ｐｅ１，Ｐｅ２）と共にマークＭの画像を含む画像（図３参照）を示す画像データＤｉｍ１を記憶する。なお、この場合のマークＭの画像は、検査結果表示データ生成装置２２の処理部３１が、この配線パターンＰ１，Ｐ２の画像Ｐｅ１，Ｐｅ２を後述する被検査基板１０についての補正平面画像に重ねる際に使用するものであるが、マークＭのない状態でも正確に補正平面画像に重ねることが可能であるときには、画像データＤｉｍ１にマークＭの画像を含めないようにしてもよい。

次いで、基板検査装置２によって不良箇所が検出された被検査基板１０については、作業者が、検査結果表示装置３を使用して不良箇所の確認および修復を行う。具体的には、作業者は、例えば、配線パターンＰ１，Ｐ２間に不具合が発生している被検査基板１０についての不良箇所の確認および修復を行うときには、まず、この被検査基板１０を検査結果表示装置３のテーブル上に配設する。次いで、操作部２３を操作して、この被検査基板１０の識別データＤｉｄを検査結果表示データ生成装置２２に出力する。

検査結果表示データ生成装置２２では、処理部３１が、操作部２３から出力された識別データＤｉｄを入力し、この識別データＤｉｄで示される被検査基板１０についての画像データＤｉｍ１を基板検査装置２から取得して、記憶部３２に記憶させる。次いで、処理部３１は、撮像部２１に対して被検査基板１０の撮像を実行させると共に、撮像部２１から出力される撮像データＤｉｍ２ａを取得して、記憶部３２に記憶させる。

続いて、処理部３１は、画像補正処理を実行する。この画像補正処理では、処理部３１は、撮像データＤｉｍ２ａに対する画像補正を実行して補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成し、生成した補正撮像データＤｉｍ２ｂを記憶部３２に記憶させる。この検査結果表示装置３のように、撮像部２１によって被検査基板１０の全体を撮像する構成のときには、通常、撮像部２１には広角レンズが使用されるが、広角レンズを使用して撮像された画像には画像歪み（台形歪みや樽形ひずみ）が一般的に現れる。したがって、撮像部２１によって撮像された被検査基板１０の画像にも台形歪みや樽形歪みが現れることから、処理部３１は、この画像補正処理において、撮像データＤｉｍ２ａに対して台形歪みおよび樽形歪みを補正する画像補正を実行して補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成し、生成した補正撮像データＤｉｍ２ｂを記憶部３２に記憶させる。

具体的には、処理部３１は、一例として、記憶部３２に記憶されている被検査基板１０についての設計データＤｄｇによって規定される被検査基板１０上の複数のマークＭの位置を基準として、撮像データＤｉｍ２ａで示される被検査基板１０の画像中に含まれるすべてのマークＭの画像の位置が、設計データＤｄｇで規定される複数のマークＭのうちの対応するマークＭ上に位置するように（対応するマークＭに重なるように）、撮像データＤｉｍ２ａで示される画像を縮めたり、拡げたりして、上記の各歪みが補正された被検査基板１０についての補正平面画像（図２参照）を示す補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成する。

次いで、処理部３１は、表示用データ生成処理を実行する。この表示用データ生成処理では、処理部３１は、画像データＤｉｍ１および補正撮像データＤｉｍ２ｂに基づいて、画像データＤｉｍ１で示される不良箇所に関連する配線パターンＰ１，Ｐ２の画像Ｐｅ１，Ｐｅ２（図３参照）が補正撮像データＤｉｍ２ｂで表される被検査基板１０の補正平面画像（図２参照）に重ねられた画像（図４参照）を示す検査結果表示用データＤｉｍ３を生成して、記憶部３２に記憶させる。この場合、補正撮像データＤｉｍ２ｂで表される被検査基板１０の補正平面画像については、上記したように台形歪みや樽形歪みが十分に補正されているため、不良箇所に関連する配線パターンＰが被検査基板１０内にいずれの位置に存在するものであったとしても、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅは、被検査基板１０の補正平面画像に含まれている不良箇所に関連する配線パターンＰ上に、位置ずれすることなく正確に重ねられる。また、処理部３１は、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅについては、被検査基板１０の補正平面画像に重ねたとしても、十分に識別し得る態様（例えば、被検査基板１０は、表面にレジストが塗布され、さらにレジストの表面に部番や部品名などをシルク印刷して構成されているため、レジストおよびシルクの各色以外の色）の画像として補正平面画像に重ねる。

続いて、処理部３１は、表示用データ生成処理で生成した検査結果表示用データＤｉｍ３を表示部２４に出力して、図４に示すように、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅが重ねられた被検査基板１０の補正平面画像を画面２４ａに表示させる。

この基板検査システム１および検査結果表示装置３では、このようにして、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅが、被検査基板１０の補正平面画像に識別し得る態様で重ねられた状態で表示部２４の画面２４ａに表示されるため、作業者は、画面２４ａに表示されている画像Ｐｅと、テーブルに配設されている実際の被検査基板１０とを見比べながら、実際の被検査基板１０での不良箇所の位置を確実かつ容易に特定することが可能になっている。

また、処理部３１は、操作部２３から拡大表示命令を示すコマンドデータＤｃｍｄを入力したときには、図５に示すように、検査結果表示用データＤｉｍ３で示される画像のうちの不良箇所の画像Ｐｅを含む画像を画面２４ａに拡大表示させる。この場合でも、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像Ｐｅが被検査基板１０の補正平面画像に正確に重ねられているため、拡大表示させた状態においても、不良箇所に関連する各配線パターンＰ１，Ｐ２の画像Ｐｅ１，Ｐｅ２が、各配線パターンＰ１，Ｐ２上に位置ずれることなく重なった状態で表示される。したがって、作業者は、被検査基板１０全体の補正平面画像を画面２４ａに表示させている状態では正確に認識し得ない各配線パターンＰ１，Ｐ２についても、拡大表示させることで、その正確な位置を特定することが可能になっている。

また、この基板検査システム１では、例えば、電子部品１５に不具合が発生していることを検出したときにも、不良箇所としての電子部品１５に関連する配線パターンＰ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６（図１参照）の画像Ｐｅ（この例では、画像Ｐｅ３，Ｐｅ４，Ｐｅ５，Ｐｅ６。図６参照）を示す画像データＤｉｍ１を、被検査基板１０を識別するための識別データＤｉｄと共に記憶部に記憶する。

これにより、図６に示すように、検査結果表示用データＤｉｍ３で示される画像を表示部２４の画面２４ａに表示させたとき（同図では一例として、不良箇所の画像Ｐｅ３〜Ｐｅ６を含む画像を拡大表示させた状態を示している）には、不良箇所としての電子部品１５に接続されているすべての配線パターンＰ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６上に画像Ｐｅ３，Ｐｅ４，Ｐｅ５，Ｐｅ６が重ねられた状態で表示される。これにより、作業者は、画面２４ａに表示されている画像Ｐｅ３，Ｐｅ４，Ｐｅ５，Ｐｅ６の状態に基づいて、これらの画像Ｐｅ３，Ｐｅ４，Ｐｅ５，Ｐｅ６がすべて接続されている電子部品１５が不良箇所であることを特定することが可能になっている。

このように、この検査結果表示データ生成方法およびこの方法を実行する検査結果表示データ生成装置２２では、被検査基板１０を撮像して得られる平面画像を示す撮像データＤｉｍ２ａを入力してこの平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を実行して画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データＤｉｍ２ｂを生成する画像補正処理と、被検査基板１０を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンＰについての画像Ｐｅが補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データＤｉｍ３を生成する表示用データ生成処理とを実行する。

したがって、この検査結果表示データ生成方法およびこの方法を実行する検査結果表示データ生成装置２２によれば、表示部２４に出力して画面２４ａに画像を表示させたときに、不良箇所に関連する配線パターンＰの画像上にこの配線パターンＰについての識別し得る態様での画像Ｐｅがずれることなく正確に重ねられた画像を表示させ得る検査結果表示用データＤｉｍ３を生成させることができる。すなわち、この検査結果表示データ生成方法およびこの方法を実行する検査結果表示データ生成装置２２によれば、表示部２４に表示される画像Ｐｅに基づいて、実際の被検査基板１０での不良箇所を確実かつ容易に特定し得る検査結果表示用データＤｉｍ３を生成させることができる。

また、この基板検査システム１および検査結果表示装置３によれば、検査結果表示用データＤｉｍ３に基づいて、不良箇所に関連する配線パターンＰ上にこの配線パターンＰの画像Ｐｅがずれることなく正確に重ねられた画像を表示部２４の画面２４ａに表示させることができるため、画面２４ａに表示されている画像Ｐｅに基づいて、実際の被検査基板１０での不良箇所の位置を確実かつ容易に特定することができる。

なお、上記の基板検査システム１では、撮像部２１が被検査基板１０全体を撮像する構成を採用しているが、撮像部２１が、例えば撮像部２１の光軸上に位置する被検査基板１０の一部の領域のみを撮像する構成を採用することもできる。この構成を採用したときであっても、被検査基板１０の全体を撮像するときと比較して、撮像データＤｉｍ２ａで示される平面画像に画像歪みは少ないものの発生している。したがって、この構成においても、上記の検査結果表示データ生成方法および上記の検査結果表示データ生成装置２２によれば、表示部２４に表示される画像Ｐｅに基づいて、実際の被検査基板１０での不良箇所を確実かつ容易に特定し得る検査結果表示用データＤｉｍ３を生成させることができ、また、上記の基板検査システム１および検査結果表示装置３によれば、画面２４ａに表示されている画像Ｐｅに基づいて、実際の被検査基板１０での不良箇所の位置を確実かつ容易に特定することができる。

また、上記の基板検査システム１は、基板検査装置２と、検査結果表示データ生成装置２２を含む検査結果表示装置３とを有して、基板検査装置２において被検査基板１０の検査を実行し、検査結果表示装置３において、検査結果表示データ生成装置２２で検査結果表示用データＤｉｍ３を生成しつつ、この検査結果表示用データＤｉｍ３に基づいて、不良箇所に関連する配線パターンＰ上にこの配線パターンＰの画像Ｐｅがずれることなく正確に重ねられた画像を表示部２４の画面２４ａに表示させ得るように構成されているが、この構成に限定されるものではない。例えば、基板検査装置２と検査結果表示データ生成装置２２とを有して、基板検査装置２において被検査基板１０の検査を実行し、かつ検査結果表示データ生成装置２２において検査結果表示用データＤｉｍ３を生成して、この生成された検査結果表示用データＤｉｍ３を外部の表示装置に出力するように基板検査システム１を構成することもできる。

１基板検査システム
２基板検査装置
３検査結果表示装置
１０被検査基板
２１撮像部
２２検査結果表示データ生成装置
２４表示部
Ｄｉｍ１画像データ
Ｄｉｍ２ａ撮像データ
Ｄｉｍ２ｂ補正撮像データ
Ｄｉｍ３検査結果表示用データ

Claims

複数の配線パターンが形成された被検査基板を撮像して得られる当該被検査基板の平面画像を示す撮像データを入力すると共に当該平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を前記撮像データに対して実行して当該画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データを生成する画像補正処理と、前記被検査基板を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンについてのパターン画像を示す画像データを入力すると共に当該画像データと前記補正撮像データとに基づいて、当該パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データを生成する表示用データ生成処理とを実行する検査結果表示データ生成装置。
請求項１記載の検査結果表示データ生成装置、撮像部および表示部を備え、
前記撮像部は、前記被検査基板を撮像して前記平面画像を示す前記撮像データを前記検査結果表示データ生成装置に出力し、
前記表示部は、前記検査結果表示データ生成装置で生成された前記検査結果表示用データを入力すると共に、当該検査結果表示用データに基づいて前記パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた前記画像を画面上に表示する検査結果表示装置。
請求項１記載の検査結果表示データ生成装置および請求項２記載の検査結果表示装置のうちのいずれかの装置と、
前記被検査基板に対する検査を実行して前記不良箇所を検出すると共に、当該被検査基板の設計データに基づいて、当該不良箇所に関連する前記配線パターンについての前記パターン画像を示す前記画像データを前記検査結果表示データ生成装置に出力する検査処理を実行する基板検査装置とを備えている基板検査システム。
複数の配線パターンが形成された被検査基板を撮像して得られる当該被検査基板の平面画像を示す撮像データを入力すると共に当該平面画像に存在している画像歪みを補正する歪み補正処理を前記撮像データに対して実行して当該画像歪みが補正された補正平面画像を示す補正撮像データを生成する画像補正処理と、前記被検査基板を検査して検出した不良箇所に関連する配線パターンについてのパターン画像を示す画像データを入力すると共に当該画像データと前記補正撮像データとに基づいて、当該パターン画像が前記補正平面画像に重ねられた画像を示す検査結果表示用データを生成する表示用データ生成処理とを実行する検査結果表示データ生成方法。