JP2020165800A - 情報表示装置、測定システムおよび情報表示用プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】各種の測定対象における測定箇所についての情報を確実かつ容易に特定可能で、かつ特定した情報が実際の測定対象におけるいずれの部位に関するものであるかを確実かつ容易に特定可能とする。【解決手段】検査対象基板１０を撮像した撮像データＤ３に基づいて基板１０の像を表示させると共に、基板１０に規定された検査箇所の位置を特定可能な測定手順データＤ０に基づいて基板１０の像における検査箇所の像の位置を特定し、かつ検査結果が基板１０および検査箇所に関連付けて記録された検査結果データＤ２に基づいて特定される不良判定の検査箇所を示す表示を、特定した検査箇所の像の位置に重ねて表示させる処理部３５を備え、処理部３５は、基板１０の像の拡大を指示されたときに、基板１０の像を拡大して表示部３４に表示させると共に、不良判定の検査箇所を示す表示の位置を、拡大した検査箇所の像の位置に応じて変更する。【選択図】図３

Description

本発明は、測定対象に規定された測定箇所についての予め規定された表示を測定対象の像における測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示可能な情報表示装置および情報表示用プログラム、並びに、そのような情報表示装置を備えて構成された測定システムに関するものである。

出願人は、測定装置およびデータ処理装置を備えると共に、測定装置による被検査基板についての測定結果に基づいてデータ処理装置が被検査基板の良否を特定可能に報知する基板検査システムの発明を下記の特許文献に開示している。この場合、この基板検査システムの検査対象の一例である被検査基板（以下、「検査対象基板」ともいう）には、複数の導体パターンや複数のビアなどで構成された複数の導体路が設けられている。

この基板検査システムによる検査対象基板の検査に際しては、測定装置に検査対象基板をセットして導体路についての抵抗値の測定処理を実行する。次いで、測定装置からデータ処理装置に各導体路毎の測定値（抵抗値）が記録された測定値データを転送して測定結果を表示または印刷させる。なお、データ処理装置には、測定装置による測定値との比較によって各導体路の良否を判定するための基準値が記録された基準値データや、各導体路の像（導体パターンやビアの像）を含む検査対象基板の像の基板画像データなどが記憶されている。

この際に、データ処理装置の処理部は、まず、転送された測定値データの値、および基準値データの値に基づき、各導体路の良否の程度を特定可能な「特定用の値」（一例として、測定値と基準値との相違率：測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値）を各導体路毎に演算する。次いで、処理部は、上記の基板画像データにおける各導体路の像の明度を、演算した相違率に対応させて変更する。これにより、相違率が高い導体路の像ほど明度が低く、かつ相違率が低い導体路の像ほど明度が高い基板画像データが生成される。

続いて、処理部は、上記のように各導体路の像の明度を変更した基板画像データの画像を報知用画像として表示部に表示させる。これにより、表示された報知用画像を参照することにより、明度が低い像の導体路ほど測定値と基準値との相違率が高い（すなわち、不良の度合いが高い）導体路であり、かつ明度が高い像の導体路ほど測定値と基準値との相違率が低い（すなわち、不良の度合いが低い）導体路であることを視覚的に把握させることが可能となる。

特開２０１７−１８７２９８号公報（第５−１０頁、第１−７図）

ところが、出願人が開示している基板検査システムのデータ処理装置には、以下のような改善すべき課題が存在する。具体的には、出願人が開示しているデータ処理装置では、測定装置によって生成された測定値データの値（測定値）と、良否判定用の基準値データの値（基準値）との相違率に応じて導体路の像の明度を異ならせた検査対象基板像を表示部に表示させることにより、検査対象基板における各導体路の良否の度合いを視覚的に把握させる構成が採用されている。これにより、検査対象基板におけるいずれの位置の導体路に、どの程度の不良が生じているかを容易に把握させることが可能となっている。

この場合、検査対象基板のなかには、狭ピッチで配設された接続端子を有する電子部品が実装されたものや、微細な導体パターンが形成されたものが存在する。そのような検査対象基板についての測定結果を上記のデータ処理装置によって表示した場合には、表示される接続端子や導体パターンの像が非常に小さく、視認し難いことで、検査対象基板のいずれの箇所にどの程度の不良が生じているかを把握するのが困難となるおそれがある。このため、この点を改善するのが好ましい。

また、出願人が開示しているデータ処理装置では、検査対象基板の設計データ等に基づいて外部装置において生成された基板画像データ（すなわち、検査対象基板を模して作画した画像の画像データ）を使用して、その基板画像データの画像（検査対象基板の像）における各導体路の像の明度を「相違率」に応じて変更して表示部に表示させる構成が採用されている。このため、表示部に表示される検査対象基板の像では、各導体路の像の色合いが実際の導体路の色合いと相違するだけでなく、各導体路の像以外の部位の色合いも検査対象基板における対応部位の色合いとは相違している。また、検査対象基板の設計データには存在しない情報が基板画像データに反映されないため、実際の検査対象基板には付与されている印字が表示部に表示される検査対象基板の像には存在しないこともある。したがって、表示部に表示された検査対象基板の像において不良であると特定した像の導体路が、実際の検査対象基板におけるいずれの導体路であるかを特定するのが困難となるおそれがあり、この点を改善するのが好ましい。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、各種の測定対象における測定箇所についての情報を確実かつ容易に特定可能で、かつ特定した情報が実際の測定対象におけるいずれの部位に関するものであるかを確実かつ容易に特定し得る情報表示装置、測定システムおよび情報表示用プログラムを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の情報表示装置は、測定対象を撮像した撮像データに基づいて当該測定対象の像を表示部に表示させると共に、前記測定対象に規定された測定箇所の当該測定対象における位置を特定可能な第１データに基づいて当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定し、かつ前記測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報が前記測定対象および当該測定箇所に関連付けられて記録された第２データに基づいて特定される当該測定処理情報に基づく予め規定された表示を、特定した当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる処理部を備え、前記処理部は、前記測定対象の像の拡大を指示されたときに、当該測定対象の像を拡大して前記表示部に表示させると共に、前記予め規定された表示の表示位置を、拡大した前記測定箇所の像の位置に応じて変更する。

請求項２記載の情報表示装置は、請求項１記載の情報表示装置において、前記処理部は、前記測定対象における位置が前記第１データに記録され、かつ前記測定処理情報が前記第２データに記録された前記測定箇所を前記表示部に一覧表示させると共に、当該一覧表示のなかからいずれかの前記測定箇所が選択されたときに、当該いずれかの測定箇所についての前記予め規定された表示を当該いずれかの測定箇所の像の位置に関連付けて前記表示部に表示させる。

請求項３記載の情報表示装置は、請求項１または２記載の情報表示装置において、前記処理部は、測定対象識別情報が記された前記測定対象における前記測定箇所についての前記予め規定された表示を表示させるときに、前記撮像データの画像解析によって前記測定対象識別情報によって示されている識別情報を特定し、特定した当該識別情報に基づいて前記測定対象の像に対応する前記測定対象を特定する。

請求項４記載の情報表示装置は、請求項１から３のいずれかに記載の情報表示装置において、前記処理部は、基準座標特定マークが記された前記測定対象における前記測定箇所についての前記予め規定された表示を表示させるときに、前記撮像データの画像解析によって当該測定対象の像における当該基準座標特定マークの像の位置を特定すると共に、当該基準座標特定マークの位置に対する前記測定箇所の位置を特定可能な前記第１データと、特定した当該基準座標特定マークの像の位置とに基づいて前記測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定する。

請求項５記載の情報表示装置は、請求項１から４のいずれかに記載の情報表示装置において、前記処理部は、前記測定対象としてのプリント基板に規定された前記測定箇所についての前記測定処理情報に基づく前記予め規定された表示を当該プリント基板の像における当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示可能に構成されている。

請求項６記載の測定システムは、請求項１から５のいずれかに記載の情報表示装置と、前記測定処理を実行可能な測定装置とを備えている。

請求項７記載の情報表示用プログラムは、測定対象に規定された測定箇所についての予め規定された表示を当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示させる情報表示装置の処理部に対して、前記測定対象を撮像した撮像データに基づいて当該測定対象の像を表示部に表示させる処理と、前記測定対象における前記測定箇所の位置を特定可能な第１データに基づいて当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定し、かつ前記測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報が前記測定対象および当該測定箇所に関連付けられて記録された第２データに基づいて特定される当該測定処理情報に基づく前記予め規定された表示を、特定した当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる処理と、前記測定対象の像の拡大率を指定されたときに、指定された当該拡大率で当該測定対象の像を拡大して前記表示部に表示させると共に、前記予め規定された表示の表示位置を、拡大した前記測定箇所の像の位置に応じて変更する処理とを実行させる。

請求項１記載の情報表示装置では、処理部が、測定対象を撮像した撮像データに基づく測定対象の像の拡大を指示されたときに、測定対象の像を拡大して表示部に表示させると共に、測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報に基づく予め規定された表示の表示位置を、拡大した測定箇所の像の位置に応じて変更する。また、請求項７記載の情報表示用プログラムでは、上記の処理を情報表示装置の処理部に実行させる。さらに、請求項６記載の測定システムでは、上記の情報表示装置を備えている。

したがって、請求項１記載の情報表示装置、請求項６記載の測定システム、および請求項７記載の情報表示用プログラムによれば、測定対象に規定された微細な測定箇所についても、測定対象の像を拡大して表示させることにより、測定箇所についての情報を容易に視認することが可能となる。このため、いずれの測定箇所についての情報であるかを確実かつ容易に特定することができる。また、測定対象を模して作画した画像を参照するのとは異なり、実際の測定対象を撮像した撮像データに基づく測定対象の像が表示部に表示されるため、表示された測定対象の像における各部の色合いや形状と、実際の測定対象における対応する部位の色合いや形状とが一致した状態となる。このため、表示されている測定箇所についての情報が実際の測定対象におけるいずれの部位に関するものであるかを確実かつ容易に特定することができる。

請求項２記載の情報表示装置では、処理部が、測定対象における位置が第１データに記録され、かつ測定処理情報が第２データに記録された測定箇所を表示部に一覧表示させると共に、一覧表示のなかからいずれかの測定箇所が選択されたときに、選択された測定箇所についての予め規定された表示をその測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示させる。したがって、請求項２記載の情報表示装置、その処理部に上記の処理を実行させる情報表示用プログラム、およびそのような情報表示装置を備えた測定システムによれば、一覧表示のなかから任意の測定箇所を選択するだけで、選択した測定箇所についての予め規定された表示を表示させることができるため、この種の装置を使用した確認作業に不慣れな作業者であっても、任意の測定箇所についての情報を確実かつ容易に表示させることができる。

請求項３記載の情報表示装置では、処理部が、測定対象識別情報が記された測定対象における測定箇所についての予め規定された表示を表示させるときに、撮像データの画像解析によって測定対象識別情報によって示されている識別情報を特定し、特定した識別情報に基づいて測定対象の像に対応する測定対象を特定する。したがって、請求項３記載の情報表示装置、その処理部に上記の処理を実行させる情報表示用プログラム、およびそのような情報表示装置を備えた測定システムによれば、例えば、測定対象に対して付与されている識別情報をキー操作によって入力して処理部に特定させる構成とは異なり、処理部によって誤った識別情報が特定される事態を好適に回避することができる結果、撮像装置によって撮像されて測定対象の像が表示されている測定対象とは異なる測定対象についての第２データに基づいて誤った情報が表示される事態を確実に回避することができる。

請求項４記載の情報表示装置では、処理部が、基準座標特定マークが記された測定対象における測定箇所についての予め規定された表示を表示させるときに、撮像データの画像解析によって測定対象の像における基準座標特定マークの像の位置を特定すると共に、基準座標特定マークの位置に対する測定箇所の位置を特定可能な第１データと、特定した基準座標特定マークの像の位置とに基づいて測定対象の像における測定箇所の像の位置を特定する。したがって、請求項４記載の情報表示装置、その処理部に上記の処理を実行させる情報表示用プログラム、およびそのような情報表示装置を備えた測定システムによれば、予め規定された表示を関連付けて表示すべき測定箇所の像の位置を確実かつ容易に特定させることができる。これにより、予め規定された表示を的確な位置に表示させて、いずれの測定対象についての情報であるかを正確に認識させることができる。

請求項５記載の情報表示装置では、処理部が、測定対象としてのプリント基板に規定された測定箇所についての測定処理情報に基づく予め規定された表示をプリント基板の像における測定箇所の像の位置に関連付けて表示可能に構成されている。したがって、請求項５記載の情報表示装置、その処理部に上記の処理を実行させる情報表示用プログラム、およびそのような情報表示装置を備えた測定システムによれば、狭ピッチで配設された接続端子を有する電子部品が実装されたものや、微細な導体パターンが形成されたものが存在するプリント基板について、測定箇所の像や測定箇所についての情報を容易に視認することができる。

基板検査システム１００の構成を示す構成図である。 検査対象基板１０の一例について説明するための説明図である。 検査結果表示装置３および測定装置４の構成を示す構成図である。 検査結果表示装置３の表示部３４に表示させた判定結果表示画面５０の一例について説明するための表示画面図である。 任意の測定箇所を選択した状態の判定結果表示画面５０の一例について説明するための表示画面図である。 映像表示領域５３の映像を拡大表示させた状態の判定結果表示画面５０の一例について説明するための表示画面図である。 拡大表示させた映像を参照しながら測定作業を行っている状態の判定結果表示画面５０の一例について説明するための表示画面図である。 判定結果表示領域５２に他の測定箇所についての情報を表示させた状態の判定結果表示画面５０の一例について説明するための表示画面図である。 任意の測定箇所を選択した状態の判定結果表示画面５０の他の一例について説明するための表示画面図である。 映像表示領域５３の映像を拡大表示させた状態の判定結果表示画面５０の他の一例について説明するための表示画面図である。 拡大表示させた映像を参照しながら測定作業を行っている状態の判定結果表示画面５０の他の一例について説明するための表示画面図である。

以下、本発明に係る情報表示装置、測定システムおよび情報表示用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す基板検査システム１００は、「測定システム」の一例であって、検査装置１、データサーバ２、検査結果表示装置３および測定装置４を備え、一例として、図２に示す検査対象基板１０などの回路基板を対象として、検査、検査結果の確認、再検査および補修等の一連の作業を実施することが可能に構成されている。

検査対象基板１０は、「測定対象」としての「プリント基板」の一例である「部品実装済の多層基板」であって、電子部品１２などの各種の電子部品が実装され、かつパッド１４ａ，１４ｂ・・（以下、区別しないときには「パッド１４」ともいう）や導体パターン１５などの各種の導体路が設けられている。この場合、電子部品１２は、検査対象基板１０の部品実装面に設けられたパッド１１ａ，１１ｂ・・（以下、区別しないときには「パッド１１」ともいう）に各接続用端子１３ａ，１３ｂ・・（以下、区別しないときには「接続用端子１３」ともいう）が半田付けされている。また、導体パターン１５は、パッド１４ｃ，１４ｆを接続する内層パターンで構成されている。

また、検査対象基板１０には、フェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃ（「基準座標特定マーク」の一例：以下、区別しないときには「フェデューシャルマーク１６」ともいう）が記されると共に、識別コードラベル１７（「測定対象識別情報」が記されたラベルの一例）が貼付されている（検査対象基板１０が「基準座標特定マークが記された測定対象」および「測定対象識別情報が記された測定対象」である例）。

この場合、各フェデューシャルマーク１６は、検査装置１によって検査すべき検査箇所の検査対象基板１０における位置を特定させるためのマークであって、本例の検査対象基板１０は、一例として、矩形状の基板本体の部品実装面における３つの角部に印刷されている。また、識別コードラベル１７は、同型の複数枚の検査対象基板１０，１０・・に対して個別的に付与された識別コードが記された二次元コードのラベルであって、本例の検査対象基板１０は、一例として、部品実装面においてフェデューシャルマーク１６が印刷されていない角部に貼付されている。この識別コードラベル１７については、本例のような二次元コードのラベルに代えて、識別コードが記された一次元コード（バーコード）のラベルが貼付されることもある。

なお、実際の検査対象基板１０には、電子部品１２以外の各種の部品が実装され、かつパッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５からなる導体路以外の各種の導体路が設けられているが、基板検査システム１００の構成に関する理解を容易とするために、検査対象基板１０における上記の各構成要素１１〜１７以外の構成要素に関する図示および説明を省略する。

一方、検査装置１は、検査対象基板１０等の各種回路基板の良否を電気的に検査可能に構成された装置であって、予め規定された各検査箇所（測定箇所）に接触させたコンタクトプローブを介して各検査箇所についての電気的パラメータを測定する測定処理を実行する測定部（「測定処理を実行可能な測定装置」の一例）と、測定部による測定処理を制御すると共に測定された測定値と検査用の基準値との比較によって検査箇所の良否を判定する処理部とを備えている。この場合、本例の基板検査システム１００では、相互に接続されているべき各パッド１１と各接続用端子１３との間や、導体パターン１５などを介して相互に接続されているべきパッド１４，１４の間などが検査箇所（電気的パラメータを測定すべき測定箇所）として規定されている。

また、検査対象基板１０については、検査箇所として指定されているパッドおよび導体パターンや実装部品などの形状に関する情報と、各検査箇所の位置情報（検査装置１による測定処理時にコンタクトプローブを接触させるべき位置などの各フェデューシャルマーク１６を基準とする座標の情報）と、各検査箇所についての検査順序の情報とが検査対象基板１０の型式（品種）に関連付けられて記録された測定手順データＤ０、並びに、良品の検査対象基板１０における各検査箇所において測定されるべき測定値である基準値がそれぞれ記録された基準値データＤ１などが予め生成されてデータサーバ２に登録されている。したがって、本例の基板検査システム１００では、検査装置１がこの測定手順データＤ０および基準値データＤ１をデータサーバ２から取得して検査を行う構成が採用されている。

また、本例の基板検査システム１００では、上記の測定部による測定処理によって測定された各検査箇所についての測定値、および測定値と基準値との比較によって処理部が判定した各検査箇所の良否に関する判定結果（検査結果）を記録した検査結果データＤ２が検査装置１において生成されて、検査対象基板１０の識別コードと関連付けられた状態でデータサーバ２に送信されて記録される構成が採用されている。なお、検査装置１による検査対象基板１０についての検査については、後に詳細に説明する。

また、データサーバ２は、上記の測定手順データＤ０および基準値データＤ１を記録すると共に、検査装置１において生成されて検査装置１から送信される検査結果データＤ２を記録する。また、本例の基板検査システム１００では、検査結果表示装置３からの要求に応じてデータサーバ２から検査結果表示装置３に測定手順データＤ０および検査結果データＤ２が送信される。

さらに、本例の基板検査システム１００では、測定装置４において生成されて測定装置４から送信される後述の測定値データＤ４（測定装置４による再測定処理の結果が記録されたデータ）がデータサーバ２に記録されると共に、検査装置１において不良と判定された検査箇所について測定値データＤ４および基準値データＤ１に基づいてその良否が再判定され、判定結果が検査結果データＤ２に記録される構成が採用されている。なお、データサーバ２における上記の各処理については、後に詳細に説明する。

また、検査結果表示装置３は、「情報表示装置」の一例であって、図３に示すように、カメラ３１、通信部３２、操作部３３、表示部３４、処理部３５および記憶部３６を備え、検査対象基板１０などについての検査結果を表示可能に構成されている。

カメラ３１は、「情報表示装置」の構成要素として検査結果表示装置３に搭載されている「撮像装置」であって、本例の基板検査システム１００では、このカメラ３１によって検査対象基板１０などの「検査対象（測定対象）」をカラーで撮像し、その映像（所定の周期で更新される動画像）の撮像データＤ３を「測定対象を撮像した撮像データ」として使用して各種の処理が実行される構成が採用されている。なお、本例のカメラ３１は、ズームレンズ機構を備えたカメラ（画角および焦点距離を変更可能なカメラ）で構成されている。この場合、「情報表示装置」の構成要素として配設されている「撮像装置（カメラ３１）」によって撮像した「撮像データ（撮像データＤ３）」を使用する構成に代えて、「情報表示装置」に接続した外部装置としての「撮像装置」によって撮像された「撮像データ」を使用する構成を採用することもできる。

通信部３２は、ネットワーク通信路を介してデータサーバ２との間で各種のデータを送受信可能なネットワーク通信アダプタで構成されている。操作部３３は、検査結果表示装置３の動作条件の設定操作や、後述する「検査箇所の選択」の操作、および「撮像データＤ３の映像（画像）の拡大率の指定」の操作などが可能に表示部３４の前面側に配設されたタッチパネル、および複数の操作スイッチを備え、タッチパネルや操作スイッチに対する操作に応じた操作信号を処理部３５に出力する。

表示部３４は、「表示部」の一例であって、処理部３５の制御に従い、検査結果表示装置３の動作条件の設定画面（図示せず）や、後述の判定結果表示画面５０（図４〜１１参照）などの各種の表示画面を表示する。なお、「情報表示装置」の構成要素として配設されている「表示部（表示部３４）」に代えて、「情報表示装置」に接続した外部装置としての「表示装置」を「表示部」として使用する構成を採用することもできる。

処理部３５は、検査結果表示装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部３５は、「処理部」の一例であって、「情報表示用プログラム」の一例であるプログラムデータＤｐに従い、データサーバ２から測定手順データＤ０を取得すると共に、カメラ３１を制御して検査対象基板１０を撮像させる。また、処理部３５は、プログラムデータＤｐに従い、カメラ３１から出力される撮像データＤ３を対象とする画像解析によって検査対象基板１０における前述の識別コードラベル１７によって示されている識別コード（識別情報）を特定し、特定した識別コードに基づいて、カメラ３１によって撮像されている検査対象基板１０を特定する。さらに、処理部３５は、特定した識別コードの検査対象基板１０についての検査結果データＤ２をデータサーバ２から取得する。

また、処理部３５は、測定手順データＤ０、検査結果データＤ２および撮像データＤ３に基づいて図４〜１１に示す判定結果表示画面５０を表示部３４に表示させる処理を実行する。この場合、判定結果表示画面５０は、検査対象基板１０についての検査結果（測定結果）に関する情報を表示するための表示画面の一例であって、識別コード表示領域５１、判定結果表示領域５２および映像表示領域５３などの表示領域が規定されている。識別コード表示領域５１には、判定結果表示領域５２に表示される判定結果の検査対象基板１０に対して付与されている識別コードが表示される。判定結果表示領域５２には、検査装置１による各検査箇所についての判定結果が表示される。映像表示領域５３には、カメラ３１によって撮像された撮像データＤ３の映像（画像）が表示される。

なお、上記の判定結果表示画面５０の表示処理については後に具体的な例を挙げて詳細に説明するが、本例の検査結果表示装置３では、一例として、利用者が再検査を要すると判断した検査対象基板１０（例えば、検査装置１によって不良と判定された検査箇所が存在する検査対象基板１０）を図示しない載置台上に載置し、かつ任意の撮像位置に位置決め固定したカメラ３１によって載置台上の検査対象基板１０を撮像すると共に、測定装置４による測定作業を実施する作業者が視認可能な位置に設置されている表示部３４に上記の判定結果表示画面５０を表示させる構成が採用されている。記憶部３６は、上記のプログラムデータＤｐを記憶すると共に、データサーバ２から取得された測定手順データＤ０および検査結果データＤ２や、カメラ３１から出力される撮像データＤ３、後述するように測定装置４から送信される測定値データＤ４、並びに処理部３５の演算結果などを記憶する。

また、測定装置４は、「測定処理を実行可能な測定装置」の他の一例であって、測定部４１、通信部４２、操作部４３、表示部４４、処理部４５および記憶部４６を備え、検査対象基板１０などの任意の測定対象についての各種の電気的パラメータを測定することができるように構成されている。

測定部４１は、一例として、作業者が手に持って任意の測定箇所（検査箇所）に接触させることが可能な一対のテストリード４１ａ，４１ａを備え、両テストリード４１ａ，４１ａを介して測定箇所についての電気的パラメータを測定して測定値データＤ４を生成して出力する測定処理を実行可能に構成されている。通信部４２は、前述の検査結果表示装置３における通信部３２と同様にネットワーク通信路を介してデータサーバ２との間で各種のデータを送受信可能なネットワーク通信アダプタで構成されている。操作部４３は、測定装置４の動作条件（測定条件等）の設定操作が可能な複数の操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を処理部４５に出力する。表示部４４は、処理部４５の制御下で動作条件や測定結果などを表示する。

処理部４５は、測定装置４を総括的に制御する。具体的には、処理部４５は、設定された動作条件（測定条件）に従って測定部４１を制御して測定処理を実行させると共に、測定部４１によって生成された測定値データＤ４の値（測定値）を表示部４４に表示させる。また、処理部４５は、通信部４２から検査結果表示装置３に測定値データＤ４を送信する。記憶部４６は、処理部４５の動作プログラムや演算結果、および上記の測定値データＤ４などを記憶する。

次に、基板検査システム１００を使用して、検査対象基板１０の検査、検査結果の確認、再検査（再測定）および不良判定の検査箇所の補修などの一連の作業を実施する方法について説明する。なお、測定手順データＤ０および基準値データＤ１の生成やデータサーバ２への登録は既に完了しているものとする。

最初に、検査装置１によって検査対象基板１０を電気的に検査する。この際には、まず、検査対象基板１０の検査に必要な測定手順データＤ０および基準値データＤ１をデータサーバ２から送信させて検査装置１に記憶させる。次いで、検査対象基板１０に貼付されている識別コードラベル１７を検査装置１に接続されている図示しないバーコードリーダによって読み取らせ、検査を行う検査対象基板１０に対して付与されている識別コードを処理部に特定させ、特定した識別コードを検査結果データＤ２に記録させる。続いて、処理部は、基準値データＤ１に従って測定部を制御することにより、検査対象基板１０に対して規定されている各検査箇所についての測定処理を実行させる。また、処理部は、測定部から測定値が出力される都度、出力された測定値を対応する検査箇所に関連付けて検査結果データＤ２に記録する。

さらに、処理部は、出力された測定値と、基準値データＤ１に記録されている対応する検査箇所についての基準値とを比較することにより、測定値が基準値に対する予め規定された許容範囲内の値のときには、その検査箇所が良好と判定して判定結果を検査結果データＤ２に記録すると共に、測定値が基準値に対する予め規定された許容範囲を外れているときには、その検査箇所が不良と判定して判定結果を検査結果データＤ２に記録する。この後、測定手順データＤ０に記録されている測定順序に従って、すべての検査箇所についての測定処理および良否判定処理を行うことにより、その検査対象基板１０についての検査が完了する。この際には、生成された検査結果データＤ２が検査装置１からデータサーバ２に送信されてデータサーバ２に記録される。

また、検査すべき他の検査対象基板１０についても上記の一連の処理を同様の手順で検査を行う。これにより、検査を行った各検査対象基板１０についての検査結果をそれぞれ特定可能な複数の検査結果データＤ２，Ｄ２・・がデータサーバ２に記録された状態となる。なお、検査装置１による各検査対象基板１０の検査時には、一例として、不良と判定された検査箇所が存在しない良品の検査対象基板１０と、不良と判定された検査箇所が存在する不良品の検査対象基板１０とが別々に保管される。

次いで、不良品の検査対象基板１０を対象として、不良と判定された検査箇所を検査結果表示装置３によって目視で確認すると共に、測定装置４を用いた測定処理を行うことで検査装置１による不良判定の是非を確認し、必要に応じて不良箇所を修復する。具体的には、まず、測定手順データＤ０および検査結果データＤ２をデータサーバ２から検査結果表示装置３に送信させて記憶部３６に記録させる。この場合、本例では、測定手順データＤ０が「測定対象に規定された測定箇所の測定対象における位置を特定可能な第１データ」に相当すると共に、検査結果データＤ２が「測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報（本例では、測定値に基づく良否判定の結果）が測定対象および測定箇所に関連付けられて記録された第２データ」に相当する。

次いで、不良品と判定された検査対象基板１０を載置台の上に載置して、操作部３３の操作によって処理の開始を指示する。これに応じて、処理部３５が、プログラムデータＤｐに従い、カメラ３１を制御して載置台上の検査対象基板１０の撮像を開始させると共に、図４に示すように、判定結果表示画面５０を表示部３４に表示させる（「測定対象を撮像した撮像データに基づいて測定対象の像を表示部に表示させる」との処理の一例）。なお、判定結果表示画面５０を表示させた直後のこの時点においては、カメラ３１から出力された撮像データＤ３の映像が映像表示領域５３に表示されるだけで、識別コード表示領域５１や判定結果表示領域５２は非表示の状態となっている。

続いて、処理部３５は、撮像データＤ３を対象とする画像解析を行うことにより、検査対象基板１０における３つのフェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの像ｉ１６ａ〜ｉ１６ｃ（以下、区別しないときには「像ｉ１６」ともいう）と、検査対象基板１０に貼付された識別コードラベル１７の像ｉ１７とがカメラ３１による撮像範囲内に含まれているか否かを判別する。この際に、各像ｉ１６ａ，ｉ１７のうちのいずれかが撮像データＤ３内に存在せず、かつ、カメラ３１がズームアウト可能な状態（より広い範囲を撮像可能な状態）であるときに、処理部３５は、カメラ３１を制御してズームアウトさせる。これにより、載置台上の十分に広い範囲がカメラ３１によって撮像されて撮像データＤ３が出力され、図４に示すように、検査対象基板１０の像ｉ１０の全体が映像表示領域５３に表示された状態となる。

また、処理部３５は、各像ｉ１６，ｉ１７のすべてが撮像データＤ３内に存在すると判別したときに、撮像データＤ３の映像（画像）における各像ｉ１６の中心点の座標をそれぞれ特定する（「撮像データの画像解析によって測定対象の像における基準座標特定マークの像の位置を特定する」との処理の一例）。さらに、処理部３５は、撮像データＤ３の画像解析を行うことにより、像ｉ１７の識別コードラベル１７によって示されている識別コードを特定し、図４に示すように、特定した識別コードを判定結果表示画面５０の識別コード表示領域５１に表示させる。また、処理部３５は、特定した識別コードに基づき、載置台に載置されている検査対象基板１０（カメラ３１によって撮像されている検査対象基板１０）を特定すると共に、記憶部３６に記憶させた検査結果データＤ２のなかから、特定した検査対象基板１０についての検査結果データＤ２（特定した識別コードが関連付けられて記録されている検査結果データＤ２）を特定する。

次いで、処理部３５は、特定した検査結果データＤ２に基づき、各検査箇所についての良否判定の結果（一例として、PASS／FAILの文字列）を検査箇所の名称と並べて判定結果表示領域５２に一覧表示させる（「測定対象における位置が第１データに記録され、かつ測定処理情報が第２データに記録された測定箇所を表示部に一覧表示させる」との処理の一例）。この場合、一例として、載置台に載置されている検査対象基板１０についての検査装置１による検査時に、電子部品１２の接続用端子１３ｇがパッド１１ｇに対して正常に接続されておらず、これに起因して接続用端子１３ｇ（接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）との検査箇所が不良と判定されていたものとする。このような検査対象基板１０については、図４に示すように、一例として、「実装部品DEF 」における「端子007 」との名称の検査箇所が不良判定であったことを示す「FAIL」との文字列が判定結果表示領域５２に表示される。

したがって、判定結果表示領域５２に表示された情報を見た作業者は、不良判定された「実装部品DEF 」における「端子007 」との検査箇所を確認するために、その検査箇所が検査対象基板１０におけるいずれの位置に規定されているかを特定する。具体的には、判定結果表示領域５２内の「端子007 」との文字列を選択するタップ操作を行う。この際には、表示部３４の正面側に配設されたタッチパネルからの操作信号に基づき、処理部３５が、一覧表示された各検査箇所のなかから、「端子007 」との名称の検査箇所が選択されたと判別し、図５に示すように、選択された検査箇所についての情報を示す「端子007 FAIL」との表示（文字列）を反転表示させることで判定結果表示領域５２内における他の検査箇所についての表示（文字列）と区別する。

また、処理部３５は、選択された検査箇所（本例では、接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）の「フェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの位置」を基準とする位置（座標）、およびその検査箇所の形状を測定手順データＤ０に基づいて特定する（「測定対象の像における測定箇所の像の位置を特定する」との処理の一例）。さらに、処理部３５は、測定手順データＤ０に基づいて特定した検査箇所の位置と、撮像データＤ３の映像（画像）における各像ｉ１６の中心点の座標とに基づき、撮像データＤ３の映像における検査箇所（接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）の像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇの位置（座標）を特定し、像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇを検査対象基板１０の像ｉ１０における他の検査箇所の像と区別可能に強調表示する。

この際に、処理部３５は、図５に示すように、一例として、測定手順データＤ０に基づいて特定した検査箇所（接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）の形状に基づき、像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇに重ねて、不良判定の検査箇所を示す透明色の図柄Ｍａ（一例として、像ｉ１３ｇ，１１ｇの透視が可能に像ｉ１３ｇ，１１ｇの輪郭と同じ形状の領域内が赤色に塗り潰された図柄）を点滅表示させる（「測定処理情報に基づく予め規定された表示」として「測定処理によって測定された測定値に基づく良否判定の結果を示す表示」を「特定した測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる」との処理の一例であると共に、「一覧表示のなかからいずれかの測定箇所が選択されたときに、いずれかの測定箇所についての予め規定された表示をいずれかの測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示させる」との処理の一例）。これにより、不良判定の「端子007 」との名称の検査箇所の像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇが検査対象基板１０の像ｉ１０におけるどの辺りに存在するかを認識することが可能となる。

しかしながら、検査対象基板１０の像ｉ１０の全体（電子部品１２の像ｉ１２の全体）が映像表示領域５３に表示されている判定結果表示画面５０、すなわち、電子部品１２に配設されたすべての接続用端子１３、およびそれらが接続されているべきすべてのパッド１１の像ｉ１３，ｉ１１が映像表示領域５３に表示されている判定結果表示画面５０では、図柄Ｍａが表示されることで電子部品１２の各接続用端子１３のうちの１つ、およびその接続用端子１３が接続されているべきパッド１１が不良判定であったことを認識できるものの、各接続用端子１３および各パッド１１の像ｉ１３，ｉ１１が非常に小さいため、何番目の接続用端子１３およびパッド１１が不良と判定されたかを正確に把握するのが困難となっている。したがって、上記のように強調表示された像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇの部位を拡大することで、不良判定の検査箇所の位置を正確に把握する。

具体的には、一例として、映像表示領域５３内の像ｉ１０における像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇを中心とするピンチアウト操作（本例では、図柄Ｍａの表示部位を中心とするピンチアウト操作：「測定対象の像」の拡大率を指定する操作：「測定対象の像」の拡大を指示する操作の一例）を行う。この際に、処理部３５は、操作部３３（タッチパネル）からの操作信号に基づき、カメラ３１におけるズームレンズ機構の動作範囲内でズームインさせ、その後に、撮像データＤ３の映像（画像）をデジタルズーム処理することにより、ピンチアウト操作の中心を中心点として操作量に応じた拡大率で映像（画像）を拡大させる。なお、以下の説明においては、ズームレンズ機構によるズームイン／ズームアウトと、デジタルズーム処理の程度の変更によるズームイン／ズームアウトとを区別することなく、ズームイン（拡大）・ズームアウト（縮小）ともいう。これにより、図６に示すように、強調表示されている像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇを中心として検査対象基板１０の像ｉ１０が映像表示領域５３内に拡大されて表示された状態となる（指定された拡大率で「測定対象の像を拡大して表示部に表示させる」との処理が行われた表示画面の一例）。

この際に、処理部３５は、映像表示領域５３内での像ｉ１０の拡大に連動して、像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇに重ねて表示させている赤色の図柄Ｍａの表示位置および拡大率を変更する（「予め規定された表示の表示位置を、拡大した測定箇所の像の位置に応じて変更する」との処理の一例）。なお、図６、および後に参照する図７，１０，１１では、図柄Ｍａを網線で塗り潰して図示している。これにより、電子部品１２の各接続用端子１３のうちの接続用端子１３ｇと、接続用端子１３ｇが接続されているべきパッド１１ｇとからなる検査箇所が不良判定であったことを目視によって正確に確認することが可能となる。

この場合、本例の検査結果表示装置３およびプログラムデータＤｐでは、不良品と判定された実際の検査対象基板１０をカメラ３１によって撮像した撮像データＤ３の映像（画像）を判定結果表示画面５０の映像表示領域５３に表示させる構成が採用されている。このため、表示部３４（判定結果表示画面５０）に表示される検査対象基板１０の像ｉ１０では、各部の色合いや形状が実際の検査対象基板１０における対応する部位の色合いや形状と一致している。したがって、映像表示領域５３に表示されている「不良判定の検査箇所」が検査対象基板１０のいずれの部位に位置しているかについて映像表示領域５３内の像ｉ１０および検査対象基板１０を見比べて確実かつ容易に把握することが可能となっている。

一方、不良判定の検査箇所の像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇが拡大して表示された映像表示領域５３を参照したときに、接続用端子１３ｇがパッド１１ｇに対して正常に接続されていない（端子浮きが生じている）ことが確認できたときには、一例として、後述する補修作業を実施する。また、映像表示領域５３を参照したときに、接続用端子１３ｇがパッド１１ｇに対して正常に接続されている（端子浮きが生じていない）ように見えたときには、一例として、測定装置４を使用して接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ間の抵抗値を測定する。

具体的には、測定装置４の操作部４３を操作して抵抗値の測定モードに切り換えて測定処理を開始させると共に、載置台上の検査対象基板１０における接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇに測定部４１のテストリード４１ａ，４１ａをそれぞれ接触させる。この際に、本例の基板検査システム１００では、検査結果表示装置３の表示部３４（判定結果表示画面５０）に、載置台上の検査対象基板１０をカメラ３１によって撮像した撮像データＤ３の映像（画像）が表示され、さらに、不良の検査箇所を視認するために、測定装置４によって抵抗値を測定すべき検査箇所（接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）の像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇが映像表示領域５３内に拡大されて表示されている。したがって、接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇに対してテストリード４１ａを接触させる際には、図７に示すように、映像表示領域５３内の像ｉ１０（像ｉ１３ｇ，ｉ１１ｇ）およびテストリード４１ａ，４１ａの像ｉ４１ａ，ｉ４１ａを参照しながら作業を行うことで、微細な接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇに対してテストリード４１ａ，４１ａを正確かつ容易に接触させることができる。

一方、接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇにテストリード４１ａ，４１ａが接触させられたときに、測定部４１は、テストリード４１ａ，４１ａ間の抵抗値を測定して測定値データＤ４を生成し、生成した測定値データＤ４を処理部４５に出力する。また、処理部４５は、出力された測定値データＤ４を記憶部４６に記憶させると共に、その値（接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ間の抵抗値）を表示部４４に表示させる。さらに、処理部４５は、通信部４２から検査結果表示装置３に測定値データＤ４を送信する。これに応じて、検査結果表示装置３では、処理部３５が、送信された測定値データＤ４を、載置台上の検査対象基板１０の識別コードおよび選択されている検査箇所（この例では、接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ）に関連付けた状態で通信部３２からデータサーバ２に送信させる。

また、データサーバ２では、処理部が、送信された測定値データＤ４の値を、対応する検査対象基板１０についての検査箇所の検査結果データＤ２における対応する検査箇所についての測定値の情報に上書きする。また、データサーバ２の処理部は、対応する検査対象基板１０についての基準値データＤ１と、送信された測定値データＤ４とを比較することにより、対応する検査箇所の良否を判定する。この際に、測定値データＤ４の値が、基準値データＤ１に記録されている基準値に対する予め規定された許容範囲を外れているときには、検査結果データＤ２における不良との検査結果を保持する。また、測定値データＤ４の値が基準値に対する許容範囲内のときには、検査結果データＤ２における不良との検査結果を正常に変更して検査結果データＤ２に記録する。

さらに、データサーバ２の処理部は、最新の検査結果データＤ２を検査結果表示装置３に対して送信する。また、検査結果表示装置３では、処理部３５が、送信された検査結果データＤ２に基づき、データサーバ２において検査結果データＤ２における検査結果が保持されていたときには、判定結果表示領域５２における「端子007 」との名称の検査箇所の検査結果を保持する（FAILとの表示を維持する）と共に、データサーバ２において検査結果データＤ２における検査結果が変更されていたときには、判定結果表示領域５２における「端子007 」との名称の検査箇所の検査結果を変更する（PASSとの表示に表示替えする）。

これにより、判定結果表示領域５２の表示を参照することで、測定装置４による測定作業を行った接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇの良否を確実かつ容易に把握することができる。この際に、測定装置４による測定作業の結果、接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ間が不良であると判定されたときに、その接続状態を修復可能であれば、修復作業を実施する。この際には、前述の測定装置４による測定作業時と同様にして映像表示領域５３内の像ｉ１０を参照しながら作業を行うことで、微細な接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇに対する半田付け作業等を正確かつ容易に行うことができる。

一方、本例の検査結果表示装置３では、上記の例のような微細な検査箇所についての確認、測定および補修等の作業だけでなく、実際の検査対象基板１０では視認できない内層の導体パターン１５等についての検査結果（測定結果）についても、いずれの検査箇所に不良が生じているかを目視で確認することが可能となっている。具体的には、一例として、上記の確認作業において選択されている検査箇所の「端子007 」との文字列に対するタップ操作を行うことで選択を解除する。この際に、処理部３５は、カメラ３１がズームアウト可能な状態（より広い範囲を撮像可能な状態）であると判別し、ズームアウトさせる。これにより、図４に示すように、検査対象基板１０の像ｉ１０の全体が映像表示領域５３に表示された状態となる。

次いで、判定結果表示領域５２内に表示されている各検査箇所および検査結果の一覧をスクロールさせることにより、図８に示すように、一例として、不良判定された検査箇所である「ネット0024 FAIL」との文字列を表示させる。続いて、「ネット0024」との文字列を選択するタップ操作を行う。この際には、処理部３５が、一覧表示された各検査箇所のなかから、パッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５からなる「ネット0024」との名称の検査箇所が選択されたと判別し、図９に示すように、選択された検査箇所についての情報を示す「ネット0024 FAIL」との表示（文字列）を反転表示させることで判定結果表示領域５２内における他の検査箇所についての表示（文字列）と区別する。

また、処理部３５は、選択された検査箇所（本例では、パッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５）の「フェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの位置」を基準とする位置（座標）、およびその検査箇所の形状を測定手順データＤ０に基づいて特定する（「測定対象の像における測定箇所の像の位置を特定する」との処理の他の一例）。さらに、処理部３５は、測定手順データＤ０に基づいて特定した検査箇所の位置と、撮像データＤ３の映像（画像）における各像ｉ１６の中心点の座標とに基づき、撮像データＤ３の映像における検査箇所（パッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５）の像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５の位置（座標）を特定し、像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５を検査対象基板１０の像ｉ１０における他の検査箇所の像と区別可能に強調表示する。

この場合、検査箇所の一部を構成する導体パターン１５は、前述したようにパッド１４ｃ，１４ｆを接続する内層パターンで構成されている。また、本例の基板検査システム１００では、導体パターン１５の外側の層（表層）が不透明材料で形成されている。したがって、実際の検査対象基板１０では、パッド１４ｃ，１４ｆを視認することができるものの、導体パターン１５を視認することはできない。このため、図８に示すように、この検査対象基板１０を撮像した撮像データＤ３に基づく映像表示領域５３内の像ｉ１０においても、パッド１４ｃ，１４ｆの像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆを視認できるものの、導体パターン１５の像ｉ１５を視認することはできない。以下、撮像データＤ３に基づく映像表示領域５３内の映像（画像）において視認できない像（表層が光透過性を有する材料で形成されていれば視認できる像）については、符号の末尾に「ｘ」を付して説明する。

一方、処理部３５は、図９に示すように、一例として、測定手順データＤ０に基づいて特定した検査箇所（パッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５）の位置および形状に基づき、像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆの位置および形状と、像ｉ１５ｘの位置（導体パターン１５の像ｉ１５が存在すべき位置）および形状とを特定し、特定した像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５ｘに重ねて、不良判定の検査箇所を示す透明色の図柄Ｍｂ（一例として、像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆの透視が可能に像ｉ１４ｃ，１４ｆ，ｉ１５ｘの輪郭と同じ形状の領域内が赤色に塗り潰された図柄）を点滅表示させる（「測定処理情報に基づく予め規定された表示」として「測定処理によって測定された測定値に基づく良否判定の結果を示す表示」を「特定した測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる」との処理の他の一例であると共に、「一覧表示のなかからいずれかの測定箇所が選択されたときに、いずれかの測定箇所についての予め規定された表示をいずれかの測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示させる」との処理の他の一例）。これにより、不良判定の「ネット0024」との名称の検査箇所の像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５ｘが検査対象基板１０の像ｉ１０におけるどの辺りに存在するかを認識することが可能となる。

この後、前述の「端子007 」との名称の検査箇所についての一連の作業と同様にして、図１０に示すように、強調表示された像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５ｘの部位を拡大表示させる（指定された拡大率で「測定対象の像を拡大して表示部に表示させる」との処理が行われた表示画面の他の一例）。この際に、処理部３５は、映像表示領域５３内での像ｉ１０の拡大に連動して、像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５ｘに重ねて表示させている赤色の図柄Ｍｂの表示位置および拡大率を変更する（「予め規定された表示の表示位置を、拡大した測定箇所の像の位置に応じて変更する」との処理の他の一例）。これにより、不良判定の検査箇所の位置の把握、および不良が生じているか否かの目視による確認（例えば、パッド１４ｃ，１４ｆの欠損の有無等）を正確に行うことが可能となる。

この場合、「ネット0024」との名称の検査箇所については、例えば、パッド１４ｃ，１４ｆの形成不良等（パッド１４ｃ，１４ｆが存在しない欠陥）が生じていれば、映像表示領域５３に表示される像ｉ１０の確認によって、不良の事実を目視によって確認することができる。しかしながら、導体パターン１５の断線等が生じていたしても、実際の検査対象基板１０における導体パターン１５、および像ｉ１０におけるｉ１５ｘを視認できないため、パッド１４ｃ，１４ｆの像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆが正常であることが確認されたときには、「ネット0024」との名称の検査箇所が不良判定となった原因を目視で確認することはできない。そこで、測定装置４を使用してパッド１４ｃ，１４ｆ間の抵抗値を測定する。

なお、測定装置４を使用した測定作業については、前述の接続用端子１３ｇおよびパッド１１ｇ間の抵抗値の測定作業と同様のため、詳細な説明を省略するが、この検査箇所についての測定作業時にも、図１１に示すように、映像表示領域５３内の像ｉ１０（像ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ）およびテストリード４１ａ，４１ａの像ｉ４１ａ，ｉ４１ａを参照しながら作業を行うことで、微細なパッド１４ｃ，１４ｆに対してテストリード４１ａ，４１ａを正確かつ容易に接触させることができる。

また、「ネット0024」との名称の検査箇所についての測定作業時にも、測定装置４から検査結果表示装置３を介してデータサーバ２に測定値データＤ４が送信され、データサーバ２において測定値データＤ４および基準値データＤ１に基づく良否判定が行われ、その判定結果を示す最新の検査結果データＤ２が検査結果表示装置３に送信される。これにより、「端子007 」との名称の検査箇所のときと同様にして検査結果表示装置３の表示部３４（判定結果表示画面５０）における判定結果表示領域５２の表示を参照することで、測定装置４による測定作業を行ったパッド１４ｃ，１４ｆおよび導体パターン１５の良否を確実かつ容易に把握することができる。

なお、上記の作業例では説明を省略したが、本例の検査結果表示装置３（プログラムデータＤｐ）では、ピンチアウト操作による拡大表示に際して検査対象基板１０の像ｉ１０を拡大させ過ぎてしまったとき（検査箇所の像の全体が映像表示領域５３内に表示されない状態となったとき）に、ピンチイン操作によって低い拡大率を指定する（直前の拡大率よりも低い拡大率で「測定対象の像」の拡大を指示する操作の一例）ことにより、任意の拡大率で像ｉ１０を表示させることができる。また、「測定対象の像」の拡大の指示（拡大率の指定）を行う操作については、タッチパネルに対するピンチアウト操作／ピンチイン操作に限定されず、操作部３３のアップキー／ダウンキー（図示せず）による拡大／縮小の指示の操作や、操作部３３の数値キー（図示せず）の操作による拡大率そのものの指定操作などを行うことが可能となっている。これにより、作業内容に則した適当な拡大率で検査対象基板１０の像ｉ１０を映像表示領域５３に表示させることが可能となっている。

このように、この検査結果表示装置３では、処理部３５が、検査対象基板１０（測定対象）を撮像した撮像データＤ３に基づく像ｉ１０の拡大を指示されたとき（拡大率を指定されたとき）に、像ｉ１０を拡大して表示部３４に表示させると共に、検査箇所（測定箇所）についての測定処理に関する「測定処理情報（本例では、良否判定の結果）」に基づく「予め規定された表示（本例では、不要判定の検査箇所についての位置および形状を示す図柄Ｍａ，Ｍｂ）」の表示位置を、拡大した検査箇所の像の位置に応じて変更する。また、このプログラムデータＤｐでは、上記の処理を検査結果表示装置３の処理部３５に実行させる。さらに、この基板検査システム１００では、上記の検査結果表示装置３を備えている。

したがって、この検査結果表示装置３、基板検査システム１００およびプログラムデータＤｐによれば、検査対象基板１０に規定された微細な検査箇所についても、検査対象基板１０の像ｉ１０を拡大して表示させることにより、検査箇所についての情報（本例では、検査箇所を対象とする測定処理の測定結果に基づいて不良と判定された検査箇所の位置および形状を示す図柄Ｍａ，Ｍｂ）を容易に視認することが可能となる。このため、いずれの検査箇所についての情報であるかを確実かつ容易に特定することができる。また、検査対象基板１０を模して作画した画像を参照するのとは異なり、実際の検査対象基板１０を撮像した撮像データＤ３に基づく像ｉ１０が表示部３４（判定結果表示画面５０の映像表示領域５３）に表示されるため、表示された像ｉ１０における各部の色合いや形状と、実際の検査対象基板１０における対応する部位の色合いや形状とが一致した状態となる。このため、表示されている検査箇所についての情報が実際の測定対象におけるいずれの部位に関するものであるかを確実かつ容易に特定することができる。

また、この検査結果表示装置３では、処理部３５が、検査対象基板１０における位置が測定手順データＤ０に記録され、かつ検査結果（測定処理情報）が検査結果データＤ２に記録された検査箇所を表示部３４（判定結果表示画面５０における判定結果表示領域５２）に一覧表示させると共に、一覧表示のなかからいずれかの検査箇所が選択されたときに、選択された検査箇所についての「予め規定された表示（不良判定の検査箇所の位置および形状を示す図柄Ｍａ，Ｍｂ）」をその検査箇所の像の位置に関連付けて表示部３４（判定結果表示画面５０における映像表示領域５３）に表示させる。したがって、この検査結果表示装置３、基板検査システム１００およびプログラムデータＤｐによれば、一覧表示のなかから、任意の検査箇所（一例として、不良と判定された検査箇所）を選択するだけで、選択した検査箇所についての「予め規定された表示」を表示させることができるため、この種の装置を使用した確認作業に不慣れな作業者であっても、任意の検査箇所（不良判定の検査箇所）についての情報を確実かつ容易に表示させることができる。

さらに、この検査結果表示装置３では、処理部３５が、識別コードが記された（識別コードを示す識別コードラベル１７が貼付された）検査対象基板１０における検査箇所についての「予め規定された表示」を表示させるときに、撮像データＤ３の画像解析によって識別コードによって示されている識別コードを特定し、特定した識別コードに基づいて像ｉ１０に対応する検査対象基板１０を特定する。したがって、この検査結果表示装置３、基板検査システム１００およびプログラムデータＤｐによれば、例えば、検査対象基板１０に対して付与されている識別コードをキー操作によって入力して処理部３５に特定させる構成とは異なり、処理部３５によって誤った識別コードが特定される事態を好適に回避することができる結果、カメラ３１によって撮像されて像ｉ１０が表示されている検査対象基板１０とは異なる検査対象基板１０についての検査結果データＤ２に基づいて誤った情報が表示される事態を確実に回避することができる。

また、この検査結果表示装置３では、処理部３５が、フェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃが記された検査対象基板１０における検査箇所についての「予め規定された表示」を表示させるときに、撮像データＤ３の画像解析によって像ｉ１０におけるフェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの像ｉ１６ａ〜ｉ１６ｃの位置を特定すると共に、フェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの位置に対する検査箇所の位置を特定可能な測定手順データＤ０と、特定した像ｉ１６ａ〜ｉ１６ｃの位置とに基づいて像ｉ１０における検査箇所の像の位置を特定する。したがって、この検査結果表示装置３、基板検査システム１００およびプログラムデータＤｐによれば、「予め規定された表示」を関連付けて表示すべき検査箇所の像の位置を確実かつ容易に特定させることができる。これにより、「予め規定された表示」を的確な位置に表示させて、いずれの検査対象基板１０についての情報であるかを正確に認識させることができる。

さらに、この検査結果表示装置３では、処理部３５が、「測定対象」としての「プリント基板」の一例である検査対象基板１０に規定された検査箇所（測定箇所）についての「測定処理情報」に基づく「予め規定された表示」を検査対象基板１０の像ｉ１０における検査箇所の像ｉ１１ｇ，ｉ１３ｇ，ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５等の位置に関連付けて表示可能に構成されている。したがって、この検査結果表示装置３、基板検査システム１００およびプログラムデータＤｐによれば、狭ピッチで配設された接続用端子１３等を有する電子部品１２などが実装されたり、微細な「導体パターン」が形成されたりしている検査対象基板１０などについて、検査箇所の像ｉ１１ｇ，ｉ１３ｇ，ｉ１４ｃ，ｉ１４ｆ，ｉ１５などや検査箇所についての情報（不良判定を示す図柄Ｍａ，Ｍｂなど）を容易に視認することができる。

なお、「情報表示装置」および「測定システム」の構成や、「情報表示用プログラム」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定処理の結果（測定値）に基づく検査（良否判定）において不良と判定された検査箇所の位置および形状を示す図柄Ｍａ，Ｍｂを「予め規定された表示」として検査対象の像に関連付けて（重ねて）表示させる例について説明したが、このような図柄以外の各種の表示を「予め規定された表示」として表示させることもできる。

具体的には、上記の検査対象基板１０を「測定対象（検査対象）」としたときに、各検査箇所についての検査装置１による測定処理によって測定された測定値、各検査箇所についての検査装置１による良否判定時に使用される基準値、および測定値と基準値との差（測定値と基準値との相違量）などを示す数値を「予め規定された表示」として検査対象基板１０の像ｉ１０における各検査箇所の像に関連付けて（例えば、検査箇所の像に重ねて）表示させることもできる（図示せず）。また、各検査箇所についての検査装置１による判定結果を示す文字列（例えば、FAIL／PASSとの文字列）を「予め規定された表示」として検査対象基板１０の像ｉ１０における各検査箇所の像に関連付けて（例えば、検査箇所の像に重ねて）表示させることもできる（図示せず）。さらに、「予め規定された表示」については、検査対象の像に重ねて表示させる表示態様に代えて、検査対象の像を指し示す矢印表示などで「予め規定された表示」を検査対象の像に関連付けて表示させることもできる（図示せず）。

また、判定結果表示領域５２内に一覧表示された検査対象のなかから任意の検査対象が選択されたときに、選択された検査対象の位置および形状を示す図柄Ｍａ，Ｍｂを「予め規定された表示」として映像表示領域５３内の検査対象の像に関連付けて（重ねて）表示させる例を説明したが、一覧表示からの選択以外の任意の方法で指定した検査対象（例えば、検査順序を示す番号の入力によって指定された検査対象）についての「予め規定された表示」を映像表示領域５３内に表示させることもできる。さらに、映像表示領域５３内の検査対象基板１０の像ｉ１０におけるいずれかの像を指定したとき（例えば、像ｉ１０上の任意の位置をタップしたとき）に、その像に対応する検査箇所の名称および検査結果を示す判定結果表示領域５２内の表示を他の検査結果についての表示と区別可能に表示する（例えば、反転表示させる）構成を採用することもできる。

また、識別コードラベル１７の像ｉ１７の解析によって検査対象基板１０に付与されている識別コードを特定する例について説明したが、「識別コード（識別情報）」を示す二次元コードや一次元コードが、「測定対象（プリント基板）」に対してレーザ描画装置によって直接描画されたり、スタンプや印刷機によって直接印刷されたりしているときには、撮像データＤ３の画像解析によってそれらの像から識別コードを特定することもできる。また、検査対象基板１０の表面に文字情報によって識別コードが記されているときには、撮像データＤ３の画像解析によってその文字情報を読み取って識別コードを特定することもできる。さらに、検査対象基板１０に付与されたフェデューシャルマーク１６ａ〜１６ｃの像ｉ１６ａ〜ｉ１６ｃに基づいて検査対象の像の位置を特定する例について説明したが、撮像データＤ３の画像解析によって実装部品の外形や配線パターンの形状を特定し、特定した情報、および測定手順データＤ０内の情報（実装部品や配線パターンの形状を特定可能な情報）に基づいて、各検査対象の像の位置を特定することもできる。

また、ズームレンズ機構を備えたカメラ（カメラ３１）からの撮像データＤ３を使用する例について説明したが、単焦点レンズを備えたカメラからの「撮像データ」をデジタルズーム処理によって拡大する構成を採用することもできる。さらに、判定結果表示領域５２の一覧表示のなかから任意の検査箇所（測定箇所）が選択されたときに、選択された１つの検査箇所（測定箇所）についての「予め規定された表示」を判定結果表示領域５２内に表示させる構成を例に挙げて説明したが、例えば、指定された条件を満たす複数の検査箇所（測定箇所）（一例として、不良判定の検査箇所のすべて）についての複数の「予め規定された表示」を同時に表示させる構成を採用することもできる。

加えて、測定値および基準値に基づく良否判定を行う基板検査システム１００に適用した例について説明したが、測定値に基づく良否の判定を行わない「測定システム」において、測定処理に関する「測定処理情報」に基づく「予め規定された表示」を「測定箇所の像」の位置に関連付けて表示させることもできる。

１００ 基板検査システム
１ 検査装置
２ データサーバ
３ 検査結果表示装置
４ 測定装置
１０ 検査対象基板
１１ａ，１１ｂ・・，１４ａ，１４ｂ・・ パッド
１２ 電子部品
１３ａ，１３ｂ・・ 接続用端子
１５ 導体パターン
１６ａ〜１６ｃ フェデューシャルマーク
１７ 識別コードラベル
３１ カメラ
３２，４２ 通信部
３３，４３ 操作部
３４，４４ 表示部
３５，４５ 処理部
３６，４６ 記憶部
４１ 測定部
４１ａ テストリード
５０ 判定結果表示画面
５１ 識別コード表示領域
５２ 判定結果表示領域
５３ 映像表示領域
Ｄ０ 測定手順データ
Ｄ１ 基準値データ
Ｄ２ 検査結果データ
Ｄ３ 撮像データ
Ｄ４ 測定値データ
Ｄｐ プログラムデータ
ｉ１０，ｉ１１ａ，ｉ１１ｂ・・，ｉ１２，ｉ１３ａ，ｉ１３ｂ・・ｉ１４ａ，ｉ１４ｂ・・，ｉ１５，ｉ１６ａ〜ｉ１６ｃ，ｉ１７，ｉ４１ａ 像
Ｍａ，Ｍｂ 図柄

Claims (7)

1. 測定対象を撮像した撮像データに基づいて当該測定対象の像を表示部に表示させると共に、前記測定対象に規定された測定箇所の当該測定対象における位置を特定可能な第１データに基づいて当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定し、かつ前記測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報が前記測定対象および当該測定箇所に関連付けられて記録された第２データに基づいて特定される当該測定処理情報に基づく予め規定された表示を、特定した当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる処理部を備え、
   前記処理部は、前記測定対象の像の拡大を指示されたときに、当該測定対象の像を拡大して前記表示部に表示させると共に、前記予め規定された表示の表示位置を、拡大した前記測定箇所の像の位置に応じて変更する情報表示装置。
2. 前記処理部は、前記測定対象における位置が前記第１データに記録され、かつ前記測定処理情報が前記第２データに記録された前記測定箇所を前記表示部に一覧表示させると共に、当該一覧表示のなかからいずれかの前記測定箇所が選択されたときに、当該いずれかの測定箇所についての前記予め規定された表示を当該いずれかの測定箇所の像の位置に関連付けて前記表示部に表示させる請求項１記載の情報表示装置。
3. 前記処理部は、測定対象識別情報が記された前記測定対象における前記測定箇所についての前記予め規定された表示を表示させるときに、前記撮像データの画像解析によって前記測定対象識別情報によって示されている識別情報を特定し、特定した当該識別情報に基づいて前記測定対象の像に対応する前記測定対象を特定する請求項１または２記載の情報表示装置。
4. 前記処理部は、基準座標特定マークが記された前記測定対象における前記測定箇所についての前記予め規定された表示を表示させるときに、前記撮像データの画像解析によって当該測定対象の像における当該基準座標特定マークの像の位置を特定すると共に、当該基準座標特定マークの位置に対する前記測定箇所の位置を特定可能な前記第１データと、特定した当該基準座標特定マークの像の位置とに基づいて前記測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定する請求項１から３のいずれかに記載の情報表示装置。
5. 前記処理部は、前記測定対象としてのプリント基板に規定された前記測定箇所についての前記測定処理情報に基づく前記予め規定された表示を当該プリント基板の像における当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示可能に構成されている請求項１から４のいずれかに記載の情報表示装置。
6. 請求項１から５のいずれかに記載の情報表示装置と、前記測定処理を実行可能な測定装置とを備えている測定システム。
7. 測定対象に規定された測定箇所についての予め規定された表示を当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示部に表示させる情報表示装置の処理部に対して、前記測定対象を撮像した撮像データに基づいて当該測定対象の像を表示部に表示させる処理と、前記測定対象における前記測定箇所の位置を特定可能な第１データに基づいて当該測定対象の像における当該測定箇所の像の位置を特定し、かつ前記測定箇所についての測定処理に関する測定処理情報が前記測定対象および当該測定箇所に関連付けられて記録された第２データに基づいて特定される当該測定処理情報に基づく前記予め規定された表示を、特定した当該測定箇所の像の位置に関連付けて表示させる処理と、前記測定対象の像の拡大を指示されたときに、当該測定対象の像を拡大して前記表示部に表示させると共に、前記予め規定された表示の表示位置を、拡大した前記測定箇所の像の位置に応じて変更する処理とを実行させる情報表示用プログラム。

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