KR20040042775A - 검사 상황 표시 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 실시간으로 결함의 내용을 확인하는 것이다. 마스터 패턴 화상에 대응하는 결함 화상, 오류 지시 버튼, 무결함 지시 버튼, 먼지 지시 버튼, 구획 번호, 구획 좌표, 및 결함의 종류가 검사 상황 지시 화면의 결함 화상 영역에 표시된다. 무결함 지시 버튼 및 먼지 지시 버튼이 선택되면, 검사 장치는 선택된 버튼에 대응하는 결함을 무시할 만한 것으로 인지하여, 상기 결함의 검사 결과를 결함에서 무결함으로 변경한다.

Description

검사 상황 표시 방법{Inspection Status Display Method}

본 발명은 검사 대상물(對象物)을 카메라로 촬영하여 자동적으로 검사 대상물을 검사하는 검사장치에 관한 것으로, 특히 검사 대상물의 검사 상황을 표시하는 검사 상황 표시 방법에 관한 것이다.

PGA(Pin Grid Array)는 다수의 IC 또는 LSI 핀에 대한 요구를 만족시키는 패키지 기술로서 종래부터 알려지고 있다. PGA에 있어서, 세라믹 보드는 칩을 장착하기 위한 패키지 베이스(package base)로 사용되고, 배선들은 리드선 추출부까지 배치된다. 상기 세라믹 보드를 제조하기 위해서, 알루미나 분말을 액체 접합제(liquid binder)로 반죽하고 그 결과물을 시트(sheet) 형상으로 만듦으로써 준비된 그린 시트(green sheet)가 사용된다. 고융점 금속을 함유하는 페이스트(paste)가 그린 시트 위에 스크린 인쇄된다. 필요한 수만큼의 시트들이 적층/소성(燒成)되어, 그린 시트를 소성하고 페이스트를 금속화하는 소위 동시소성이 행해진다.

상기 그린 시트 상의 패턴은 패턴이 형성된 후에 현미경을 사용하여 사람 육안으로 검사된다. 미세한 패턴을 육안으로 검사하는 것은 숙련을 필요로 하고 육안을 혹사시킨다. 이것 때문에, 그린 시트 등 위에 형성된 패턴을 TV 카메라로 촬영하여 자동적으로 패턴을 체크하는 패턴 검사 장치가 제안된다.

도 5 및 도 6은 단선을 검출하는 종래의 검사방법을 설명하기 위한 것이다. 무결함으로 판정된 측정 대상 패턴을 촬영하여 형성된 마스터 패턴은 패턴 엣지(edge)를 나타내는 직선들의 집합으로 등록된다. 측정 대상 패턴은 패턴을 촬영하여 얻어진 그레이 스케일 화상(畵像)에서 추출된 패턴 엣지들을 나타내는 엣지 데이터(엣지 좌표들)의 집합으로 입력된다. 측정될 패턴의 추출된 엣지 데이터 n1, n2, n3,...와 마스터 데이터의 직선들을 서로 대응된다. 상기 대응을 행하기 위해, 도 5에 도시된 바와 같이, 마스터 패턴의 연속되는 직선 A1 및 A2, A2 및 A3,...에 의해 정의되는 각도들을 2등분하는 2등분선 A2', A3',...가 얻어진다.

2등분선 A2', A3',...은 직선 A1, A2, A3,...의 주변을 개별 직선들에 속하는 영역들로 분할한다. 각 영역 내에 존재하는 측정 대상 패턴의 엣지 데이터 n1, n2, n3,...는 각 영역이 속하는 마스터 패턴의 직선 A1, A2, A3,...에 대응된다. 예를 들면, 도 5에 있어서, 엣지 데이터 n1 내지 n3는 직선 A1에 대응되는 반면에, 엣지 데이터 n4 내지 n6는 직선 A2에 대응된다.

그 다음, 측정 대상 패턴의 엣지 데이터와 마스터 패턴은 측정 대상 패턴이 단선 되었는지를 검사하기 위해 비교된다.

상기 검사는 측정 대상 패턴의 연결된 엣지 데이터 n1 내지 n9을 추종(tracking)하여 패턴 엣지를 추종하는 라벨링 처리에 의해 실현된다. 이 때, 측정 대상 패턴의 끝에서의 단선에 의해, 엣지 데이터는 단선부에서 연결되지 않는다. 마스터 패턴의 직선 A3 내지 A5에 대응하는 엣지 데이터가 존재하지 않는다. 따라서, 측정될 패턴의 단선은 검출될 수 있다.

도 7은 단락(短絡, short circuit)을 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 것이다. 측정될 패턴의 연결된 엣지 데이터는 마스터 패턴 및 측정 대상 패턴에서 추출된 소정의 크기를 가지는 검사 영역(20)에서 추종된다. 측정 대상 패턴의 엣지 데이터는 n1 내지 n18로 순차적으로 라벨링된다. 그러나, 엣지 데이터 n8 내지 n17은 패턴 엣지들을 나타내는 2개의 대향하는 직선들로부터 형성되는 마스터 패턴 Ma 및 2개의 대향하는 직선들로부터 비슷하게 형성되는 마스터 패턴 Mb에 등록되지 않는다. 이러한 방식에 의해서, 측정될 패턴의 단선은 검출된다(예로써, 이하에서 참고문헌1로 언급되는 일본특허공개공보 제6-273132호를 참조하라).

도 8은 결손(omission) 또는 돌기(projection)를 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 것이다. 중앙선 L에 대해 수직선이 그려지고, 수직선과 마스터 패턴 엣지들을 나타내는 직선 A1 및 A2 들의 교차점들 간의 거리가 먼저 마스터 패턴 폭 W0으로 구해진다. 실제 검사에 있어서, 수직선은 측정 대상 패턴의 엣지 데이터 n에서 마스터 패턴의 중앙선 L로 그어지고, 대향하는 엣지 데이터 간의 거리가 구해진다. 상기 거리는 측정될 패턴의 폭 W이다. 폭 W는 마스터 패턴 폭 WO와 비교되어, 측정 대상 패턴의 결손 또는 돌기를 검출한다(예로써, 이하에서 참고문헌2로 언급되는 일본특허공개공보 제7-110863호를 참조하라).

상기 패턴 검사 장치는 검사 종료시에 검사 결과만을 표시한다. 오퍼레이터는 검사 중에 결함의 내용을 확인할 수 없다.

종래의 패턴 검사 장치는 마스터 패턴과 측정 대상 패턴(검사 대상물) 간의 오차량으로부터 검사 대상물의 결점을 검출한다. 실제 사용에 있어서 상기 오차가 무시할 만한 경우에도, 패턴은 결함있는 것으로 검출된다. 이러한 과다 검출은 제품 수율을 저하시킨다.

본 발명은 종래의 단점을 극복하기 위해 안출되어, 실시간으로 결함의 내용을 확인할 수 있는 검사 상황 표시 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 실제의 사용에서 결함이 무시할 만한 경우에는 결함으로 검출된 검사결과를 무결함으로 변경할 수 있는 검사 상황 표시 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 검사 대상물의 결함의 위치를 확인할 수 있는 검사 상황 표시 방법을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패턴 검사 장치를 도시하는 블록 다이어그램이다.

도 2는 도 1의 패턴 검사 장치의 작동을 설명하기 위한 플로우차트이다.

도 3은 표시장치의 검사 상황 표시 화면을 도시하는 도면이다.

도 4는 도 3의 일부를 확대한 도면이다.

도 5는 단선을 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 6은 단선을 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 7은 단락을 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 8은 결손 또는 돌기를 검출하는 종래의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1: 검사 상황 표시 화면 2: 대상물 화상 3: 결함 화상 영역

4: 구획 화상 5: NG 마크 6: 결함화상

7: 결함 지시 버튼 8: 무결함 지시 버튼 9: 먼지 지시 버튼

10: 구획 번호 표시 영역 11: 구획 내의 좌표 표시 영역

12: 결함 종류 표시 영역 13: 스크롤 바 14: 스크롤 버튼

21: 그린 시트 22: 구획 23: X-Y 테이블

24: 라인 센서 카메라 25: 화상 처리 장치 26: 호스트 컴퓨터

27: 표시 장치 28: 출력 장치 29: 포인팅 장치

제 1 항에 서술되는 바와 같이, 본 발명에 따른 검사 상황 표시 방법은, 결함이 검사 대상물 내에서 검출되었을 때, 검사 대상물 화상 내의 결함을 포함하는 소정 크기의 결함 화상과 결함 화상에 해당하는 마스크 패턴 화상을 중첩시키는 단계와, 표시장치의 화면 상에 검사 대상물의 검사 상황을 표시하는 단계를 포함한다.

결함을 포함하는 소정 크기의 결함 화상과 결함 화상에 해당하는 마스터 패턴 화상은 중첩되어 표시되기 때문에, 결함의 내용은 검사 도중에 가시적으로 확인될 수 있다.

제 2 항에 서술되는 바와 같이, 검사 대상물 화상은 검사 대상물의 검사상황과 함께 표시장치의 화면 상에 표시되고, 결함이 검사 대상물 내에서 검출되었을 때, 결함의 위치에 대응되는 검사 대상물 화상 상의 위치에 NG 마크가 표시된다.

검사 대상물 내의 결함의 위치가 해당 위치에서의 검사상황과 함께 표시되기 때문에, 전체 검사 대상물에 있어서의 결함의 경향이 파악될 수 있다.

제 3 항에 서술되는 바와 같이, 결함이 검출되었다는 검사결과를 인정하기 위한 제 1 지시 버튼과 검사결과를 무결함으로 변경하기 위한 제 2 지시 버튼이 각 결함화상마다 표시된다.

화면에서 제 2 지시 버튼을 선택함으로써, 검사 장치는 검사 결과를 결함에서 무결함으로 변경한다. 실제 사용에 있어서 무시할 만한 결함은 결함에서 배제될 수 있다.

제 4 항에서 서술되는 바와 같이, 검사 대상물 화상 내의 검사 대상 구획 번호, 구획 내에서의 결함 위치의 좌표, 및 결함 종류가 각 결함화상마다 표시된다.

검사 대상 구획의 번호, 구획 내에서의 결함 위치의 좌표, 및 결함 종류가 각 결함 화상마다 표시되므로, 결함 또는 무결함을 판정하기 위한 기준으로 사용될 수 있어서, 검사 결과의 인정을 용이하게 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 양호한 실시예를 자세히 설명하겠다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패턴 검사 장치를 도시한다. 도 2는 도 1의패턴 검사 장치의 작동을 설명한다.

도 1에 있어서, 도면부호 21은 검사 대상물 역할을 하는 그린 시트를 나타내고; 도면부호 22는 그린 시트(21) 상에 형성된 독립된 패턴들의 구획들을 나타내고; 도면부호 23은 그린 시트(21)를 보지(保持)하는 X-Y 테이블을 나타내고; 도면부호 24는 그린 시트(21)를 촬영하는 라인 센서 카메라를 나타내고; 도면부호 25는 라인 센서 카메라(24)에 의해 얻어진 그레이 스케일 화상에서 측정 대상 패턴의 엣지를 나타내는 엣지 데이터를 추출하고, 마스터 패턴과 측정 대상 패턴 간의 오차를 계산하고, 측정 대상 패턴을 검사하는 화상 처리 장치를 나타내고; 도면부호 26은 전체 장치를 컨트롤하는 호스트 컴퓨터를 나타내고; 도면부호 27은 검사 상황을 표시하기 위한 표시 장치를 나타내고; 도면부호 28은 검사 결과를 프린트하기위한 출력 장치를 나타내고; 도면부호 29는 표시 장치(27) 상에 표시되는 화면을 지시하는 것에 의해 데이터를 입력하는 마우스와 같은 포인팅 장치를 나타낸다.

N X M 구획들(N 및 M은 1 이상의 정수)의 매트릭스(22)가 그린 시트(21) 상에 프린트된다. 일반적으로, 구획들(22)은 동일한 패턴을 가지고, 하나의 구획은 예컨대 하나의 IC에 대응된다.

패턴 검사 장치의 동작을 설명하겠다.

검사 이전에 준비되는 마스터 패턴을 설명한다. 호스트 컴퓨터(26)는 CAD(Computer Aided Design) 시스템에 의해 생성되어 예컨대 자기 디스크 장치(도시되지 않음)로써 독출(讀出)되는 자기 디스크에 기록된 그린 시트의 설계치 데이터(이하, "CAD 데이터"라고 함)를 독출한다(도 2의 단계 S101). 패턴 엣지 데이터는 독출된 CAD 데이터에서 추출되어 검사 기준 역할을 하는 마스터 패턴으로 설정된다(단계 S102). 추출된 마스터 패턴의 엣지 데이터는 패턴 엣지들을 나타내는 직선들의 집합이다.

그린 시트(21)는 상기 CAD 데이터를 기초로 형성되고 패턴은 시트(21) 상에 스크린 인쇄되는 것을 주목하라.

측정 대상 패턴의 검사를 설명한다. 도 3은 표시 장치(27)의 검사 상황 표시 화면을 도시한다. 도 4는 도 3의 확대된 화면을 도시한다.

도 3 및 도 4에 있어서, 도면부호 1은 표시 장치(27)의 검사 상황 표시 화면을 나타내고; 도면부호 2는 검사 상황 표시 화면(1)에서 표시되고, 그린 시트(21)와 유사한 대상물 화상을 나타내고; 도면부호 3은 결함 화상을 표시하기 위한 결함 화상 영역을 나타내고; 도면부호 4는 각 구획(22)에 대응되는 구획 화상을 나타내고; 도면부호 5는 검출된 결함을 나타내는 NG 마크를 나타내고; 도면부호 6은 결함을 포함하는 소정 크기의 결함 화상을 나타내고; 도면부호 7은 결함으로 검출된 검사 결과를 인정하기 위한 제 1 지시 버튼의 오류 지시 버튼을 나타내고; 도면부호 8 및 9는 검사 결과를 무결함으로 변경하기 위한 제 2 지시 버튼의 무결함 지시 버튼 및 먼지 지시 버튼을 나타내고; 도면부호 10은 구획 번호 표시 영역을 나타내고; 도면부호 11은 구획 좌표 표시 영역을 나타내고; 도면부호 12는 결함 종류 표시 영역을 나타내고; 도면부호 13은 스크롤 바를 나타내고; 도면부호 14는 스크롤 버튼을 나타낸다.

도 3에 도시된 바와 같이, 호스트 컴퓨터(26)는 표시 장치(27)의 검사 상황표시 화면(1)에서 그린 시트(21)에 대응하는 대상물 화상(2)을 표시한다(단계 S103). 대상물 화상(2)은 전술한 제 1 마스터 패턴을 기초로 생성될 수 있다.

호스트 컴퓨터(26)는 화상 처리 장치(25)가 검사 대상 구획의 화상을 수신하도록 지시한다.

화상 처리 장치(25)는 검사 대상 구획 상에 설치된 라인 센서 카메라(24)에서 출력되는 그레이 스케일 화상을 디지털화하여, 디지털 화상을 내부 화상 메모리(도시되지 않음)에 일시적으로 저장한다(단계 S104).

카메라(24)는 라인 센서로서, 그 화소들은 X 방향으로 배열된다. X-Y 테이블(23)은 컴퓨터의 지시에 따라 Y 방향으로 움직임에 따라, 2차원 화상 데이터는 화상 메모리에 저장된다. X-Y 테이블(23)을 고정하고 카메라(24)를 Y 방향으로 움직이게 하는 것도 가능하다.

화상 처리 장치(25)는 마스터 패턴과 측정 대상 패턴을 정렬하여, 화상 메모리에 저장된 측정 대상 패턴의 정렬 마크와 마스터 패턴의 정렬 마크가 서로 일치하도록 한다(단계 S105).

정렬 후에, 화상 처리 장치(25)는 측정 대상 패턴의 그레이 스케일 화상을 이진화한다(단계 S106). 화상 처리 장치(25)는 이진 화상 내의 연결된 화소들에 동일한 라벨(이름)을 부여하는 라벨링 처리를 함으로써 측정 대상 패턴의 엣지를 나타내는 엣지 데이터를 이진 화상에서 추출한다.

화상 처리 장치(25)는 소정 크기의 검사 영역에 대해 측정 대상 패턴과 마스터 패턴을 비교함으로써 오차를 구해서, 측정 대상 패턴의 결함을 검출한다(단계S107). 이러한 검사 방법은 도 6 내지 도 9에서 도시된 것과 동일하다.

검사 영역을 검사한 이후에, 화상 처리 장치(25)는 검사 결과를 호스트 컴퓨터(26)로 전송한다. 결함이 검출되면, 화상 처리 장치(25)는 검사 영역 내의 측정 대상 패턴의 화상(결함 화상) 데이터를 호스트 컴퓨터로 전송한다.

결함이 검출되면, 검사 결과 및 화상 데이터를 수신한 호스트 컴퓨터(26)는 결함 위치에 대응하는 구획 화상(4) 상의 위치에 적색 NG 마크(5)를 표시하고, 결함 화상 영역(3) 내에 결함 화상(6)을 표시한다(단계 S108). 이와 동시에, 호스트 컴퓨터(26)는 결함 화상(6)과 결함 화상에 대응하는 마스터 패턴 화상을 중첩시켜 표시한다. 마스터 패턴은 그 윤곽선만을 도시함을 주의하라.

결함 화상과 대응 마스터 패턴 화상이 중첩되어 표시되기 때문에, 결함의 내용은 검사 도중에 가시적으로 확인될 수 있다.

도 4의 예에 있어서, 패턴 윤곽선만이 표시되는 마스터 패턴(6b)과 비교될 때, 사선으로 표시된 결함 화상의 일부가 결손되었는데, 이것은 단선을 의미한다.

호스트 컴퓨터(26)는 오류 지시 버튼(7), 무결함 지시 버튼(8) 및 먼지 지시 버튼(9)을 결함 화상(6)의 우측편에 표시한다. 호스트 컴퓨터(26)는 검사 대상 구획의 번호, 구획 내의 결함 위치의 좌표, 및 결함의 종류(예컨대, 단선, 단락, 결손, 돌기, 흩어짐, 핀홀)를 구획 번호 표시 영역(10), 구획 좌표 표시 영역(11) 및 결함 종류 표시 영역(12)에 표시한다.

호스트 컴퓨터(26)는 또한 스크롤 바(13) 및 스크롤 버튼(14)을 결함 화상 영역(3)의 우측 끝에 표시한다.

전술한 검사 및 검사 결과 표시는 검사 대상 구획의 모든 검사 영역에 대해 행해진다. X-Y 테이블(23)은 다른 구획 상에 라인 센서 카메라(24)가 위치하도록 움직여서, 동일한 검사가 상기 구획에 대해 행해진다. 그 다음, 검사 대상물(21)의 검사는 종료된다(단계 S109).

도 3에 도시된 바와 같이, 결함 화상(6), 오류 지시 버튼(7), 무결함 지시 버튼(8), 먼지 지시 버튼(9), 구획 번호, 구획 좌표, 및 결함 종류가 결함이 검출되는 각 검사 영역에 대해 연속적으로 표시된다.

결함 화상 영역(3)의 크기는 제한되고, 결함 화상에서 표시될 수 없는 검사 결과는 숨겨진다. 화면 내의 포인터(도시되지 않음)는 포인팅 장치(29)의 조작에 의해 하부 스크롤 버튼(14)으로 이동되고, 포인팅 장치(29)의 버튼이 눌러진다. 이것에 반응하여, 호스트 컴퓨터(26)는 결함 화상 영역(3)을 위쪽으로 스크롤시키고, 오퍼레이터는 결함 화상 영역(3)에서 표시되지 않았던 검사 결과는 체크할 수 있다.

포인터 장치(29)의 조작에 의해 화면(1)의 포인터를 상부 스크롤 버튼(14)으로 이동시키고, 포인팅 장치(29)의 버튼을 누르는 것도 역시 가능하다. 이 경우에 있어서, 호스트 컴퓨터(26)는 결함 화상 영역(3)을 아래쪽으로 스크롤시킨다.

이러한 방식으로, 오퍼레이터는 결함 화상 영역(3)에서 연속적으로 표시된 결함 화상들(6)을 체크할 수 있다.

본 실시예의 패턴 검사 장치를 조작하는 오퍼레이터는 검사 상황 표시 화면(1)에 표시된 결함 화상(6)을 체크한다. 결함이 실제 사용에서 무시할 만한 것으로 판정되면, 오퍼레이터는 포인팅 장치(29)를 조작하여 화면(1) 내의 포인터를 결함 화상(6)의 우측에 있는 무결함 지시 버튼(8)으로 이동시키고, 포인팅 장치(29)의 버튼을 한번 누른다(클릭한다).

이것에 반응하여, 호스트 컴퓨터(26)는 선택된 무결함 지시 버튼(8)에 대응하는 결함 화상(6) 내의 결함(무결함 지시 버튼(8)의 좌측편에 있는 결함 화상(6) 내의 결함)이 사소하다는 것을 인지하고, 상기 결함의 검사 결과를 결함에서 무결함으로 변경한다.

오퍼레이터가 결함 화상(6)을 체크하여 상기 결함은 먼지 때문인 것으로 판정되면, 오퍼레이터는 포인팅 장치(29)를 조작하여 화면(1) 내의 포인터를 결함 화상(6)이 우측편에 있는 먼지 지시 버튼(9)으로 이동시켜 포인팅 장치(29)의 버튼을 한번 누른다.

유사하게, 호스트 컴퓨터(26)는 선택된 먼지 지시 버튼(9)에 대응하는 결함 화상(6) 내의 결함이 사소하다는 것을 인지하고, 상기 결함의 검사 결과를 결함에서 무결함으로 변경한다.

호스트 컴퓨터(26)는 선택(클릭) 또는 비선택에 따라서 오류 지시 버튼(7), 무결함 지시 버튼(8) 및 먼지 지시 버튼(9)을 다른 색상으로 표시한다. 버튼 7 내지 9가 클릭되지 않은 초기 상태에 있어서, 오류 지시 버튼(7)이 선택된다. 무결함 지시 버튼(8) 및 먼지 지시 버튼(9)이 선택되면, 버튼은 "선택" 색상으로 변하고, 오류 지시 버튼(7)은 "비선택" 색상으로 변한다.

무결함 지시 버튼(8)이 선택되면, 검사 결과가 무결함으로 변경되는 결함에대응하는 구획 화상(2)의 NG 마크(5)는 호스트 컴퓨터에 의해 녹색으로 변하고, 먼지 지시 버튼(9)이 선택되면 황색으로 변한다.

이러한 상태에서 오류 지시 버튼(7)이 선택되면, 호스트 컴퓨터(26)는 검사 결과를 무결함에서 결함으로 되돌리고, NG 마크(5)를 원래의 적색으로 되돌린다. 오류 지시 버튼(7)이 "선택" 색상으로 변하고, 무결함 지시 버튼(8) 또는 먼지 지시 버튼(9)은 "비선택" 색상으로 변한다.

이러한 방식으로써, 결함으로 검출된 검사 결과는 결과가 실제 사용에서 무시할 만한 정도인 경우에는 무결함으로 변경될 수 있어서, 제품 수율을 향상시킨다. 검사 결과는 또는 출력 장치(28)에 의해 출력될 수 있다.

본 실시예는 그린 시트를 검사 대상물로 하는 패턴 검사 장치를 예로 하여 설명하였다. 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 다른 검사 장치에도 적용될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 2개의 버튼, 무결함 지시 버튼(8) 및 먼지 지시 버튼(9)은 검사 결과를 무결함으로 변경하는 제 2 지시 버튼으로 표시될 수 있다. 이들 버튼은 검사 결과를 결함에서 무결함으로 변경하는 동일한 기능을 제공하고, 제 2 지시 버튼은 한 버튼을 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 제 1 항에 서술되는 바와 같이, 결함을 포함하는 소정 크기의 결함 화상과 결함 화상에 대응되는 마스터 패턴 화상은 중첩되어 표시된다. 결함의 내용은 검사 도중에 실시간으로 용이하게 확인될 수 있다.

제 2 항에 서술되는 바와 같이, 검사 대상물 화상에서 검출되는 결함의 위치는 검사 대상물의 검사 상황과 함께 NG 마크에 의해 표시된다. 전체 검사 대상물에 있어서의 결함 경향이 파악될 수 있다.

제 3 항에 서술되는 바와 같이, 결함이 검출되었다는 검사결과를 인정하기 위한 제 1 지시 버튼과, 검사결과를 무결함으로 변경하기 위한 제 2 지시 버튼이 각 결함화상마다 표시된다. 결함으로 검출되었다는 검사 결과는 결함이 실제 사용에서 무시할 만한 정도인 경우에는 무결함으로 변경될 수 있어서, 제품 수율을 향상시킨다.

제 4 항에 서술되는 바와 같이, 검사 대상물 화상 내의 검사 대상 구획 번호, 구획 내에서의 결함 위치의 좌표, 및 결함 종류가 각 결함화상마다 표시된다. 이들 구획들의 정보는 결함 여부 판정의 기준으로 사용되어, 검사 결과 인정을 용이하게 한다.

Claims (4)

1. 카메라(24)로 촬영한 검사 대상물(對象物)의 화상(畵像)과 검사 기준 역할을 하는 마스터 패턴의 화상을 비교하여 검사 대상물이 결함이 있는지 여부를 판정하는 검사 장치의 검사 상황 표시 방법에 있어서,

   결함이 검사 대상물 내에서 검출되었을 때, 검사 대상물 화상 내의 결함을 포함하는 소정 크기의 결함 화상과 결함 화상에 해당하는 마스크 패턴 화상을 중첩시키는 단계와, 표시장치의 화면 상에 검사 대상물의 검사 상황을 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 상황 표시 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   검사 대상물 화상은 검사 대상물의 검사상황과 함께 표시장치의 화면 상에 표시되고, 결함이 검사 대상물 내에서 검출되었을 때, 결함의 위치에 대응되는 검사 대상물 화상 상의 위치에 NG 마크가 표시되는 것을 특징으로 하는 검사 상황 표시 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   결함이 검출되었다는 검사결과를 인정하기 위한 제 1 지시 버튼(7)과, 검사결과를 무결함으로 변경하기 위한 제 2 지시 버튼(8)이 각 결함화상마다 표시되는 것을 특징으로 하는 검사 상황 표시 방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   검사 대상물 화상 내의 검사 대상 구획 번호, 구획 내에서의 결함 위치의 좌표, 및 결함 종류가 각 결함화상마다 표시되는 것을 특징으로 하는 검사 상황 표시 방법.