JP2013234976A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物の撮像画像と、検査基準になるマスター画像とを精度よく位置合わせすることのできる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】基板９０を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査装置１は、両画像の位置合わせ用に、両画像の対応し合う位置に３点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定手段１１と、基準点を頂点とする複数の三角形の領域に両画像を分割する分割手段１２と、両画像の対応し合う三角形の領域が一致するように、各々の三角形の領域ごとに撮像画像又はマスター画像の補正処理をして、両画像を位置合わせする位置合わせ手段１３とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象物の外観を撮像した撮像画像と、検査基準となるマスター画像とを位置合わせして、両画像の比較検査を行う外観検査装置及び外観検査方法に関するものである。

検査対象物をデジタルカメラで撮像し、その撮像画像をコンピュータで画像処理して、検査対象物の外観を検査することが行われている。例えば、電気部品を実装するためのプリント配線板の製造現場では、パターン、レジスト、シルク、スルーホールなどが正常に形成されているかどうかを、画像処理で検査している。このような検査では、撮像画像と、検査基準になるマスター画像とを位置合わせしてから比較して、両画像の差異の有無により合否を判定している。

例えば特許文献１には、マスター画像から４つの特徴点を抽出し、撮像画像（オブジェクト画像）からも４つの特徴点を抽出して、両画像の特徴点同士が一致するようにマスター画像をＸ軸、Ｙ軸方向に伸縮変形させることで両画像の位置合わせをする外観検査装置が記載されている。

特開２００６−２６９６２４号公報

特許文献１のように、撮像画像及びマスター画像の４つの特徴点同士が一致するようにマスター画像を伸縮変形させても、検査対象物の製造誤差や温度変化による伸縮により、撮像画像及びマスター画像の全ての位置がぴったりと合わず、部分的にずれが生じてしまう場合がある。

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、検査対象物の撮像画像と、検査基準になるマスター画像とを精度よく位置合わせすることのできる外観検査装置及び外観検査方法を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された外観検査装置は、検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査装置であって、該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に３点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定手段と、該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割手段と、該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、該両画像を位置合わせする位置合わせ手段とを備えることを特徴とする。

請求項２に記載された外観検査装置は、請求項１に記載のもので、前記位置合わせ手段が、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする。

請求項３に記載された外観検査装置は、請求項１又は２に記載のもので、前記基準点設定手段が、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択手段、及び／又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択手段を備えることを特徴とする。

請求項４に記載された外観検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載のもので、前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成手段を備えることを特徴とする。

請求項５に記載された外観検査方法は、検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査方法であって、該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に、３点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定ステップと、該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割ステップと、該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、両画像を位置合わせする位置合わせステップとを備えることを特徴とする。

請求項６に記載された外観検査方法は、請求項５に記載のもので、前記位置合わせステップが、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする。

請求項７に記載された外観検査方法は、請求項５又は６に記載のもので、前記基準点設定ステップが、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し、該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択ステップ、及び／又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択ステップを備えることを特徴とする。

請求項８に記載された外観検査方法は、請求項５から７のいずれかに記載のもので、前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成ステップを備えることを特徴とする。

本発明の外観検査装置及び外観検査方法によれば、検査対象物の製造誤差や温度変化による伸長などにより、検査対象物の撮像画像とマスター画像との間に位置ずれが生じたとしても、画像全体に亘って精度よく位置合わせすることができる。基準点の数や位置を適切に設定することで、例えば検査対象物が基板である場合、微細なパターンの形成された基板、サイズの大きな基板、同種や異種の複数の基板を面付けした基板であっても、撮像画像とマスター画像とを精度よく位置合わせすることができ、正確な検査を行うことができる。

位置合わせの補正処理をアフィン変換で行う場合、位置合わせを短時間で精度よく行うことができる。基準点を設定するためのサポート用として、輪郭の中心点を選択する中心点選択手段（ステップ）、及び／又は、輪郭の角部を選択する角部選択手段（ステップ）を備える場合、基準点として設定される位置がオペレータの手動の選択操作の具合によって変わらないので、基準点自体を輪郭の中心や角部に正確に設定できるため、画像の位置合わせを精度よく行うことができる。

設計データからマスター画像を作成する場合、検査対象物は設計データに基づいて製造されるため、検査基準として最も適しており、画像を精度よく位置合わせすることで、正確な検査を行うことができる。

本発明を適用する外観検査装置の使用状態を示すブロック図である。 本発明を適用する外観検査方法を示すフローチャートである。 撮像画像に基準点を設定した状態を示す図である。 マスター画像に基準点を設定した状態を示す図である。 基準点設定用のサポート機能を示す概要図である。 撮像画像を三角形の領域に分割した状態を示す図である。 マスター画像を三角形の領域に分割した状態を示す図である。 撮像画像とマスター画像との位置合わせを示す図である。

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。

本発明を適用する外観検査装置１を図１に示す。外観検査装置１は、カメラ２、制御部３、表示部４、操作部５、及び載置台８を備え、検査対象物の一例であるプリント配線板（基板）９０の外観を検査する装置である。

カメラ２は、基板９０を撮像して撮像画像を得るためのものであり、載置台８上に位置決めして保持された基板９０に対向するように、載置台８の上方に配置されている。カメラ２は、例えばカラーＣＣＤ（Charge Coupled Device）を用いたデジタルカメラであり、カラーの撮像画像データを出力する。カメラ２として、検査の精度に必要性がなければモノクロ画像を撮像するモノクロデジタルカメラを用いてもよい。カメラ２は、検査の精度に必要な解像度で基板９０を撮像する。カメラ２による１回の撮像で検査対象領域である基板９０全体を撮像してもよいし、基板９０の表面に対し平行に移動可能にカメラ２をＸＹ移動機構（図示せず）に取り付けて、撮像ポイントをＸＹ方向に移動させ複数回撮像して合成することで、基板９０全体の撮像画像を得てもよい。検査対象領域が基板９０の一部である場合には、その部分だけをカメラ２で撮像するようにしてもよい。

制御部３は、例えば公知のコンピュータであり、図示しないＣＰＵ（中央処理演算装置）、ＣＰＵの作業領域や一時記憶に用いられるＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ＣＰＵ動作用のプログラムや各種データを記憶するするハードディスク、外部インターフェース回路などで構成されている。ＣＰＵがプログラムに従って動作することで、外観検査装置１の動作を統括的に制御して、制御部３が基準点設定手段１１、分割手段１２、位置合わせ手段１３、検査手段１４、中心点選択手段２１、角部選択手段２２、及びマスター画像作成手段３１として機能する。又、一例としてコンピュータのハードディスクが、記憶部１０として機能する。

制御部３には、例えばキーボードやマウス、タッチパネルなどの操作部５が接続されている。又、制御部３には、画像を表示可能な液晶ディスプレイなどの表示部４が接続されている

次に、外観検査装置１の動作を、図２に示すフローチャートに従って説明する。

外観検査装置１が動作を開始すると、制御部３は、カメラ２に基板９０を撮像させて、その撮像画像データを記憶部１０に記憶させる（ステップＳ１）。次に、制御部３は、図示しない基板設計用ＣＡＤ（Computer Aided Design）から出力された基板９０のガーバーデータを読み込み、記憶部１０に記憶させる（ステップＳ２）。ガーバーデータは、本発明における設計データの一例であって、ガーバー、ガーバーフォーマットデータ、ガーバーファイルとも呼ばれ、基板９０の層ごとの銅パターンのデータや、部品面・半田面のレジスト、シルク等のデータや、ドリルデータ等を含むものであり、基板９０の製造用のデータとなる。基板設計用ＣＡＤで基板９０を設計することで、基板９０のガーバーデータが作成される。基板設計用ＣＡＤと外観検査装置１とのガーバーデータの受け渡しは、フレキシブルディスク、ＣＤ−Ｒ（コンパクト・ディスク・レコーダブル）、ＵＳＢ（ユニバーサル・シリアル・バス）メモリ等の情報記録媒体を介して行ってもよいし、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）、インターネットなどのネットワークを介して行ってもよい。なお、基板９０の撮像（ステップＳ１）よりも先に、ガーバーデータの読み込み（ステップＳ２）を行っておいてもよい。

次に、制御部３は、検査基準になるマスター画像を作成するために、記憶部１０から基板９０の撮像画像データを読み込んで表示部４に撮像画像を表示させると共に、記憶部１０からガーバーデータを読み込んで、ガーバーデータを画像化したガーバーデータ画像を表示部４に表示させる（ステップＳ３）。制御部３は、撮像画像とガーバーデータ画像とを、オペレータが目視で対比可能なように、上下、又は左右に並べて表示部４に表示させたり重ねて表示させたりするように、操作部５の操作で切替可能とすることが好ましい。又、制御部３は、操作部５の操作で、撮像画像やガーバーデータ画像の全体や任意の箇所を、任意の表示倍率で表示できるようにすることが好ましい。

制御部３は、マスター画像作成手段３１として機能して、ガーバーデータ画像から検査基準のマスター画像を作成する（ステップＳ４）。具体的には、ガーバーデータには、基板９０を製造するために、板層ごとの銅パターンデータなど種々のデータが含まれている。そのため、オペレータは、ガーバーデータ画像の中から、撮像画像を検査するために必要なデータ（画像）、つまり検査のために撮像画像と対比可能なデータ（画像）を、操作部５を操作して選択する。例えばオペレータは、基板９０の撮像面側の銅パターンデータ、レジストデータ、シルクデータ、ドリルデータの画像を選択する。選択するデータは、検査対象物により適宜変更する。ガーバーデータ画像中の１つ又は複数の何れのデータの画像を表示部４に表示させるかを、操作部５の操作で選択可能になっている。又、いずれのガーバーデータの画像を一番上にして重ね合わせるかといった、画像を重ね合わせる順番を操作部５の操作で選択可能になっている。表示部４には、基板９０の撮像画像が表示されているので、ガーバーデータ画像の中から何れのデータの画像を選べばよいか、オペレータは容易に判別できる。制御部３のマスター画像作成手段３１は、選択して選ばれたデータを重ね合わせたガーバーデータ画像をマスター画像として記憶部１０に記憶させる。

なお、ガーバーデータの種々のデータの中から何れを選んでマスター画像とするかを、オペレータの選択操作で行うのではなく、自動化してもよい。例えば、基板９０の部品面を検査するときには、ガーバーデータの中から部品面の銅パターンデータ、レジストデータ、シルクデータ、ドリルデータを選んでマスター画像とするというように、予め基板の面に対する必要なデータのテーブルを記憶部１０に記憶させておく。マスター画像作成手段３１は、記憶部１０のテーブルに基づき、基板９０の面に対応するデータだけをガーバーデータの中から選択し、マスター画像を作成して記憶部１０に記憶させる。データには、例えば、どのようなデータであるか判別可能なような名前を予め付けておいてもよいし、データ中にデータ種別の情報を含ませておいてもよい。基板９０の面は、例えばオペレータが操作部５の操作で入力してもよいし、撮像画像とガーバーデータとをパターンマッチング処理することで、マスター画像作成手段３１がいずれの面であるかを自動認識してもよい。

次に、制御部３の基準点設定手段１１により、撮像画像及びマスター画像の両画像の位置合わせ用に、両画像の対応し合う位置に、３点よりも多い複数の基準点を設定する（ステップＳ５：本発明における基準点設定ステップ）。具体的には、基準点設定手段１１が、例えば両画像の縮尺が等しくなるように、上下、左右、又は重ね合わせて表示部４に表示させる。オペレータが操作部５を操作して、画像の任意の箇所を基準点として選択する。基準点設定手段１１は、オペレータに選択された基準点の位置を記憶部１０に記憶させる。基準点は、画像中の位置を特定可能な箇所であればいずれの箇所に設定してもよい。例えば、パターンやシルクで描いた位置合わせ用の十字型、丸型、四角型、又は三角型の印の中心や、表面実装部品や穴挿入リード付きの部品の半田付け用のランド（パッド）やテストポイントの中心点、又は角部の頂点などのように、位置を特定可能な部位に設定する。ドリルの穴（ビア）や基板スリットなどの機械加工部分は加工精度が低いので、機械加工よりも位置精度を高く形成できるランドやパターン、シルクに基準点を設定するほうが好ましい。

図３に、基板９０の撮像画像５０に基準点Ｆｐを設定した例を図示する。同図では、基準点Ｆｐを、一例として×印で示しているが、点や丸印など任意の印で示してもよい。又、同図では、部品実装用やテストポイント用、シールド板取り付け用などのランド９１の中心に基準点Ｆｐを設定している例を示している。ランド９１にはレジスト９２が付されていないが、レジスト９２の付された例えばパターン９３の中心や角部の頂点に基準点Ｆｐを設定してもよい。基準点Ｆｐの数は多いほうが精度よく位置合わせできるため好ましいが、多いと演算処理時間がかかるため、パターン最小幅やパターン間最小クリアランス、基板９０のサイズなどから、必要な検査精度に応じて基準点Ｆｐの数を決める。又、基板９０のほぼ全体をカバーできるように、少なくとも基板９０の角部及び４辺の近くに基準点Ｆｐがあるように設定することが好ましい。

図４に、マスター画像６０に基準点Ｇｐを設定した例を図示する。図３の撮像画像５０で設定した複数の基準点Ｆｐに対応する同様の位置に基準点Ｇｐを設定する。なお、基板９０は面付けしていない１枚の基板であるが、基板９０が同種又は異種の基板を複数枚面付けして１枚の基板になっている面付け基板であってもよい。

基準点Ｆｐ及び基準点Ｇｐを、ランドやテストポイントのちょうど中心点や角部の頂点に、オペレータが手動で基準点を設定するのは難しい。そのため、基準点設定手段１１が、基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し輪郭に対する中心点を選択する中心点選択手段２１、及び／又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し輪郭の角部の頂点を選択する角部選択手段２２を備えることが好ましい。

図５に、中心点選択手段２１、及び角部選択手段２２の動作例を示す。オペレータは、操作部５を操作して、撮像画像５０やマスター画像６０の中の基準点Ｆｐ、Ｇｐの設定を行う任意のランド９１等の箇所を拡大して表示部４に表示させる。続いて操作部５の操作により中心点の選択処理が指示（実行）されると、中心点選択手段２１は、画像処理してランド９１の輪郭を抽出し、その輪郭の図形の中心点を演算して選択する（本発明における中心点選択ステップ）。中心点は例えば重心である。中心点選択手段２１は、中心点がどこであるかをオペレータが分かるように中心点表示Ｃを表示部４に表示する。オペレータは、操作部５を操作して、中心点表示Ｃを基準点Ｆｐ（基準点Ｇｐ）として設定する。

又、オペレータが操作部５の操作により角部の頂点の選択処理が指示されると、角部選択手段２２は、画像処理してランド９１の輪郭を抽出し、その輪郭の図形の角部の頂点がどこか算出して選択する（本発明における角部選択ステップ）。頂点は、輪郭が所定角度（例えば１７０度〜１０度）で折れ曲がっている箇所を算出する。角部選択手段２２は、頂点がどこであるかをオペレータが分かるように、この例では頂点表示Ｄ１、Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４のように表示部４に表示する。オペレータは、操作部５を操作して、Ｄ１〜Ｄ４の内の一つを基準点Ｆｐ（基準点Ｇｐ）として設定する。

図２のフローチャートに戻って説明を続けると、次に、制御部３の分割手段１２は、撮像画像５０を、基準点Ｆｐを頂点とする複数の三角形の領域に分割すると共に、マスター画像６０を、基準点Ｇｐを頂点とする複数の三角形の領域に分割する（ステップＳ６：本発明における分割ステップ）。

図６に、撮像画像５０を三角形の領域に分割した例を示す。撮像画像５０は、各基準点Ｆｐを頂点とする三角形Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，・・・Ａｎにより、メッシュ状に分割される。

図７に、マスター画像６０を三角形の領域に分割した例を示す。マスター画像６０は、各基準点Ｇｐを頂点とする三角形Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，・・・Ｂｎにより、メッシュ状に分割される。

分割手段１２は、例えば、公知のドロネー三角形分割により分割処理を行うことが好ましいが、他のアルゴリズムで分割処理を行ってもよい。分割手段１２は、分割した結果を記憶部１０に記憶させる。

次に、制御部３の位置合わせ手段１３は、撮像画像５０及びマスター画像６０の対応し合う三角形の領域（基準点Ｆｐ，Ｇｐ）が一致するように、各々の三角形の領域ごとに撮像画像５０又はマスター画像６０の補正処理をして、撮像画像５０とマスター画像６０との位置合わせを行う（図２に示すステップＳ７：本発明における位置合わせステップ）。

具体的には、例えばマスター画像６０を補正処理して撮像画像５０に位置合わせする場合、図８に示すように、三角形Ａ１に一致するように、三角形Ｂ１を補正処理（変形）して位置合わせを行う。同様に三角形Ａ２，Ｂ２、三角形Ａ３，Ｂ３、三角形Ａ４，Ｂ４、・・・三角形Ａｎ，Ｂｎを位置合わせする。このとき、位置合わせ手段１３は、三角形Ａ（Ａ１，Ａ２，・・・Ａｎ）及び三角形Ｂ（Ｂ１，Ｂ２，・・・Ｂｎ）の各頂点である基準点Ｆｐと基準点Ｇｐとの位置が一致するように補正処理を行う。

このように位置合わせすることで、基板９０の製造誤差や温度伸縮により、撮像画像５０とマスター画像６０とが全部又は部分的に位置ずれが生じていたとしても、両画像５０，６０の対応する位置を精度よく一致させることができる。

なお、基板９０の端部周辺の三角形Ａ、Ｂから外れている領域については、最も近い三角形Ａ，Ｂの補正処理に準じて補正処理を行うことが好ましい。検査に不要であれば、端部周辺について補正処理は行わずに位置合わせしてもよい。

位置合わせ手段１３は、撮像画像５０の三角形Ａと、マスター画像６０の三角形Ｂとの位置合わせの補正処理を、アフィン変換で行うことが好ましい。アフィン変換とは、ユークリッド幾何学的な拡大縮小，回転などの線型変換と平行移動の組み合わせによる画像の変形方式である。アフィン変換では、平行な直線は平行な直線に変換される。補正処理（変換）前の画像の座標を（ｘ，ｙ）とし、補正処理後の座標を（Ｘ，Ｙ）としたときに、アフィン変換は次式で表される。アフィン変換は公知であるので詳細については説明を省略する。

補正処理に射影変換を用いてもよいが、アフィン変換を用いた方が高速に演算処理することができ、検査時間を短縮することができる。

位置合わせ手段１３は、補正処理して位置を合わせしたマスター画像６０を記憶部１０に記憶させる。

位置合わせ手段１３は、位置合わせ処理して互いに重なり合った撮像画像５０及びマスター画像６０を表示部４に表示させる。

次に、制御部３の検査手段１４が、撮像画像５０と補正処理したマスター画像６０とを比較して、基板９０の外観検査を行う（図２のステップＳ８）。外観検査は、公知の方法で行うことができる。例えば、撮像画像５０のランド、パターン等の輪郭の位置と、マスター画像６０のランド、パターン等の輪郭の位置とを比較して、その差が所定の許容閾値範囲以内であれば良品であると判定し、所定の許容範囲外であれば不良であると判定する。検査手段１４は、表示部４に検査結果を表示する。不良個所がある場合、その箇所が判るように表示部４に表示させることが好ましい。又、検査手段１４は、記憶部１０に検査結果を記憶させて、後で確認できるようにすることが好ましい。不要であれば、記憶部１０に記憶させた撮像画像５０のデータ等を削除してもよい。

以上で、基板９０の外観検査が終了する。

同種の複数の基板９０を連続的に検査する場合、ガーバーデータは共通あり、基準点Ｆｐ、Ｇｐの位置も共通であるので、２枚目以降の基板９０については、図２のフローチャートのステップＳ１、ステップＳ７、及びステップＳ８を行えばよい。このとき、基準点設定手段１１は、２枚目以降の基板９０について、１枚目の基板９０で設定した基準点Ｆｐに対応する位置を、画像処理で自動的に検出して、基準点Ｆｐとして設定する。

なお、マスター画像作成手段３１によってガーバーデータからマスター画像６０を作成する例について説明したが、検査基準にすることができる画像であれば、どのような画像をマスター画像６０にしてもよい。例えば、検査基準になる製造品質の良い基板９０を撮像し、その撮像画像５０をマスター画像６０にしてもよい。

又、検査対象物が基板９０である例について説明したが、検査対象物はこれに限られず、工業製品等の各種製品、電気部品、機械部品等の各種部品、及び部品の素材など、種々の物を検査対象物としてもよい。

１は外観検査装置、２はカメラ、３は制御部、４は表示部、５は操作部、８は載置台、１０は記憶部、１１は基準点設定手段、１２は分割手段、１３は位置合わせ手段、１４は検査手段、２１は中心点選択手段、２２は角部選択手段、３１はマスター画像作成手段、５０は撮像画像、６０はマスター画像、９０はプリント配線板（基板）、９１はランド、９２はレジスト、９３はパターン、Ａ１・Ａ２・Ａ３・Ａ４・Ａｎは撮像画像５０をメッシュ状に分割した各三角形の領域、Ｂ１・Ｂ２・Ｂ３・Ｂ４・Ｂｎはマスター画像６０をメッシュ状に分割した各三角形の領域、Ｃは中心点表示、Ｄ１・Ｄ２・Ｄ３・Ｄ４は頂点表示、Ｆｐ・Ｇｐは基準点である。

Claims (8)

1. 検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査装置であって、
   該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に３点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定手段と、
   該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割手段と、
   該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、該両画像を位置合わせする位置合わせ手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
2. 前記位置合わせ手段が、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記基準点設定手段が、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択手段、及び／又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の外観検査装置。
4. 前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成手段を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の外観検査装置。
5. 検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査方法であって、
   該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に、３点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定ステップと、
   該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割ステップと、
   該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、両画像を位置合わせする位置合わせステップとを備えることを特徴とする外観検査方法。
6. 前記位置合わせステップが、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする請求項５に記載の外観検査方法。
7. 前記基準点設定ステップが、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し、該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択ステップ、及び／又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択ステップを備えることを特徴とする請求項５又は６に記載の外観検査方法。
8. 前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成ステップを備えることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載の外観検査方法。

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