TWI664422B - 圖像檢查裝置、生產系統、圖像檢查方法、圖像檢查用程式及記憶媒體 - Google Patents

Abstract

本發明係提供一種對於彩色圖像之檢測精度較高而且直通率較高、且用於判定處理之運算時間較快、並且初始設定容易且成本較低之圖像檢查裝置。

本發明之圖像檢查裝置1之特徵在於具備：攝影機構18，其將檢查對象拍攝成彩色圖像40；網格機構31，其將上述彩色圖像40劃分成網狀；預處理機構32，其將上述彩色圖像40轉換為特定之灰階；基準圖像記憶機構；判定機構34，其包含如下之模板匹配，即，對於藉由上述網格機構31及上述預處理機構32而劃分為上述網狀之複數個區分且轉換為上述特定之灰階之、由上述攝影機構18拍攝之檢查圖像40T及上述基準圖像40R，針對上述網狀之複數個區分各者，基於特定之參數而判定相似度；及介面機構30。

Description

圖像檢查裝置、生產系統、圖像檢查方法、圖像檢查用程式及記憶媒體

本發明係關於一種檢查安裝於電路基板之零件之狀態、電路基板之配線圖案、焊球、損傷、污漬等之圖像檢查裝置、具備該圖像檢查裝置之生產系統、圖像檢查方法、程式、及記憶有該程式之記憶媒體。

於電路基板之安裝檢查中，先前以來廣泛地進行三維(3D)圖像檢查。作為3D圖像檢查之機構，例如有使用雷射光者、投射疊紋光者、自複數個方向利用相機進行拍攝者等，但全部為初始設定之步驟數較多且設定要花費大量之勞力及時間。又，因印刷基板之印刷狀態之微小之變化或印刷基板之批次之不同而誤判定為不良品之情況亦較多，每當此時必須進行再調整，且該再調整需要較多之步驟數。進而，存在用於圖像檢查之運算亦變得複雜，且花費較長之檢查時間之問題。尤其是，於進行多品種少量生產之情形時，若初始設定等費工夫，則變為相比之下目視檢查更快之結果，而無法享有檢查自動化之優點。於少量生產中，亦存在當藉由回焊後之檢查發現安裝機中之問題時，生產已經結束之情況。於該情形時，於作為更前一步驟之回焊之前追加檢查裝置，而使對安裝機之反饋及早有效，但初始設定需要大量之步驟數，且難以追加成本較高之檢查裝置。

為了縮短檢查時間，亦對二維(2D)圖像檢查之採用進行了研究。如專利文獻1~專利文獻3所揭示般，提出有於2D圖像檢查中，將拍攝畫面 分割為複數個區分，針對各區分與成為基準之圖像進行比較而判定電路基板之良否之機構。

於專利文獻1中，揭示有如下機構：將印刷基板之拍攝圖像分割為複數個區分，並與對應於該區分且分別獨立地記憶於記憶部之基準圖像資料進行比較，而進行利用圖像處理之印刷基板之良否判定。於將圖像分割為各區分時，以印刷基板上之基準標記(fiducial mark)為基準而進行位置設定。良否之判定係擷取拍攝圖像與基準圖像資料之差分要素，並根據該差分要素之面積是否為預先設定之上限差分面積以下而進行。基準圖像資料係最初包含一個或複數個良品基板之取樣圖像，但隨著檢查進行而反映檢查結果地適當追加。

於專利文獻2中，揭示有如下機構：為了客觀地檢測宏觀級別之異常(例如，因基於成膜步驟中之條件之差異的對比度等成膜結果之逐次變化等而利用肉眼能夠觀察到之範圍內之異常)，將比較基準宏觀圖像及檢查對象宏觀圖像分別縱橫地分割為複數個區分並設定局部區域，對位置相互對應之各局部區域進行利用零均值歸一化互相關(ZNCC：Zero-mean Normalized Cross-Correlation)之圖像匹配。於專利文獻2中，該圖像匹配之結果為，算出各局部區域中之最小值以作為屬於定量之評估值之相似度。

於專利文獻3中，作為印刷基板中之導電性圖案等之外觀調查裝置，揭示有如下機構：藉由在將被分割成複數個之被檢查基板之圖像、與以同樣地對應之方式被分割之標準圖案圖像進行對比時，一面使標準圖案圖像相對性地移動，一面進行比較，而即便存在定位誤差亦能夠進行比較檢查。於被檢查基板之圖像與標準圖案圖像之比較中，於每個被分割之區分 使用經二值化之信號。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-051781號公報

[專利文獻2]日本專利特開2012-013644號公報

[專利文獻3]日本專利特公平06-021769號公報

於上述專利文獻1中所記載之圖像檢查裝置中，於將圖像分割為各區分時，以印刷基板上之基準標記為基準而進行位置設定，但難以完全地排除定位誤差，需要精密且昂貴之裝置。又，由於若零件之安裝位置存在偏移則會被判定為不良品，故而直通率(nonadjusted ratio)降低。進而，對於彩色圖像之判定處理未充分地進行研究，因此難以實現判定之精度之最佳化。

於上述專利文獻2中所記載之圖像檢查裝置中，未揭示對於運算負荷之對策，而有運算時間變長之虞。又，由於對於彩色圖像之判定處理未充分地進行研究，故而難以實現判定之精度之最佳化。

於上述專利文獻3中所記載之圖像檢查裝置中，雖然即便存在定位誤差亦能夠進行比較檢查，但是由於使用經二值化之信號，故而存在無法進行對於彩色圖像之準確之判定處理之問題。

因此，本發明之目的在於提供一種對於彩色圖像之檢測精度較高而且直通率較高、且用於判定處理之運算較快、並且初始設定較為容易、成本較低之圖像檢查裝置。

本發明之另一目的在於提供一種使用上述圖像檢查裝置之生產系統。

本發明之另一目的在於提供一種使用上述圖像檢查裝置之圖像檢查方法。

本發明之另一目的在於提供一種用於上述圖像檢查裝置之程式。

進而，本發明之另一目的在於提供一種記憶有上述程式之記憶媒體。

本發明之上述目的可藉由以下之構成而達成。即，本發明之第1態樣之圖像檢查裝置之特徵在於具備：攝影機構，其將檢查對象拍攝成彩色圖像；網格機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；預處理機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；基準圖像記憶機構，其將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；判定機構，其包含如下之模板匹配，即，對於藉由上述網格機構及上述預處理機構而劃分為上述網狀之複數個區分並且轉換為上述特定之灰階之、由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者基於特定之參數而運算相似度，且針對上述網狀之複數個區分各者於使基準圖像與檢查圖像相對性地移動之特定之搜尋範圍內搜尋上述相似度最高之位置；及 介面機構，其設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。

本發明之第2態樣之圖像檢查裝置係如第1態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：將上述彩色圖像藉由上述網格機構而劃分為上述網狀之複數個區分之後，藉由上述預處理機構而轉換為上述特定之灰階圖像。

本發明之第3態樣之圖像檢查裝置之特徵在於具備：攝影機構，其將檢查對象拍攝成彩色圖像；網格機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；預處理機構，其針對由上述網格機構劃分之網狀之複數個區分各者，將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；基準圖像記憶機構，其將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；判定機構，其包含如下之模板匹配，即，對於由上述網格機構劃分為網狀之複數個區分之後，藉由上述預處理機構針對上述複數個區分各者轉換為上述特定之灰階之、由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者，基於特定之參數而判定相似度；及介面機構，其設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。

本發明之第4態樣之圖像檢查裝置係如第1至第3之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述檢查對象係基板。

本發明之第5態樣之圖像檢查裝置係如第1至第4之任一態樣之圖像檢 查裝置，其特徵在於：上述圖像檢查裝置進而具備對檢查對象進行照明之照明機構。

本發明之第6態樣之圖像檢查裝置係如第1至第5之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：能夠對上述基準圖像進行編輯。

本發明之第7態樣之圖像檢查裝置係如第1至第6之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：使用複數個上述基準圖像。

本發明之第8態樣之圖像檢查裝置係如第1至第7之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述複數個區分各者具有與周圍之區分重疊之重疊區域。

本發明之第9態樣之圖像檢查裝置係如第1至第8之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：於上述預處理機構中，可藉由上述設定值而設定三原色之混合比率、色調曲線、階調及濾波器之至少1者。

本發明之第10態樣之圖像檢查裝置係如第1至第9之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：於上述判定機構中，可藉由上述參數而設定搜尋範圍、上述區分之重疊量及包含上述模板匹配之方法之至少1者。

本發明之第11態樣之圖像檢查裝置係如第1至第10之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：於上述判定機構中，包含上述模板匹配之方法係根據網格內之圖像之狀態而設定。

本發明之第12態樣之圖像檢查裝置係如第1至第11之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述判定機構進而根據平均亮度及/或灰階化後之標準偏差值之差而判定相似度。

本發明之第13態樣之圖像檢查裝置係如第1至第12之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：可將上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至 少1者設定為預設值。

本發明之第14態樣之圖像檢查裝置係如第1至第13之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述圖像檢查裝置進而具備設定檢查對象中之檢查範圍之機構。

本發明之第15態樣之圖像檢查裝置係如第14態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述檢查範圍之至少一部分可自動設定。

本發明之第16態樣之圖像檢查裝置係如第14或第15態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述檢查範圍之至少一部分係基於基板之CAD(Computer Aided Design，電腦輔助設計)資料而設定。

本發明之第17態樣之生產系統係如第1至第16之任一態樣之圖像檢查裝置，其特徵在於：上述基準圖像之至少一部分非由上述攝影機構拍攝之圖像，而是基於基板之CAD資料而產生者。

本發明之第18態樣之生產系統之特徵在於：具備第1至第17中任一態樣之圖像檢查裝置。

本發明之第19態樣之圖像檢查方法之特徵在於具備如下步驟：藉由攝影機構將檢查對象拍攝成彩色圖像；藉由網格機構將上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；藉由預處理機構將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；藉由包含如下之模板匹配之判定機構而判定相似度，即，對於藉由 上述網格機構及上述預處理機構而劃分為上述網狀之複數個區分且轉換為上述特定之灰階之、藉由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者於使基準圖像與檢查圖像相對性地移動之特定之搜尋範圍內搜尋上述相似度最高之位置；及設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。

本發明之第20態樣之圖像檢查方法之特徵在於具備如下步驟：藉由攝影機構將檢查對象拍攝成彩色圖像；藉由網格機構將上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；針對由上述網格機構劃分之網狀之複數個區分各者，藉由預處理機構將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；將由上述攝影機構拍攝且預先選定記憶藉為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；對於藉由上述網格機構而劃分為網狀之複數個區分之後，藉由上述預處理機構針對上述複數個區分各者轉換為上述特定之灰階之、由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者基於特定之參數，藉由包含模板匹配之判定機構而判定相似度；及設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。

本發明之第21態樣之圖像檢查用程式之特徵在於，其係於控制裝置之電腦上動作者，該控制裝置係以藉由圖像處理裝置或生產系統執行第19 或第20態樣之圖像檢查方法之方式控制該圖像處理裝置或生產系統。

本發明之第22態樣之圖像檢查用程式係如第21態樣之圖像檢查用程式，其特徵在於：進而具備追加之附加程式(add-in program)。

本發明之第23態樣之圖像檢查用程式係如第21或第22態樣之圖像檢查用程式，其特徵在於：能夠進而追加經模組化之檢查功能。

本發明之第24態樣之記憶媒體之特徵在於記憶有第21至第23之任一態樣之圖像檢查用程式。

根據本發明之第1態樣之圖像檢查裝置，由於具備網格機構、預處理機構及判定機構，故而對於彩色圖像之檢測精度較高而且直通率較高，並且能夠藉由並行處理而加快用於判定處理之運算。又，藉由將預先選定之成為基準之檢查對象之彩色圖像用作基準圖像，而初始設定較為容易。進而，藉由軟體之改良，而無需昂貴之裝置，因此能夠提供一種成本較低之圖像檢查裝置。

根據本發明之第2或第3態樣之圖像檢查裝置，由於能夠針對每個區分進行最佳之預處理，故而檢測精度更高而且能夠進而提高直通率。

根據本發明之第4態樣之圖像檢查裝置，能夠提供一種進行基板之圖像檢查之圖像檢查裝置。

根據本發明之第5態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由對檢查對象恰當地進行照明，而提高判定精度。

根據本發明之第6態樣之圖像檢查裝置，能夠將基準圖像最佳化。

根據本發明之第7態樣之圖像檢查裝置，能夠防止將零件之位置偏移判定為不良品，而提高直通率。

根據本發明之第8態樣之圖像檢查裝置，由於複數個區分之各者具有與周圍之區分重疊之重疊區域，故而能夠提高各區分之交界附近之判定精度。

根據本發明之第9態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由在預處理機構中，恰當地設定三原色之混合比率、色調曲線、階調及濾波器，而提高判定精度。

根據本發明之第10態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由在判定機構中，利用參數恰當地設定搜尋範圍、區分之重疊量及匹配方法，而提高判定精度。

根據本發明之第11態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由根據網格內之圖像之狀態而設定包含模板匹配之方法，而提高判定精度。

根據本發明之第12態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由在判定機構中進而加入使用平均亮度及/或灰階化後之標準偏差值之差之相似度之判定，以進而提高判定精度。

根據本發明之第13態樣之圖像檢查裝置，能夠藉由設為可將網格尺寸、設定值及參數設定為預設值，以進而簡化初始設定。

根據本發明之第14態樣之圖像檢查裝置，能夠恰當地設定檢查對象中之檢查範圍。

根據本發明之第15態樣之圖像檢查裝置，由於能夠將檢查對象中之檢查範圍自動化，故而能夠進而簡化初始設定。

根據本發明之第16態樣之圖像檢查裝置，由於能夠於檢查範圍之設定中使用基板之CAD資料，故而能夠準確且容易地進行檢查範圍之初始設定。

根據本發明之第17態樣之圖像檢查裝置，由於能夠將基於基板之CAD資料而產生之圖像用作基準圖像，故而能夠進而減少初始設定之步驟數。

根據本發明之第18態樣之生產系統，能夠提供一種發揮上述圖像檢查裝置之效果之生產系統。

根據本發明之第19態樣之圖像檢查方法，由於具備網格機構、預處理機構及判定機構，故而對於彩色圖像之檢測精度較高而且直通率較高，並且能夠藉由並行處理而加快用於判定處理之運算。又，藉由將預先選定之成為基準之檢查對象之彩色圖像用作基準圖像，而初始設定較為容易。進而，藉由軟體之改良，而無需昂貴之裝置，因此能夠提供一種成本較低之圖像檢查裝置。

根據本發明之第20態樣之圖像檢查方法，由於能夠針對每個區分進行最佳之預處理，故而檢測精度更高而且能夠進而提高直通率。

根據本發明之第21態樣之程式，能夠提供一種發揮上述圖像檢查方法之效果之程式。

根據本發明之第22態樣之程式，能夠藉由進而具備追加之附加程式，而恰當地進行例如對硬體之通信態樣之應對、對與I/O(Input/Output，輸入/輸出)之匹配之應對、及對生產系統中之序列發生器之通信之應對等。

根據本發明之第23態樣之程式，能夠藉由進而追加經模組化之檢查功能，而除外觀檢查以外，容易地追加例如條碼讀取、電阻色條檢查、尺寸計測、文字讀取、LED(Light Emitting Diode發光二極體)點亮檢查等功能。

根據本發明之第24態樣之記憶媒體，能夠提供一種發揮上述程式之效果之記憶媒體。

1‧‧‧圖像檢查裝置

1A‧‧‧圖像檢查裝置

1B‧‧‧圖像檢查裝置

1C‧‧‧圖像檢查裝置

1D‧‧‧圖像檢查裝置

1E‧‧‧圖像檢查裝置

1F‧‧‧圖像檢查裝置

1G‧‧‧圖像檢查裝置

10‧‧‧圖像檢查裝置本體

10A‧‧‧圖像檢查裝置本體

11‧‧‧滑台

12‧‧‧把手

13‧‧‧顯示燈

13A‧‧‧顯示燈

14‧‧‧第1基準塊

15‧‧‧第2基準塊

16‧‧‧第1可動塊

17‧‧‧第2可動塊

18‧‧‧相機

18a~18d‧‧‧相機

19‧‧‧LED照明

20‧‧‧基板

20R‧‧‧良品基板

20T‧‧‧測試基板

21‧‧‧原點

22‧‧‧滑台收容部

23‧‧‧擋塊

25‧‧‧PC本體

26‧‧‧顯示器

26A‧‧‧LCD監視器

27‧‧‧鍵盤

27A‧‧‧無線鍵盤

28‧‧‧滑鼠

28A‧‧‧無線滑鼠

30‧‧‧介面機構

31‧‧‧網格機構

32‧‧‧預處理機構

33‧‧‧基準圖像記憶機構

34‧‧‧判定機構

35‧‧‧圖像檢查程式

40‧‧‧彩色圖像

40R‧‧‧基準圖像

40T‧‧‧測試圖像

41‧‧‧網格

42‧‧‧一個網格

50‧‧‧標準

51‧‧‧寬鬆

52‧‧‧嚴格

53‧‧‧網格尺寸

54‧‧‧自動網格

55‧‧‧全設定

56‧‧‧清除

57‧‧‧監視器支臂

60‧‧‧預處理

61‧‧‧灰階化

62‧‧‧RGB平均

63‧‧‧RGB混合

64~66‧‧‧比率

67‧‧‧H(Hue，色相)

68‧‧‧S(Saturation，飽和度)

69‧‧‧V(Value，明度)

70‧‧‧對比度

71‧‧‧直線

72‧‧‧S字曲線

73‧‧‧減色

74‧‧‧濾波器

75‧‧‧高斯

76‧‧‧中值

77‧‧‧雜訊降低

80‧‧‧匹配條件

81‧‧‧搜尋範圍

82‧‧‧重疊量

83‧‧‧匹配方法

85‧‧‧判定基準

86‧‧‧一致率(%)

87‧‧‧亮度差(%)

88‧‧‧偏差誤差(%)

90‧‧‧生產系統

91‧‧‧印刷機

92‧‧‧印刷檢查裝置

93‧‧‧標準機

94‧‧‧異型機

95‧‧‧回焊前零件搭載檢查裝置

96‧‧‧回焊爐

97‧‧‧零件搭載檢查裝置

98‧‧‧目視檢查

99‧‧‧離線零件搭載檢查裝置

圖1係第1實施形態之圖像檢查裝置之外觀立體圖。

圖2係圖1之透視立體圖。

圖3係相機之拍攝範圍之說明圖。

圖4係圖像檢查裝置之方塊圖。

圖5A係劃分為網狀之複數個區分之前之基準圖像，圖5B係應用自動網格之後之基準圖像。

圖6A係對各網格之參數進行編輯中之基準圖像，圖6B係對各網格之參數進行編輯後之基準圖像。

圖7係判定結果顯示畫面。

圖8係網格參數數值之設定畫面。

圖9係生產系統之構成圖。

圖10係第2實施形態之圖像檢查裝置之外觀圖。

以下，參照圖式對本發明之實施形態之圖像檢查裝置進行說明。但是，以下所示之實施形態係例示用以將本發明之技術思想具體化之圖像檢查裝置者，並非將本發明特定於其等，而是亦能夠等效地應用於申請專利範圍所包含之其他實施形態之圖像檢查裝置。

[第1實施形態]

參照圖1~圖9對本發明之第1實施形態之圖像檢查裝置1進行說明。

首先，使用圖1~圖4對本發明之第1實施形態之圖像檢查裝置1之概 略構成進行說明。再者，圖1係本發明之第1實施形態之圖像檢查裝置1之外觀立體圖，圖2係圖1之透視立體圖，圖3係相機18a~18d之拍攝範圍之說明圖，圖4係圖像檢查裝置1之方塊圖。

<圖像檢查裝置1之概略構成>

圖像檢測裝置1係進行2D圖像檢查之裝置，包含圖像檢查裝置本體10及個人電腦本體(以下稱為「PC(Personal Computer，個人電腦)本體」)25。圖像檢查裝置本體10係大致長方體形狀，且於正面下部，設置有搭載成為檢查對象之基板20、並且能夠於基板20之取出位置(圖2之狀態)與收容位置(圖1之狀態)之間滑動之滑台11。又，於圖像檢查裝置本體10之正面上部設置有顯示燈13，能夠顯示基板之良否之判定結果。例如，設置有2個顯示燈13，一顯示燈藉由發綠色光而顯示基板為良品，另一顯示燈藉由發紅色光而顯示基板為不良品。於滑台11之正面側設置有供操作者為了使滑台11於取出位置與收容位置之間滑動而握持之把手12。

於圖像檢查裝置本體10中，設置有用以將滑台11固定於收容位置之擋塊23。例如，擋塊23係設置於滑台收容部22之側面之偏靠正面處的L字狀構件，擋塊之L字之一邊係藉由操作者能夠操作之螺釘，於鬆動螺釘之狀態下能夠旋轉地且於鎖緊螺釘之狀態下能夠固定地安裝於滑台收容部22之側面。藉此，擋塊之L字之另一邊係能夠於卡合於滑台11之卡合位置、與解除該卡合之解除位置之間旋轉移動180度。於將搭載有基板之滑台11固定於收容位置時，將擋塊23固定於卡合位置。另一方面，於為了裝卸基板而拉出滑台11時，使擋塊23對準解除位置。

於滑台11之上表面，為了將成為檢查對象之基板20定位於特定之位置而搭載，於與基板20之4邊對應之位置分別設置有第1基準塊14、第2基 準塊15、第1可動塊16、及第2可動塊17。於各塊體14~17之供基板20抵接之側之上方，將與各塊體14~17之長度方向正交之剖面為L字狀之槽口設置至相同之高度。基板20之4邊係藉由各槽口而被支持在特定之高度。藉由在觸碰基板20之下表面之位置視需要設置與各槽口對應之高度之支承銷，能夠將基板20之下表面支持於特定之高度。於基板20較薄之情形、或狹縫較多且產生彎曲之情形時，能夠藉由併用支承銷而將基板20保持為水平。

第1基準塊14及第2基準塊15為固定，將俯視時第1基準塊14之與基板20側面之抵接面和第2基準塊15之與基板20側面之抵接面相交之點設為基板20之原點21。於圖2中，設置於第1基準塊14與第2基準塊15相接之位置，但本發明並不限定於此。例如，本發明亦包含第1基準塊14及第2基準塊15自原點21離開之態樣。於該情形時，將俯視時第1基準塊14之基板抵接面之延長線、與第2基準塊15之基板抵接面之延長線之交點設定為基板20之原點21。

將基板20搭載於滑台11時，使基板20之4邊中之偏靠原點21之2邊抵接於第1基準塊14及第2基準塊15而定位。於該狀態下，使第1可動塊16及第2可動塊17移動至抵接於基板20之其他2邊，而將基板20支持於設置在各塊體14~17之槽口。由於第1可動塊16及第2可動塊17係由螺栓固定，故可藉由將該螺栓鬆開而使第1可動塊16及第2可動塊17移動至抵接於基板20之其他2邊，然後再次鎖緊螺栓，藉由各塊體14~17將基板20以完成定位之狀態固定。要鎖緊該螺栓，例如可使用六角扳手。

於圖像檢查裝置本體10之頂面內側，為了拍攝搭載於滑台11之基板20，設置有作為攝影機構之4台固定式相機18a~18d。相機18a~18d係拍 攝基板20之彩色圖像40者。於第1實施形態中，相機18a~18d設置有4台，但本發明並不限定於此，相機18a~18d之台數可為1台，亦可為複數台，例如可為6台。作為相機18a~18d，例如可使用1400萬像素之USB(Universal Serial Bus，通用串列匯流排)相機。又，作為相機18a~18d之透鏡，可使用景深較深之廣角透鏡。相對於此，於先前之圖像檢查裝置中多採用窄角透鏡，但由於窄角透鏡之景深較淺，故而難以使焦點對準於高度不同之所有零件。因此，於使用窄角透鏡之相機18之情形時，必須一面藉由三軸機器人使相機18移動，一面於高度方向上使相機移動而使焦點對準於各零件同時進行拍攝，因此存在移動機構變得複雜之問題、移動時之振動之問題、所獲得之圖像之倍率調整之問題等。由於在第1實施形態之相機18a~18d中採用廣角透鏡，故而能夠一次拍攝較廣之範圍，又，光學分辨率例如為40μm/pexel。又，只要以高度最低之零件為基準而設定焦點，則能夠獲得對於大致所有高度之零件均具有焦點之狀態之彩色圖像40。因此，由於相機18a~18d為固定式，且亦無需光圈，故而於相機中無可動部，為低成本且高壽命，並且亦能夠實現小型化。

於搭載於基板20之零件中有若干顏色之偏差。又，於藉由標準機93、異型機94等(參照圖9)置件機(mounter)，將零件搭載於基板20時亦存在於搭載位置產生若干偏差之情況。於圖像檢查中，若使相機18a~18d之光學分辨率高至所需以上，則有極微小之偏差被進行不良判定而直通率降低之虞。又，關於下述LED照明19，亦為若使用色再現度高至所需以上之照明，則有極微小之偏差被進行不良判定而直通率降低之虞。因此，於第1實施形態之圖像檢查裝置本體10中，作為相機18a~18d及LED照明19，並非使用FA(Factory Automation，工廠自動化)專用品，而是使用通 用之USB相機及通常之照明。

由於存在藉由廣角透鏡拍攝所得之圖像彎曲為球面狀之情況，故而理想為藉由實施霍夫(Hough)轉換或仿射轉換等圖像處理，而修正圖像之變形。又，於替換基板20之情形時，難以嚴格地保持原點21之位置，因此藉由擷取彩色圖像40上之複數個特徵點，而將各彩色圖像40之原點21對準校正。

4台相機18a~18d係以能夠無遺漏地拍攝例如330mm×250mm之大小之M尺寸之基板20之整體的方式排列為縱2行、橫2行。各相機18a~18d之拍攝範圍係如圖3所示般以如下方式設定，即，為完全包含基板20之範圍，且包含相互重合之區域。

於相機18a~18d與基板20之間之圖像檢查裝置本體10之內部，於4面內壁分別各設置有1個、合計4個平板型LED照明19以作為照明機構。LED照明19係白色之面狀光源，且正面及背面之LED照明19係朝向基板20傾斜地配光，兩側面之LED照明19係朝相對於側面垂直之方向配光。設置於兩側面之LED照明19係設置於較設置於正面及背面之LED照明19距基板20更近之位置(更低之位置)。藉由如此恰當地設定各LED照明19之配光，並且控制各LED照明19之亮度，能夠利用相機18a~18d拍攝無陰影及反光之彩色圖像。

於PC本體25中，設置有顯示器26、鍵盤27及滑鼠28以作為介面機構30。又，PC本體25係經由電源纜線而自商用電源(省略圖示)供電，並且藉由例如USB纜線而與圖像檢查裝置本體10連接。於PC本體25中，安裝有圖像檢查程式35，具備網格機構31、預處理機構32、基準圖像記憶機構33、及判定機構34之功能。又，PC本體25進行相機18a~18d之設定及 控制，並處理拍攝所得之彩色圖像。進而，PC本體25能夠藉由控制各LED照明19，而利用相機18a~18d拍攝無陰影及反光之彩色圖像。操作者一面觀察顯示器26所顯示之圖像，一面使用鍵盤27及滑鼠28進行各種設定及圖像檢查。又，對基板20進行圖像檢查所得之判定結果係顯示於顯示器26，並且亦顯示於顯示燈13。再者，於圖1中例示有筆記型電腦以作為PC本體25，於筆記型電腦之情形時，顯示器26及鍵盤27係一體地設置於PC本體25。又，作為PC本體25，例如亦可為平板終端，於平板終端之情形時，可省略鍵盤27及滑鼠28。

於PC本體25中，理想為採用具有複數個處理器核心之多核心處理器。於多核心處理器中，各處理器核心基本上獨立，因此各處理器核心能夠不受另一處理器核心之影響地操作。藉由利用多核心處理器進行並行處理，能夠使運算速度提高。核心之數量只要為2個以上即可，由於核心之數量越多則能夠同時進行越多之運算，故而能夠進而提高運算速度。圖像檢查程式35係以使多核心處理器進行並行處理之方式被編程。於圖像檢查程式35中，針對每個網格進行預處理及模板匹配，因此並行處理所帶來之運算速度提高之效果較佳。又，於本發明中，並非限定於多核心處理器，只要為於PC本體中能夠進行並行處理者即可，例如亦可採用多處理器。

根據圖像檢查裝置本體10之規格，而相機18a~18d之規格、台數及配置不同，又，LED照明19之規格、個數及配置不同。因此，藉由根據圖像檢查裝置本體10之規格進行圖像檢查程式35之初始設定，能夠相對於多種規格之圖像檢查裝置本體10共用圖像檢查程式35。該初始設定理想為於圖像檢查裝置1之出貨前預先進行。

<基板20之圖像檢查之順序>

其次，對基板20之圖像檢查之順序進行說明。

首先，進行作為良品基板20R之彩色圖像40之基準圖像40R之獲取。若點選顯示於顯示器26之良品基板20R之拍攝開始按鈕，則PC本體25與圖像檢查裝置本體10成為通信狀態，PC本體25成為能夠控制相機18a~18d及LED照明19，並接收來自相機18a~18d之圖像資料之狀態。操作者準備事先已確認為良品之良品基板20R，並將良品基板20R搭載於滑台11。當操作者抓持把手12，並將滑台11推入至滑台收容部22之裏側時，檢查裝置本體10之電源成為接通，LED照明19點亮。4台相機18a~18d依序、即自相機18a開始且其次以相機18b、相機18c、相機18d之順序，拍攝良品基板20R之特定之區域，拍攝所得之基準圖像40R之資料被發送至PC本體25，並記憶於基準圖像記憶機構33。於各相機18a~18d之拍攝時，亦能以良品基板20R之相當於各相機18a~18d之拍攝範圍之部分之照明為最佳之方式控制各LED照明19。若4台相機18a~18d之拍攝全部結束，則於顯示器26顯示良品基板20R之基準圖像40R之獲取結束之意旨。此處，點選顯示器26所顯示之通信停止按鈕而停止PC本體25與圖像檢查裝置本體10之通信。再者，此處對4台相機18a~18d依序拍攝良品基板20R之態樣進行了說明，但本發明並不限定於此，亦可設為4台相機18a~18d中之複數個相機同時拍攝，還可設為所有相機同時拍攝。

其次，對良品基板20R之基準圖像40R，使用網格機構31及預處理機構32，進行檢查詳細設定。若自顯示器26所顯示之4個基準圖像40R之中利用滑鼠選擇欲設定之基準圖像40R，則顯示對應於詳細設定用畫面之基準圖像40R。

於本發明之圖像檢查中，於檢查範圍整體映射有特定之像素尺寸之 網格，對各網格進行預處理之後，以網格單位進行基準圖像40R與測試圖像40T之模板匹配，藉此檢測不良部位。於匹配中，除了可自針對每個網格所預先預設之3種參數、即「標準[1]」、「寬鬆[2]」及「嚴格[3]」之3種參數選擇所需者以外，亦可選擇「自檢查對象去除[0]」設定。於初始設定狀態下，應用有藉由系統之自動判定而於所需部位配置標準[1]參數之網格之「自動網格」，但除此以外，可選擇所有網格為標準參數設定之「全設定」及將所有網格自檢查對象去除之「清除」，進而，亦可手動地調整各網格之參數。例如於選擇全設定之情形時，藉由手動地將無需檢查部分設為自檢查對象去除之[0]設定而完成設定，又，於選擇清除之情形時，手動地於需要檢查之部分設定3種參數。由於能夠如此進行手動之參數之調整，故而可首先將檢查對象部位全部預先設定為標準[1]，並根據實際之生產中之檢查結果，逐漸局部地變更為寬鬆[2]或嚴格「3」而設為最佳之設定。

由於無論選擇自動網格、全設定、清除之哪一種方法，其後之手動之網格之設定方法均共通，故而此處使用圖5及圖6對選擇自動網格之後手動地設定網格之方法進行說明。再者，圖5A係劃分為網狀之複數個區分之前之基準圖像40R，圖5B係應用自動網格之後之基準圖像40R，圖6A係對各網格之參數進行編輯中之基準圖像40R，圖6B係對各網格之參數進行編輯後之基準圖像40R。

若對圖5A之劃分為網狀之複數個區分之前之基準圖像40R應用自動網格，則如圖5B般藉由系統之自動判定而於需要之部位配置標準[1]參數之網格。於圖6A中表示藉由滑鼠28之操作而提高顯示倍率後之狀態。若藉由滑鼠28之操作而選擇欲進行參數之設定變更之部分並確定區域，則顯 示上下文菜單(context menu)。若藉由滑鼠28之操作自該菜單之中選擇標準[1]、寬鬆[2]、嚴格[3]、或自檢查對象去除之[0]參數，則所選擇之區域內之所有網格被變更為該被選擇之參數。若反覆進行此種手動之變更，而完成所期望之編輯，則藉由點選顯示器26所顯示之OK(確定)按鈕，而使詳細設定完成(參照圖6B)。再者，除使用預設值之設定以外，亦可如下所述般變更網格機構31、預處理機構32、及判定機構34之詳細設定(參照圖8)。

其次，實施基板檢查。若點選顯示器26所顯示之檢查基板20T之拍攝開始按鈕，則PC本體25與圖像檢查裝置本體10成為通信狀態，PC本體25成為能夠控制相機18a~18d及LED照明19，並接收來自相機18a~18d之圖像資料之狀態。操作者將檢查基板20T搭載於滑台11。當操作者抓持把手12並將滑台11推入至滑台收容部22之裏側時，檢查裝置本體10之電源成為接通，而LED照明19點亮。4台相機18a~18d依序、即自相機18a開始且其次以相機18b、相機18c、相機18d之順序，拍攝檢查基板20T之特定之區域，拍攝所得之測試圖像40T之資料被發送至PC本體25。於各相機18a~18d之拍攝時，亦可以檢查基板20T之相當於各相機18a~18d之拍攝範圍之部分之照明為最佳之方式控制各LED照明19。再者，此處，對4台相機18a~18d依序拍攝檢查基板20T之態樣進行了說明，但本發明並不限定於此，亦可設為4台相機18a~18d中之複數個相機同時拍攝，還可設為所有相機同時拍攝。

4張測試圖像40T依序被實施檢查。各測試圖像40T係藉由在利用網格機構31及預處理機構32進行圖像處理之後，利用判定機構34，進行與基準圖像記憶機構33中所記憶之基準圖像40R之模板匹配，而進行良否之 判定。良否之判定不僅對應於零件之不良，而且為安裝檢查所必需地亦應對於焊球、損傷、污漬等。若實施4張測試圖像40T之檢查且於所有檢查中均判斷為良品，則與「ding dong」之聲音一起顯示燈13點亮為綠色，於顯示器26顯示檢查已完成之意旨，而對操作者報告檢查基板20T為良品。操作者拉出滑台，更換為下一檢查基板20T並繼續進行檢查。若所有檢查基板20T之檢查結束，則點選顯示器26所顯示之通信停止按鈕，而PC本體25與圖像檢查裝置本體10之通信停止，檢查完成。

於在4張測試圖像40T中之任一者之檢查中判定為不良品之情形時，藉由與「BuBuu」之聲音一起顯示燈13點亮為紅色，且於顯示器26顯示不良部位(參照圖7)，而對操作者報告檢查基板20T存在為不良品之可能性，並且檢查被中斷。於顯示器26中，顯示藉由網格41映射之測試圖像40T，並且於不良判定部分顯示紅色之矩形(參照圖7)。又，亦可藉由滑鼠28之操作，將測試圖像40T放大至所期望之倍率。進而，亦可於畫面之左上，對於不良判定部分之放大圖像將基準圖像40R與測試圖像40T並排地彩色顯示。

此時，於大部分檢查部位被進行不良判定之情形時，例如存在滑台11未被推入至裏側、檢查基板20T反向地搭載於滑台11、第1可動塊16或第2可動塊17鬆動而檢查基板20T偏移、或者LED照明19未點亮等可能性，因此操作者重新將檢查基板20T搭載至滑台11。

於不良部位為數個至數十個之情形時，操作者進行測試圖像40T之目視檢查。能夠藉由滑鼠28之操作將畫面放大，並切換測試圖像40T與基準圖像40R而進行確認。又，作為另一目視調查之方法，亦可將不良判定部位依序、手動地變更為良品判定。於藉由將利用滑鼠28選擇之網格之測試 圖像40T與基準圖像40R並列地放大顯示，而判斷為良品之情形時，能夠藉由鍵盤之操作將所選擇之網格之判定變更為良品判定。若進行該操作，則下一不良判定部位被自動地選擇。若重複進行此種操作，而最終將所有網格變更為良品判定，則該測試圖像40T整體被變更為良品判定，並自動地移行至下一測試圖像40T之檢查。

其次，對將檢查設定最佳化之方法進行說明。為了提高直通率，針對檢查作業中易被誤判定為不良判定之部位或零件，必須重新考慮檢查設定。例如，於亦可不檢查鋁電解電容器等零件之表面之印字部分之情形時，變更為自檢查對象去除之[0]、或寬鬆[2]參數。又，例如，於基準圖像40R之零件偏移之情形時，可局部地更換基準圖像40R。藉由在測試圖像40T上利用滑鼠28選擇欲更換之部分，並顯示上下文菜單，選擇「更換基準圖像」，而利用測試圖像40T上之被選擇之部分之圖像覆寫基準圖像40R之對應之部分。進而，例如，關於無極性之零件之反向安裝，於由於印字之朝向與基準圖像40R不同，而錯誤地進行不良判定之情形時，可以藉由將印字部分與反向圖像混合而不論為哪一朝向均進行良品判定之方式進行變更。藉由在測試圖像40T上利用滑鼠28選擇欲混合之部分，並顯示上下文菜單，選擇「與基準圖像混合」，而測試圖像40T上之被選擇之部分被混合至基準圖像40R之對應部分。又，亦可將基準圖像40R更換為測試圖像40T。於該情形時，既可自4張基準圖像40R之中將1張更換為對應之測試圖像40T，亦可將4張基準圖像40R之全部更換為測試圖像40T。

第1實施形態之圖像檢查裝置1係基板20之檢查裝置，不僅可用於安裝零件之狀態之檢查，而且亦可用於基板20之印刷配線圖案之檢查、防水及絕緣用塗層之範圍之檢查等。於防水及絕緣用塗層之範圍之檢查之情形 時，利用藉由照射黑光燈而塗佈劑之塗佈範圍發光之性質。

<關於網格參數數值之詳細設定>

除使用預設值之設定以外，亦可變更與網格機構31、預處理機構32、及判定機構34相關之網格參數數值之詳細設定。網格參數數值係針對每個網格而設定。使用圖8，對網格參數數值之詳細設定進行說明。再者，圖8係網格參數數值之設定畫面。

作為預設值，可自標準50、寬鬆51、及嚴格52之3個參數之中選擇，且根據該參數，而設定有預處理60、匹配條件80、及判定基準85等多個網格參數數值。圖8表示選擇標準50作為預設值之情形時之各網格參數數值。

網格尺寸53係以像素(Pixel)單位表示1個網格之大小者。若網格尺寸53較小則判定變得嚴格，若網格尺寸53較大，則判定有變為寬鬆之傾向，於圖8中設定為20像素。網格尺寸53理想為3像素以上。自動網格54、全設定55、及清除56係如上所述般於選擇檢查對象範圍時所使用者。自動網格54係於初始設定狀態下所選擇者，藉由系統之自動判定而將所需部位之網格設定為標準50。全設定55係將全部網格設定為標準50。又，清除56係將全部網格自檢查對象去除。

預處理60中有灰階化61、對比度70、及濾波器74之設定項目。於灰階化61中，可自RGB(Red Green Blue，紅綠藍)平均62、RGB混合63、H(Hue，色相)67、S(Saturation，飽和度)68及V(Value，明度)69之中選擇1個。RGB平均62係將RGB各者之亮度進行平均所得者。RGB混合63係將RGB各者之亮度以0~1之數值之比率64~66混合而成者。H67係將色相之值設為亮度值者。S68係將飽和度之值設為亮度值者。V69係將強度之 值設為亮度值者。

對比度70之3個項目、直線71、S字曲線72、及減色73係利用0至10之整數而規定，不使用0之項目。直線71係直線性對比度增強，S字曲線72係使用S字曲線之對比度增強，減色73係利用階調減法方法而進行之對比度增強。

濾波器74之3個項目、高斯75、中值76、及雜訊降低77係利用0至10之整數而規定，不使用0之項目。高斯75係利用高斯濾波器而進行之平滑化，且係藉由使邊緣變得平滑而降低雜訊者。中值76係利用中值濾波器而進行之平滑化，且係降低粒狀雜訊者。雜訊降低77係保持有輪廓之雜訊去除，且係降低因殘留邊界線且使圖像模糊而產生之雜訊者。

匹配條件80係成為判定之條件之參數，包含搜尋範圍81、重疊量82、及匹配方法83。搜尋範圍81係每個以像素(Pixel)作為單位之網格之偏移之最大容許量。於進行模板匹配時，使測試畫面40T相對於基準畫面40R移動，而搜尋一致率為最高之位置。搜尋範圍81係使測試圖像40T移動之最大範圍。重疊量82係以像素(Pixel)作為單位之網格彼此之重疊量。匹配方法83係選擇用於模板匹配之演算法者，例如為選自AUTO(Automatic，自動)-1、AUTO-2、ZNCC、NCC(Normalized Cross-Correlation，歸一化互相關)、CC(Cross Correlation，互相關)、SSD(Sum of Squared Difference，平方差之和)、SAD(Sum of Absolute Difference，絕對差之和)者。AUTO-1係根據網格內之對比度而自複數個用於模板匹配之演算法之中自動選擇者，且係設為嚴格之設定者。AUTO-2係根據網格內之對比度而自複數個用於模板匹配之演算法之中自動選擇者，且係設為標準之設定者。ZNCC係零均值歸一化互相關方法。 NCC係將匹配值歸一化為-1~1之歸一化互相關方法。CC係以2張圖像間之關聯作為相似度之互相關匹配方法，SSD係使用相同位置之像素之亮度值之差之平方之合計的方法。SAD係使用相同位置之像素之亮度值之差之絕對值之合計的方法。再者，於ZNCC中，能夠吸收平均亮度變動。

於判定基準85中，作為判定方法，可指定一致率(%)86、亮度差(%)87、及偏差誤差(%)88之3種方法之採用(選中)、不採用(不選中)、以及於採用之情形時之設定值(%)。一致率(%)86係模板匹配之一致率之閾值，一致率係1.0(100%)為完全一致。亮度差(%)87係網格內平均亮度差之最大容許量。偏差誤差(%)88係網格內亮度標準偏差值之差之最大容許值。

雖於圖8中被省略，但亦可設為可設置初始值參數設定按鈕，並將當前之設定值設為自下次起之初始值。

<關於生產系統90>

使用圖9，對使用圖像檢查裝置1之生產系統90進行說明。再者，圖9係生產系統90之構成圖。

基板20係藉由在焊料印刷機91、標準機93、異型機94、及回焊爐96中依序被處理，而於基板20焊接零件。於焊料印刷機91中，於基板20中之要焊接零件之位置印刷膏狀之焊料。於標準機93中，將標準零件搭載於基板20之特定之位置。於異型機94中，將異型零件搭載於基板20之特定之位置。於回焊爐96中，使基板20通過高溫爐，而對基板20焊接零件。作為回焊爐96之加熱方法，例如有紅外線方式、熱風方式、氣相焊接(VPS；Vapor Phase Soldering)方式。

於生產系統90中，於各處理裝置91、93、94、96之後，設置有複數 個圖像檢查裝置92、95、97、99，而能夠及早發現不良品，並且實現對前段之處理裝置91、93、94、96之及早反饋。於焊料印刷機91之後段，設置有焊料印刷檢查裝置92，於異型機94之後段設置有回焊前零件搭載檢查裝置95，於回焊爐96之後段設置有3D焊料及零件搭載檢查裝置97，最後設置有檢查員之目視檢查98、及離線零件搭載檢查裝置99。無需設置該等圖像檢查裝置92、95、97、99之全部，可選擇必須者。

第1實施形態之圖像檢查裝置1尤其有用的是作為回焊前零件搭載檢查裝置95及/或離線零件搭載檢查裝置99設置。於回焊前零件搭載檢查裝置95中，能夠於回焊焊接之前判別零件之搭載不良等之不良，因此無需進行修理，並且能夠對印刷機91、標準機93及異型機94及早反饋。作為回焊前零件搭載檢查裝置95，難以配置昂貴之檢查裝置或設定需要較長時間之檢查裝置，但由於本發明之圖像檢查裝置1其設定簡單且成本較低，並且檢測精度較高且直通率較高，故而若採用作為回焊前零件搭載檢查裝置95，能夠獲得較佳之效果。此處，於將圖像檢查裝置1作為回焊前零件搭載檢查裝置95而組裝至生產系統90時，只要追加自動地進行圖像檢查裝置1中之將基板20對滑台11搭載、及將基板20自滑台11取出之裝置，便能夠藉由如下所述般謀求將圖像檢查程式35與生產系統10之序列發生器匹配，而將生產系統10自動化。再者，亦可配置用以操作圖像檢查裝置1之操作者，而設為手動地進行生產系統10中之檢查之一部分。

又，若採用本發明之圖像檢查裝置1作為離線零件搭載檢查裝置99，則設定簡單且成本亦較低，並且檢測精度較高且直通率較高，因此尤其於多品種少量生產之生產系統中發揮較佳之效果，而且作為基板修理後之確認檢查亦有效。藉此，能夠減輕檢查員之目視檢查98之負擔，並且省略昂 貴且設定需要較長時間之3D焊料及零件搭載檢查裝置97。

<第1實施形態之作用及效果>

由於圖像檢查裝置本體10中無複雜之構成，相機18a~18d為固定式，且相機18a~18d中亦無需光圈，故而不僅有斷線或故障之部位較少之優點，而且圖像檢查裝置本體10之製造較為容易，並且能夠抑制成本。例如，可使用USB相機及通常之照明，而並非FA用相機或FA用照明。又，於I/O用中無需序列發生器，可由IO板(Input and Output board，輸入輸出板)代替。利用具備廣角透鏡之固定式之4台USB相機，僅藉由分別各拍攝基板20一次便能夠獲得彩色圖像40，能夠於短時間內完成基板20之拍攝。藉由採用廣角透鏡，能夠使景深變深，因此能夠不受零件之高度之影響，且恰當地拍攝基板20之較廣之範圍。於本實施形態之例中，能夠針對M尺寸(330mm×250mm)之基板20，進行0.6mm×0.3mm之尺寸之晶片(0603晶片)之檢查，但藉由變更相機之數量或規格，能夠應對各種尺寸之基板20。又，藉由恰當地控制在圖像檢查裝置本體10之4面內壁分別各設置有1個、合計4個之平板型LED照明19之各者之亮度，能夠獲得無陰影及反光之彩色圖像。

作為PC本體25，無需FA用PC，可使用通用PC。若採用多核心處理器搭載之PC，則能夠藉由設為在圖像檢查程式35中能夠進行並行處理，而大幅度改善運算速度。由於針對每個網格進行預處理及模板匹配，故而並行處理所帶來之運算速度之改善效果較佳。

由於基準圖像40R之設定較為簡單，故而尤其適於進行多品種少量生產之生產系統。能夠將利用相機18a~18d拍攝良品基板20R所獲得之彩色圖像40用作基準圖像40R。雖然必須針對每個網格進行預處理及模板匹配 之設定，但可藉由選擇自動網格54，而藉由系統之自動判定於需要之部位配置標準[1]50參數之網格。此外，亦可選擇全部網格變為標準[1]50參數設定之全設定55、及將全部網格自檢查對象去除之[0]清除56，又，於該選擇之後，除了可自針對每個網格所預先預設之3種參數、即「標準[1]」、「寬鬆[2]」及「嚴格[3]」之3種參數選擇所需者以外，亦可選擇「自檢查對象去除之[0]」設定。藉由使用預設之3種參數，能夠容易地進行每個網格之詳細設定。進而，除了使用預設值之設定以外，亦可變更與網格機構31、預處理機構32、及判定機構34相關之網格參數數值之詳細設定。

由於針對每個網格進行預處理，藉由預處理中之圖像處理而獲得恰當之灰階，並基於灰階進行模板匹配，故而檢測精度較高而且直通率較高，並且能夠藉由利用多核心處理器進行並行處理而提高用於判定處理之運算速度。又，由於能夠根據各網格之狀態，而自複數種用於模板匹配之演算法之中恰當地進行選擇，故而能夠使檢測精度更高而且使直通率更高。例如於選擇AUTO-1或AUTO-2之情形時，根據網格內之對比度而自複數個用於模板匹配之演算法之中自動選擇。

第1實施形態之圖像檢查裝置1係於生產系統90中，尤其是於設為回焊前零件搭載檢查裝置95及/或離線零件搭載檢查裝置99時有效。於回焊前零件搭載檢查裝置95中，由於能夠於回焊焊接之前辨別零件之搭載不良等不良故而變得無需修理，並且能夠對印刷機91、標準機93及異型機94進行及早反饋。又，由於若採用本發明之圖像檢查裝置1作為離線零件搭載檢查裝置99，則設定較為簡單且成本亦較低、而且檢測精度較高且直通率較高，故而尤其是於多品種少量生產之生產系統中發揮較佳之效果，而 且作為基板修理後之確認檢查亦有效。藉此，能夠減輕檢查員之目視檢查98之負擔，並且省略昂貴且設定需要較長時間之3D焊料及零件搭載檢查裝置97。

[第2實施形態]

參照圖10對本發明之第2實施形態之圖像檢查裝置1A進行說明。對與圖1~圖9共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。再者，圖10係第2實施形態之圖像檢查裝置1A之外觀圖。

第2實施形態之圖像檢查裝置1A係於將PC本體25組裝至圖像檢查裝置本體10A而設為單體全備型(all in one type)之方面與第1實施形態之圖像檢查裝置1不同。於圖像檢查裝置本體10A之內部組裝有PC本體25，於圖像檢查裝置本體10A之上部經由監視器支臂57而安裝有LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)監視器26A。又，於圖像檢查裝置本體10之正面上部設置有顯示燈13A，變得能夠顯示基板之良否之判定結果。例如，設置有3個顯示燈13A，包含藉由發藍色光而顯示檢查準備完成者、藉由發綠色光而顯示基板為良品者、及藉由發紅色光而顯示基板為不良品者。

作為介面機構30，不僅設置有LCD監視器26A，而且設置有無線鍵盤27A及無線滑鼠28A。關於滑台11、擋塊23、相機18a~18d、及LED照明等構成，由於與第1實施形態相同，故而省略其說明。

根據第2實施形態之圖像檢查裝置1A，由於為單體全備型，故而於圖像檢查裝置本體10A中組裝有PC本體25及LCD監視器26A，而無需另外設置PC本體25。操作者一面觀察LCD監視器26A所顯示之圖像，一面使用附屬之無線鍵盤27A及無線滑鼠28A，進行各種設定及圖像檢查。由於無 需另外設置PC本體25，故而無需利用USB纜線將PC本體25與圖像檢查裝置本體10A連接，並且亦無需將PC本體25用之電源纜線連接於商用電源，因此可省略配線。

[第3實施形態]

對本發明之第3實施形態之圖像檢查裝置1B進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第3實施形態之圖像檢查裝置1B係於自動網格54時、及/或基準圖像40R之獲取時利用基板20之CAD資料之方面與第1實施形態之圖像檢查裝置1不同。

首先，對在自動網格54時利用基板20之CAD資料之方法進行說明。於第1實施形態中，若選擇自動網格54，則藉由系統之自動判定而於需要之部位配置標準[1]參數之網格，但於第3實施形態中設為於PC本體25預先記憶有基板20之CAD資料，於系統之自動判定時，系統能夠利用基板20之CAD資料。為了使PC本體25記憶基板20之CAD資料，例如，可經由通信網路而讀入CAD資料，或者亦可設為使可移記憶體記憶CAD資料。由於利用CAD資料，故而能夠準確地判定需要檢查之部位及無需檢查之部位，因此能夠更準確地配置標準[1]參數之網格。進而，亦可設為不僅設定標準[1]參數，而且利用CAD資料，判斷特定之零件之有無或配線圖案之狀態等，並由系統自動判定標準[1]、寬鬆[2]或嚴格「3」之各參數，而於各網格設定各參數。

亦可於選擇自動網格54之後手動地設定網格，但於設定該利用手動之網格時亦可有效利用CAD資料。例如，能夠一面藉由使基準圖像40R與利用CAD資料而描繪之基板20之圖像切換顯示，而對比觀察兩畫面以進行確認，一面藉由手動而更恰當地設定標準[1]、寬鬆[2]或嚴格「3」之各 參數。

其次，對在基準圖像40R之獲取時利用基板20之CAD資料之方法進行說明。於第1實施形態中，獲取利用相機18a~18d拍攝良品基板20R所得之彩色圖像40以作為基準圖像40R，但亦可將該基準圖像40R之一部分或全部更換為利用CAD資料所描繪之基板20之圖像。藉由利用滑鼠28於利用CAD資料所描繪之基板20之圖像上選擇欲更換之部分，並使上下文菜單顯示，選擇「更換基準圖像」，而利用CAD資料之圖像上之被選擇之部分之圖像改寫基準圖像40R之對應之部分。

又，於欲將利用CAD資料所描繪之基板20之圖像與基準圖像40R混合之情形時，藉由利用滑鼠28於CAD資料之圖像上選擇欲混合之部分，並使上下文菜單顯示，選擇「與基準圖像混合」，而CAD資料之圖像上之被選擇之部分被混合至基準圖像40R之對應部分。進而，亦可將基準圖像40R更換為CAD資料之圖像。於該情形時，既可自4張基準圖像40R之中將1張更換為對應之CAD資料之圖像，亦可將4張基準圖像40R全部更換為CAD資料之圖像。由於能夠藉由使用CAD資料而使基準圖像40R更接近於理想之圖像，故而變得進而提高了檢測精度而且能夠提高直通率。例如，於基板20之配線圖案之檢查等中，將CAD資料用作基準圖像40R有效。

再者，關於第3實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第3實施形態之圖像檢查裝置1B中亦可包含第2實施形態之態樣。

[第4實施形態]

對本發明之第4實施形態之圖像檢查裝置1C進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第4實施形態之圖像檢查裝置1C係於使用複數個基準圖像40R之方面與第1實施形態之圖像檢查裝 置1不同。

於第1實施形態之圖像檢查裝置1中，基準圖像40R為1個，因此於良品基板20R存在複數種之情形時，有直通率降低之虞。於第1實施形態中，藉由將基準圖像40R之一部分混合，而應對例如關於無極性之零件之反向安裝，由於印字之朝向與基準圖像40R不同，故而錯誤地進行不良判定之情形，但亦可能存在根據複數個良品圖像之態樣，僅藉由基準圖像之混合無法應付之情形。因此，於本實施形態之圖像檢查裝置1C中，具有複數個基準圖像記憶機構33，且藉由預先記憶複數個基準圖像40R、或者藉由預先記憶複數個至少基準圖像40R之特定之一部分，而提高直通率。基於第1基準圖像40R進行檢查，於判定為良品之情形時結束檢查，但於判定為不良之情形時，基於第2基準圖像40R再次進行檢查。藉由如此基於複數個基準圖像40R反覆進行檢查，而於對於任一基準圖像40R判斷為良品之情形時，基板20被判斷為良品，僅於對於所有基準圖像40R均判定為不良之情形時，基板20被判斷為不良，藉此可改善直通率。

關於記憶有複數個基準圖像40R之特定之一部分之情形，首先基於第1基準圖像40R進行圖像整體之檢查，於判定為良品之情形時結束檢查，但於判定為不良之情形時，僅針對圖像之特定之一部分基於第2基準圖像40R再次進行檢查。藉由如此針對圖像之特定之一部分基於複數個基準圖像40R反覆進行檢查，而於對於任一基準圖像40R判斷為良品之情形時基板20被判斷為良品，僅於對於所有基準圖像40R均判定為不良之情形時基板20被判斷為不良，藉此可改善直通率。

再者，關於第4實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第4實施形態之圖像檢查裝置1C中亦可亦包含第2至第3實施形態之態 樣。

[第5實施形態]

對本發明之第5實施形態之圖像檢查裝置1D進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第5實施形態之圖像檢查裝置1D係於相機之台數及配置之方面與第1實施形態之圖像檢查裝置1不同。

首先，對利用單軸機器人使將複數台相機18配置成一行而成者移動之態樣進行說明。於第1實施形態中，使用4台固定相機18a~18d，但於拍攝更大之基板20之情形時，必須增加相機之台數。因此，為了減少相機18之台數，能夠藉由利用單軸機器人使將複數台、例如3台相機等間隔地配置成一行而成者向與相機18之配置方向正交之方向移動，而擴大相機18之拍攝範圍。即，能夠藉由使相機18於處於初始位置之狀態下進行拍攝之後，利用單軸機器人使相機18移動至特定之位置並進行拍攝，且反覆進行該操作，而擴大相機18之拍攝範圍。與固定相機18a~18d相比，必須設置利用單軸機器人之相機18之可動機構，但由於單軸機器人之構造簡單，故而抑制了裝置之大型化或複雜化之後能夠謀求藉由減少相機之數量而產生之成本之降低。

此處，對使用能夠使相機18向X方向(橫向)移動之單軸機器人之例進行了說明，但亦可代替單軸機器人，而使用能夠使相機18於X方向(橫向)及Y方向(縱向)上移動之二軸機器人、或能夠使相機18於X方向(橫向)、Y方向(縱向)及Z方向(高度方向)上移動之三軸機器人。於採用二軸機器人或三軸機器人之情形時，相機18之台數並不限定於複數台，亦可為一台。又，於採用三軸機器人之情形時，能夠根據零件之高度使相機18向高度方 向移動，因此能夠使用定焦點相機18而獲取最佳之圖像。

其次，對利用多關節型臂機器人使1台相機18移動之態樣進行說明。與固定相機18之情形、或利用單軸、二軸、三軸機器人使相機18移動之情形不同，於利用多關節型臂機器人使相機18移動之情形時，能夠自由地設定相機18之拍攝位置、姿勢及角度，因此雖為二維之圖像檢查裝置1D，但能夠實現疑似與三維之圖像檢查裝置相同之圖像檢查。由於能夠於各種位置，獲取所期望之姿勢及角度之圖像，故而可實施不僅檢測精度更高而且直通率亦更高之檢查。

再者，關於第5實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第5實施形態之圖像檢查裝置1D中亦可亦包含第2至第4實施形態之態樣。

[第6實施形態]

對本發明之第6實施形態之圖像檢查裝置1E進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第6實施形態之圖像檢查裝置1E之圖像檢查程式35係於進而具備追加之附加程式之方面與第1實施形態之圖像檢查裝置1不同。

於圖像檢查程式35中，初始設定、網格處理、預處理及模板匹配等全部以完成應用之形式組裝。因此，圖像檢查程式35係即便對於規格不同之圖像檢查裝置本體10，亦能夠藉由根據例如相機之台數、相機之種類、裝置之尺寸等調整初始設定值而應對。於圖像檢查裝置1E係以一組之形式提供圖像檢查裝置本體10及圖像檢查程式35之情形時，於出貨時圖像檢查程式35之初始設定完成。

於將圖像檢查裝置1E組裝至既有之生產系統時，能夠藉由對於作為 完成應用之圖像檢查程式35追加附加程式而應對。例如，於謀求與生產系統之硬體之通信形態之匹配之情形時、謀求與生產系統之I/O之匹配之情形時、或者謀求與生產系統之序列發生器之匹配之情形時，能夠藉由追加之附加程式而應對。

再者，關於第6實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第6實施形態之圖像檢查裝置1E中亦可包含第2至第5實施形態之態樣。

[第7實施形態]

對本發明之第7實施形態之圖像檢查裝置1F進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第7實施形態之圖像檢查裝置1F之圖像檢查程式35係於檢查功能被模組化，且能夠僅選擇並採用必需之檢查功能之方面與第1實施形態之圖像檢查裝置1不同。

圖像檢查程式35具備進行基板20之外觀檢查之功能，該外觀檢查功能被模組化。作為除外觀檢查以外之功能，例如，條碼讀取功能、電阻色條檢查功能、尺寸計測功能、文字讀取功能、LED點亮檢查功能等功能被模組化，能夠僅將必需之功能模組組裝至圖像檢查程式35。藉由各檢查功能被模組化，不僅能夠僅選擇所期望之檢查功能，而且亦能夠追加於圖像檢查裝置1F之導入後變為必需之功能。

再者，關於第7實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第7實施形態之圖像檢查裝置1F中亦可包含第2至第6實施形態之態樣。

[第8實施形態]

對本發明之第8實施形態之圖像檢查裝置1G進行說明。對與圖1~圖10共通之構成標註相同之符號，並省略其說明。第8實施形態之圖像檢查裝置1G係於應用於除基板20之檢查以外之用途之方面與第1實施形態之圖 像檢查裝置1不同。

首先，對將圖像檢查裝置1G應用於醫療現場、或護理現場之態樣進行說明。存在為了不使被護理者自床掉落、或者不使其採取不恰當之姿勢，而利用束縛用具將被護理者束縛於床上之情形，但若能夠隨時監視被護理者之姿勢，於其採取不恰當之姿勢之情形時進行報告，則能夠期待能夠降低利用束縛用具束縛被護理者之頻度之效果。因此，應用本發明之圖像檢查裝置1G，以能夠拍攝床整體之方式設置相機18，記憶被護理者之恰當之姿勢以作為基準圖像40R，以特定之時間間隔，利用相機18拍攝被護理者之狀態而獲取測試圖像40T。然後，針對每個網格相對於基準圖像40R藉由模板匹配而判定測試圖像40T，藉此可每隔特定之時間間隔判斷被護理者之姿勢是否恰當，並於被護理者之姿勢為不良之情形時，報告至護理者。若將相機18設為紅外線相機，則即便於床處於較暗之環境之情形時，亦能夠判定被護理者之姿勢。

其次，對將圖像檢查裝置1G應用於用以防犯之監視相機之態樣進行說明。將本發明應用於防犯相機，設置拍攝監視區域之整體之相機18，自利用相機18拍攝所得之圖像之中記憶無侵入者之狀態之圖像以作為基準圖像40R，以特定之時間間隔，藉由相機18拍攝監視區域而獲取測試圖像40T。然後，針對每個網格相對於基準圖像40R藉由模板匹配而判定測試圖像40T，藉此可每隔特定之時間間隔判斷於監視區域中是否存在侵入者，於在監視區域中有侵入者之情形時，對監視者報告侵入者之存在。若將相機18設為紅外線相機，則即便於監視區域處於較暗之環境之情形時，亦可恰當地判定侵入者之存在。

進而，對將圖像檢查裝置1G應用於用以防止獸害之監視相機之態樣 進行說明。將本發明應用於用以防止獸害之監視相機，設置拍攝監視區域之整體之相機18，自利用相機18拍攝所得之圖像之中記憶不存在害獸之狀態之圖像以作為基準圖像40R，以特定之時間間隔，藉由相機18拍攝監視區域而獲取測試圖像40T。然後，針對每個網格相對於基準圖像40R藉由模板匹配而判定測試圖像40T，藉此可每隔特定之時間間隔判斷於監視區域中是否存在害獸，於在監視區域中存在害獸之情形時，對監視者報告害獸之存在。又，亦能夠設為於判定為害獸存在之情形時，藉由自動地驅動警報機構，而趕走害獸。又，若將相機18設為紅外線相機，則即便於監視區域較暗之情形時，亦可恰當地判定害獸之存在。

再者，關於第8實施形態，對其與第1實施形態之差進行了說明，但於第8實施形態之圖像檢查裝置1G中亦可包含第2至第7實施形態之態樣。

Claims (24)

1. 一種圖像檢查裝置，其特徵在於具備：攝影機構，其將檢查對象拍攝成彩色圖像；網格機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；預處理機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；基準圖像記憶機構，其將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；判定機構，其包含如下之模板匹配：對於藉由上述網格機構及上述預處理機構而劃分為上述網狀之複數個區分並且轉換為上述特定之灰階而且由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者基於特定之參數而運算相似度，且針對上述網狀之複數個區分各者於使基準圖像與檢查圖像相對性地移動之特定之搜尋範圍內搜尋上述相似度為最高之位置；及介面機構，其設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。
2. 如請求項1之圖像檢查裝置，其中將上述彩色圖像藉由上述網格機構而劃分為上述網狀之複數個區分之後，藉由上述預處理機構而轉換為上述特定之灰階圖像。
3. 一種圖像檢查裝置，其特徵在於具備：攝影機構，其將檢查對象拍攝成彩色圖像；網格機構，其將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；預處理機構，其針對藉由上述網格機構劃分之網狀之複數個區分各者，將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；基準圖像記憶機構，其將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；判定機構，其包含如下之模板匹配：對於由上述網格機構劃分為網狀之複數個區分之後藉由上述預處理機構針對上述複數個區分各者轉換為上述特定之灰階而且由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者基於特定之參數而判定相似度；及介面機構，其設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。
4. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述檢查對象係基板。
5. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述圖像檢查裝置進而具備對檢查對象進行照明之照明機構。
6. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其能夠對上述基準圖像進行編輯。
7. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中使用複數個上述基準圖像。
8. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述複數個區分各者具有與周圍之區分重疊之重疊區域。
9. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中於上述預處理機構中，可藉由上述設定值而設定三原色之混合比率、色調曲線、階調及濾波器之至少1者。
10. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中於上述判定機構中，可藉由上述參數而設定搜尋範圍、上述區分之重疊量及包含上述模板匹配之方法之至少1者。
11. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中於上述判定機構中，包含上述模板匹配之方法係根據網格內之圖像之狀態而設定。
12. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述判定機構進而根據平均亮度及/或灰階化後之標準偏差值之差而判定相似度。
13. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中可將上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者設定為預設值。
14. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述圖像檢查裝置進而具備設定檢查對象中之檢查範圍之機構。
15. 如請求項14之圖像檢查裝置，其中上述檢查範圍之至少一部分可自動設定。
16. 如請求項14之圖像檢查裝置，其中上述檢查範圍之至少一部分係基於基板之CAD資料而設定。
17. 如請求項1至3中任一項之圖像檢查裝置，其中上述基準圖像之至少一部分非由上述攝影機構拍攝之圖像，而是基於基板之CAD資料而產生者。
18. 一種生產系統，其特徵在於具備請求項1至17中任一項之圖像檢查裝置。
19. 一種圖像檢查方法，其特徵在於具備如下步驟：藉由攝影機構將檢查對象拍攝成彩色圖像；藉由網格機構將上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；藉由預處理機構將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；藉由包含如下之模板匹配之判定機構而判定相似度，即，對於藉由上述網格機構及上述預處理機構而劃分為上述網狀之複數個區分且轉換為上述特定之灰階而且由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者在使基準圖像與檢查圖像相對性地移動之特定之搜尋範圍內搜尋上述相似度為最高之位置；及設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。
20. 一種圖像檢查方法，其特徵在於具備如下步驟：藉由攝影機構將檢查對象拍攝成彩色圖像；藉由網格機構將上述彩色圖像基於指定之網格尺寸而劃分為網狀之複數個區分；針對由上述網格機構劃分之網狀之複數個區分各者，藉由預處理機構將由上述攝影機構拍攝之上述彩色圖像基於設定值而轉換為特定之灰階圖像；將由上述攝影機構拍攝且預先選定為基準之檢查對象的上述彩色圖像記憶為基準圖像；對於藉由上述網格機構而劃分為網狀之複數個區分之後藉由上述預處理機構針對上述複數個區分各者轉換為上述特定之灰階而且由上述攝影機構拍攝之檢查圖像及上述基準圖像，針對上述網狀之複數個區分各者基於特定之參數，藉由包含模板匹配之判定機構而判定相似度；設定上述網格尺寸、上述設定值及上述參數之至少1者，並且報告判定結果。
21. 一種圖像檢查用程式，其特徵在於，其係於控制裝置之電腦上動作者，該控制裝置係以藉由圖像處理裝置或生產系統執行請求項19或20之圖像檢查方法之方式控制該圖像處理裝置或生產系統。
22. 如請求項21之圖像檢查用程式，其進而包括追加之附加程式。
23. 如請求項21或22之圖像檢查用程式，其能夠進而追加經模組化之檢查功能。
24. 一種記憶媒體，其特徵在於記憶有請求項21至23中任一項之圖像檢查用程式。