JP2015037166A - レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 - Google Patents
レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015037166A JP2015037166A JP2013169151A JP2013169151A JP2015037166A JP 2015037166 A JP2015037166 A JP 2015037166A JP 2013169151 A JP2013169151 A JP 2013169151A JP 2013169151 A JP2013169151 A JP 2013169151A JP 2015037166 A JP2015037166 A JP 2015037166A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- hardened layer
- chamber
- ashing
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【課題】基板ダメージを低減しつつ、パーティクル発生を抑制し、スループットを向上する。
【解決手段】レジストRをマスクとして、基板Subに元素をイオン注入する工程S02と、酸素プラズマによるイオンエッチングによりレジストRの表面に形成された硬化層R1をアッシングする硬化層除去工程S03と、硬化層のアッシング後に、酸素ラジカルにより前記レジストの残部をアッシングする残部除去工程S04とを有し、イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03とを連続して外気に暴露されない中でおこなう。
【選択図】図1
【解決手段】レジストRをマスクとして、基板Subに元素をイオン注入する工程S02と、酸素プラズマによるイオンエッチングによりレジストRの表面に形成された硬化層R1をアッシングする硬化層除去工程S03と、硬化層のアッシング後に、酸素ラジカルにより前記レジストの残部をアッシングする残部除去工程S04とを有し、イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03とを連続して外気に暴露されない中でおこなう。
【選択図】図1
Description
本発明は、レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置に関し、特に、半導体装置等の製造分野等におけるイオン注入によって表層部が変質・硬化し難灰化性となったレジストを灰化し除去する技術に用いて好適な技術に関する。
一般に、半導体のウェハプロセスにおいて、デバイス構造を形成するための選択的エッチングや局所的なイオン注入のためのマスク材として広く感光性樹脂であるフォトレジスト(レジスト)が用いられる。このレジストは主に炭素と水素から構成される有機物とされ、マスク処理終了後に除去される。
レジスト除去には、一般には酸素プラズマや酸素ラジカル、オゾン等を使用し、酸素の酸化作用を利用したドライ処理により酸化、灰化するアッシングによる除去方法があり、この際、レジストを放電や紫外線照射等により活性化した酸素に曝露し、その酸化作用により水蒸気、二酸化炭素、一酸化炭素等の気体にして灰化除去がおこなわれる。
レジスト除去には、一般には酸素プラズマや酸素ラジカル、オゾン等を使用し、酸素の酸化作用を利用したドライ処理により酸化、灰化するアッシングによる除去方法があり、この際、レジストを放電や紫外線照射等により活性化した酸素に曝露し、その酸化作用により水蒸気、二酸化炭素、一酸化炭素等の気体にして灰化除去がおこなわれる。
一方、レジストがイオン注入のマスクとして使用された場合、注入されたイオンによりフォトレジストの表面側が変質・硬化して硬化層となり、この硬化層がアッシングによっては除去が困難になり、著しく処理効率が低下する。
具体的には、前記変質したフォトレジストの硬化層を通常の灰化温度である150〜250℃に昇温すると、フォトレジスト下部の未変質層から発生する有機溶媒の蒸気により表面の変質層(硬化層)が破裂する。
この破裂により、サイズの大きいフレーク状のパーティクルとなって飛散する現象(ポッピング)が見られ、結果的にウェーハを汚染することが知られている。
具体的には、前記変質したフォトレジストの硬化層を通常の灰化温度である150〜250℃に昇温すると、フォトレジスト下部の未変質層から発生する有機溶媒の蒸気により表面の変質層(硬化層)が破裂する。
この破裂により、サイズの大きいフレーク状のパーティクルとなって飛散する現象(ポッピング)が見られ、結果的にウェーハを汚染することが知られている。
このようなイオン打ち込み後に生じた硬化層が表面側に形成されたレジストの剥離方法として、酸素プラズマのイオン衝撃により硬化層の灰化をおこなうものが提案されている(特許文献1)。
また、レジストのうち変質層をイオンにより除去し、非変質層についてはラジカルを利用してアッシングする方法もある(特許文献2,3,4)。
また、レジストのうち変質層をイオンにより除去し、非変質層についてはラジカルを利用してアッシングする方法もある(特許文献2,3,4)。
上記のようにレジストのうち変質層をイオンにより除去し、非変質層についてはラジカルを利用してアッシングする以外に、除去力を向上した手法を採用するとレジスト以外のイオン注入部等に悪影響を及ぼすおそれがあり、また、除去力を低下させて、イオン注入部等への悪影響を低下させると、処理効率が低下してしまう。
さらに、除去力を向上した場合には、処理工程が増える、または、処理装置が複雑になり、調整に手間が掛かる、という問題がある。
さらに、除去力を向上した場合には、処理工程が増える、または、処理装置が複雑になり、調整に手間が掛かる、という問題がある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、基板ダメージを低減しつつ、パーティクル発生を抑制し、スループットを向上できるレジスト除去方法を提供するという目的を達成しようとするものである。
本願発明者らは、レジストの硬化層を除去する際に、除去処理に伴って、イオン注入工程でドーパントを注入した基板のドープ領域に対するダメージを低下することが必要であり、このためには、除去処理における条件の柔軟化が必要であり、この目的には、硬化層除去困難性が増加しないこと、つまり、硬化層のアッシング耐性が上昇しなければよいと発想した。この思想に基づいて、発明者らは、レジストに対して、イオンドープ後の状態に起因する硬化層の除去困難性の変化に注目した。
基板に形成したレジストに対するリンドープをおこない、このドープ処理後に、レジストを載置する雰囲気条件を、大気中、真空中、および放置する時間(日)を変化させて、その後に硬化層および残部の除去処理をおこない、そのトータル時間を測定した。なお比較のため、ドープ処理をしなかったノンドープのレジストも同様に除去処理をおこない、そのトータル時間を測定した。
その結果を表1に示す。
その結果を表1に示す。
この結果から、ドープ直後に比べて、大気中に暴露し、放置するとその時間が長ければ長いほど、硬化層の除去困難性が上昇することがわかる。
この知見に基づき、発明者らは本発明を完成した。
この知見に基づき、発明者らは本発明を完成した。
本発明のレジスト剥離方法は、被処理基板上にレジストを形成する工程Aと、
前記レジストをマスクとして、前記基板に元素をイオン注入する工程Bと、
酸素プラズマを用いたイオンエッチング法により前記レジストの表面に形成された硬化層をアッシング法により除去する工程Cと、
前記硬化層を除去した後に、酸素ラジカルを用いたアッシング法により前記レジストの残部を除去する工程Dとを有し、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなうことにより上記課題を解決した。
本発明において、前記工程Bと前記工程Cとが1つのチャンバ内においてなされることがより好ましい。
本発明は、前記工程Cにおいて、前記基板側に印加するバイアス電力を、前記工程Bよりも小さく設定することが可能である。
また、本発明のレジスト剥離装置は、上記のレジスト剥離方法をおこなうレジスト剥離装置において、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなう構成を備えた手段を採用することもできる。
本発明の前記構成は、前記工程Bと前記工程Cとを続けて処理可能なチャンバであることや、前記構成は、前記基板側にバイアス電力を印加する手段を有することが可能である。
前記レジストをマスクとして、前記基板に元素をイオン注入する工程Bと、
酸素プラズマを用いたイオンエッチング法により前記レジストの表面に形成された硬化層をアッシング法により除去する工程Cと、
前記硬化層を除去した後に、酸素ラジカルを用いたアッシング法により前記レジストの残部を除去する工程Dとを有し、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなうことにより上記課題を解決した。
本発明において、前記工程Bと前記工程Cとが1つのチャンバ内においてなされることがより好ましい。
本発明は、前記工程Cにおいて、前記基板側に印加するバイアス電力を、前記工程Bよりも小さく設定することが可能である。
また、本発明のレジスト剥離装置は、上記のレジスト剥離方法をおこなうレジスト剥離装置において、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなう構成を備えた手段を採用することもできる。
本発明の前記構成は、前記工程Bと前記工程Cとを続けて処理可能なチャンバであることや、前記構成は、前記基板側にバイアス電力を印加する手段を有することが可能である。
本発明のレジスト剥離方法は、被処理基板上にレジストを形成する工程と、
前記レジストをマスクとして、前記基板に元素をイオン注入する工程と、
酸素プラズマによるイオンエッチングにより前記レジストの表面に形成された硬化層をアッシングする硬化層除去工程と、
前記硬化層のアッシング後に、酸素ラジカルにより前記レジストの残部をアッシングする残部除去工程とを有し、
前記イオン注入工程と前記硬化層除去工程とを連続して外気に暴露されない中でおこなうことにより、レジストの硬化層における除去困難性が増大する前に処理をおこなって硬化層を容易に除去することが可能となり、これにより、イオン注入工程でドーパントを注入した基板のドープ領域に対するダメージを低減した状態で、レジストの除去を低コストで効率的におこなうことができる。
前記レジストをマスクとして、前記基板に元素をイオン注入する工程と、
酸素プラズマによるイオンエッチングにより前記レジストの表面に形成された硬化層をアッシングする硬化層除去工程と、
前記硬化層のアッシング後に、酸素ラジカルにより前記レジストの残部をアッシングする残部除去工程とを有し、
前記イオン注入工程と前記硬化層除去工程とを連続して外気に暴露されない中でおこなうことにより、レジストの硬化層における除去困難性が増大する前に処理をおこなって硬化層を容易に除去することが可能となり、これにより、イオン注入工程でドーパントを注入した基板のドープ領域に対するダメージを低減した状態で、レジストの除去を低コストで効率的におこなうことができる。
本発明によれば、大気に暴露した硬化層における除去困難性の上昇を防止して、硬化層が容易に除去可能となり、これにより、イオン注入工程でドーパントを注入した基板のドープ領域に対するダメージを低減した状態で、レジストの除去を低コストで効率的におこなうことができるという効果を奏することができる。
以下、本発明に係るレジスト剥離方法の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態におけるレジスト剥離方法を示すフローチャートであり、図2は、本実施形態における処理工程を示す断面図であり、図3は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式断面図であり、図において、符号10は、レジスト剥離装置である。
図1は、本実施形態におけるレジスト剥離方法を示すフローチャートであり、図2は、本実施形態における処理工程を示す断面図であり、図3は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式断面図であり、図において、符号10は、レジスト剥離装置である。
本実施形態におけるレジスト剥離方法は、被処理基板Sub上にレジストRを形成するレジスト形成工程(工程A)S01と、レジストRをマスクとして、基板Subに元素をイオン注入するイオン注入工程(工程B)S02と、酸素プラズマを用いたイオンエッチングによってレジストRの表面に形成された硬化層R1を除去する硬化層除去工程S03(工程C)と、硬化層R1の除去後に、酸素ラジカルを用いてレジストRの変質していない残部R2をアッシングする残部除去工程S04(工程D)とを有し、イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03とを連続して外気に暴露されない減圧雰囲気中(F)でおこなうものである。
ここで、本発明における減圧雰囲気中とは、基板Subをその雰囲気中に維持したときに、硬化層R1の除去困難性がほとんど増大しない状態を意味し、具体的には、1000Pa〜1×10−4Pa程度の範囲とすることができ、または、Ar,N2といったガス雰囲気とすることもできる。
本実施形態において、イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03とをおこなう減圧雰囲気中(F)とは、硬化層R1がこれらの工程S02〜S03の間、連続して外気に暴露されないとともに、上述した硬化層R1における除去困難性を増大させない環境を維持することを意味するものである。
本実施形態におけるレジスト剥離方法は、図1に示したステップS01として、図2(a)に示すように、基板Subに形成されたレジストRに、図1に示したステップS02のイオン注入工程として、図2(b)に示すように、例えばリンPとされるイオンドープをおこなって、基板Subにドープ領域Dを形成する。このとき、レジストRにはその表面側に硬化層R1が形成される。
続いて、図1に示したステップS03の硬化層除去工程として、図2(c)に示すように、インサイチュ(in situ)として酸素プラズマにより硬化層R1を除去する。
その後、図1に示したステップS04の残部除去工程として、図2(d)に示すように、陽イオン及び電子を含まない酸素ラジカルによってレジストの残部R2を除去する。
続いて、図1に示したステップS03の硬化層除去工程として、図2(c)に示すように、インサイチュ(in situ)として酸素プラズマにより硬化層R1を除去する。
その後、図1に示したステップS04の残部除去工程として、図2(d)に示すように、陽イオン及び電子を含まない酸素ラジカルによってレジストの残部R2を除去する。
本実施形態におけるレジスト剥離方法は、例えば、図3に示した上方からガスを導入して下方の基板へ成膜するデポダウン型の平行平板プラズマCVD装置10を使用して実施できる。図において、符号11はガスボンベ等のガス源12a,12bに接続されたガス導入系12と、真空ポンプに接続された排気系13を有するチャンバを示す。
チャンバ11内には2個の平板状の電極14,15が平行して上下に設けられ、その上方の電極14にこれに高周波電力を与える高周波電源16aを接続し、下方の電極15にこれにバイアス電力を与えるバイアス電源16bを接続し、下方の電極15上に成膜処理される基板Subが搭載される。
チャンバ11内には2個の平板状の電極14,15が平行して上下に設けられ、その上方の電極14にこれに高周波電力を与える高周波電源16aを接続し、下方の電極15にこれにバイアス電力を与えるバイアス電源16bを接続し、下方の電極15上に成膜処理される基板Subが搭載される。
該上方の電極14をその前面にシャワープレート18を備えた中空の電極で構成し、その中空部19に該ガス導入系12を接続して該中空部19内へ導入した反応ガスを該シャワープレート18に形成した多数のガス噴出口18aからチャンバ11内へ均一に噴出させるようにした。また、下方の電極15は基板Subを加熱するヒーターとしての機能を具備する。ガス導入系12には、イオン注入をおこなう際に供給されるイオンドープ用ガス源12aと、酸素エッチング用の酸素ガス等の酸素エッチング用ガス源12bとが具備されており、これらのガスを切り替えて導入可能とされている。
高周波電源16aから例えば工業用周波数13.56MHz等の高周波電力を投入して両電極14,15間にプラズマを発生させるとともに、電極15には、バイアス電源16bから400kHz程度のバイアス電力を印加し、電極15上の基板Subが所定温度となるように制御した状態とする。また、チャンバ11内を真空に排気し、該ガス導入系12から処理用ガスを流すと、処理用ガスをプラズマ化する。このとき、ガス導入系12から供給するガス種を切り替えることによってイオン注入処理、または、硬化層除去処理(酸素エッチング処理)を同一のチャンバ11内で切り替えて処理することが可能である。さらに、ガス導入系12から供給するガス種を切り替えることによってイオン注入処理、および、硬化層除去処理(酸素エッチング処理)を同一のチャンバ11内で連続して処理することができる。ここで、連続して、とは、イオン注入工程S02と、硬化層除去工程S03との間で、硬化層R1の除去困難性が増大する大気雰囲気(外気)に基板Subを曝さない減圧雰囲気を維持するということ意味している。
図1に示したイオン注入工程S02においては、ガス導入系12においてイオンドープ用ガス源12aに切り替えて、このイオンドープ用ガス源12aから例えばホスフィンとアルゴンの混合ガス等とされるガスを供給するとともに、高周波電源16aから700W程度の電力を供給し、バイアス電源16bから200W程度のバイアス電力を印加して、図2(b)に示すように、イオン注入をおこなう。これにより、図2(b)に示すように、基板Subのレジストが形成されていない(剥離した)領域には、イオン注入されたドープ領域Dが形成される。
これに対し、図1に示した硬化層除去工程S03においては、ガス導入系12において酸素エッチング用ガス源12bに切り替えて、この酸素エッチング用ガス源12bから酸素ガスとされるガスを供給するとともに、高周波電源16aから450W程度の電力を供給し、バイアス電源16bから100W程度のバイアス電力を印加して、図2(c)に示すように、酸素プラズマを用いたイオンエッチング法により硬化層R1の除去をおこなう。
本実施形態においては、硬化層除去工程S03において印加するバイアス電力は、イオン注入工程S02において印加するバイアス電力よりも小さく設定される。具体的には、硬化層除去工程S03において印加するバイアス電力が、イオン注入工程S02において印加するバイアス電力に対する比として、0.3〜0.7の範囲になるように設定される。
このようにバイアス電力の上限を設定することで、ドープ領域Dに対するダメージ発生を抑制することが可能となる。また、バイアス電力の下限を設定することで、硬化層R1の除去レートが低くなりすぎることを防止して、効率的に硬化層除去をおこなうことができる。
このようにバイアス電力の上限を設定することで、ドープ領域Dに対するダメージ発生を抑制することが可能となる。また、バイアス電力の下限を設定することで、硬化層R1の除去レートが低くなりすぎることを防止して、効率的に硬化層除去をおこなうことができる。
イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03との処理条件の一例を表2に示す。
本実施形態のレジスト剥離方法においては、イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03とを同一のチャンバ内で連続しておこなうことで、硬化層R1の除去困難性増大を抑制して、硬化層R1を容易に除去することができるとともに、レジスト成分のアッシングが進み、変質した硬化層R1が容易に除去される。これにより、その後工程では、大気に暴露されても除去容易性が増大することのないレジスト残部R2を酸素ラジカルによって容易にアッシングするので、ポンピング現象は発生しない。また、ドープ領域Dにおいてアッシングによるダメージを充分低減することができる。
以下、本発明に係るレジスト剥離方法の他の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図4は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式平面図であり、図5は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式断面図であり、図において、符号20は、レジスト剥離装置である。
図4は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式平面図であり、図5は、本実施形態におけるレジスト剥離装置を示す模式断面図であり、図において、符号20は、レジスト剥離装置である。
本実施形態において、上述の実施形態と異なるのは、レジスト剥離装置に関する部分であり、対応する構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施形態のレジスト剥離装置20は、図4に示すように、マルチチャンバ型の真空装置とされ、搬送室21を有し、この搬送室21の内部に搬送用ロボット22が配置されている。この搬送用ロボット22は、例えば、レジスト剥離装置20で処理を行う基板Subを搬送する。搬送室21の周囲には、搬入室23と、搬出室24と、イオン注入処理室200と、硬化層除去室10、残部除去室26が接続されている。そして、搬送用ロボット22によって、搬送物である基板Subを、各室200,10,26間で移動させることができる。
イオン注入室200は、図5に示すように、真空槽201と、永久磁石205、RF導入コイル206、RF導入窓(石英)212を用いたICP放電によるプラズマ発生手段と、真空排気手段(不図示)とを備えている。真空槽201の内部は、メッシュ電極208、209により、プラズマ発生室とプラズマ処理室とに分離されている。プラズマ処理室に被処理基板Subを支持する基板支持台204が配されている。なお、メッシュ電極208は、浮遊電位とされており、プラズマ207の電位を安定させる機能を有する。また、メッシュ電極209は、負電位を印加され、プラズマ207から正イオンを引き出す機能を有する。
真空槽201内を減圧し、プラズマ発生室に、基板Subに注入する不純物原子を含んだガスを導入する。そして、プラズマ発生手段を用いてプラズマ207を励起させることにより、不純物原子をイオン化させ、メッシュ電極208、209を経由して引き出されたp型あるいはn型のイオンを、基板に注入させることができる。
硬化層除去室10は、前述のチャンバ11と同等の機能を有する構成とされる。また、残部除去室26は、酸素ラジカルによるアッシングが可能なものとされる。
本実施形態においては、外部でパターン化されたレジストRを形成した基板Subを、搬送用ロボット22によってイオン注入室200に搬入する。
イオン注入室200においてイオン注入工程S02をおこなった後、搬送用ロボット22によって、基板Subを移動させ、硬化層除去室10において硬化層除去工程S03をおこなう。
その後、基板Subを、搬送用ロボット22によって残部除去室26に搬入して、残部除去工程S04をおこなう。
ここで、レジスト剥離装置20では、少なくとも、イオン注入室200への搬入から硬化層除去室10からの搬出が終了するまでの間、基板Subが大気に暴露されないようになっている。これにより、硬化層R1における除去難易性を上げることなく酸素プラズマを利用したエッチングをおこなうことができ、基板Subのドープ領域Dへのダメージを最小限にすることが可能となる。
イオン注入室200においてイオン注入工程S02をおこなった後、搬送用ロボット22によって、基板Subを移動させ、硬化層除去室10において硬化層除去工程S03をおこなう。
その後、基板Subを、搬送用ロボット22によって残部除去室26に搬入して、残部除去工程S04をおこなう。
ここで、レジスト剥離装置20では、少なくとも、イオン注入室200への搬入から硬化層除去室10からの搬出が終了するまでの間、基板Subが大気に暴露されないようになっている。これにより、硬化層R1における除去難易性を上げることなく酸素プラズマを利用したエッチングをおこなうことができ、基板Subのドープ領域Dへのダメージを最小限にすることが可能となる。
<実験例>
以下、本発明の実験例について説明する。
以下、本発明の実験例について説明する。
ウェーハ全面にレジストを塗布し、リン(P)のイオンドーピングを実施した。その後、マスクしてあった不要なレジストはアッシングにて除去した。
この際、表面の硬化層を除去してアッシングを容易にするために、1.5Pa,200sccmとして酸素ガスを供給するとともに、プラズマ電力300W,バイアス電力200Wとして、処理時間45secによるレジスト表面の硬化層を同一チャンバ内、もしくは、減圧雰囲気を維持して移動した後の別チャンバにてエッチングした。その後、酸素ラジカルによるアッシングをおこない、レジスト残部を除去した。なお、この実験では、レジストにはパターンを形成せず、ウェーハ全面での処理をおこなった。
処理後におけるウェーハ表面でのレジスト残膜厚を測定した結果を図6に示す。
この際、表面の硬化層を除去してアッシングを容易にするために、1.5Pa,200sccmとして酸素ガスを供給するとともに、プラズマ電力300W,バイアス電力200Wとして、処理時間45secによるレジスト表面の硬化層を同一チャンバ内、もしくは、減圧雰囲気を維持して移動した後の別チャンバにてエッチングした。その後、酸素ラジカルによるアッシングをおこない、レジスト残部を除去した。なお、この実験では、レジストにはパターンを形成せず、ウェーハ全面での処理をおこなった。
処理後におけるウェーハ表面でのレジスト残膜厚を測定した結果を図6に示す。
同様に、イオンドープ後に酸素イオンエッチングをおこなわずに、酸素レジカルによるアッシングのみをおこなった後におけるウェーハ表面でのレジスト残膜厚を測定した結果を図7に示す。
これらの結果から、酸素イオンエッチングをおこなった場合は、残膜厚平均が1.6nmとなっているのに対し、酸素イオンエッチングをおこなわなかった場合には、残膜厚平均が12.5nmとなり、ほぼ10倍の残膜厚があることがわかる。
また、酸素イオンエッチングをおこなわなかった場合には、処理雰囲気中のOHガス測定によるレジスト除去処理までの時間が、12.0minであったのに対し、酸素イオンエッチングをおこなった場合は、3.0minと、処理終了までの時間を短縮することができた。
また、酸素イオンエッチングをおこなわなかった場合には、処理雰囲気中のOHガス測定によるレジスト除去処理までの時間が、12.0minであったのに対し、酸素イオンエッチングをおこなった場合は、3.0minと、処理終了までの時間を短縮することができた。
また、両方のウェーハにおいて、ドープ領域における抵抗値を測定して比較した結果、酸素イオンエッチングの有無に関わらず、ウェーハ表面における抵抗値の変化は測定されず、Rs値の上昇はなかった。このことから、酸素イオンエッチングをおこなった場合でも、ドープ領域におけるダメージが充分抑制されていることがわかる。
Sub…基板
D…ドープ領域
R…レジスト
R1…硬化層
R2…残部
D…ドープ領域
R…レジスト
R1…硬化層
R2…残部
イオン注入工程S02と硬化層除去工程S03との処理条件の一例を表2に示す。
同様に、イオンドープ後に酸素イオンエッチングをおこなわずに、酸素ラジカルによるアッシングのみをおこなった後におけるウェーハ表面でのレジスト残膜厚を測定した結果を図7に示す。
Claims (6)
- 被処理基板上にレジストを形成する工程Aと、
前記レジストをマスクとして、前記基板に元素をイオン注入する工程Bと、
酸素プラズマを用いたイオンエッチング法により前記レジストの表面に形成された硬化層をアッシング法により除去する工程Cと、
前記硬化層を除去した後に、酸素ラジカルを用いたアッシング法により前記レジストの残部を除去する工程Dとを有し、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなうことを特徴とするレジスト剥離方法。 - 前記工程Bと前記工程Cとが1つのチャンバ内においてなされることを特徴とする請求項1記載のレジスト剥離方法。
- 前記工程Cにおいて、前記基板側に印加するバイアス電力を、前記工程Bよりも小さく設定することを特徴とする請求項1記載のレジスト剥離方法。
- 請求項1記載のレジスト剥離方法をおこなうレジスト剥離装置において、
前記工程Bと前記工程Cとを連続して減圧雰囲気Fでおこなう構成を備えたことを特徴とするレジスト剥離装置。 - 前記構成は、前記工程Bと前記工程Cとを続けて処理可能なチャンバであることを特徴とする請求項4記載のレジスト剥離装置。
- 前記構成は、前記基板側にバイアス電力を印加する手段を有することを特徴とする請求項4記載のレジスト剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013169151A JP2015037166A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013169151A JP2015037166A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015037166A true JP2015037166A (ja) | 2015-02-23 |
Family
ID=52687516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013169151A Pending JP2015037166A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015037166A (ja) |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04286317A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置のアッシング方法及びアッシング装置 |
JPH0653183A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜素子の製造方法 |
JPH07283151A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及び半導体装置の作製装置 |
JPH0845906A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-02-16 | Sony Corp | パターン形成方法及び該パターン形成方法を用いた半導体装置の製造方法 |
JPH0869896A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Sony Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JPH08288260A (ja) * | 1995-04-18 | 1996-11-01 | Sony Corp | ヘリコン波プラズマ・アッシング方法 |
JPH10135182A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Nec Corp | レジスト除去方法及びレジスト除去装置 |
JPH1145873A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-02-16 | Ulvac Japan Ltd | プラズマアッシング方法 |
JPH1197421A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Fujitsu Ltd | アッシング方法 |
JPH11297634A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | イオン注入装置 |
JP2001313287A (ja) * | 2001-04-20 | 2001-11-09 | Ulvac Japan Ltd | プラズマアッシング方法 |
JP2005236012A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Shibaura Mechatronics Corp | アッシング方法及びアッシング装置 |
JP2006303144A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置及び試料の真空処理方法 |
JP2007053344A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-03-01 | Fujitsu Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2007103509A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Canon Inc | レジスト処理装置 |
JP2010067992A (ja) * | 2003-06-02 | 2010-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
WO2012086169A1 (ja) * | 2010-12-20 | 2012-06-28 | 株式会社アルバック | 誘電体デバイスの製造方法及びアッシング方法 |
JP2012516051A (ja) * | 2009-01-26 | 2012-07-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プラズマ浸漬イオン注入におけるフォトレジスト層劣化の低減 |
-
2013
- 2013-08-16 JP JP2013169151A patent/JP2015037166A/ja active Pending
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04286317A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置のアッシング方法及びアッシング装置 |
JPH0653183A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜素子の製造方法 |
JPH07283151A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及び半導体装置の作製装置 |
JPH0845906A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-02-16 | Sony Corp | パターン形成方法及び該パターン形成方法を用いた半導体装置の製造方法 |
JPH0869896A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Sony Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JPH08288260A (ja) * | 1995-04-18 | 1996-11-01 | Sony Corp | ヘリコン波プラズマ・アッシング方法 |
JPH10135182A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Nec Corp | レジスト除去方法及びレジスト除去装置 |
JPH1197421A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Fujitsu Ltd | アッシング方法 |
JPH11297634A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | イオン注入装置 |
JPH1145873A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-02-16 | Ulvac Japan Ltd | プラズマアッシング方法 |
JP2001313287A (ja) * | 2001-04-20 | 2001-11-09 | Ulvac Japan Ltd | プラズマアッシング方法 |
JP2010067992A (ja) * | 2003-06-02 | 2010-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
JP2005236012A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Shibaura Mechatronics Corp | アッシング方法及びアッシング装置 |
JP2006303144A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置及び試料の真空処理方法 |
JP2007053344A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-03-01 | Fujitsu Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2007103509A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Canon Inc | レジスト処理装置 |
JP2012516051A (ja) * | 2009-01-26 | 2012-07-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プラズマ浸漬イオン注入におけるフォトレジスト層劣化の低減 |
WO2012086169A1 (ja) * | 2010-12-20 | 2012-06-28 | 株式会社アルバック | 誘電体デバイスの製造方法及びアッシング方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3391410B2 (ja) | レジストマスクの除去方法 | |
US7544959B2 (en) | In situ surface contamination removal for ion implanting | |
US20060201911A1 (en) | Methods of etching photoresist on substrates | |
KR20090094368A (ko) | 건식 포토레지스트 스트립핑 프로세스 및 장치 | |
JPH04206719A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TWI686866B (zh) | 用以提升光阻剝除性能及改質有機膜的過氧化物蒸氣處理 | |
CN1495861A (zh) | 水蒸汽作为处理气,用于离子植入后抗蚀剂剥离中硬壳、抗蚀剂和残渣的去除 | |
KR102404900B1 (ko) | 이온 주입된 레지스트 제거를 향상시키기 위한 플라즈마 건식 스트립 전처리 | |
TW201937993A (zh) | 電漿處理方法 | |
KR950015652A (ko) | 반도체 집적회로장치의 제조방법 및 제조장치 | |
KR102469451B1 (ko) | 마이크로전자 공작물의 제조를 위해 실리콘 질화물층을 영역 선택 에칭하는 방법 | |
KR20210003939A (ko) | 에칭 후 탈불소화 공정 | |
JPWO2020161879A1 (ja) | ドライエッチング方法及びドライエッチング装置 | |
JP2000286248A (ja) | イオン注入されたホトレジストの残渣の処理方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2015037166A (ja) | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 | |
TWI400583B (zh) | Substrate manufacturing method | |
JP2009218548A (ja) | 高ドーズインプラ工程のレジスト除去方法及びレジスト除去装置 | |
JP4278533B2 (ja) | アッシング方法及びアッシング装置 | |
JPS62272539A (ja) | レジスト除去方法 | |
JP6165518B2 (ja) | プラズマ処理方法および真空処理装置 | |
JP4464342B2 (ja) | レジスト除去方法 | |
JP2010056263A (ja) | イオン注入によりカーボン層が形成されたレジストの除去方法 | |
JPH04718A (ja) | 表面処理装置 | |
US20200098595A1 (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and method for operating the same | |
JP2004134627A (ja) | 有機物層の除去方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170905 |