JP2015036630A - 電気光学パネルの検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成で電気光学パネルを検査する検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１Ｂは、第１スイッチ及び前記第２スイッチを制御するとともに、画像信号線及び検査線に供給する電圧を制御する制御部１０と、２個の画像信号端子と接続されたノードから得られた検出信号を検出する検出部２０と、検出信号に基づいて、２個の画素の全てが正常、又は、２個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定する判定部３０とを備え、少なくとも一つが異常と判定された場合、書き込んだ検査電圧を２個の画素の一方から検査電圧を消去して、２つの画素から電荷を読み出すことによって異常の画素を特定する。【選択図】図６

Description

本発明は、電気光学パネルの検査装置及び検査方法に関する。

液晶パネルなどの電気光学パネルを検査する方法として、電気光学パネルの各画素に検査電圧を書き込み、これを読み出すことによって、画素が正常であるか異常であるかを検査する方法が知られている。このような検査方法の一つとして特許文献１には、複数の画素から同時に電荷を読み出すことによって、検査時間を短縮する手法が開示されている。

特開２０１１−１０１７７１０号公報

ところで、特許文献１に記載された従来の検査装置では、２個の画素から同時に電荷を読み出すために、２本の走査線を同時に駆動し、１本のデータ線に２個の画素から電荷を出力するように制御している。
しかしながら、最初の検査で異常が検出された画素に応じて、同時に駆動する２本の走査線を変更する必要がある。このように従来の検査装置は、最初の検査で異常が見つかった画素に対応して、２本の走査線を選択して駆動する必要があるので、検査装置の構成が複雑になるといった問題があった。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、簡易な構成で電気光学パネルを検査する検査装置、及び簡易な工程で電気光学パネルを検査する検査方法などを提供することを解決課題とする。

上記課題を解決するために本発明の電気光学パネルの検査装置の一態様は、少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルを検査する装置であって、前記第１スイッチ及び前記第２スイッチを制御するとともに、前記ｋ本の画像信号線及び前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御する制御部と、前記ｋ個の画像信号端子と接続されたノードから得られた検出信号を検出する検出部と、前記制御部が、前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に検査電圧を書き込んだ後、前記制御部が前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出した状態で、前記検出部を用いて検出した前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素の全てが正常、又は、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定する判定部とを備え、前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、前記制御部は、当該ｋ個の画素に検査電圧を書き込み、前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御して、前記検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去し、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、当該ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ個の画像信号端子を介して取り込み、前記検出部は、当該ｋ個の画像信号端子と接続されるノードのから得られた検出信号を検出し、前記判定部は、当該検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち検査電圧を消去しなかった１個の画素が正常であるか異常であるかを判定し、前記制御部、前記検出部及び前記判定部は、前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合の処理を繰り返して、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定されたｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する。

この態様によれば、ｋ個の画素を同時に検査することができる。そして、初回の検査でｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合には、ｋ個の画素に検査電圧を書き込んだ後、ｋ−１個の画素から検査電圧を消去するので、ｋ個の画素のうち１つの画素に着目して正常であるか異常であるあるかを判定することができる。そして、検査電圧を残す画素を変更しながら、処理を繰り返すことによって、ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合に、ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定することが可能となる。

上述した検査装置の一態様において、前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、前記制御部は、前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に前記検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に前記検査電圧を書き込むことが好ましい。この態様によれば、初回の検査と同様の制御でｋ個の画素に検査電圧を書き込むことができる。

上述した検査装置の一態様において、前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、前記制御部は、前記ｋ−１本の検査線には、前記検査電圧とは異なる所定電圧を供給し、１本の検査線はハイインピーダンス状態とすることによって、前記検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去することが好ましい。例えば、電気光学パネルが液晶パネルである場合、対向電極に供給する電圧を所定電圧として供給することによって、検査電圧を消去し、読出期間において検査対象でない画素から電荷が読み出されるのを防止できる。

本発明に係る電気光学パネルの検査装置の他の態様は、少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルを検査する装置であって、前記第１スイッチ及び前記第２スイッチを制御するとともに、前記ｋ本の画像信号線及び前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御する制御部と、前記ｋ個の画像信号端子と接続されたノードから得られた検出信号を検出する検出部と、前記検出部を用いて検出した前記検出信号に基づいて、前記画素が正常であるか異常であるかを判定する判定部とを備え、前記制御部は、前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに、前記ｋ本の検査線のうち１本に検査電圧を供給するとともに、前記ｋ本の検査線のうち前記検査電圧を供給した以外のｋ−１本の検査線を開放することによって、ｋ個の画素のうち１つに前記検査電圧を書き込むとともに前記ｋ−１個の画素に前記検査電圧を書き込まないようにし、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、前記判定部は、前記検出部を用いて検出された前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち前記検査電圧を書き込んだ画素が正常であるか異常であるかを判定し、前記制御部、前記検出部及び前記判定部は、前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、上記処理を繰り返すことによって、前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定することを特徴とする。

この態様によれば、検査線を用いてｋ個の画素の一つにだけ検査電圧を書き込むことができるので、ｋ個の画素から電荷を同時に読み出したとしても、検査電圧を書き込んだ画素を特定して、正常であるか異常であるかを判定することができる。さらに、検査電圧を書き込む画素を変更しつつ、処理を「繰り返すことによって、ｋ個の画素の各々ついて、正常であるか異常であるかをを判定することが可能となる。

次に、本発明に係る電気光学パネルの検査方法の一態様は、少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルを検査する方法であって、前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に検査電圧を書き込む第１工程と、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、前記ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第２工程と、前記第２工程で検出された検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素の全てが正常、又は、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定する第３工程と、前記第３工程において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、当該ｋ個の画素に検査電圧を書き込む第４工程と、前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御して、前記第４工程において検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去する第５工程と、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、当該ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ個の画像信号端子を介して取り込み、当該ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第６工程と、前記第６工程で検出した検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち検査電圧を消去しなかった１個の画素が正常であるか異常であるかを判定する第７工程とを備え、前記第４工程から第７工程までを繰り返すことによって、少なくとも一つが異常と判定された前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する。

また、本発明に係る電気光学パネルの検査方法の他の態様は、少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルの検査する方法であって、前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに、前記ｋ本の検査線のうち１本に検査電圧を供給するとともに、前記ｋ本の検査線のうち前記検査電圧を供給した以外のｋ−１本の検査線を開放することによって、ｋ個の画素のうち１つに前記検査電圧を書き込むとともに前記ｋ−１個の画素に前記検査電圧を書き込まないようにする第１工程と、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、前記ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第２工程と、前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち前記検査電圧を書き込んだ画素が正常であるか異常であるかを判定する第３工程とを備え、前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、前記第１工程乃至前記第３工程を繰り返すことによって、前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する。

本発明の第１実施形態に係る検査システムの構成を示すブロック図である 同実施形態に係る液晶パネルを用いた電気光学装置の構成を示すブロック図である。 同液晶パネルの構成を示す回路図である。 同液晶パネルに設けられたデータ線駆動回路とビットチェック回路の構成を示すブロック図である。 同電気光学装置の動作を示すタイミングチャートである。 同実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 第２実施形態の検査の工程を示す説明図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 同実施形態の検査の工程を示す説明図である。 変形例の検査の工程を示す説明図である。

＜第１実施形態＞
図１は第１実施形態に係る検査システムの構成を示すブロック図である。検査システムは、検査の対象となる液晶パネルＡＡ（電気光学パネルの一例）と検査装置１Ｂとを備える。液晶パネルＡＡは、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下、「ＴＦＴ」と称する）を形成した素子基板と対向基板とを互いに電極形成面を対向させて、かつ、一定の間隙を保って貼付し、この間隙に液晶が挟持されている。また、液晶パネルＡＡには複数の端子が形成されており、これらの端子を介して電源電圧や各種の制御信号が供給される。
検査装置１Ｂは、液晶パネルＡＡの端子とプローブを介して電気的に接続されており、液晶パネルＡＡの画素に検査電圧を書き込み、画素から電荷を読み出すことによって、配線や画素の異常を検査する。

図２に、液晶パネルＡＡを用いた電気光学装置１Ａの構成を示す。電気光学装置１Ａは、
液晶パネルＡＡ、制御回路４００、及び画像処理回路５００を備える。液晶パネルＡＡは、その素子基板上に画像表示領域Ａ、走査線駆動回路１００、データ線駆動回路２００、及びビットチェック回路３００を備える。
制御回路４００は、Ｘ転送開始パルスＤＸおよびＸクロック信号ＸＣＫを生成してデータ線駆動回路２００に供給すると共に、Ｙ転送開始パルスＤＹおよびＹクロック信号ＹＣＫを生成して走査線駆動回路１００に供給する。画像表示領域Ａには、複数の画素回路Ｐ１がマトリクス状に形成されており、画素回路Ｐ１ごとに透過率を制御することができる。画像処理回路５００は入力画像データＤinにガンマ補正などの画像処理を施して得た画像データを、シリアル−パラレル変換して相展開された画像信号ＶＩＤ1〜ＶＩＤj（ｊは２以上の自然数）を生成する。画像信号ＶＩＤ1〜ＶＩＤjの時間軸は、入力画像データＤinの時間軸と比較してｊ倍に伸長されている。

次に、画像表示領域Ａについて説明する。画像表示領域Ａには、図３に示されるように、ｍ（ｍは２以上の自然数）本の走査線２が、Ｘ方向に沿って平行に配列して形成される一方、ｎ（ｎは２以上の自然数）本のデータ線３が、Ｙ方向に沿って平行に配列して形成されている。そして、走査線２とデータ線３との交差付近においては、ＴＦＴ５０のゲートが走査線２に接続される一方、ＴＦＴ５０のソースがデータ線３に接続されるとともに、ＴＦＴ５０のドレインが画素電極６に接続される。そして、各画素は、画素電極６と、対向基板に形成される対向電極と、これら両電極間に挟持された液晶とによって構成される。この結果、走査線２とデータ線３との各交差に対応して、画素はマトリクス状に配列されることとなる。
また、ＴＦＴ５０のゲートが接続される各走査線２には、走査信号Ｙ１、Ｙ２、…、Ｙｍが、パルス的に線順次で印加される。このため、ある走査線２に走査信号が供給されると、当該走査線に接続されるＴＦＴ５０がオンするので、データ線３から所定のタイミングで供給されるデータ信号Ｘ１、Ｘ２、…、Ｘｎは、対応する画素に順番に書き込まれた後、所定の期間保持されることとなる。

各画素に印加される電圧レベルに応じて液晶分子の配向や秩序が変化するので、光変調による階調表示が可能となる。例えば、液晶を通過する光量は、ノーマリーホワイトモードであれば、印加電圧が高くなるにつれて制限される一方、ノーマリーブラックモードであれば、印加電圧が高くなるにつれて緩和されるので、電気光学装置１全体では、画像信号に応じたコントラストを持つ光が各画素毎に出射される。このため、所定の表示が可能となる。
また、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、蓄積容量５１が、画素電極６と対向電極との間に形成される液晶容量と並列に付加される。例えば、画素電極６の電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも３桁も長い時間だけ蓄積容量５１により保持されるので、保持特性が改善される結果、高コントラスト比が実現される。

図４にデータ線駆動回路２００及びビットチェック回路３００の構成を示す。データ線駆動回路２００は、Ｘ転送開始パルスＤＸをＸクロック信号ＸＣＫに同期してシフトしてサンプリングパルスＳ１〜Ｓｚ（但し、ｚは２以上の自然数）を生成するシフトレジスタ２１０と、ｊ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｊ本の画像信号線Ｌａ１〜Ｌａｊと、ｎ本のデータ線３のいずれかと接続されたｎ個の第１スイッチＳＷａとを備える。ｎ本のデータ線３は、ｊ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチＳＷａを介して接続されている。また、ｎ本のデータ線３は、ｊ本ごとのブロックに分割されている。ｎ＝ｊ・ｚとすれば、ブロック数はｚとなる。各ブロックに対するｊ個の第１スイッチＳＷａはスイッチ群Ｕ１〜Ｕｚを形成し、各スイッチ群Ｕ１〜ＵｚにサンプリングパルスＳ１〜Ｓｚが供給される。

図５に、走査線駆動回路１００とデータ線駆動回路２００のタイミングチャートを示す。走査線駆動回路１００は、１フレーム（１Ｆ）周期のＹ転送開始パルスＤＹを、Ｙクロック信号ＹＣＫに従って順次シフトして走査信号Ｙ１、Ｙ２、…Ｙｍを生成する。走査信号Ｙ１〜Ｙｍは各水平走査期間（１Ｈ）において順次アクティブとなる。データ線駆動回路２００は、水平走査周期のＸ転送開始パルスＤＸをＸクロック信号ＸＣＫに従って転送して、サンプリングパルスＳ１、Ｓ２、…Ｓｚを生成する。そして、データ線駆動回路２００は、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤｊをサンプリングパルスＳ１、Ｓ２、…Ｓｚを用いてサンプリングしてデータ信号Ｘ１、Ｘ２、…Ｘｎを生成する。

次に、図４に示すビットチェック回路３００は、２本の検査線Ｌｂ１及びＬｂ２と、１本の制御線Ｌｃと、ｎ個の第２スイッチＳＷｂとを備える。ｎ本のデータ線３の各々は、第２スイッチＳＷｂを介して２本の検査線Ｌｂ１及びＬｂ２のいずれかに接続されている。このビットチェック回路３００を用いて、データ線３の断線を検知できるとともに、画素Ｐ１の検査を行うことができる。また、ｎ個の第２スイッチのゲートは制御線Ｌｃと接続されているので、制御線Ｌｃに供給される制御信号に応じて、ｎ個の第２スイッチＳＷｂはオン状態又はオフ状態に制御される。

次に、検査装置１Ｂの構成を図６に示す。検査装置１Ｂは、検査電圧生成部１１及び制御信号生成部１２を有する制御部１０と、検出部２０と、判定部３０とを備える。また、液晶パネルＡＡに設けられたｊ個の画像信号端子と複数の制御信号端子とは、プローブを介して検査装置１Ｂに接続される。
検査装置１Ｂの内部では、２個の画像信号端子と接続される２本の配線がノードＮで接続されて１本の配線となり、検査電圧生成部１１と検出部２０とに接続されている。検査電圧生成部１１は、書込期間において、検査電圧Ｖｘを生成する。検査電圧生成部１１は、ｎ個の画像信号端子の半分、即ち、ｎ／２個の検査電圧Ｖｘを生成すればよい。

検出部２０は、検査電圧Ｖｘを書き込んだ画素Ｐ１から電荷を読み出す読出期間において、ノードＮから得られる検出信号を検出する。具体的には、２本のデータ線３に出力された電荷が、２本の画像信号線及び２個の画像信号端子を介して検査装置１Ｂに入力され、ノードＮにおいて加算される。検出部２０は加算させた電荷を検出信号として検出する。判定部３０は検出部２０の検出結果に応じて、検査電圧を書き込んだ画素Ｐ１が正常であるか異常であるかを判定する。

次に、検査装置１Ｂの動作について、図７乃至図９を参照して説明する。なお、これらの図に示される画素は、例えば、左側の画素Ｐ１１は液晶パネルＡＡの左上隅に位置し、右側の画素Ｐ１２は液晶パネルＡＡの左上隅の右隣に位置し、他の画素は省略してある。また、容量Ｃは、液晶の容量及び蓄積容量５１を等価的に示したものである。
検査装置１Ｂは、初回の検査を実行し、その検査結果に応じて再検査を実行する。初回の検査は書込期間及び読出期間に大別され、再検査は、書込期間、消去期間及び読出期間に大別される。

まず、初回の検査について説明する。書込期間においては、図７に示すように第１スイッチＳＷａが
オン状態となる一方、第２スイッチＳＷｂがオフ状態となる。そして、走査線２が選択されてトランジスター５０がオン状態となる。この時、画像信号線Ｌａ１及びＬａ２を介して検査電圧Ｖｘが画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２の容量Ｃに書き込まれる。

読出期間における液晶パネルＡＡの制御状態は、書込期間と同様に図７に示すものとなる。但し、信号の流れが書込期間と逆になり、画素Ｐ１１の容量Ｃ及び画素Ｐ１２の容量Ｃに蓄積された電荷が読み出され、これらがノードＮで加算された検出信号が検出部２０で検出される。検出部２０は検出信号の示す電荷量を電圧に変換して、判定部３０に供給する。判定部３０は、検出部２０の検出結果に基づいて、検査の対象となる画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２の全てが正常であるか、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２のうち少なくとも一つが異常であることを判定する。

判定部３０によって検査の対象となった画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２の全てが正常であると判定された場合には、これらの画素について再検査は不要である。一方、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２のうち少なくとも一つが異常であると判定された場合には、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２の全てが異常であるのか、あるいは、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２のどちらの画素が異常であるかを特定する必要がある。再検査は、このために実行される。

次に、再検査について説明する。再検査の書込期間では、初回の検査と同様に、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２に検査電圧Ｖｘが書き込まれる。この後、消去期間では、画素Ｐ１１の容量Ｃに充電された電荷を引き抜くことによって、検査電圧Ｖｘを消去する。具体的には、制御信号生成部１２は、制御線Ｌｃに第２スイッチＳＷｂをオン状態にする制御信号を供給するとともに、Ｘ転送パルスＤＸ及びクロック信号ＸＣＫの供給を停止してデータ線駆動回路２００の動作を停止させ、第１スイッチＳＷａをオフ状態にする。

そして、制御信号生成部１２は、画素Ｐ１１が接続される検査線Ｌｂ１１を介して画素Ｐ１１の容量Ｃに蓄積された電荷を引き抜く。例えば、検査線Ｌｂ１に対向電極に供給する共通電圧Ｖcomを供給することによって、容量Ｃの両端をショートして電荷を放電させる。一方、画素Ｐ１２が接続される検査線Ｌｂ２については、検査線Ｌｂ２と接続される制御信号生成部１２の入力端子をハイインピーダンス状態とする。これにより、第２スイッチＳＷｂがオン状態となっても、画素Ｐ１２には検査電圧Ｖｘが保持される。

次に、再検査の読出期間では、初回の検査と同様に、図９に示すように画像信号線Ｌａ１及びＬａ２から電荷が読み出される。ここで、画素Ｐ１１については、消去期間において容量Ｃに蓄積された電荷を引き抜かれているので、画素Ｐ１１から電荷は読み出されず、画素Ｐ１２のみから検査電圧Ｖｘに応じた電荷が読み出される。従って、再検査の読出期間では、再検査が必要となった複数の画素のうち、１つの画素を対象として検査を行うことができる。検出部２０はノードＮからの検出信号を検出するが、この場合の検出信号は、１個の画素から読み出される電荷に対応している。判定部３０は、検出部２０の検出結果に基づいて、検査の対象となる画素Ｐ１２が正常であるか異常であるかを判定する。
ここで、画素Ｐ１２が正常であると判定された場合は、画素Ｐ１１のみが異常であると特定することができる。一方、画素Ｐ１２が異常であると判定された場合は、画素Ｐ１１と画素Ｐ１２とが異常であるか、画素Ｐ１２が異常で画素Ｐ１１が正常であるかの区別がつかない。

そこで、検査装置１Ｂは、上述した書込期間の処理、消去期間の処理、読出期間の処理を再度実行する。但し、消去期間において検査電圧Ｖｘの消去の対象となる画素を画素Ｐ１２へ変更する。この場合、制御信号生成部１２は、画素Ｐ１２が接続される検査線Ｌｂ２を介して画素Ｐ１２の容量Ｃに蓄積された電荷を引き抜く。例えば、検査線Ｌｂ２に対向電極に供給する共通電圧Ｖcomを供給することによって、容量Ｃの両端をショートして電荷を放電させる。一方、画素Ｐ１１が接続される検査線Ｌｂ１については、検査線Ｌｂ１と接続される制御信号生成部１２の入力端子をハイインピーダンス状態とする。これにより、第２スイッチＳＷｂがオン状態となっても、画素Ｐ１１には検査電圧Ｖｘが保持され、画素Ｐ１１が正常であるか異常であるかを判定することが可能となる。

上述したように第１実施形態に係る検査装置１Ｂによれば、ノードＮにおいて、２個の画像信号端子からの配線を１本にまとめているので、検査電圧生成部１１は、ｊ個の画像信号端子に対してｊ／２個の出力端子を備えればよく、検出部２０も同様にｊ個の画像信号端子に対してｊ／２個の入力端子を備えればよい。従って、検査装置１Ｂの構成を簡素化することができる。さらに、従来、ｊ／２個の画像信号端子に対応するように構成された検査装置を利用して、２本の配線をノードＮにおいて１本にまとめることによって、ｊ個の画像信号端子を備える液晶パネルＡＡを検査可能な検査装置１Ｂを構成することができる。
また、初回の検査は、２つの画素を同時に読み出すので、１つの画素ずつ読み出す場合と比較して読出期間を半分に短縮することができる。そして、再検査は、２つの画素のうちいずれか一方に異常があると判定された画素についてのみ実行するので、全体の検査時間を短縮することが可能となる。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る検査装置１Ｂについて説明する。第２実施形態の検査装置１Ｂは、その動作を除いて、第１実施形態の検査装置１Ｂと同様である。以下、第２実施形態の検査装置１Ｂの動作を説明する。

第１の書込期間では、図１０に示すように、第１スイッチＳＷａをオフ状態とするように制御信号生成部１２は、データ線駆動回路２００を制御する。また、制御信号生成部１２は、制御線Ｌｃに第２スイッチＳＷｂをオン状態とする制御信号を供給する。さらに、制御信号生成部１２は、検査線Ｌｂ１に検査電圧Ｖｘを供給することによって、画素Ｐ１１の容量Ｃを充電する。一方、検査線Ｌｂ２に接続される制御信号生成部１２の出力端子はハイインピーダンス状態となる。この結果、画素Ｐ１２では、トランジスター５０がオン状態になっても、容量Ｃに電荷が蓄積されない。

次に、第１の読出期間では、図１１に示すように、第１スイッチＳＷａをオン状態とするように制御信号生成部１２は、データ線駆動回路２００を制御する。また、制御信号生成部１２は、制御線Ｌｃに第２スイッチＳＷｂをオフ状態とする制御信号を供給する。このため、読出期間では、画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２から電荷が読み出されるが、書込期間において充電されたのは画素Ｐ１１のみである。従って、当該読出期間では、複数の画素のうち、１つの画素Ｐ１１を対象として検査を行うことができる。検出部２０はノードＮからの検出信号を検出するが、この場合の検出信号は、１個の画素Ｐ１１から読み出される電荷に対応している。判定部３０は、検出部２０の検出結果に基づいて、検査の対象となる画素Ｐ１１が正常であるか異常であるかを判定する。

次に、第２の書込期間では、図１２に示すように、第１の書込期間と同様に、第１スイッチＳＷａがオフ状態となり、第２スイッチＳＷｂがオン状態となるように制御信号生成部１２は制御信号を供給する。さらに、制御信号生成部１２は、検査線Ｌｂ２に検査電圧Ｖｘを供給することによって、画素Ｐ１２の容量Ｃを充電する。一方、検査線Ｌｂ１に接続される制御信号生成部１２の出力端子はハイインピーダンス状態となる。この結果、画素Ｐ１１では、トランジスター５０がオン状態になっても、容量Ｃに電荷が蓄積されない。

次に、第２の読出期間では、図１３に示すように、第１の読出期間と同様に、第１スイッチＳＷａがオン状態となり、第２スイッチＳＷｂがオフ状態となるように制御信号生成部１２は制御信号を供給する。第２の書込期間において充電されたのは画素Ｐ１２のみであので、当該読出期間では、複数の画素のうち、１つの画素Ｐ１２を対象として検査を行うことができる。検出部２０はノードＮからの検出信号を検出するが、この場合の検出信号は、１個の画素Ｐ１２から読み出される電荷に対応している。判定部３０は、検出部２０の検出結果に基づいて、検査の対象となる画素Ｐ１２が正常であるか異常であるかを判定する。

上述したように第２実施形態に係る検査装置１Ｂによれば、ノードＮにおいて、２個の画像信号端子からの配線を１本にまとめているので、第１実施形態と同様に、検査電圧生成部１１及び検出部２０は、ｊ個の画像信号端子に対してｊ／２個の端子を備えればよい。よって、検査装置１Ｂの構成を簡素化することができる。
また、ビットチェック回路３００を用いて検査電圧Ｖｘを書き込むので、検査線Ｌｂ１及びＬｂ２に接続される画素Ｐ１１及び画素Ｐ１２の一方に検査電圧Ｖｘを書き込むことが可能となる。この結果、画像信号端子に接続される複数の配線を１本にまとめても、どの画素が正常で、どの画素が異常であるかを判定することが可能となる。

＜変形例＞
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に述べる各種の変形が可能である。また、各実施形態及び各変形例を適宜組み合わせてもよいことは勿論である。

（１）上述した第２実施形態の第１及び第２の書込期間において、検査電圧Ｖｘを供給しない検査線はハイインピーダンス状態としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、検査対象としない画素から電荷を引き抜いてもよい。例えば、図１４に示すように画素Ｐ１１に検査電圧Ｖｘを書き込み、画素Ｐ１２から電荷を引き抜いてもよい。このように制御することによって、仮に、画素Ｐ１２の容量Ｃに何らかの電荷が充電されていたとしても、これを確実に放電することができるので、読出期間において、画素Ｐ１２から電荷が全く読み出されなくなる。よって、検査対象となる画素Ｐ１１が正常であるか異常であるか的確に判定することが可能となる。

（２）上述した第１実施形態では、２本の検査線Ｌｂ１及びＬｂ２を用いて、検査対象とならない画素から検査電圧Ｖｘを消去したが、本発明はこれに限定されるものではなく、３本以上の検査線を用いてもよい。この場合、読出期間において同時に電荷を読み出す画素の数と検査線の数とを一致させることができる。例えば、ｋ（ｋは２以上の自然数）本の検査線を想定すると、ｋ個の画素から電荷を読み出して、ｋ本の画像信号線及びｋ個の画像信号端子を介して、検査装置に取り込み、ノードＮでｋ本の配線を一つまとめる。この場合、ｋ本の画像信号線の各々はｋ個の画像信号端子のいずれかと接続されている。また、ｋ本のデータ線の各々は、ｋ本の画像信号線のいずれかと第１スイッチを介して接続されている。ｋ個の画素の各々はｋ本のデータ線のいずれかと接続されている。
そして、初回の検査において、判定部３０において、ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、再検査を検査装置１Ｂは実行する。

再検査において、制御部１０は、ｋ個の画素に検査電圧Ｖｘを書き込み、第２スイッチＳＷｂをオン状態に制御するとともにｋ本の検査線に供給する電圧を制御して、初回の検査で検査電圧Ｖｘを書き込んだｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から検査電圧Ｖｘを消去する。即ち、検査対象以外の画素に充電された電荷をｋ−１本の検査線を用いて画素から引き抜く。そして、制御部１０は、第１スイッチＳＷａをオン状態に制御することによって、ｋ個の画素から読み出した電荷をｋ個の画像信号端子を介して取り込む。検出部２０は、ｋ個の画像信号端子と接続されるノードＮから得られた検出信号を検出し、判定部３０は、当該検出信号に基づいて、ｋ個の画素のうち検査電圧を消去しなかった１個の画素が正常であるか異常であるかを判定する。さらに、制御部１０、検出部２０及び判定部３０は、検査電圧Ｖｘを書き込む画素を変更しながら、判定部３０においてｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合の処理を繰り返して、ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定されたｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する。

（３）上述した第２実施形態では、２本の検査線Ｌｂ１及びＬｂ２を用いて、検査対象となる画素についてのみ検査電圧Ｖｘを書き込んだが、本発明はこれに限定されるものではなく、３本以上の検査線を用いてもよい。この場合、読出期間において同時に電荷を読み出す画素の数と検査線の数とを一致させることができる。例えば、ｋ（ｋは２以上の自然数）本の検査線を想定すると、ｋ個の画素から電荷を読み出して、ｋ本の画像信号線及びｋ個の画像信号端子を介して、検査装置に取り込み、ノードＮでｋ本の配線を一つまとめる。この場合、ｋ本の画像信号線の各々はｋ個の画像信号端子のいずれかと接続されている。また、ｋ本のデータ線の各々は、ｋ本の画像信号線のいずれかと第１スイッチを介して接続されている。ｋ個の画素の各々はｋ本のデータ線のいずれかと接続されている。
制御部１０は、書込期間において、第２スイッチＳＷｂをオン状態に制御するとともに、ｋ本の検査線のうち１本に検査電圧Ｖｘを供給するとともに、ｋ本の検査線のうち検査電圧Ｖｘを供給した以外のｋ−１本の検査線を開放することによって、ｋ個の画素のうち１つに検査電圧Ｖｘを書き込むとともにｋ−１個の画素に検査電圧Ｖｘを書き込まないようにする。次に、制御部１０は、読出期間において、第１スイッチＳＷａをオン状態に制御することによって、ｋ個の画素から読み出した電荷をｋ本のデータ線及びｋ個の画像信号端子を介して取り出す。判定部３０は、検出部２０を用いて検出された検出信号に基づいて、ｋ個の画素のうち検査電圧Ｖｘを書き込んだ画素が正常であるか異常であるかを判定する。さらに、制御部１０、検出部２０及び判定部３０は、検査電圧Ｖｘを書き込む画素を変更しながら、上記処理を繰り返すことによって、ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する。

（４）上述した実施形態においては電気光学材料の一例として液晶を取上げたが、それら以外の電気光学材料を用いた電気光学装置にも本発明は適用される。電気光学材料とは、電気信号（電流信号または電圧信号）の供給によって透過率や輝度といった光学的特性が変化する材料である。例えば、有機ＥＬ（ElectroLuminescent）、無機ＥＬや発光ポリマーなどの発光素子を用いた表示パネルや、着色された液体と当該液体に分散された白色の粒子とを含むマイクロカプセルを電気光学材料として用いた電気泳動表示パネル、極性が相違する領域ごとに異なる色に塗り分けられたツイストボールを電気光学材料として用いたツイストボールディスプレイパネル、黒色トナーを電気光学材料として用いたトナーディスプレイパネル、あるいはヘリウムやネオンなどの高圧ガスを電気光学材料として用いたプラズマディスプレイパネルなど各種の電気光学装置に対しても上記実施形態と同様に本発明が適用され得る。

１Ａ…電気光学装置、１Ｂ…検査装置、２…走査線、３…データ線、１００…走査線駆動回路、２００…データ線駆動回路、３００…ビットチェック回路、１０…制御部、１１…検査電圧生成部、１２…制御信号生成部、２０…検出部、３０…判定部、Ｐ１…画素、ＳＷａ…第１スイッチ、ＳＷｂ…第２スイッチ。

Claims (6)

1. 少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルの検査装置であって、
   前記第１スイッチ及び前記第２スイッチを制御するとともに、前記ｋ本の画像信号線及び前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御する制御部と、
   前記ｋ個の画像信号端子と接続されたノードから得られた検出信号を検出する検出部と、
   前記制御部が、前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に検査電圧を書き込んだ後、
   前記制御部が前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出した状態で、前記検出部を用いて検出した前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素の全てが正常、又は、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定する判定部とを備え、
   前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、
   前記制御部は、当該ｋ個の画素に検査電圧を書き込み、前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御して、前記検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去し、前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、当該ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ個の画像信号端子を介して取り込み、
   前記検出部は、当該ｋ個の画像信号端子と接続されるノードのから得られた検出信号を検出し、
   前記判定部は、当該検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち検査電圧を消去しなかった１個の画素が正常であるか異常であるかを判定し、
   前記制御部、前記検出部及び前記判定部は、前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合の処理を繰り返して、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定されたｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する、
   ことを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
2. 前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、前記制御部は、前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に前記検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に前記検査電圧を書き込むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査装置。
3. 前記判定部において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、前記制御部は、前記ｋ−１本の検査線には、前記検査電圧とは異なる所定電圧を供給し、１本の検査線はハイインピーダンス状態とすることによって、前記検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学パネルの検査装置。
4. 少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルの検査装置であって、
   前記第１スイッチ及び前記第２スイッチを制御するとともに、前記ｋ本の画像信号線及び前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御する制御部と、
   前記ｋ個の画像信号端子と接続されたノードから得られた検出信号を検出する検出部と、
   前記検出部を用いて検出した前記検出信号に基づいて、前記画素が正常であるか異常であるかを判定する判定部とを備え、
   前記制御部は、
   前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに、前記ｋ本の検査線のうち１本に検査電圧を供給するとともに、前記ｋ本の検査線のうち前記検査電圧を供給した以外のｋ−１本の検査線を開放することによって、ｋ個の画素のうち１つに前記検査電圧を書き込むとともに前記ｋ−１個の画素に前記検査電圧を書き込まないようにし、
   前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、
   前記判定部は、前記検出部を用いて検出された前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち前記検査電圧を書き込んだ画素が正常であるか異常であるかを判定し、
   前記制御部、前記検出部及び前記判定部は、前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、上記処理を繰り返すことによって、前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する、
   ことを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
5. 少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルの検査方法であって、
   前記ｋ個の画像信号端子を介して前記ｋ本の画像信号線に検査電圧を供給するとともに前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素に検査電圧を書き込む第１工程と、
   前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、前記ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第２工程と、
   前記第２工程で検出された検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素の全てが正常、又は、前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定する第３工程と、
   前記第３工程において前記ｋ個の画素のうち少なくとも一つが異常と判定された場合、当該ｋ個の画素に検査電圧を書き込む第４工程と、
   前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに前記ｋ本の検査線に供給する電圧を制御して、前記第４工程において検査電圧を書き込んだ前記ｋ個の画素のうちｋ−１個の画素から前記検査電圧を消去する第５工程と、
   前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、当該ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ個の画像信号端子を介して取り込み、当該ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第６工程と、
   前記第６工程で検出した検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち検査電圧を消去しなかった１個の画素が正常であるか異常であるかを判定する第７工程とを備え、
   前記第４工程から第７工程までを繰り返すことによって、少なくとも一つが異常と判定された前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する、
   ことを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
6. 少なくともｋ（ｋは２以上の自然数）個の画像信号端子、当該ｋ個の画像信号端子のいずれかと各々が接続されたｋ本の画像信号線、ｋ本の画像信号線のいずれかと各々が第１スイッチを介して接続されたｋ本のデータ線、前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が接続されたｋ個の画素、及び前記ｋ本のデータ線のいずれかと各々が第２スイッチを介して接続されたｋ本の検査線を備えた電気光学パネルの検査方法であって、
   前記第２スイッチをオン状態に制御するとともに、前記ｋ本の検査線のうち１本に検査電圧を供給するとともに、前記ｋ本の検査線のうち前記検査電圧を供給した以外のｋ−１本の検査線を開放することによって、ｋ個の画素のうち１つに前記検査電圧を書き込むとともに前記ｋ−１個の画素に前記検査電圧を書き込まないようにする第１工程と、
   前記第１スイッチをオン状態に制御することによって、前記ｋ個の画素から読み出した電荷を前記ｋ本のデータ線及び前記ｋ個の画像信号端子を介して取り出し、前記ｋ個の画像信号端子と接続されるノードから得られた検出信号を検出する第２工程と、
   前記検出信号に基づいて、前記ｋ個の画素のうち前記検査電圧を書き込んだ画素が正常であるか異常であるかを判定する第３工程とを備え、
   前記検査電圧を書き込む画素を変更しながら、前記第１工程乃至前記第３工程を繰り返すことによって、前記ｋ個の画素の各々について、正常であるか異常であるかを判定する、
   ことを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
   

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