JP2015035451A - シート貼付装置及びシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
まず、オペレータが原反RSを図1に示すようにセットした後、運転開始の信号を入力すると、貼付手段60が回動モータ65及び図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出し、接着シートASの先端部が剥離板63の先端で所定量剥離されたことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段に検知されると、貼付手段60が回動モータ65及び図示しない駆動機器の駆動を停止し、シート貼付装置10がスタンバイ状態となる。次いで、人手または図示しない多関節ロボットやベルトコンベア等の搬送手段によって、図1中実線で示される位置で待機している外側テーブル51の上面にリングフレームRFを載置し、内側テーブル52の上面にウエハWFを載置すると、支持手段50が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームRF及びウエハWFを吸着保持するとともに、内側テーブル52を昇降させ、リングフレームRFの一方の面RF1とウエハWFの上面とを同一平面内に位置させる。次いで、支持手段50がリニアモータ54を駆動し、スライダ53を左方向に移動させ、リングフレームRFが所定の位置に到達したことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段によって検知されると、貼付手段60が回動モータ65及び図示しない駆動機器を駆動し、リングフレームRFの搬送に同期させて原反RSを繰り出し、リングフレームRFの一方の面RF1及びウエハWFの上面に剥離板63で剥離された接着シートASを押圧ローラ64で押圧して貼付する。そして、接着シートASが貼付されたリングフレームRFが図1中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段によって検知されると、支持手段50がリニアモータ54の駆動を停止する。
即ち、他面貼付部AS2を他方の面RF2に押圧して貼付することで、リングフレームRFの異なる2面に接着シートASを貼付することができ、押圧力を大きくしなくても剥がれにくいように接着シートASをリングフレームRFに貼付することができる。
更に、押圧手段20と折り曲げ部材34とをそれぞれ独立して移動可能に設けてもよく、例えば、折り曲げ部材34で他面貼付部AS2を変位させ、当該折り曲げ部材34を押圧手段20の作動に邪魔にならない位置に移動させてから、別体の押圧手段20で他面貼付部AS2を他方の面RF2に押圧して貼付することができる。
また、押圧手段20は、例えば、リングフレームRFの上下方向の幅が広い場合、リングフレームRFの開口部を形成する内側面のみ又は、リングフレームRFの外縁を形成する外側面のみに他面貼付部AS2を貼付するものであってもよく、シート本体AS1と他面貼付部AS2とを互いに同一平面内に位置しない2面に貼付するものであればよい。
また、予めリングフレームRFに接着シートASが貼付されたものをシート貼付の対象とする場合、貼付手段60はなくてもよい。
更に、ウエハWFは必須ではなく、シート貼付装置10は、リングフレームRFに接着シートASだけを貼付するものでもよい。
また、接着シートASは、他面貼付部AS2が連結辺JP以外で全くシート本体AS1とつながっていていないものでもよい。
更に、接着シートASは、他面貼付部AS2が連結辺JPでつながることなく、全周に連続する切込によって環状に形成されたものでもよい。
本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる1実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、押圧手段は、変位した他面貼付部を他方の面に押圧するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 押圧手段
30 変位手段
40 規制手段
AS 接着シート
AS1 シート本体
AS2 他面貼付部
RF リングフレーム(被着体)
RF1 一方の面
RF2 他方の面
Claims (4)
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートは、前記被着体の一方の面に貼付されるシート本体と、当該被着体に貼付されたシート本体の貼付面から外れる方向に変位し、前記被着体の他方の面に貼付可能な他面貼付部とを有し、
変位した前記他面貼付部を前記他方の面に押圧する押圧手段を有して構成されていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記他面貼付部を前記貼付面から外れる方向に変位させる変位手段を更に備え、
前記変位手段によって変位させた前記他面貼付部を前記押圧手段が前記他方の面に押圧することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 前記押圧手段の押圧力に対抗する反力を前記被着体に加えることで、当該被着体の移動を規制する規制手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のシート貼付装置。
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記接着シートは、前記被着体の一方の面に貼付されるシート本体と、当該被着体に貼付されたシート本体の貼付面から外れる方向に変位し、前記被着体の他方の面に貼付可能な他面貼付部とを有し、
変位した前記他面貼付部を前記他方の面に押圧することを特徴とするシート貼付方法。
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JP2008042016A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保持方法および半導体ウエハ保持構造体 |
JP2011198979A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2011210854A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2012192951A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Lintec Corp | テープスクイズ装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005159044A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Takatori Corp | リングフレームへの粘着テープ貼り付け方法とその装置及びリングフレームへの基板マウント装置 |
JP2008042016A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保持方法および半導体ウエハ保持構造体 |
JP2011198979A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
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