JP2015031714A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013158906A JP6188473B2 (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
| US14/340,890 US9257454B2 (en) | 2013-07-31 | 2014-07-25 | Thin film transistor array substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013158906A JP6188473B2 (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015031714A JP2015031714A (ja) | 2015-02-16 |
| JP2015031714A5 true JP2015031714A5 (enExample) | 2016-09-15 |
| JP6188473B2 JP6188473B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=52426837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013158906A Active JP6188473B2 (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9257454B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6188473B2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6184268B2 (ja) | 2013-09-18 | 2017-08-23 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
| JP6457879B2 (ja) * | 2015-04-22 | 2019-01-23 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置及びその製造方法 |
| CN106206617A (zh) * | 2016-08-29 | 2016-12-07 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基于低温多晶硅的阵列基板及其制作方法 |
| JP6792723B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2020-11-25 | シャープ株式会社 | 表示デバイス、表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置 |
| CN109935580B (zh) * | 2017-12-19 | 2025-01-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板及其制作方法、电子装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6836301B1 (en) * | 1999-06-15 | 2004-12-28 | Advanced Display Inc. | Liquid crystal display device |
| JP4356750B2 (ja) | 2007-01-25 | 2009-11-04 | エプソンイメージングデバイス株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| JP4487318B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2010-06-23 | エプソンイメージングデバイス株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| JP5079463B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2012-11-21 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| JP5302122B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2013-10-02 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 液晶表示パネル |
| JP5500712B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2014-05-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示パネル |
| WO2013073635A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | シャープ株式会社 | 半導体装置及び表示装置 |
| US9035302B2 (en) * | 2011-12-28 | 2015-05-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix including stressed capacitor insulation |
| CN102681276B (zh) * | 2012-02-28 | 2014-07-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制造方法以及包括该阵列基板的显示装置 |
| JP6347937B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2018-06-27 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013158906A patent/JP6188473B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-25 US US14/340,890 patent/US9257454B2/en active Active