JP2015030906A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜装置は、成膜チャンバ10と、それぞれがターゲット24を有し、ターゲット表面24aがいずれも成膜チャンバ10内の基材の側を向く姿勢で互いに隣り合うように配置される第1及び第2カソード20A,20Bと、両ターゲット24の表面24aの近傍に磁場を形成する磁場形成部30と、両カソード20A,20B間に介在する成膜用電源40と、シャッタ50と、を備える。シャッタ50は、両カソードのターゲット表面24aと基材との間に介在して当該ターゲット表面24aを一括して基材から遮断する閉位置と、ターゲット表面24aと基材との間を開放して基材への成膜を許容する開位置との間で開閉動作する。
【選択図】図2
Description
成膜チャンバ10内の基材収容領域60に基材がセットされ、第1及び第2カソード20A,20Bのカソード本体22に必要なターゲット24が装着される。その後、成膜チャンバ10内が密閉され、真空引きされた後、スパッタリング用の不活性ガス(例えばアルゴンガス)、さらに必要な場合は反応ガスが封入される。例えば、前記基材の表面にアルミナが成膜される場合、前記ターゲット24としてアルミニウムターゲットがカソード本体22に装着されるとともに、前記反応ガスとして酸素ガスが封入される。
前記基材への成膜の前にいわゆるプレスパッタが行われる。当該基材への成膜(DMS)は、成膜用電源40から前記第1及び第2カソード20A,20Bに電圧を交互に印加して放電させることによって行われるが、放電開始直後はターゲット24の温度が低く、また放電電圧がやや高めで反応のモード(例えばメタルモード、リアクティブモード、その間の遷移モード)が所望のモードから外れる可能性が高いため、放電と同時に成膜を開始したのでは所望の膜質及び成膜レートを得ることが難しい。そこで、放電状態が安定するまでプレスパッタが行われる。
前記プレスパッタが終了した時点で可動シャッタ板51,52を閉位置から開位置に移動させることにより、DMSによる基材表面への成膜を開始することができる。具体的には、前記放電によって生成されたガスイオン原子が各ターゲット24の表面から成膜材料を叩き出して基材の表面へ付着・堆積させることにより、当該基材表面上での成膜が進められる。前記プレスパッタの終了を判断する基準は適宜設定されることが可能であり、例えば、ターゲット24の温度の上昇、放電状態の安定、セルフクリーニングによる不純物の除去の完了、などが挙げられる。
20A 第1カソード
20B 第2カソード
22 カソード本体
24 ターゲット
24a ターゲット表面
30 磁場形成部
40 成膜用電源
50 シャッタ機構
51,52 可動シャッタ板(開閉部材)
53 補助シャッタ板
54 開閉支持機構
60 基材収容領域
70 成膜部
Claims (7)
- 成膜装置であって、
特定位置に基材を収容する成膜チャンバと、
それぞれがターゲットを有し、これらのターゲットの表面がいずれも前記特定位置に配された基材の側を向く姿勢で互いに隣り合うように配置される第1カソード及び第2カソードと、
前記第1及び第2カソードのターゲットの表面の近傍にそれぞれマグネトロンスパッタリング用の磁場を形成する磁場形成部と、
前記第1及び第2カソードの間に介在する成膜用電源と、
前記第1及び第2カソードのターゲットの表面と前記基材との間に介在して当該第1カソード及び第2カソードのターゲットの表面を一括して前記基材から遮断する閉位置と前記第1及び第2カソードのターゲットの表面と前記基材との間を開放して当該ターゲットによる前記基材の表面への成膜を許容する開位置との間で開閉動作が可能なシャッタと、を備える、成膜装置。 - 請求項1記載の成膜装置であって、前記第1及び第2カソードは、それぞれのターゲットの表面が同じ方向を向くように配置される、成膜装置。
- 請求項1または2記載の成膜装置であって、前記シャッタは、前記第1及び第2カソードのターゲットの並び方向と同じ方向に並ぶ一対の開閉部材を含み、これらの開閉部材が前記並び方向と直交する回動中心軸回りに回動可能となるように前記成膜チャンバに支持されて当該回動により前記開位置と前記閉位置との間で移動する、成膜装置。
- 請求項3記載の成膜装置であって、前記各回動中心軸は、前記第1及び第2カソードを挟んで前記開閉部材と反対の側の位置に設定されている、成膜装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の成膜装置であって、前記成膜チャンバにおいて前記基材を挟んで互いに対角となる箇所にそれぞれ前記第1及び第2カソード並びに前記シャッタが設けられる、成膜装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の成膜装置であって、前記第1及び第2カソードに加え、前記成膜チャンバ内に配置されて前記第1及び第2カソードによるスパッタリングとは異なる成膜を実行する成膜部をさらに備える、成膜装置。
- 請求項6記載の成膜装置であって、前記成膜チャンバにおいて前記基材を挟んで互いに対角となる箇所にそれぞれ、前記第1及び第2カソード並びにシャッタが設けられ、これらの箇所とは異なる箇所であって前記第1及び第2カソードとともに前記基材を囲む箇所に前記成膜部が配置される、成膜装置。
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