JP2014181376A - スパッタリング装置及びスパッタリング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ターゲットの非侵食領域に形成されたリデポ膜を簡単な手法で除去することができるスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】基板Wとターゲット3が配置される真空チャンバ1と、ターゲットの後側に配置される磁石ユニット4とを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入してプラズマを形成し、スパッタ面31をスパッタリングし、飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させる。磁石ユニットにより形成される磁束の位置に応じてスパッタ面が所定の領域で侵食される。真空チャンバ内に、基板とターゲットとの間でこのターゲットを臨む位置に進退自在な可動部材5を設け、可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でスパッタ面をスパッタリングすると、ターゲットの侵食される領域がスパッタ面内でシフトするように構成した。
【選択図】図1
【解決手段】基板Wとターゲット3が配置される真空チャンバ1と、ターゲットの後側に配置される磁石ユニット4とを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入してプラズマを形成し、スパッタ面31をスパッタリングし、飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させる。磁石ユニットにより形成される磁束の位置に応じてスパッタ面が所定の領域で侵食される。真空チャンバ内に、基板とターゲットとの間でこのターゲットを臨む位置に進退自在な可動部材5を設け、可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でスパッタ面をスパッタリングすると、ターゲットの侵食される領域がスパッタ面内でシフトするように構成した。
【選択図】図1
Description
本発明は、スパッタリング装置及びスパッタリング方法に関し、より詳しくは、ターゲットの非侵食領域に形成されたリデポ膜を簡単な手法で除去することができるものに関する。
例えば、不揮発性メモリ等の半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハなどの処理すべき基板の表面に誘電体膜を量産性良く成膜するために、マグネトロン方式のスパッタリング(以下「スパッタ」という)装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。このものは、基板とターゲットとが配置される真空チャンバと、ターゲットから基板に向かう方向を前、このターゲットの前面をスパッタ面として、ターゲットの後側に配置される磁石ユニットとを備える。そして、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに負の電位を持った直流電力や交流電力を投入し、基板とターゲットとの間の空間にプラズマを形成し、スパッタ面をスパッタして飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させて成膜する。このとき、磁石ユニットにより形成される磁束の位置に応じてスパッタ面の所定の領域が侵食される一方で、その他の領域は、スパッタにより侵食されない非侵食領域として残る。
ここで、ターゲットから飛散したスパッタ粒子の一部は、ターゲットのスパッタ面に再付着する。侵食される領域に再付着したスパッタ粒子は再度スパッタされるが、非侵食領域では再付着したスパッタ粒子がそのまま堆積してリデポ膜が形成される。このようなリデポ膜がターゲットから剥離して基板に堆積すると、パーティクル等となって製品歩留まりの低下を招来する。このため、所定の厚さ以上のリデポ膜が形成される前にターゲットを交換することが考えられる。然し、これでは、ターゲットの厚さに応じた寿命に達する前にターゲットを交換することになり、ターゲットが誘電体成膜用の高価なターゲットであるような場合、製造コストが多大となる。そこで、簡単な手法で定期的にリデポ膜を除去し得るようにスパッタリング装置を構成することが望まれている。
本発明は、以上の点に鑑み、ターゲットの非侵食領域に形成されたリデポ膜を簡単な手法で除去することができるスパッタリング装置及びスパッタリング方法を提供することをその課題とする。
上記課題を解決するために、本発明は、処理すべき基板とターゲットとが配置される真空チャンバと、ターゲットから基板に向かう方向を前、このターゲットの前面をスパッタ面として、ターゲットの後側に配置される磁石ユニットとを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入して基板とターゲットとの間の空間にプラズマを形成し、スパッタ面をスパッタリングし、飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させるスパッタリング装置であって、磁石ユニットにより形成される磁束の位置に応じてスパッタ面が所定の領域で侵食されるものにおいて、真空チャンバ内に、基板とターゲットとの間でこのターゲットを臨む位置に進退自在な可動部材を設け、この可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でスパッタ面をスパッタリングすると、ターゲットの侵食される領域がスパッタ面内でシフトするように構成したことを特徴とする。
本発明によれば、基板とターゲットとの間でこのターゲットを臨む位置に進退自在な可動部材を設けたため、例えば、ターゲットに投入される積算電力投入時間(積算電力)が所定値に達したとき、ターゲットのスパッタ面にリデポ膜が形成されたと判断し、上記可動部材を退避させた状態で行われる基板への成膜を中断する。そして、上記可動部材をターゲットを臨む位置に進入させてターゲットのスパッタ面をスパッタリングするとき、ターゲットの侵食される領域を、リデポ膜を除去できる位置にシフトすれば、リデポ膜を簡単に除去できる。この場合、可動部材を回転軸により回動自在なシャッタ板とし、このシャッタ板が磁性体を有するようにすれば、スパッタリング装置に備えられていることが多い既存のシャッタ板で可動部材を代用できてよい。尚、磁性体を有するとは、シャッタ板が磁性体で作製される場合を含むものとする。
また、上記スパッタリング装置を用いた本発明のスパッタリング方法は、可動部材をターゲットを臨む位置から退避させた状態でターゲットのスパッタ面をスパッタリングし、スパッタ粒子を基板に付着、堆積させて基板表面に成膜する第1工程と、可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でターゲットのスパッタ面をスパッタリングし、第1工程にてターゲットのスパッタ面をスパッタリングしたときに侵食されないスパッタ面の非侵食領域を優先的に侵食する第2工程とを備える。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態のスパッタリング装置について、処理すべき基板Wをシリコンウエハとし、この基板Wの表面にGST膜をスパッタにより成膜するのに用いられるものを例に説明する。尚、以下においては、「上」「下」といった方向を示す用語は、図1を基準とする。
図1を参照して、SMは、スパッタリング装置であり、このスパッタリング装置SMは、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプなどの真空排気手段Pを介して所定の真空度に保持できる真空チャンバ1を備える。真空チャンバ1の側壁には、マスフローコントローラ10を介設したガス管11が接続されており、図示省略のガス源からスパッタガスを真空チャンバ1内に導入できるようになっている。スパッタガスには、Ar等の希ガスだけでなく、反応性スパッタリングを行う場合には酸素ガスが含まれるものとする。
真空チャンバ1の底部には、基板ステージ2が配置されている。基板ステージ2は、図示省略する公知の静電チャックを有し、静電チャックの電極にチャック電源からチャック電圧を印加することで、基板ステージ2上に基板Wをその成膜面を上にして吸着保持できるようになっている。
真空チャンバ1の上壁に形成された開口には、スパッタ面31が基板ステージ2を臨むようにターゲット3が配置されている。ターゲット3は、Ge、Sb及びTeを含む焼結体から成り、公知の方法により基板Wより一回り大きい外形となるように作製されている。ターゲット3の上面(図1中、スパッタ面31と背向する面)には、スパッタリングによる成膜中、ターゲット3を冷却する銅製のバッキングプレート32がインジウムやスズなどの熱伝導率が高い材料からなるボンディング材を介して接合され、バッキングプレート32の下面外周部が絶縁部材Iを介して真空チャンバ1の上壁に取り付けられている。ターゲット3にはスパッタ電源Eが接続され、スパッタリング時、ターゲット3に負の電位を持つ直流電力や交流電力を投入できるようになっている。
ターゲット3のスパッタ面31を前面とし、ターゲット3の後側(図1中、上側)には磁石ユニット4が配置され、ターゲット3のスパッタ面31の前方に、図示省略の磁束(例えば、釣り合った閉ループのトンネル状の磁束)を発生させ、スパッタリング中、スパッタ面31の下方で電離した電子及びスパッタリングにより生じた二次電子を捕捉してターゲット3から飛散したスパッタ粒子を効率よくイオン化するようにしている。磁石ユニット4としては、平面視円形のヨーク材41と、ヨーク材41の下面に下方の極性を交互に変えて配置した複数個の磁石42とを備える。ヨーク材41には、モータ43の回転軸43aが連結され、この回転軸43aを中心として回動できるようになっている。
真空チャンバ1内には、ターゲット3と基板Wとの間でこのターゲット3を臨む位置に進退自在なシャッタ板5が設けられ、ターゲット3のスパッタ面31に形成された酸化膜をダミースパッタにより除去する場合に、シャッタ板5をターゲット3を臨む位置に進入させて、ターゲット3からのスパッタ粒子が基板ステージ2や基板Wに付着することを防止できるようになっている。シャッタ板5には、真空チャンバ1の下壁を貫通する回転自在な回転軸52aが連結され、この回転軸52aを真空チャンバ1の外側に配置されたモータ52により回転させることで、シャッタ板5を回動できるようになっている。そして、本実施形態では、シャッタ板5に磁性体51たる磁石が組み込まれており、シャッタ板5をターゲット3を臨む位置に進入させた状態でスパッタ面31をスパッタすると、磁石51により形成される磁束により、磁石ユニット4により形成される磁束が歪められ、ターゲット3の侵食される領域がスパッタ面31内でシフトするようになっている。この場合、シャッタ板5が、本発明の可動部材を構成する。磁石51としては、シャッタ板5がターゲット3を臨む位置に進入したときに、スパッタ面31での磁場強度が50G以上となるものを用いることが好ましく、磁場強度が200G以上となるものを用いることがより好ましい。上記スパッタリング装置SMは、マイクロコンピュータやシーケンサ等を備えた公知の制御手段を有し、マスフローコントローラ10の稼働及び真空排気手段Pの稼働、モータ43,52の駆動等を統括制御するようにしている。以下、上記スパッタリング装置SMを用い、基板W表面にGST膜を成膜する場合を例に、本発明の実施形態のスパッタリング方法について説明する。
先ず、図1(a)に示すように、シャッタ板5をターゲット3を臨む位置から退避させる。この退避位置では、磁石ユニット4により形成される磁束が、シャッタ板5の磁石51により形成される磁束により歪められない。この状態で真空チャンバ1内を所定の真空度(例えば、2×10−7Torr)まで真空引きし、図外の搬送ロボットにより真空チャンバ1内に基板Wを搬送し、基板ステージ2に基板Wを受け渡し、静電吸着する。このとき、基板ステージ2をヒータ等により加熱し、基板Wを所定温度に加熱してもよい。次いで、スパッタガスたるアルゴンガスを所定流量(150sccm)で導入し、スパッタ電源Eからターゲット3に電力(例えば、13.56MHz、0.7kWの高周波電力)を投入することにより、真空チャンバ1内にプラズマを形成する。これにより、ターゲット3のスパッタ面31がスパッタされ、飛散したスパッタ粒子を基板Wの表面に付着、堆積させてGST膜を成膜する(第1工程)。
ここで、第1工程中、磁石ユニット4により形成される磁束の位置に応じて、スパッタ面31の所定領域が侵食される一方で、その他の領域は、スパッタにより侵食されない非侵食領域(例えば、スパッタ面31の中心近傍)として残る。ターゲット3から飛散したスパッタ粒子の一部は、ターゲット3のスパッタ面31に再付着する。侵食される領域に再付着したスパッタ粒子は再度スパッタされて飛散するが、非侵食領域では再付着したスパッタ粒子はそのまま堆積してリデポ膜Fが形成される。このリデポ膜Fがターゲット3から剥離して基板Wに堆積すると、パーティクル等となって製品歩留まりの低下を招来する。そこで、例えば、電源Eからターゲット3への積算電力投入時間(積算電力)が所定値(例えば、10秒×25枚)に達したとき、ターゲット3のスパッタ面31にリデポ膜Fが形成されたと判断し、基板Wへの成膜を中断し、次の第2工程を行う。
第2工程では、図1(b)に示すように、モータ52の回転軸52aを回転させることによりシャッタ板5を回動させてターゲット3を臨む位置に進入させ、この状態でターゲット3をスパッタ(ダミースパッタ)する。ダミースパッタの条件としては、成膜時と同じ条件を用いることができる。このとき、シャッタ板5の磁石51により形成される磁束によって、磁石ユニット4により形成される磁束が歪められ、ターゲット3の侵食される領域がスパッタ面31内でシフトする。このため、第2工程では、第1工程にてスパッタしたときに侵食されないスパッタ面31の非侵食領域が優先的に侵食されることにより、リデポ膜Fが除去される。
以上説明した実施形態によれば、ターゲット3を臨む位置に可動部材5を進入させてスパッタすることにより、ターゲット3の侵食される領域をリデポ膜Fを除去できる位置にシフトさせれば、リデポ膜Fを簡単に除去することができる。この場合、可動部材5を回転軸52aにより回動自在なシャッタ板とし、このシャッタ板5に磁石51を組み付けるようにすれば、スパッタリング装置SMに備えられていることが多い既存のシャッタ板5で可動部材を代用できてよい。
次に、上記スパッタリング装置SMを用い、本発明の効果を確認するために実験を行った。発明実験では、基板Wを直径300mmのシリコンウエハとし、ターゲット3として直径φ440mmのGSTターゲットを用いた。シャッタ板5を退避させた後、基板ステージ2により基板Wを保持し、真空チャンバ1内にスパッタガスとしてアルゴンガスを150sccmの流量で導入し(このとき、真空チャンバ1内の圧力は5×10―3Torr)、ターゲット3に対し電源Eから13.56MHz、0.7kWの高周波電力を投入してプラズマを形成し、ターゲット3をスパッタして基板W表面にGST膜を成膜した。このような成膜を繰り返し行うと、ターゲット3の中心近傍には、リデポ膜Fが形成されることが確認され、これにより、ターゲット3のスパッタ面31の中心近傍が非侵食領域となることが判った。次に、基板Wを搬出した後、シャッタ板5をターゲット3を臨む位置に進入させた状態で、上記成膜時と同じ条件でターゲット3をスパッタ(ダミースパッタ)した。尚、スパッタ時間は250secとした。ダミースパッタ後のターゲット3を観察したところ、その中心近傍のリデポ膜は除去されていることが確認された。従って、シャッタ板5の磁石51により形成される磁束により、磁石ユニット4により形成される磁束が歪められて、ターゲット3の侵食される領域がスパッタ面31内でシフトすることが判った。
次に、磁石51の位置が異なる2つのシャッタ板5を用い、夫々成膜したGST膜の膜厚の面内分布の変化を測定した。その測定結果を図2に示す。図2中の実線は、図1に示す如くシャッタ板5の中心近傍に磁石51を形成した場合の膜厚面内分布を示しており、同図中の破線は、シャッタ板5の外周近傍に磁石51を形成した場合の膜厚面内分布を示す。これによれば、シャッタ板5における磁石51の位置を変えれば、ターゲット3の侵食される領域が変わり、それにより膜厚面内分布が変化することが判った。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、可動部材としてシャッタ板を兼用するものを例に説明したが、シャッタ板として用いられないものであってもよい。また、上記実施形態では、シャッタ板5に磁石51を組み付けたものを例に説明したが、例えば、Co,Ni等の磁性材料(磁性体)で作製されたシャッタ板を用いることもでき、この場合、磁石が不要となりコストを低減できる。
また、上記実施形態では、ダミースパッタ時に基板ステージ2に基板Wを保持していないが、基板Wを基板ステージ2に保持した状態でダミースパッタ(第2工程)を行うようにしてもよい。これによれば、ダミースパッタが終了直後に、シャッタ板5を退避させれば、基板Wに成膜できるため、スループットを向上できてよい。
W…基板、1…真空チャンバ、3…ターゲット、31…スパッタ面、4…磁石ユニット、5…可動部材,シャッタ板、51…磁性体(磁石)。
Claims (3)
- 処理すべき基板とターゲットとが配置される真空チャンバと、ターゲットから基板に向かう方向を前、このターゲットの前面をスパッタ面として、ターゲットの後側に配置される磁石ユニットとを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入して基板とターゲットとの間の空間にプラズマを形成し、スパッタ面をスパッタリングし、飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させるスパッタリング装置であって、
磁石ユニットにより形成される磁束の位置に応じてスパッタ面が所定の領域で侵食されるものにおいて、
真空チャンバ内に、基板とターゲットとの間でこのターゲットを臨む位置に進退自在な可動部材を設け、この可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でスパッタ面をスパッタリングすると、ターゲットの侵食される領域がスパッタ面内でシフトするように構成したことを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記可動部材は、回転軸により回動自在なシャッタ板であり、このシャッタ板が磁性体を有することを特徴とする請求項1記載のスパッタリング装置。
- 請求項1または2記載のスパッタリング装置を用いたスパッタリング方法において、
可動部材をターゲットを臨む位置から退避させた状態でターゲットのスパッタ面をスパッタリングし、スパッタ粒子を基板に付着、堆積させて基板表面に成膜する第1工程と、
可動部材をターゲットを臨む位置に進入させた状態でターゲットのスパッタ面をスパッタリングし、第1工程にてターゲットのスパッタ面をスパッタリングしたときに侵食されないスパッタ面の非侵食領域を優先的に侵食する第2工程とを備えることを特徴とするスパッタリング方法。
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CN115011928A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 再生靶材的方法及形成材料薄膜的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06168934A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | スパッタリング方法およびスパッタリング装置 |
JPH09241838A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-16 | Sony Corp | スパッタリング装置用シャッタ |
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