JP2015024393A - 接着剤塗布方法 - Google Patents

接着剤塗布方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015024393A
JP2015024393A JP2013156729A JP2013156729A JP2015024393A JP 2015024393 A JP2015024393 A JP 2015024393A JP 2013156729 A JP2013156729 A JP 2013156729A JP 2013156729 A JP2013156729 A JP 2013156729A JP 2015024393 A JP2015024393 A JP 2015024393A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
adhesive
chucking mechanism
work
chuck
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013156729A
Other languages
English (en)
Inventor
信道 木村
Nobumichi Kimura
信道 木村
佑輔 桜井
Yusuke Sakurai
佑輔 桜井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2013156729A priority Critical patent/JP2015024393A/ja
Publication of JP2015024393A publication Critical patent/JP2015024393A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

【構成】チャッキング機構10によって保持されたワークWK1は、接着剤AD1の層(=接着剤層)が形成された転写面TFの上方に配置された後に解放される。ワークWK1の下端面EFは接着剤層に全面的に当接し、これによって接着剤AD1が下端面EFの全域に塗布される。ワークWK1はその後、チャッキング機構10によって再度保持され、かつ持ち上げられる。【効果】チャッキング機構10によって保持されたワークWK1の下端面EFが転写面TFと平行になるようにワークWK1の姿勢を厳格に調整しなくても、つまりチャッキング機構10によるチャッキング精度が低くても、ワークWK1の下端面EFに良好に接着剤AD1を塗布することができる。【選択図】図5

Description

この発明は、接着剤塗布方法に関し、特に、チャックによって保持されたワークの一方の端面を接着剤層が形成された転写面に接触させて接着剤を端面に塗布する、接着剤塗布方法に関する。
従来の接着剤塗布方法を図9および図10(A)〜図10(B)を参照して説明する。図9を参照して、チャッキング機構1は、主面が長方形をなす板状の基盤2を含む。基盤2の主面をなす長方形の長辺および短辺に沿ってX軸およびY軸を割り当てると、Z軸は基盤2の厚み方向に割り当てられる。
基盤2の下面(=Z軸方向の負側を向く主面)には、共通の形状をなすツメ3aおよび3bが設けられる。ツメ3aおよび3bのいずれも、主面が長方形をなす板状に形成される。ツメ3aおよび3bの各々の主面をなす長方形の長辺および短辺はY軸およびZ軸に沿って延び、ツメ3aおよび3bの各々をなす板の厚みはX軸に沿って増大する。
また、ツメ3aは基盤2の下面の中央よりもX軸方向における負側の位置に設けられ、ツメ3bは基盤2の下面の中央よりもX軸方向における正側の位置に設けられる。さらに、ツメ3aおよび3bは、図示しない可動機構によってX軸方向に平行移動する。このとき、ツメ3aおよび3bの各々の上面(=Z軸方向の正側を向く側面)は、基盤2の下面に対して摺動する。
ツメ3aの内側面(=X軸方向の正側を向く側面)には、ピン4aおよび4bが設けられる。また、ツメ3bの内側面(=X軸方向の負側を向く側面)には、ピン4cが設けられる。ピン4a〜4cのいずれも円柱状に形成され、かつZ軸に沿って延びる。また、ピン4aおよび4bは、各々の先端がツメ3aの下面(=Z軸方向の負側を向く側面)よりも下側に突出するようにツメ3aに固定される。ピン4cも、その先端がツメ3bの下面(=Z軸方向の負側を向く側面)よりも下側に突出するようにツメ3bに固定される。
このようなチャッキング機構1によって円筒形状のワークWK1を保持するときは、まず、一方の端面EFが下を向く姿勢でワークWK1がトレイTR1に載置され、チャッキング機構1がワークWK1の上方に配置される。次に、ワークWK1をなす円筒の内側にピン4a〜4cが収まるようにツメ3aおよび3bの位置が調整され、ピン4a〜4cの先端が円筒に挿入される位置までチャッキング機構1が下降される。ツメ3aおよび3bはその後X軸方向における負側および正側にそれぞれ移動され、ピン4a〜4cの側面はワークWK1をなす円筒の内周面に圧接される。
こうしてワークWK1を保持したチャッキング機構1は、接着剤AD1が塗布された上面(=転写面TF)を有するトレイTR2の上方に移動され(図10(A)参照)、ワークWK1の端面EFが転写面TFに押圧される(図10(B)参照)。これによって、ワークWK1の端面EFに接着剤AD1が塗布される。
特開2000−254566号公報 特開昭63−66559号公報
しかし、図11(A)〜図11(C)から分かるように、チャッキング機構1によって保持されたワークWK1の端面EFが転写面TFと平行でなければ、接着剤AD1は端面EFの一部にしか塗布されない。また、チャッキング機構1によって保持されたワークWK1の端面EFを転写面TFに対して平行にするには、高いチャッキング精度が求められる。
それゆえに、この発明の主たる目的は、チャッキング精度が低くてもワークの端面に良好に接着剤を塗布することができる、接着剤塗布方法を提供することである。
この発明に従う接着剤塗布方法は、ワーク(WK1:実施例で相当する参照符号。以下同じ)の一方の端面(EF)が下を向く姿勢でワークを保持したチャック(10)を、接着剤層(AD1)が形成された転写面(TF)の上方に配置する配置工程、配置工程の後にチャックによる保持を解除してワークを解放させる解放工程、解放工程の後にチャックによりワークを再度保持させる再保持工程、および再保持工程の後にチャックを上昇させる上昇工程を備える。
好ましくは、ワークは筒体をなし、チャックは各々が下方に突出する複数の第1突出部(16a~16c)を有し、配置工程および再保持工程の各々は、複数の第1突出部の各々の側面をワークの内周面に所定の圧力で当接させる当接工程を含み、解放工程は複数の第1突出部の各々の側面をワークの内周面から離反する離反工程を含む。
好ましくは、解放工程の後でかつ再保持工程の前にチャックを下降させてワークを転写面に押圧する押圧工程がさらに備えられる。
さらに好ましくは、チャックは、下方に突出する第2突出部(14a~14b)を有し、第2突出部は、上方から眺めてワークと重なる位置にあり、押圧工程は第2突出部をワークに押し付けることによりワークを転写面に押圧する。
好ましくは、配置工程の後でかつ解放工程の前にチャックを下降させてワークを転写面に押し付ける押付工程がさらに備えられる。
好ましくは、ワークの一方の端面および転写面の各々は平坦に形成される。
一方の端面が下を向く姿勢でチャックによって保持されたワークは、接着剤層が形成された転写面の上方に配置された後に解放される。ワークの端面は接着剤層に全面的に当接し、これによって接着剤が端面の全域に塗布される。ワークはその後、チャックによって再度保持され、かつ持ち上げられる。これによって、チャックによって保持されたワークの端面が転写面と平行になるようにワークの姿勢を厳格に調整しなくても、つまりチャッキング精度が低くても、ワークの端面に良好に接着剤を塗布することができる。
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
この実施例のチャッキング機構とこれによって保持されるワークの一例を示す斜視図である。 図1に示すチャッキング機構およびワークのA−A断面を示す断面図である。 (A)はチャッキング機構をしてワークを保持した状態の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構をしてワークを解放した状態の一例を示す図解図である。 (A)はチャッキング機構をワークの上方に配置する工程の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構を下降させる工程の一例を示す図解図である。 (A)はチャッキング機構をしてワークを保持する工程の一例を示す図解図であり、(B)はワークを保持したチャッキング機構を上昇させる工程の一例を示す図解図であり、(C)はワークを保持したチャッキング機構を転写面の上方に移動させる工程の一例を示す図解図であり、(D)はチャッキング機構をしてワークを解放する工程の一例を示す図解図である。 (A)はチャッキング機構をしてワークを転写面に押圧する工程の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構をしてワークを再度保持する工程の一例を示す図解図であり、(C)はワークを保持したチャッキング機構を上昇させる工程の一例を示す図解図である。 (A)はワークを保持したチャッキング機構を転写面の上方に移動させる工程の一例を示す図解図であり、(B)はワークを保持したチャッキング機構を下降させる工程の一例を示す図解図であり、(C)はチャッキング機構をしてワークを解放する工程の一例を示す図解図であり、(D)はチャッキング機構をしてワークを転写面に押圧する工程の一例を示す図解図である。 (A)はチャッキング機構をしてワークを保持した状態の他の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構をしてワークを解放した状態の他の一例を示す図解図である。 背景技術のチャッキング機構とこれによって保持されるワークの一例を示す斜視図である。 (A)はチャッキング機構によって保持されたワークを転写面の上方に配置する工程の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構をしてワークを転写面に押圧する工程の一例を示す図解図である。 (A)はチャッキング機構によって保持されたワークを転写面の上方に配置する工程の他の一例を示す図解図であり、(B)はチャッキング機構をしてワークを転写面に押圧する工程の他の一例を示す図解図であり、(C)はワークを保持したチャッキング機構を上昇させる工程の一例を示す図解図である。
図1および図2を参照して、この実施例のチャッキング機構10は、主面が長方形をなす板状の基盤12を含む。X軸およびY軸は基盤12の主面をなす長方形の長辺および短辺に沿って割り当てられ、Z軸は基盤12をなす板の厚み方向に割り当てられる。基盤12をなす板の厚み方向は重力方向に相当し、この結果、Z軸は重力方向に延びる。
基盤12の下面(=Z軸方向の負側を向く主面)には、共通の形状をなすツメ14aおよび14bが設けられる。ツメ14aおよび14bのいずれも、主面が長方形をなす板状に形成される。ツメ14aおよび14bの各々の主面をなす長方形の長辺および短辺はY軸およびZ軸に沿って延び、ツメ14aおよび14bの各々をなす板の厚みはX軸に沿って増大する。また、ツメ14aは基盤12の下面の中央よりもX軸方向における負側の位置に設けられ、ツメ14bは基盤12の下面の中央よりもX軸方向における正側の位置に設けられる。
さらに、ツメ14aおよび14bは、図示しない可動機構によってX軸方向に移動する。このとき、ツメ14aおよび14bの各々の上面(=Z軸方向の正側を向く側面)は、基盤12の下面に対して摺動する。なお、ツメ14aおよび14bは共通の形状をなすため、ツメ14aおよび14bは、各々の下面(Z軸方向の負側を向く側面)のZ軸方向における位置が互いに一致するように基板12の下側に突出する。
ツメ14aの内側面(=X軸方向の正側を向く側面)には、ピン16aおよび16bが設けられる。また、ツメ14bの内側面(=X軸方向の負側を向く側面)には、ピン16cが設けられる。ピン16a〜16cはいずれも円柱状に形成され、かつZ軸に沿って延びる。また、ピン16aおよび16bは、各々の先端がツメ14aの下面(=Z軸方向の負側を向く側面)よりも下側に突出するようにツメ14aに固定される。ピン16cも、その先端がツメ14bの下面(=Z軸方向の負側を向く側面)よりも下側に突出するようにツメ14bに固定される。
トレイTR1には、円筒形のワークWK1が載置される。ワークWK1をなす円筒の長さ方向両端は平坦面とされ、いずれの平坦面も円筒の軸に直交する。このような2つの平坦面の一方が“下端面EF”とされ、ワークWK1は下端面EFがZ軸方向の負側を向く姿勢でトレイTR1に載置される。したがって、下端面EFはトレイTR1の上面に当接する。なお、以下では、2つの平坦面の他方を“上端面”と定義する。
上述のように、ツメ14aおよび14bは、図示しない可動機構によってX軸方向に移動する。したがって、ワークWK1をなす円筒にピン16a〜16cの先端を挿入した状態でツメ14aおよび14bをX軸方向の負側および正側にそれぞれ移動させると、図3(A)に示すように、ピン16a〜16cの側面がワークWK1をなす円筒の内周面に所定の圧力で当接される。この結果、ワークWK1がチャッキング機構10によって保持される。
また、この状態でツメ14aおよび14bをX軸方向の正側および負側にそれぞれ移動させると、図3(B)に示すように、ピン16a〜16cがワークWK1の内周面から離反する。この結果、ワークWK1がチャッキング機構10から解放される。
つまり、ワークWK1の保持/解放のために、ツメ14aおよび14bの位置は、図3(A)に示す位置と図3(B)に示す位置との間で遷移する。以下では、図3(A)に示す位置を“ワーク保持位置”と定義し、図3(B)に示す位置を“ワーク解放位置”と定義する。
ワークWK1の下端面EFに後述するエポキシ系の接着剤AD1を塗布する際、チャッキング機構10はまず、図4(A)に示す要領でワークWK1の上方に配置される。このとき、ツメ14aおよび14bの位置は“ワーク解放位置”に調整され、チャッキング機構10は、Z軸方向の上側から眺めてピン16a〜16cがワークWK1をなす円筒の内側に収まる位置に配置される。ツメ14aおよび14bは、上側から眺めたときにワークWK1の上端面に対して一部が重なる位置にある(図3(B)参照)。
チャッキング機構10は続いて、ピン16a〜16cの先端がワークWK1をなす円筒に収まるように下降される(図4(B)参照)。下降したチャッキング機構10は、ツメ14aおよび14bの各々の下面がワークWK1をなす円筒の上端面に当接した時点で停止する。
チャッキング機構10の下降が停止すると、図5(A)に示すように、ツメ14aおよび14bの位置が“ワーク保持位置”に変更される。ピン16a〜16cの各々の側面はワークWK1をなす円筒の内周面に所定の圧力で当接され、この結果、ワークWK1がチャッキング機構10によって保持される。チャッキング機構10はその後上昇され(図5(B)参照)、接着剤AD1が塗布された上面(=転写面TF)を有するトレイTR2の上方に移動される(配置工程。図5(C)参照)。なお、転写面TFは平坦に形成され、接着剤AD1は図示しないスキージによって均一な厚みで転写面TFに塗布される。したがって、接着剤AD1の層もまた平坦に形成される。
チャッキング機構10がトレイTR1の上方に配置されると、ツメ14aおよび14bの位置が“ワーク解放位置”に変更される。ピン16a〜16cによる圧接は解除され、ワークWK1は重力によって転写面TFの上に落下する(解放工程。図5(D)参照)。この結果、ワークWK1の下端面EFは、転写面TFに形成された接着剤AD1に全面的に接触する。ワークWK1の下端面EF,トレイTR1の転写面TFおよび接着剤AD1の層はいずれも平坦であるため、転写面TFに塗布された接着剤AD1は、ワークWK1の下端面EFの全域に塗布される。ピン16a〜16cの下端は、ワークWK1の上端面よりも下方にあるため、ワークWK1がX方向またはY方向に移動しようとしてもピン16a〜16cに引っ掛かるので、ワークWK1は大きくずれることはない。
ワークWK1が解放された後、チャッキング機構10は下降される(押圧工程)。ワーク解放位置では、ツメ14aおよび14bは、上側から眺めたときにワークWK1の上端面に対して一部が重なる位置にある。そのため、チャッキング機構10の下降によりツメ14aおよび14bがワークWK1の上端面を押し付けることになる。接着剤AD1は粘性を示すため、ツメ14a〜14bの下面がワークWK1の上端面と再度当接した後も、チャッキング機構10は下降し続ける。この結果、ワークWK1は、ツメ14aおよび14bによって押圧され、接着剤AD1の厚みに相当する深さまで沈み込む(図6(A)参照)。チャッキング機構10の下降は、ワークWK1の沈み込みが不可能となった時点(ワークWK1の下端面EFが転写面TFに接した時点)で停止する。
チャッキング機構10の下降が停止すると、図6(B)に示すように、ツメ14aおよび14bの位置が“ワーク保持位置”に変更される。ピン16a〜16cの各々の側面はワークWK1をなす円筒の内周面に所定の圧力で当接され、ワークWK1はチャッキング機構10によって再度保持される(再保持工程)。チャッキング機構10はその後上昇され(上昇工程。図6(C)参照)、ワークWK1は転写面TFから引き離される。さらにその後、ワークWK1はこれを実装する基板(図示せず)に向けて搬送される。
以上の説明から分かるように、チャッキング機構10によって保持されたワークWK1は、接着剤AD1の層(=接着剤層)が形成された転写面TFの上方に配置された後に解放される。ワークWK1の下端面EFは接着剤層に全面的に当接し、これによって接着剤AD1が下端面EFの全域に塗布される。ワークWK1はその後、チャッキング機構10によって再度保持され、かつ持ち上げられる。
これによって、チャッキング機構10によって保持されたワークWK1の下端面EFが転写面TFと平行になるようにワークWK1の姿勢を厳格に調整しなくても、つまりチャッキング機構10によるチャッキング精度が低くても、ワークWK1の下端面EFに良好に接着剤を塗布することができる。
なお、この実施例では、ワークWK1が転写面TFの上方に配置された時点でワークWK1を解放するようにしている(図5(C)〜図5(D)参照)。しかし、ワークWK1の下端面EFが転写面TFに接触するまでチャッキング機構10を下降させた後にワークWK1を解放するようにしてもよい。この場合、図5(C),図5(D)および図6(A)に示す一連の工程に代えて、図7(A),図7(B),図7(C)および図7(D)に示す一連の工程が採用される。
つまり、ワークWK1を保持したチャッキング機構10が図7(A)に示すようにトレイTR2の上方に配置されると、ワークWK1が保持された状態でチャッキング機構10が下降される(図7(B)参照)。ワークWK1の下端面EFは、降下するチャッキング機構10によって転写面TFに押し付けられる。続いて、ツメ14aおよび14bの位置が“ワーク解放位置”に変更され、これによってワークWK1が解放される(図7(C)参照)。ワークWK1の姿勢は下端面EFが転写面TFと平行となるように調整され、転写面TFに塗布された接着剤AD1はワークWK1の下端面EFの全域に塗布される。
ワークWK1が解放された後、チャッキング機構10はさらに下降され、これによってワークWK1が転写面TFに押圧される。ワークWK1の下端面EFには、接着剤AD1が強固に塗布される。チャッキング機構10の下降は、ワークWK1の沈み込みが不可能となった時点で停止する。
このような工程を経ることで、チャッキング機構10によって保持されたワークWK1の下端面EFが転写面TFと平行になるようにワークWK1の姿勢を厳格に調整しなくても、つまりチャッキング機構10によるチャッキング精度が低くても、ワークWK1の下端面EFに良好に接着剤を塗布することができる。
なお、上述の実施例では、3つのピン16a〜16cをツメ14aおよび14bに設けるようにしている。しかし、4つのピン16a〜16dを準備し、ピン16aおよび16bをツメ14aに設ける一方、ピン16cおよび16dをツメ14bに設けるようにしてもよい。この場合、ピン16a〜16dは、ワーク保持状態において図8(A)に示す位置に配置され、ワーク解放状態において図8(B)に示す位置に配置される。
10 …チャッキング機構(チャック)
12 …基盤
14a〜14b …ツメ(第2突出部)
16a〜16d …ピン(第1突出部)
WK1 …ワーク
AD1 …接着剤
EF …下端面
TF …転写面

Claims (6)

  1. ワークの一方の端面が下を向く姿勢で前記ワークを保持したチャックを、接着剤層が形成された転写面の上方に配置する配置工程、
    前記配置工程の後に前記チャックによる保持を解除して前記ワークを解放させる解放工程、
    前記解放工程の後に前記チャックにより前記ワークを再度保持させる再保持工程、および
    前記再保持工程の後に前記チャックを上昇させる上昇工程を備える、接着剤塗布方法。
  2. 前記ワークは筒体をなし、
    前記チャックは各々が下方に突出する複数の第1突出部を有し、
    前記配置工程および前記再保持工程の各々は、前記複数の第1突出部の各々の側面を前記ワークの内周面に所定の圧力で当接させる当接工程を含み、
    前記解放工程は前記複数の第1突出部の各々の側面を前記ワークの内周面から離反する離反工程を含む、請求項1記載の接着剤塗布方法。
  3. 前記解放工程の後でかつ前記再保持工程の前に前記チャックを下降させて前記ワークを前記転写面に押圧する押圧工程をさらに備える、請求項1または2記載の接着剤塗布方法。
  4. 前記チャックは、下方に突出する第2突出部を有し、
    前記第2突出部は、上方から眺めて前記ワークと重なる位置にあり、
    前記押圧工程は前記第2突出部を前記ワークに押し付けることにより前記ワークを前記転写面に押圧する、請求項3記載の接着剤塗布方法。
  5. 前記配置工程の後でかつ前記解放工程の前に前記チャックを下降させて前記ワークを前記転写面に押し付ける押付工程をさらに備える、請求項1ないし4のいずれかに記載の接着剤塗布方法。
  6. 前記ワークの一方の端面および前記転写面の各々は平坦に形成される、請求項1ないし5のいずれかに記載の接着剤塗布方法。
JP2013156729A 2013-07-29 2013-07-29 接着剤塗布方法 Pending JP2015024393A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013156729A JP2015024393A (ja) 2013-07-29 2013-07-29 接着剤塗布方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013156729A JP2015024393A (ja) 2013-07-29 2013-07-29 接着剤塗布方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015024393A true JP2015024393A (ja) 2015-02-05

Family

ID=52489510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013156729A Pending JP2015024393A (ja) 2013-07-29 2013-07-29 接着剤塗布方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015024393A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10262897B2 (en) * 2017-02-02 2019-04-16 Melexis Technologies Nv Bond pad protection for harsh media applications

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10262897B2 (en) * 2017-02-02 2019-04-16 Melexis Technologies Nv Bond pad protection for harsh media applications

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109716505B (zh) 移转微型元件的方法及由该方法所制作的微型元件基板
US10395824B2 (en) Method of manufacturing winding-type coil component
JP4459111B2 (ja) 電子部品保持具の製造方法
EP3255659A1 (en) Bonding method and bonded body
TW201533878A (zh) 用於接合半導體晶粒的夾頭
JP5186449B2 (ja) パワー半導体モジュールを有する装置とその製造方法
JP2015024393A (ja) 接着剤塗布方法
JP6301565B1 (ja) マイクロチップをウェーハーから切り離して該マイクロチップを基板上に装着する方法および装置
KR101192371B1 (ko) 외부전극형성용 캐리어 플레이트 및 제조방법
TW202229766A (zh) 光源用基板、光源基板陣列、光源用基板陣列下板以及其製造方法
JP6512182B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP5889160B2 (ja) 電子機器の製造方法
JP6849508B2 (ja) 保持装置の製造方法
JP2015041662A (ja) 複合配線板及び複合配線板の製造方法
JP5795272B2 (ja) セラミックス素子の製造方法
JP4422603B2 (ja) 配線基板の製造方法
JP7426833B2 (ja) シート体の製造方法
JP7210192B2 (ja) 保持装置の製造方法
JP2015012214A (ja) 振込治具およびそれを用いた電子部品の製造方法
KR101693209B1 (ko) 플립 칩 실장용 칩 유지 툴 및 플립 칩 실장 방법
JP5382245B2 (ja) 電子部品素子保持治具
KR20150034663A (ko) 정렬장치 및 그것을 사용한 전자부품의 제조방법
US20120267423A1 (en) Methods and Apparatus for Thin Die Processing
JP6044570B2 (ja) 基板保持部材および接合装置
JP4947728B2 (ja) 保持転写治具及び一組の保持転写治具