JP4422603B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば発光ダイオードなどの発光素子を実装するためのキャビティを有する配線基板の製造方法に関する。

発光素子から発光される光を効率良く反射して外部に放射するため、かかる発光素子が収容（実装）されるキャビティの側面を外側に広がるように傾斜させた発光素子収容用パッケージが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
上記パッケージは、セラミックグリーンシートを所定のクリアランスを介したパンチとダイスとで打ち抜き加工することで、側面が傾斜した貫通穴を有するセラミック窓枠を得ると共に、かかるセラミック窓枠を平板状のセラミック基体の上面に積層した後、貫通穴の側面に所要の光反射用金属層を形成したものである。

特開２００２−２３２０１７号公報（第１〜７頁、図１〜３）

しかしながら、前記発光素子収容用パッケージでは、キャビティを形成する前記貫通穴の傾斜した側面が、所定のクリアランスを介したパンチとダイスとによる打ち抜き加工で形成されるため、かかる側面の傾斜角度が不均一になり易いと共に、当該側面の表面粗さも粗くなりがちである。このため、上記貫通穴の底面に実装した発光素子から発光される光が乱反射し易くなるので、かかる光を外部へ効率良く反射できない、という問題点があった。

本発明は、前述した背景技術における問題点を解決し、発光素子を実装するキャビティの側面が均一に傾斜し且つ平滑な表面となる配線基板を確実に得るための製造方法を提供する、ことを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するため、発光素子を実装するキャビティの側面となるグリーンシートの貫通孔を、傾斜した面を有する凸部を突設した金型を用いて成形する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明の配線基板の製造方法は、単数または複数のグリーンシートに対し、打ち抜き加工により、テーパ状の貫通孔を形成する工程と、上記グリーンシートの貫通孔内に、金型の傾斜した面を有する凸部を該貫通孔の広い開口部側から進入させて、該貫通孔の側面を加圧して成形する工程と、を含む、ことを特徴とする。

前記打ち抜き加工でグリーンシートに形成されたテーパ状の貫通孔に、前記金型の傾斜した面を有する凸部がかかる貫通孔の軸方向に沿って進入するため、上記貫通孔の側面は上記傾斜した面に加圧されてこれと相似形に成形される。このため、かかる貫通孔の側面（内周面）は、凸部の傾斜面に倣った傾斜角度で且つ滑らかな表面となる。しかも、上記貫通孔がテーパ状（例えば、ほぼ円錐形状、ほぼ長円錐形状、ほぼ楕円錐形状など）になっているため、次に行う加圧工程を容易に施すことが可能となる。従って、上記貫通孔の側面を発光素子が実装されるキャビティの側面とし、且つ光反射用の金属層を形成することで、発光素子から発光された光を広角で効率良く反射することが可能となる。
付言すれば、本発明は、前記打ち抜き加工は、ポンチと当該ポンチを受け入れる受入孔を有するダイとが用いられ、かかるポンチと受入孔との間には、所要のクリアランスが介在している、配線基板の製造方法とすることも可能である。これによる場合、所要のクリアランスが介在するため、側面（内周面）が傾斜したテーパ状の貫通孔を前記グリーンシートに形成できるので、次の加圧工程を容易に行うことが可能となる。
尚、前記グリーンシートには、セラミックを主成分とするもの、あるいはガラス−セラミックを主成分とするものが含まれる。また、前記金型における凸部の平坦面に傾斜した面には、後述するように、円錐形、長円錐形、楕円錐形などのアール面の形態のほか、四角錐形状などの複数組の平面からなる形態も含まれる。

付言すれば、本発明は、単数または複数のグリーンシートに対し、打ち抜き加工により、テーパ状の貫通孔を形成する工程と、平坦面およびかかる平坦面に対して傾斜した面を有する凸部を有する金型と、かかる金型の平坦面に対向する平坦な表面を有する押さえ材とを用い、上記金型の凸部が上記グリーンシートの貫通孔内に進入するように、かかるグリーンシートを上記平坦面の上に配置した後、上記押さえ材を上記グリーンシートと共に上記金型寄りに加圧して成形する工程と、を含む、配線基板の製造方法とすることも可能である。
これによる場合、前記打ち抜き加工でテーパ状の貫通孔を形成されたグリーンシートは、前記金型の平坦面から突設され且つ傾斜した面を有する凸部が上記貫通孔に進入するようにして、金型の平坦面と前記押さえ材とによる加圧を受ける。このため、かかる金型と押さえ材とに挟まれた上記貫通孔の側面（内周面）は、凸部の傾斜面に倣った傾斜角度で且つ滑らかな表面となる。従って、上記貫通孔の側面を発光素子が実装されるキャビティの側面とし、且つ光反射用の金属層を形成することで、発光素子から発光された光を広角で効率良く反射することが可能となる。

更に、本発明は、前記貫通孔の前記グリーンシートにおける厚み方向の断面形状が、円形、長円形、または楕円形である、配線基板の製造方法とすることも可能である。これによる場合、平面視が上記各形状のキャビティを形成した配線基板を容易に得ることが可能となる。
また、本発明は、前記金型の凸部は、頂点を有する円錐形、円形の頂面を有するほぼ円錐形状、線状の頂辺を有する長円錐形、長円形の頂面を有するほぼ長円錐形状、頂辺を有する楕円錐形、または楕円形の頂面を有するほぼ楕円錐形状である、配線基板の製造方法とすることも可能である。これによる場合、平面視が上記各形状であるキャビティを精度良く形成した配線基板を容易に得ることが可能となる。

更に、本発明は、前記グリーンシートを前記金型の平坦面の上に配置し、前記押さえ材を上記グリーンシートと共に上記金型寄りに加圧する工程は、かかる加圧と同時に少なくとも上記グリーンシートを加熱する、配線基板の製造方法とすることも可能である。
これによる場合、上記金型と押さえ材とに挟まれた前記貫通孔の側面付近では、グリーンシートの素材が塑性流動し易くなるため、かかる側面を一層確実に凸部の傾斜した面に倣った傾斜角度で且つ滑らかな表面とすることが可能となる。
また、本発明は、前記金型の平坦面および凸部の表面には、シリコン系樹脂の皮膜が被覆されている、配線基板の製造方法とすることも可能である。これによる場合、前記加圧工程の後において、前記グリーンシートを金型から容易に離型させることが可能となる。

更に、本発明は、前記押さえ材は、弾性材からなる、配線基板の製造方法とすることも可能である。これによる場合、前記加圧工程において、前記グリーンシートの貫通孔を、所定角度の側面（内周面）を有する貫通孔に成形できると共に、当該グリーンシートの厚みや形状の変化を最小限に抑制することが可能となる。
加えて、本発明は、前記打ち抜き加工による貫通孔を形成する工程と、前記金型および押さえ材による加圧する工程とを、大版のグリーンシートに対しそれぞれ同時に複数の箇所で行う、配線基板の製造方法とすることも可能である。
これによる場合、所定角度の側面を有する貫通孔を形成した製品単位のグリーンシートを、多数個取りにより効率良く得ることが可能となる。

以下において、本発明の前提となる参考形態について説明する。
図１および図２は、本参考形態において、追って配線基板におけるキャビティの一部となる貫通孔をグリーンシートｓ１に形成する工程を示す。
上記グリーンシートｓ１は、例えばアルミナ（セラミック）を主成分とし、且つ所要量の有機バインダや可塑剤を含み、その厚みは約２５〜数１００μｍである。図１に示すように、かかるグリーンシートｓ１を断面円形の受入孔３が貫通するダイ２の上に載置して拘束する。次に、図１中の矢印で示すように、上記受入孔３とのクリアランスを最小限とした円柱形のポンチ２を、グリーンシートｓ１に向けて降下させる。
その結果、図２に示すように、ポンチ２とダイ２の受入孔３の周縁との剪断作用により、グリーンシートｓ１の所定の位置には、ポンチ２の外径とほぼ同じ内径である円柱形の貫通孔４が形成される（貫通孔を形成する工程）。

次いで、図３に示すように、貫通孔４が形成されたグリーンシートｓ１を金型１０の平坦面１２の上方に配置し、かかる平坦面１２に対して傾斜した円錐面（面）を有する円錐形の凸部１４を、その頂点１３寄りの部分が上記貫通孔４内に進入するようにする。かかる金型１０は、図４に示すように、板状のベース１１の表面である平坦面１２と、かかる平坦面１２から円錐形に突出する凸部１４とを一体に有する。
尚、凸部１４の円錐形に傾斜した面は、平坦面１２に対して約４０〜８５度の仰角（傾斜角）θが付されている。また、平坦面１２および凸部１４の表面には、予め図示しないシリコン系樹脂の被膜が約１〜１００μｍｍの厚みで被覆されている。
図３に示すように、金型１０の上方に、平坦面１２に対向する表面９を有する押さえ材８を配置する。かかる押さえ材８は、例えば合成ゴムなどの耐熱性を有する弾性材からなると共に、少なくとも上記凸部１４の頂点１３を含む高さよりも大きな厚みを有している。尚、押さえ材８の表面９側には、予め凸部１４の頂点１３付近を受け入れるほぼ相似形の凹部を形成しても良い。また、押さえ材８における表面９と反対側には、図示しない金属製の押さえ板を配置しても良い。

かかる状態で、押さえ材８、貫通孔４が形成されたグリーンシートｓ１、および金型１０を約４０〜６０℃に加熱した後、図３中の矢印で示すように、上記押さえ材８をグリーンシートｓ１と共に、金型１０の平坦面１２寄りに接近させるように加圧する（金型寄りに加圧する工程）。
すると、図５に示すように、金型１０の凸部１４は、その頂点１３付近がグリーンシートｓ１の前記貫通孔４を貫通して押さえ材８の内部に進入すると共に、上記貫通孔４付近に位置するアルミナなどの素材は、当該凸部１４の平坦面１２寄りにおける円錐形部分（傾斜した面）に押圧される。
その結果、図６の断面で示すように、グリーンシートｓ１では、前記円柱形の貫通孔４が、上記加圧および加熱に伴う塑性変形によって、金型１０の凸部１４の円錐形状と相似形であるほぼ円錐形の貫通孔６に成形される。尚、押さえ材８と共にグリーンシートｓ１を金型１０から離型する際、平坦面１２と凸部１４の表面に前記シリコン系樹脂の被膜が被覆されているため、スムースに離型できる。

また、別のグリーンシートｓ２を用意し、前記同様の打ち抜き加工により、図７の中程に示すように、前記貫通孔４よりも大きな内径の貫通孔５を形成する（貫通孔を形成する工程）。
図７に示すように、貫通孔５が形成されたグリーンシートｓ２を金型１５の平坦面１７の上方に配置し、かかる平坦面１７に対して傾斜した円錐面（面）を有するほぼ円錐形の凸部１８のうち、その頂面１９寄りの部分が上記貫通孔５内に進入するようにする。かかる金型１５は、図８に示すように、板状のベース１６の表面である平坦面１７と、かかる平坦面１７からほぼ円錐形に突出する凸部１８と、円形の頂面１９とを一体に有する。尚、凸部１８の円錐面の平坦面１７に対する仰角は、前記凸部１４と同じである。また、平坦面１７、凸部１８、および頂面１９の表面には、前記同様のシリコン系樹脂の被膜が被覆されている。

図７に示すように、金型１５の上方に、前記同様の押さえ材８を配置する。尚、押さえ材８の表面９側には、予め凸部１８の頂面１９付近を受け入れるほぼ相似形の凹部を形成しても良い。
かかる状態で、押さえ材８、貫通孔５が形成されたグリーンシートｓ２、および金型１５を前記同様に加熱した後、図７中の矢印で示すように、上記押さえ材８をグリーンシートｓ２と共に、金型１５の平坦面１７寄りに接近させるように加圧する（金型寄りに加圧する工程）。
すると、図９に示すように、金型１５の凸部１８は、その頂面１９付近がグリーンシートｓ２の前記貫通孔５を貫通して押さえ材８の内部に進入すると共に、上記貫通孔５付近に位置するアルミナなどの素材は、当該凸部１８の平坦面１７寄りにおける円錐形部分（傾斜した面）に押圧される。

その結果、図１０の断面で示すように、グリーンシートｓ２では、前記円柱形の貫通孔５が、加圧および加熱に伴う塑性変形により、金型１５の凸部１８の円錐形状と相似形であるほぼ円錐形の貫通孔７に成形される。尚、押さえ材８と共にグリーンシートｓ２を金型１５から離型する際、平坦面１７と凸部１８の表面にも前記シリコン系樹脂の被膜が被覆されているため、スムースに離型できる。
次に、図１１の上方に示すように、グリーンシートｓ１，ｓ２を、貫通孔６，７を同軸心で且つその円錐形の傾斜面が連続するように積層して積層体Ｓ１を形成する。かかる積層体Ｓ１の貫通孔６，７の傾斜した側面（内周面）に、ＷまたはＭｏなどを主成分とする導電性ペースト（図示せず）を均一の厚みで塗布する。

一方、図１１の下方に示すように、平板状のグリーンシートｓ３〜ｓ５を積層して積層体Ｓ２を形成する。かかるグリーンシートｓ３〜ｓ５には、ＷまたはＭｏなどを主成分とするビア導体（図示せず）が厚み方向に沿って貫通すると共に、これらの表面および裏面の少なくとも一方には、上記同様の主成分を有する配線層や電極（図示せず）が予め形成されている。
次いで、図１１中の白抜きの矢印で示すように、積層体Ｓ２の上に積層体Ｓ１を積層すると共に、これらを所定の温度域に加熱・保持する焼成工程を施す。

その結果、図１２に示すように、前記グリーンシートｓ１〜ｓ５が一体に焼成されたセラミック層ｓ１〜ｓ５からなり、表面２２および裏面２４を有すると共に、表面２２に開口するほぼ逆円錐形状のキャビティ２４を有する基板本体２１が得られる。上記キャビティ２４の側面２５は、前記貫通孔６，７と同様に所定の角度で傾斜していると共に、前記金型１０，１５による加圧により滑らかな表面となっている。また、この側面２５に予め形成された前記導電性ペーストは、焼成されてメタライズ層となっている。かかるメタライズ層の上に無電解または電解メッキを施して、下地のＮｉメッキ層と表層のＡｇメッキ層とを形成することにより、図１２中の左側で例示するように、キャビティ２４の側面２５に沿った金属層２８が形成される。この結果、図１２に示す配線基板２０が得られる。尚、光反射面となる上記Ａｇメッキ層に替えて、Ｐｔ、Ｐｄ、またはＲｈのメッキ層を形成しても良い。
以上のような各工程が、参考形態による配線基板２０の製造方法である。

図１２に示すように、キャビティ２４の底面２６に、図示しない発光素子（光通信用素子）を実装すると、かかる発光素子から発光された光は、金属層２８の表面に反射して外部に放射される。かかる金属層２８は、前記メタライズ層と、Ｎｉメッキ層と、表層のＡｇメッキ層などとからなるが、これらが形成されているキャビティ２４の側面２５は、前記グリーンシートｓ１，ｓ２の貫通孔６，７と同様に所定の角度で傾斜し、且つ前記金型１０，１５による加圧により滑らかな表面となっている。このため、上記発光素子から発光された光は、所定の傾斜角度で且つ滑らかな表面の金属層２８に反射するため、広角度で且つ効率良く反射した後、外部に放射される。従って、前記参考形態によって得られる配線基板２０による場合、光通信を正確且つ確実に行うことが可能となる。

図１３〜図１６は、本発明による配線基板の製造方法に関する。
図１３に示すように、グリーンシートｓ１を断面円形の受入孔３ａが貫通するダイ２の上に載置して拘束する。かかる受入孔３ａは、前記受入孔３よりも若干大きな内径であり、ポンチ１との間に所定のクリアランスｃを有する。かかるクリアランスｃは、例えばグリーンシートｓ１の厚みが１００〜８００μｍの場合、約１０〜８００μｍ程度に設定される。
次に、図１３中の矢印で示すように、円柱形のポンチ２を、グリーンシートｓ１およびダイ２の受入孔３ａに向けて降下させる。
その結果、図１４に示すように、ポンチ１とダイ２の受入孔３ａの周縁との剪断作用により、グリーンシートｓ１の所定の位置には、ポンチ２の外径から受入孔３ａの内径に倣って拡径するテーパ状の貫通孔４ａが形成される（貫通孔を形成する工程）。かかる貫通孔４ａの側面（円錐状の周面）は、剪断されたアルミナなどの素材の粗い破断面である。

次いで、図１５に示すように、貫通孔４ａが形成されたグリーンシートｓ１を前記金型１０の平坦面１２の上方に配置し、かかる平坦面１２に対して傾斜した円錐面（面）を有する円錐形の凸部１４を、その頂面１３寄りの部分が上記貫通孔４ａ内の広い開口部側から進入するようにする。尚、平坦面１２および凸部１４の表面には、前記同様のシリコン系樹脂の被膜が被覆されている。
図１５に示すように、金型１０の上方に、前記同様の押さえ材８を配置する。
かかる状態で、押さえ材８、貫通孔４ａが形成されたグリーンシートｓ１、および金型１０を前記同様に加熱した後、図１５中の矢印で示すように、上記押さえ材８をグリーンシートｓ１と共に、金型１０の平坦面１２寄りに接近させるように加圧する（金型寄りに加圧する工程）。

すると、図１６に示すように、金型１０の凸部１４は、その頂点１３付近がグリーンシートｓ１の前記貫通孔４ａを貫通して押さえ材８の内部に進入すると共に、予めテーパ状の上記貫通孔４ａ付近に位置するアルミナなどの素材は、当該凸部１４の平坦面１２寄りに位置する円錐形の部分に押圧されて塑性流動する。
その結果、図１６に示すように、グリーンシートｓ１では、前記テーパ状の貫通孔４ａが、上記加圧および加熱に伴う塑性変形により、金型１０の凸部１４の円錐形状（傾斜した面）と相似形であるほぼ円錐形の貫通孔６にスムースに変形される。
尚、前記グリーンシートｓ２に対しても、ポンチとダイの受入孔との間に前記同様のクリアランスｃを介在せることで、前記同様のテーパ状の貫通孔を形成することができる。そして、かかるテーパ状の貫通孔を有するグリーンシートｓ２に対し、前記金型１５と押さえ材８とを用いる加圧・加熱工程を行うことで、所定の傾斜角度の側面を有する貫通孔をスムースに形成することが可能となる。

また、前記貫通孔を形成する工程は、１枚すつのグリーンシートｓ１，ｓ２に対し、それぞれ個別に打ち抜き加工を行ったが、一組のポンチとダイの受入孔とにより、例えば、予め積層した２枚のグリーンシートｓ１，ｓ２に対し、１回の打ち抜き加工を行うことにより、共通の貫通孔を形成しても良い。この場合、ポンチとダイの受入孔との間には、所定のクリアランスを介在させて、テーパ状の貫通孔を形成することで、次に行う金型と押さえ材とによる加圧・加熱工程をスムースを行うことが可能となる。
更に、前記配線基板２０のキャビティ２４を形成するためのグリーンシートは、１枚のみの厚物とし、前記貫通孔を形成する工程および前記金型および押さえ材を用いる加圧・加熱工程を１枚の上記グリーンシートのみに対し行っても良い。

尚、前記参考形態において、前記ポンチ１とダイ２となどにより貫通孔４，５を形成したグリーンシートｓ１，ｓ２を、貫通孔４，５が同軸心になるように予め積層し、これらに対し金型１５と押さえ材８とを用いる加圧・加熱工程を行うこともできる。即ち、図１７に示すように、グリーンシートｓ１，ｓ２の階段形の断面を呈する貫通孔４，５内に金型１５の凸部１８を進入させた後、図１７中の矢印で示すように、押さえ材８を金型１５の平坦面１７寄りに接近させるように加圧する（金型寄りに加圧する工程）。尚、グリーンシートｓ１，ｓ２、押さえ材８、および金型１５は、予め前記同様に加熱されている。
その結果、図１８に示すように、グリーンシートｓ１，ｓ２における前記階段形状の貫通孔４，５は、加圧および加熱に伴う塑性変形により、金型１５の凸部１８の円錐形状（傾斜した面）と相似形で且つ連続するほぼ円錐形の貫通孔６，７に変形される。同時に、グリーンシートｓ１，ｓ２は、一体に積層されて前記と同じ積層体Ｓ１が形成される。

本発明は、以上において説明した形態に限定されるものではない。
例えば、前記ポンチ１とダイ２となどによりテーパ状の貫通孔４ａ，５ａを形成したグリーンシートｓ１，ｓ２を、貫通孔４ａ，５ａが同軸心になるように予め積層し、これらに対し金型１５と押さえ材８とを用いる加圧・加熱工程を行うこともできる。即ち、図１９に示すように、グリーンシートｓ１，ｓ２の断面がややズレた貫通孔４ａ，５ａ内に金型１５の凸部１８を進入させた後、図１９中の矢印で示すように、押さえ材８を金型１５の平坦面１７寄りに接近させるように加圧する（金型寄りに加圧する工程）。
その結果、図２０に示すように、グリーンシートｓ１，ｓ２における前記テーパ状の貫通孔４ａ，５ａは、加圧および加熱に伴う塑性変形により、金型１５の凸部１８の円錐形状（傾斜した面）と相似形で且つ連続するほぼ円錐形の貫通孔６，７にスムースに変形される。同時に、グリーンシートｓ１，ｓ２は、一体に積層されて前記と同じ積層体Ｓ１が形成される。
尚、互いに異なる内径であるテーパ状の貫通孔を個別に形成した３枚以上のグリーンシートを積層し、これらを前記金型１５と押さえ材８とにより加圧することで、傾斜面が連続する円錐形の貫通孔を有する積層体を形成することも可能である。

更に、グリーンシートに断面長円形の貫通孔を形成する工程の後に、図２１に示すような金型３０と前記押さえ材８とを用いて、前記加圧工程を行っても良い。かかる金型３０は、図２１に示すように、板状のベース３１の表面である平坦面３２と、かかる平坦面３２からほぼ長円錐形状に突出する凸部３４と、線状の頂辺３３とを一体に有する。かかる金型３０と前記押さえ材８とを用いることで、前記グリーンシートｓ１，ｓ２に形成したテーパ状の貫通孔４ａ，５ａを、ほぼ長円錐形状に成形できると共に、前記配線基板２０のキャビティ２４もほぼ長円錐形状とすることができる。尚、凸部３４の長円錐形面の平坦面３２に対する仰角は、前記凸部１４と同様である。また、平坦面３２および凸部３４の表面にも、前記同様のシリコン系樹脂の被膜が被覆される。

また、グリーンシートに若干大きな断面長円形の貫通孔を形成する工程の後に、図２２に示すような金型３５と前記押さえ材８とを用いて、前記加圧工程を行っても良い。かかる金型３５は、図２２に示すように、板状のベース３６の表面である平坦面３７と、かかる平坦面３７からほぼ長円錐形状に突出する凸部３８と、その長円形の頂面３９とを一体に有する。かかる金型３５と前記押さえ材８とを用いることで、前記グリーンシートｓ１，ｓ２の貫通孔４ａ，５ａや前記配線基板２０のキャビティ２４をほぼ長円錐形状とすることができる。
尚、凸部３８の長円錐形面の平坦面３７に対する仰角も、前記凸部１４と同様である。また、平坦面３７、凸部３８、頂面３９およびの表面にも、前記同様のシリコン系樹脂の被膜が被覆される。

更に、グリーンシートに断面楕円形の貫通孔を形成する工程の後に、図２３に示すような金型４０と前記押さえ材８とを用いて、前記加圧工程を行っても良い。かかる金型４０は、図２３に示すように、板状のベース４１の表面である平坦面４２と、かかる平坦面４２からほぼ楕円錐形状に突出する凸部４３と、その楕円形の頂面４４とを一体に有する。かかる金型４０と前記押さえ材８とを用いることで、前記グリーンシートｓ１，ｓ２の貫通孔４ａ，５ａを、ほぼ楕円錐形状に成形できると共に、前記配線基板２０のキャビティ２４もほぼ楕円錐形状とすることができる。尚、凸部４３の楕円錐形面の平坦面４２に対する仰角は、前記凸部１４と同様である。また、平坦面４２、凸部４３、および頂面４４の表面にも、前記同様のシリコン系樹脂の被膜が被覆される。

また、前記グリーンシートの主成分であるセラミックは、前記アルミナのほか、例えばムライト、窒化アルミニウムなどとしても良い。
更に、金型の凸部は、平坦面から突出する四角錐、六角錐、または八角錐などの正多角錐形、あるいはこれらの変形多角錐形を呈するものとしても良い。この場合、上記各形状に倣って形成される配線基板のキャビティには、これらの内隅部に導電性ペーストを円弧形に充填して、ほぼ円錐形、ほぼ長円錐形、またはほぼ楕円錐形などとし、これらの側面に前記金属層を形成するようにしても良い。
加えて、本発明は、前記打ち抜き加工による貫通孔を形成する工程と、前記金型および押さえ材による加圧する工程とを、複数の製品単位のグリーンシートを併有する大版のグリーンシートに対し、同時に複数の箇所で実施する形態として行うことも可能である。

本発明の前提となる参考形態の製造方法における１工程を示す概略図。 図１に続く製造工程を示す概略図。 図２に続く製造工程を示す概略図。 図３の工程に用いる金型を示す斜視図。 図３に続く製造工程を示す概略図。 図１〜図５の工程により得られたグリーンシートの断面を示す概略図。 異なる形態の金型を用いる参考形態の製造工程を示す概略図。 図７の工程に用いる金型を示す斜視図。 図７に続く製造工程を示す概略図。 図７，図９の各工程により得られたグリーンシートの断面を示す概略図。 上記各グリーンシートなどを積層する工程を示す概略図。 前記参考形態と本発明により得られる配線基板の断面を示す概略図。 本発明による配線基板の製造方法である製造工程を示す概略図。 図１３に続く製造工程を示す概略図。 図１４に続く製造工程を示す概略図。 図１５に続く製造工程を示す概略図。 異なる参考形態の製造工程を示す概略図。 図１７に続く製造工程を示す概略図。 異なる形態の製造工程を示す概略図。 図１９に続く製造工程を示す概略図。 異なる形態の金型を示す斜視図。 更に異なる形態の金型を示す斜視図。 別異なる形態の金型を示す斜視図。

４ａ，５ａ………………貫通孔
８……………………………………押さえ材
９……………………………………表面
１０，１５，３０，３５，４０…金型
１２，１７，３２，３７，４２…平坦面
１４，１８，３４，３８，４３…凸部
２０…………………………………配線基板
ｓ１，ｓ２…………………………グリーンシート

Claims (1)

1. 単数または複数のグリーンシートに対し、打ち抜き加工により、テーパ状の貫通孔を形成する工程と、
   上記グリーンシートの貫通孔内に、金型の傾斜した面を有する凸部を該貫通孔の広い開口部側から進入させて、該貫通孔の側面を加圧して成形する工程と、を含む、
   ことを特徴とする配線基板の製造方法。

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