JP6849508B2 - 保持装置の製造方法 - Google Patents
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Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、図1のII−IIの位置における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。なお、静電チャック100は、特許請求の範囲における保持装置に相当する。
次に、本実施形態における静電チャック100の製造方法を説明する。図3は、本実施形態における静電チャック100の製造方法を示すフローチャートである。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100の製造方法によれば、位置決めピン200の破損の抑制と、ベース板20とセラミックス板10との位置決め精度の低下の抑制との両立を図ることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (3)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有する板状であり、前記第1の表面から前記第2の表面まで貫通する3つ以上の第1の孔が形成されたベース部材と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記ベース部材の前記第1の表面に対向するように配置され、前記第3の表面に、前記3つ以上の前記第1の孔のそれぞれに連通し、かつ、内径が前記第1の孔の内径より小さい3つ以上の第2の孔が形成された保持部材であって、熱膨張係数が前記ベース部材の熱膨張係数と異なる保持部材と、
前記ベース部材の前記第1の表面と前記保持部材の前記第3の表面との間に配置され、前記ベース部材と前記保持部材とを接着する接着層と、を備える保持装置の製造方法において、
柱状であって、外径が前記第1の孔の内径より小さく、かつ、前記第2の孔の内径より大きい柱状部と、前記柱状部の一端に配置され、前記柱状部とは反対側に向かうに連れて前記柱状部の軸から延びる仮想直線に近づくように傾斜した外周面を有するテーパ部とを含む位置決め部材と、外力を受けることにより圧縮変形する変形部材と、を準備する工程と、
前記位置決め部材の前記テーパ部を前記ベース部材の前記第1の表面から突出させた状態で、前記位置決め部材の前記柱状部を前記ベース部材の前記各第1の孔に配置し、前記各位置決め部材の前記テーパ部とは反対側に前記変形部材を配置する工程と、
前記位置決め部材と前記変形部材とが配置された前記ベース部材の前記第1の表面に、熱硬化型接着剤を介して、前記保持部材の前記第3の表面を重ね合わせる工程と、
前記熱硬化型接着剤を介して前記ベース部材と前記保持部材とを重ね合わせた状態で加熱処理により前記熱硬化型接着剤を硬化させることにより、前記接着層を形成する工程と、を含むことを特徴とする、保持装置の製造方法。 - 請求項1に記載の保持装置の製造方法において、
前記柱状部の軸方向視で、前記テーパ部の外周面の形状は、略円形状であることを特徴とする、保持装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置の製造方法において、
前記各第2の孔は、前記保持部材の前記第3の表面から、前記第3の表面とは反対側の第4の表面まで貫通しており、
前記第1の孔と前記第2の孔とは、前記第4の表面に配置される対象物を押し上げるリフトピンを収容するためのリフトピン用の孔であることを特徴とする、保持装置の製造方法。
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