JP2015016697A - 積層ナノモールドの製造方法および材料、ならびにそれによって得られたナノ粒子 - Google Patents

Abstract

【課題】ナノ粒子を成形するためのナノサイズの空孔を有するモールドを製造するための材料および方法を提供する。【解決手段】所定の形状を有する空孔１１０を画定するペルフルオロポリエーテル層１０４、及び、ペルフルオロポリエーテル層１０４とカップリングされる支持層１０２を含み、また本積層体は、ペルフルオロポリエーテル層１０４と支持層１０２とをカップリングするつなぎ層１０６を含んでいてもよく、つなぎ層１０６は、光硬化性成分、及び、熱硬化性成分を含んでいてもよく、空孔１１０は、最大寸法が１０ｎｍ〜１０μｍで、その形状が、円柱状、角柱状、三日月形、凹んだ皿状等の各種形状を有する積層ナノモールド。【選択図】図１

Description

一般的に、本発明は、それらの中でナノ粒子を成形するためのナノサイズの空孔を有す
るモールドを製造するための材料および方法に関する。より具体的には、本モールドは、
高分子材料の積層化された層を含み、さらに、所定の形状のナノサイズの空孔のアレイを
含んでいてもよい。

略語
ＡＣ＝交流
Ａｒ＝アルゴン
℃＝セルシウス度
ｃｍ＝センチメートル
８−ＣＮＶＥ＝ペルフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オクテ
ン）
ＣＳＭ＝硬化部位単量体
ＣＴＦＥ＝クロロトリフルオロエチレン
ｇ＝グラム
ｈ＝時間
１−ＨＰＦＰ＝１,２,３,３,３-ペンタフルオロプロペン
２−ＨＰＦＰ＝１,１,３,３,３-ペンタフルオロプロペン
ＨＦＰ＝ヘキサフルオロプロピレン
ＨＭＤＳ＝ヘキサメチルジシラザン
ＩＬ＝インプリントリソグラフィー
ＩＰＤＩ＝イソホロンジイソシアネート
ＭＣＰ＝マイクロコンタクトプリンティング
Ｍｅ＝メチル
ＭＥＡ＝膜電極接合体
ＭＥＭＳ＝マイクロエレクトロメカニカルシステム
ＭｅＯＨ＝メタノール
ＭＩＭＩＣ＝毛細管マイクロモールド
ｍＬ＝ミリリットル
ｍｍ＝ミリメートル
ｍｍｏｌ＝ミリモル
Ｍ_ｎ＝数平均モル質量
ｍ．ｐ．＝融点
ｍＷ＝ミリワット
ＮＣＭ＝ナノ-接触成形
ＮＩＬ＝ナノインプリントリソグラフィー
ｎｍ＝ナノメートル
Ｐｄ＝パラジウム
ＰＡＶＥ＝ペルフルオロ（アルキルビニル）エーテル
ＰＤＭＳ＝ポリ（ジメチルシロキサン）
ＰＥＭ＝プロトン交換膜
ＰＦＰＥ＝ペルフルオロポリエーテル
ＰＭＶＥ＝ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル
ＰＰＶＥ＝ペルフルオロ（プロピルビニル）エーテル
ＰＳＥＰＶＥ＝ペルフルオロ-２-（２-フルオロスルホニルエトキシ）プロピルビニルエ
ーテル
ＰＴＦＥ＝ポリテトラフルオロエチレン
ＳＡＭＩＭ＝溶媒補助によるマイクロモールディング
ＳＥＭ＝走査電子顕微鏡
Ｓｉ＝ケイ素
ＴＦＥ＝テトラフルオロエチレン
μｍ＝マイクロメーター
ＵＶ＝紫外線
Ｗ＝ワット。

長年にわたり、モールドとして、さらに積層モールドとしてポリマー材料が用いられて
きた。しかしながら、典型的な高分子モールドおよび積層モールドは、それらの中で成形
できるものの規模に関して多くの欠点がある。このような欠点は、一般的に、モールドの
材料と、それらの中で成形しようとする材料との化学的および物理的な相互作用により生
じるものである。一般的に、成形しようとする構造のサイズが減少して、数十または数百
マイクロメーターまたはそれ未満に近づくと、典型的なモールド材料はモールドとして機
能しなくなる。これらの失敗としては、このようなモールドの空孔に材料が入らなくなる
こと、および、モールドの空孔に入った材料が完全に離型しなくなること、特にきれいに
離型しなくなることが挙げられる。それゆえに、当業界において、数十マイクロメーター
未満、数マイクロメーター未満、および、５００ナノメートル未満の断面寸法を有し、モ
ールドの空孔に材料を入れて中に成形された材料をきれいに離型できるモールドを形成で
きる材料が必要である。さらに、このようなモールド中で形成される物品の特徴的構造の
サイズが小さければ小さいほど、その特徴的構造のサイズが、従来の鋳成形材料および方
法によって生じた欠陥やキズに近くなる。

これまでに、本出願人はこれらの欠点を克服したＰＦＰＥベースの材料を開示している
が、本明細書においては、このような欠点を克服するためのさらなる方法、材料および物
品を開示する。

本発明によれば、積層ナノモールドはペルフルオロポリエーテル層を含み、ここでこの
ペルフルオロポリエーテル層が、所定の形状を有する空孔、および、ペルフルオロポリエ
ーテル層とカップリングされる支持層を特徴付けている。ある実施態様では、このような
積層体はさらに、ペルフルオロポリエーテル層と支持層とをカップリングするつなぎ層（
tie-layer）も含む。その他の実施態様によれば、つなぎ層は、光硬化性成分、および、
熱硬化性成分を含む。

ある実施態様では、本積層体はさらに、ペルフルオロポリエーテル層で形状が定められ
た複数の空孔を含む。複数の空孔のそれぞれの空孔は、円柱形、直径２００ｎｍの円柱、
立方体、２００ｎｍの立方体の形状、三日月形、および、凹んだ皿状からなる群より選択
される所定の形状を有していてもよい。ある実施態様では、複数の空孔は、様々な所定の
形状の空孔を含む。その代りの実施態様によれば、複数の空孔のそれぞれの空孔は、約１
０マイクロメーター未満の最大寸法、約５マイクロメーター未満の最大寸法、約１マイク
ロメーター未満の最大寸法、約７５０ナノメートル未満の最大寸法、約５００ナノメート
ル未満の最大寸法、約３００ナノメートル未満の最大寸法、約２００ナノメートル未満の
最大寸法、約１００ナノメートル未満の最大寸法、約７５ナノメートル未満の最大寸法、
約５０ナノメートル未満の最大寸法、約４０ナノメートル未満の最大寸法、約３０ナノメ
ートル未満の最大寸法、約２０ナノメートル未満の最大寸法、または、約１０ナノメート
ル未満の最大寸法を有する。

その他の実施態様によれば、ペルフルオロポリエーテル層は、厚さ約５０マイクロメー
ター未満、厚さ約４０マイクロメーター未満、厚さ約３０マイクロメーター未満、厚さ約
２０マイクロメーター未満、厚さ約１５マイクロメーター未満、厚さ約１０マイクロメー
ター未満である。

ある実施態様では、支持層は、ポリマーを含む。その他の実施態様において、支持層の
ポリマーは、ポリエチレンテレフタレートを含む。その代りの実施態様において、支持層
は、厚さ約２０ミル（mil）未満、厚さ約１５ミル未満、厚さ約１０ミル未満、または、
厚さ約５ミル未満である。

具体的な実施態様において、支持層は、１０００より大きい弾性率を積層体に導入する
。その他の実施態様において、ペルフルオロポリエーテル層は、光開始剤でのカップリン
グ、および、熱重合開始剤（thermalinitiator）でのカップリングによって、支持層とカ
ップリングされる。ある実施態様では、ペルフルオロポリエーテルは、光硬化性成分を含
む。さらにその他の実施態様において、ペルフルオロポリエーテル層は、約２５平方セン
チメートルより大きいフットプリント（footprint）、約５０平方センチメートルより大
きいフットプリント、または、約１００平方センチメートルより大きいフットプリントを
有する。

ある実施態様では、複数の空孔のそれぞれの空孔は、隣接する空孔から約５マイクロメ
ーター未満、隣接する空孔から約２マイクロメーター未満、隣接する空孔から約１マイク
ロメーター未満、隣接する空孔から約７５０ナノメートル未満、または、隣接する空孔か
ら約５００ナノメートル未満である。ある実施態様では、ペルフルオロポリエーテルは、
約１０パーセント未満のゾル分画を有する。

本発明のその他の実施態様によれば、積層ナノモールドの製造方法は、パターンドマス
ターを支持層に隣接して配置すること、配置されたパターンドマスターと隣接する支持層
とをロールラミネーターのニップに挿入すること、ロールラミネーターの入り口側に隣接
したパターンドマスターと支持層との間に硬化性ペルフルオロポリエーテルを導入するこ
と、ロールラミネーターを稼働させて、パターンドマスターと支持層とを積層すること（
ここで硬化性ペルフルオロポリエーテルは、パターンドマスターと支持層との間で広げら
れる）、および、積層体を処理して硬化性ペルフルオロポリエーテルの硬化性成分を活性
化して、ペルフルオロポリエーテルを固化させることを含む。ある実施態様では、本方法
はさらに、支持層に隣接するパターンドマスターの位置決定する前に、活性化した際に硬
化性ペルフルオロポリエーテルがつなぎ層と結合するように、支持層を用いてつなぎ層の
配置を決定することを含む。

本発明のさらなる実施態様によれば、積層高分子モールドは、第一のポリマー層と、第
二のポリマー層とを含み、ここで第一のポリマー層と第二のポリマー層との間につなぎ層
を配置することによって、第一のポリマー層に、第二のポリマー層がカップリングされる
ようになり、ここでつなぎ層は、光硬化性成分および熱硬化性成分を有するフルオロポリ
マーを含む。ある実施態様では、第一または第二の層のポリマーは、フルオロポリマーを
含む。その他の実施態様において、第一または第二の層のポリマーは、ペルフルオロポリ
エーテルを含む。さらなる実施態様において、第一または第二の層のポリマーは、ポリエ
チレンテレフタレートを含む。さらにその他の実施態様において、つなぎ層のフルオロポ
リマーは、ペルフルオロポリエーテルを含む。

図１は、本発明の実施態様に係る積層モールドの略図を示す。 図２は、本発明の実施態様に係る積層モールドを製造するためのロール装置の略図である。 図３は、本発明のその他の実施態様に係る積層モールドを製造するためのロール装置の略図である。 図４は、本発明の実施態様に係るマスターテンプレートからの積層モールドの離型を示す略図である。 図５は、本発明の実施態様に従って六角形状に配置された２００ｎｍの空孔を有する積層モールドの上面のＳＥＭ画像である。 図６は、図５の積層モールドから製造されたポリマーの複製品のＳＥＭ画像であり、積層モールドの２００ｎｍの空孔から形成された、六角形状に配置された２００ｎｍのポストを示す。

一般的に、本発明は、様々なポリマー材料の積層モールド、および、このようなモール
ドの製造方法を開示する。本モールドは、一般的に、所定の形状に形成され、さらに空孔
と空孔との間の間隔が制御されたナノサイズの空孔のアレイを含む。

Ｉ．定義の一部の列挙
本明細書で用いられる用語「パターン」は、アレイ、マトリックス、特定の形状または
形態、対象の物品のテンプレート、または、同種のものを意味する可能性がある。ある実
施態様では、パターンは、秩序だった、一様な、反復性の、交互の、規則的な、不規則な
、または、ランダムなアレイまたはテンプレートであってもよい。本発明のパターンは、
１種またはそれより多くのマイクロまたはナノサイズの貯蔵部、マイクロまたはナノサイ
ズの反応チャンバー、マイクロまたはナノサイズの混合チャンバー、マイクロまたはナノ
サイズの回収チャンバーを含んでいてもよい。また本発明のパターンはさらに、マイクロ
および／またはナノサイズの空孔を含む可能性がある表面上に、表面組織またはパターン
を含んでいてもよい。このようなパターンはまた、マイクロまたはナノサイズの突起部を
含んでいてもよい。

ポリマー化学において一般的には、本明細書における用語「ペルフルオロポリエーテル
」は、その最も純粋な形態、すなわち３種の元素（炭素、酸素およびフッ素）から構築さ
れた高分子鎖を示すだけでなく、このような構造の改変型も示すものと解釈することとす
る。ペルフルオロポリエーテルそのもののベースとなる物質群は、直鎖状、分岐状、およ
び、官能化した材料を含む。また、この特許の範囲内において、いくつかのＨおよびその
他のハロゲン化物のような物質でのフッ素の置換；加えて、ベースとなるペルフルオロポ
リエーテルを修飾するためのブロックまたはランダムコポリマーの使用も含まれる。

本明細書で用いられる用語「一体式の」は、単一で一様の構造を有するか、または、そ
のようなものとして作用する構造を意味する。

本明細書で用いられる用語「非生物学的な有機物質」は、生物学的材料以外の有機物質
、すなわち共有結合の炭素−炭素結合を含む化合物を意味する。本明細書で用いられる用
語「生物学的材料」は、核酸高分子（例えば、ＤＮＡ、ＲＮＡ）、アミノ酸高分子（例え
ば、酵素、タンパク質など）、および、低分子量の有機化合物（例えば、ステロイド、ホ
ルモン）を含み、ここで低分子量の有機化合物は、生物活性を有し、特にヒト、または、
ペットおよび家畜のような商業的に有意な動物のための生物活性を有し、加えて、低分子
量の有機化合物は、主として治療または診断目的に用いられる。生物学的材料は、製薬お
よびバイオテクノロジー用途に関して重要であるが、多くの用途は、生物学的材料以外の
、すなわち非生物学的有機材料により強化される化学的方法を含む。

本明細書で用いられる用語「部分硬化」は、材料の重合性基の約１００％未満が反応し
ている状態を意味する。具体的な実施態様において、用語「部分硬化した材料」は、部分
硬化工程または処理を受けた材料を意味する。

本明細書で用いられる用語「完全硬化」は、材料の重合性基の約１００％が反応してい
る状態を意味する。具体的な実施態様において、用語「完全硬化した材料」は、完全硬化
工程または処理を受けた材料を意味する。

本明細書で用いられる用語「光硬化した」は、紫外線のような化学線によって反応を開
始させることができる重合性基の反応を意味する。本願において、紫外線硬化は、光硬化
の同義語として用いることができる。

本明細書で用いられる用語「熱硬化」または「熱硬化した」は、材料を閾値温度を超え
て加熱することによって反応を開始または促進させることができる重合性基の反応を意味
する。

長年の特許法の慣例に従って、用語「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は、本願（請求
項を含む）で用いられる場合、「１またはそれより多くの」を意味する。従って、例えば
「空孔」と記載される場合、このような空孔が複数の場合も含まれる。

ＩＩ．材料
具体的な実施態様において、本発明は、一般的に、物品または物品を製造するための溶
媒耐性の低い表面エネルギーの高分子材料、例えばマイクロおよび／またはナノサイズの
空孔を有するモールドを説明し、それらを使用するものである。いくつかの実施態様によ
れば、低い表面エネルギーの高分子材料としては、これらに限定されないが、フルオロポ
リエーテル、または、ペルフルオロポリエーテル（集合的に「ＰＦＰＥ」）、ポリ（ジメ
チルシロキサン）（ＰＤＭＳ）、ポリ（テトラメチレンオキシド）、ポリ（エチレンオキ
シド）、ポリ（オキセタン）、ポリイソプレン、ポリブタジエン、フルオロオレフィンベ
ースのフルオロエラストマーなどが挙げられる。このような材料を用いてモールドを形成
する例としては、パターン基板（またはマスター）上に液体ＰＦＰＥ前駆体材料を流し込
み、続いて液体ＰＦＰＥ前駆体材料を硬化して、マスターの複製パターンを生成すること
が挙げられる。簡易化するために、説明の大部分をＰＦＰＥ材料に絞ることとなるが、当
然ながら本明細書で列挙されたようなその他のポリマーも、本発明の方法、材料および物
品に適用が可能である。

本発明の所定の実施態様によれば、液状ポリマー、例えば液体ＰＦＰＥ前駆体を「硬化
すること」は、ポリマーを、液体状態から、ポリマーが簡単に流動しないような非液体状
態（ただしガス状態を除く）、例えば比較的高粘度の材料、または、ゴム様の状態を有す
る材料に変換させることを意味する。ある実施態様では、ポリマーが変換される非液体状
態は、ゲル状態である。ある実施態様では、非液体状態におけるポリマーは、未反応の重
合性基を含んでいてもよい。その他の実施態様において、ポリマーの液体前駆体が第一の
硬化を受けることによって、ポリマーが溶媒に十分に溶解しなくなるような非液体にする
ことができる。その他の実施態様において、液状ポリマー前駆体が硬化される場合、ポリ
マーが非液状ポリマーに転移し、材料から引き出された繊維の形状を形成することを意味
する。その他の実施態様において、液状ポリマー前駆体の最初の硬化によって、室温でポ
リマーはノンコンフォーマブル（non-conformable）な状態に遷移する。その他の実施態
様において、硬化後、ポリマーはゲルの形態をとり、ここでゲルは、その降伏値が重力に
よってかかる剪断応力よりも大きいという点で、それ自身で形を保つことができる（free
-standingまたはself-supporting）物品を意味する。

代表的な溶媒耐性エラストマーベースの材料としては、これらに限定されないが、フッ
素化エラストマーベースの材料が挙げられる。本明細書で用いられる用語「溶媒耐性」は
、実質的に、一般的な炭化水素ベースの有機溶媒、または、酸性もしくは塩基性水溶液中
で膨潤しない、または、それらに溶解しないエラストマー材料のような材料を意味する。
代表的なフッ素化エラストマーベースの材料としては、これらに限定されないが、フルオ
ロポリエーテル、および、ペルフルオロポリエーテル（総称して「ＰＦＰＥ」）ベースの
材料が挙げられる。

具体的な実施態様において、機能的な液体ＰＦＰＥ材料は、マイクロまたはナノサイズ
のモールドでの使用に関して望ましい特性を示す。例えば、機能的なＰＦＰＥ材料は、典
型的には、１種またはそれより多くの以下の特徴を有する：低い表面エネルギー（非毒性
の）、紫外線および可視光の透過、高いガス透過性、優れた離型特性を有する頑丈で長持
ちする高度にフッ素化されたエラストマーまたはガラス状材料への硬化、膨潤に対する耐
性、溶媒耐性、生体適合性の非反応性の表面、それらの組み合わせ等。これらの材料の特
性は、添加剤、充填剤、反応性の共重合用単量体、および、官能化剤の慎重な選択によっ
て広範囲にわたり調節することができ、このような物質の例を本明細書においてさらに説
明する。このような改変が望ましい特性としては、これらに限定されないが、弾性率、引
裂き強度、表面エネルギー、透過性、官能性、硬化の様式、溶解性、靭性、硬度、弾性、
膨潤特性、吸収、吸着、それらの組み合わせなどが挙げられる。

完成した材料の機械的および／または化学特性を調節する方法のいくつかの例としては
、これらに限定されないが、架橋間の分子量を小さくして材料の弾性率を増加させること
、高いＴｇのポリマーを形成する単量体を付加して材料の弾性率を増加させること、材料
に電荷を有する単量体または化学種を付加して材料の表面エネルギーまたは湿潤性を増加
させること、それらの組み合わせ等が挙げられる。

一実施態様によれば、本発明において使用するための材料（例えば、ＰＦＰＥ材料）は
、約３０ｍＮ／ｍ未満の表面エネルギーを有する。その他の実施態様によれば、表面エネ
ルギーは、約７ｍＮ／ｍ〜約２０ｍＮ／ｍである。より好ましい実施態様によれば、表面
エネルギーは、約１０ｍＮ／ｍ〜約１５ｍＮ／ｍである。ここで開示された材料（例えば
、ＰＦＰＥ材料）の膨潤しない性質、および、容易に離型する特性によって、積層物品の
製造が可能である。

ＩＩ．Ａ．約１００センチストークス未満の粘度を有する液体ＰＦＰＥ前駆体材料から
製造されたペルフルオロポリエーテル材料
当業者であれば認識しているものと思われるが、ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ
）は、２５年間以上にわたり多くの用途で使用されてきた。市販のＰＦＰＥ材料は、過フ
ッ素化された単量体の重合によって製造される。このクラスの最初のものは、フッ化セシ
ウム触媒によりヘキサフルオロプロペンオキシド（ＨＦＰＯ）を重合して一連の分岐状ポ
リマーを得ることによって製造されており、これは、クライトックス（ＫＲＹＴＯＸ（登
録商標））（デュポン（ＤｕＰｏｎｔ），アメリカ合衆国デラウェア州ウィルミントン）
と名付けられている。類似のポリマーが、ヘキサフルオロプロペン（フォンブリン（ＦＯ
ＭＢＬＩＮ（登録商標））Ｙ）（ソルベイ・ソレクシス（Ｓｏｌｖａｙ Ｓｏｌｅｘｉｓ
），ブリュッセル，ベルギー）の紫外線光触媒による光酸化によって生産されている。さ
らに、直鎖状ポリマー（フォンブリン（登録商標）Ｚ）（ソルベイ）も類似の方法によっ
て、しかしテトラフルオロエチレンを利用して、製造される。最後に、第四のポリマー（
デムナム（ＤＥＭＮＵＭ（登録商標）））（ダイキン工業株式会社（Ｄａｉｋｉｎ Ｉｎ
ｄｕｓｔｒｉｅｓ），日本国大阪府）が、テトラフルオロオキセタンの重合、続いて直接
のフッ素化によって製造されている。表Ｉに、これらの流体の構造を示す。表ＩＩに、潤
滑剤のＰＦＰＥクラスのいくつかの物質に関する特性データを示す。同様に、表ＩＩＩに
、機能的なＰＦＰＥの物理特性を示す。これらの市販のＰＦＰＥ流体に加えて、直接のフ
ッ素化技術によって新しいシリーズの構造が製造されている。表ＩＶに、これらの新しい
ＰＦＰＥ材料の代表的な構造を示す。上述のＰＦＰＥ流体のなかでも、クライトックス（
登録商標）、および、フォンブリン（登録商標）Ｚだけが、広範囲にわたり実用されてい
る。Jones. W. R., Jr., The properties of Perfluoropolyetethers Used for Space Ap
plications, NASA Technical Memorandum 106275（１９９３年７月）を参照（これは、こ
の参照によりその全体が開示に含まれる）。従って、ここで開示された主題においてこの
ようなＰＦＰＥ材料の使用を提供する。

ある実施態様では、ペルフルオロポリエーテル前駆体は、ポリ（テトラフルオロエチレ
ンオキシド−コ−ジフルオロメチレンオキシド）α，ωジオールを含み、ある実施態様で
は、これを光硬化して、ペルフルオロポリエーテルジメタクリレート、および、ペルフル
オロポリエーテルジスチレン化合物のいずれか１種を形成することができる。スキーム１
に、官能化したペルフルオロポリエーテルの合成および光硬化の代表的なスキームを示す
。

スキーム１．官能化したペルフルオロポリエーテルの合成および光硬化

ＩＩ．Ｂ．約１００センチストークスより大きい粘度を有する液体ＰＦＰＥ前駆体材料
から製造されたペルフルオロポリエーテル材料
本明細書の以下に示される、ＰＦＰＥ材料の層と、その他の材料および／または基板と
の接着を促進する、および／または、高める方法、および、表面に官能基を付加する方法
は、これらに限定されないが、約１００センチストークス（ｃＳｔ）より大きい粘度、お
よび、約１００ｃＳｔ未満の粘度からなる群より選択される特徴を有するＰＦＰＥ材料を
含むが、１００ｃＳｔ未満の粘度を有する液体ＰＦＰＥ前駆体材料は、フリーラジカルに
よって光硬化可能なＰＦＰＥ材料ではない。本明細書で示すように、液体ＰＦＰＥ前駆体
材料の粘度は、官能化、例えばメタクリル酸またはスチレン基を用いた官能化を行う前の
材料の粘度を意味する。

従って、ある実施態様では、ＰＦＰＥ材料は、約１００センチストークス（ｃＳｔ）よ
り大きい粘度を有する液体ＰＦＰＥ前駆体材料から製造される。ある実施態様では、液体
ＰＦＰＥ前駆体は、重合性基でエンドキャップされている。ある実施態様では、重合性基
は、これらに限定されないが、アクリル酸、メタクリル酸、エポキシ、アミノ、カルボン
酸、無水物、マレイミド、イソシアナト、オレフィン、および、スチレン基からなる群よ
り選択される。

ある実施態様では、ＰＦＰＥ材料は、これらに限定されないが、以下からなる群より選
択される主鎖構造を含む：

式中Ｘは、存在しているか、または存在しておらず、存在する場合、エンドキャップ基
を含み、ｎは、１〜１００の整数である。

ある実施態様では、ＰＦＰＥ液体前駆体は、スキーム２で示すようにして、ヘキサフル
オロプロピレンオキシド、または、テトラフルオロエチレンオキシドから合成される。

スキーム２．ヘキサフルオロプロピレンオキシドまたはテトラフルオロエチレンオキシ
ドからの液体ＰＦＰＥ前駆体材料の合成
ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ前駆体は、スキーム３で示すようにして、ヘキサフル
オロプロピレンオキシド、または、テトラフルオロエチレンオキシドから合成される。

スキーム３．ヘキサフルオロプロピレンオキシドまたはテトラフルオロエチレンオキシ
ドからの液体ＰＦＰＥ前駆体材料の合成
ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ前駆体は、重合性基を添加する前に２個またはそれよ
り多くの鎖が一緒に連結するように、鎖を延長させる物質を含む。従って、ある実施態様
では、「リンカー基」は、２つの鎖を１つの分子に結合させる。ある実施態様では、スキ
ーム４で示すように、リンカー基は、３個またはそれより多くの鎖を結合させる。

スキーム４．３個のＰＦＰＥ鎖を結合させるリンカー基
ある実施態様では、Ｘは、これらに限定されないが、イソシアネート、酸塩化物、エポ
キシ、および、ハロゲンからなる群より選択される。ある実施態様では、Ｒは、これらに
限定されないが、アクリル酸、メタクリル酸、スチレン、エポキシ、カルボン酸、無水物
、マレイミド、イソシアネート、オレフィンおよびアミンからなる群より選択される。あ
る実施態様では、丸は、あらゆる多官能性の分子を示す。ある実施態様では、多官能性の
分子は、環状分子を含む。ＰＦＰＥは、本明細書で示されたあらゆるＰＦＰＥ材料を意味
する。

ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ前駆体は、スキーム５で示されるような超分岐ポリマ
ーを含み、ここでＰＦＰＥは、本明細書で示されたあらゆるＰＦＰＥ材料を意味する。

スキーム５．超分岐ＰＦＰＥ液体前駆体材料
ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ材料は、これらに限定されないが、以下からなる群よ
り選択される末端官能性を有する材料を含む：

ある実施態様では、ＰＦＰＥ液体前駆体は、光酸発生剤を用いて光硬化することができ
るエポキシ成分でキャップされる。ここで開示された主題に使用するのに適した光酸発生
剤としては、これらに限定されないが、以下が挙げられる：ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチル
フェニル）ヨードニウムｐ−トルエンスルホネート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニ
ル）ヨードニウムトリフレート、（４−ブロモフェニル）ジフェニルスルホニウムトリフ
レート、（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメトキシナフチル）−ジフェニルスルホニウム
トリフレート、（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメトキシフェニル）ジフェニルスルホニ
ウムトリフレート、（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ジフェニルスルホニウムトリフレ
ート、（４−クロロフェニル）ジフェニルスルホニウムトリフレート、ジフェニルヨード
ニウム−９，１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホネート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロホスフェート、硝酸ジフェニルヨードニウム、ジフェニルヨードニウム
ペルフルオロ−１−ブタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホネ
ート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、（４−フルオロフェニル）ジフェニルスル
ホニウムトリフレート、Ｎ−ヒドロキシナフタルイミドトリフレート、Ｎ−ヒドロキシ−
５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシミドペルフルオロ−１−ブタンスルホネート、
Ｎ−ヒドロキシフタルイミドトリフレート、［４−［（２−ヒドロキシテトラデシル）オ
キシ］フェニル］フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、（４−ヨードフ
ェニル）ジフェニルスルホニウムトリフレート、（４−メトキシフェニル）ジフェニルス
ルホニウムトリフレート、２−（４−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメ
チル）−１，３，５−トリアジン、（４−メチルフェニル）ジフェニルスルホニウムトリ
フレート、（４−メチルチオフェニル）メチルフェニルスルホニウムトリフレート、２−
ナフチルジフェニルスルホニウムトリフレート、（４−フェノキシフェニル）ジフェニル
スルホニウムトリフレート、（４−フェニルチオフェニル）ジフェニルスルホニウムトリ
フレート、チオビス（トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート）、トリア
リールスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩、トリアリールスルホニウムヘキサフ
ルオロリン酸塩、トリフェニルスルホニウムペルフルオロ−１−ブタンスルホネート、ト
リフェニルスルホニウムトリフレート、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホ
ニウムペルフルオロ−１−ブタンスルホネート、および、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブチル
フェニル）スルホニウムトリフレート。

ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ前駆体は、高い紫外線透過性および／または高い可視
光透過性を有するエラストマーに硬化する。ある実施態様では、液体ＰＦＰＥ前駆体は、
酸素、二酸化炭素および窒素に関して高い透過性を有するエラストマーに硬化し、このよ
うなエラストマーは、それらの中に入れられた生体液／細胞の生存能を容易に維持するこ
とができる特性を有する。ある実施態様では、例えば酸素、二酸化炭素、窒素、色素、試
薬などの分子に対する物品のバリア特性を強化するために、添加剤を添加するか、または
、層を作製する。

ある実施態様では、ここで開示された主題と共に使用するのに適した材料は、以下の構
造を有するフルオロアルキルで官能化したポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）を有する
シリコーン材料を含む：

式中：
Ｒは、これらに限定されないが、アクリル酸、メタクリル酸およびビニル基からなる群
より選択され；
Ｒ_ｆは、フルオロアルキル鎖を含み；および、
ｎは、１〜１００，０００の整数である。

ある実施態様では、ここで開示された主題と共に使用するのに適した材料は、これらに
限定されないが、以下からなる群より選択されるフッ素化スチレン単量体を有するスチレ
ン系材料を含む：

式中、Ｒ_ｆは、フルオロアルキル鎖を含む。

ある実施態様では、ここで開示された主題と共に使用するのに適した材料は、以下の構
造を有するフッ素化アクリル酸エステル、または、フッ素化メタクリル酸エステルを有す
るアクリル酸材料を含む：

式中：
Ｒは、これらに限定されないが、Ｈ、アルキル、置換されたアルキル、アリール、およ
び、置換されたアリールからなる群より選択され；および、
Ｒ_ｆは、ペルフルオロアルキル鎖とエステル結合との間に−ＣＨ_２−または−ＣＨ_２−
ＣＨ_２−スペーサーを有するフルオロアルキル鎖を含む。ある実施態様では、ペルフルオ
ロアルキル基は、水素置換基を有する。

ある実施態様では、ここで開示された主題と共に使用するのに適した材料は、フッ素化
単量体を有するトリアジンフルオロポリマーを含む。

ある実施態様では、メタセシス重合反応によって重合または架橋が可能なフッ素化単量
体またはフッ素化オリゴマーは、官能化したオレフィンを含む。ある実施態様では、官能
化したオレフィンは、官能化した環状オレフィンを含む。

その代りの実施態様によれば、ＰＦＰＥ材料は、以下のスキーム６で示される構造で説
明され示されるように、ウレタンブロックを含む：

スキーム６．四官能性を有するＰＦＰＥウレタンメタクリレート
本発明の実施態様によれば、当業者であれば理解しているものと思われるが、上記で説
明したような四官能性を有するＰＦＰＥウレタンメタクリレート材料は、本発明の材料お
よび方法として用いてもよいし、または、本明細書において説明されるその他の材料およ
び方法と組み合わせて用いてもよい。

スキーム７．ＰＦＰＥウレタン系
いくつかの実施態様によれば、ウレタン系は、以下の構造を有する材料を含む。

このスキームによれば、Ａ部は、紫外線硬化性前駆体であり、Ｂ部およびＣ部は、ウレ
タン系の熱硬化性成分を構成する。第四の構成要素であるＤ部は、エンドキャップされた
前駆体（例えば、スチレンでエンドキャップされた液体前駆体）である。いくつかの実施
態様によれば、Ｄ部は、ベースの材料中に含まれる潜在的なメタクリル酸、アクリル酸ま
たはスチレン基と反応し、それによってベースの材料に対する化学的な適合性（chemical
compatibility）または表面の不動態化を付与し、さらに、ベースの材料の官能性を高め
る。

ＩＩ．Ｃ．フルオロオレフィンベースの材料
さらに、ある実施態様では、本明細書において用いられる材料は、高度にフッ素化され
たフルオロエラストマーから選択され、例えば、Ｔａｎｇの米国特許第６，５１２，０６
３号（この参照によりその全体が開示に含まれる）で説明されているような少なくとも５
８重量パーセントのフッ素を有するフルオロエラストマーである。このようなフルオロエ
ラストマーは、部分的にフッ素化または過フッ素化されていてもよいし、さらに、フルオ
ロエラストマーの重量に基づいて、２５〜７０重量パーセントの第一の単量体（例えばフ
ッ化ビニリデン（ＶＦ_２）またはテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ））の共重合単位を含
んでいてもよい。フルオロエラストマーの残りの単位は、第一の単量体とは異なる１種ま
たはそれより多くの追加の共重合単量体を含み、このような単位は、これらに限定されな
いが、フッ素を含むオレフィン、フッ素を含むビニルエーテル、炭化水素オレフィン、お
よび、それらの組み合わせからなる群より選択される。

これらのフルオロエラストマーは、バイトン（ＶＩＴＯＮ（登録商標））（デュポン・
ダウ・エラストマーズ（ＤｕＰｏｎｔ Ｄｏｗ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ），アメリカ合衆
国デラウェア州ウィルミントン）、および、Ｕｎｇｅｒ等の米国特許第６，４０８，８７
８号で説明されているようなＫｅｌ−Ｆタイプのポリマーを含む。しかしながら、これら
の市販のポリマーは、約４０〜６５（１２１℃でＭＬ１＋１０）の範囲のムーニー粘度を
有し、これは、このようなポリマーが粘着性のゴムのような粘度であることを示す。硬化
されると、それらは硬く不透明な固体になる。現在のところ利用可能なものとして、バイ
トン（登録商標）およびＫｅｌ−Ｆは、マイクロスケールでの成形に関して限られた有用
性しかない。本明細書において説明される用途に関する業界において、類似の組成を有す
るが、より低い粘度とより大きい光学的な透明度を有する硬化性の化学種が必要とされて
いる。より低い粘度（例えば、２〜３２（１２１℃でＭＬ１＋１０））、または、より好
ましくは２０℃で８０〜２０００ｃＳｔもの低さの粘度の組成物であれば、より効率的に
硬化される流し込み可能な液体が得られる。

より具体的には、フッ素を含むオレフィンとしては、これらに限定されないが、フッ化
ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）
、１，２，３，３，３−ペンタフルオロプロペン（１−ＨＰＦＰ）、クロロトリフルオロ
エチレン（ＣＴＦＥ）、および、フッ化ビニルが挙げられる。

フッ素を含むビニルエーテルとしては、これらに限定されないが、ペルフルオロ（アル
キルビニル）エーテル（ＰＡＶＥ）が挙げられる。より具体的には、単量体として使用す
るためのペルフルオロ（アルキルビニル）エーテルは、以下の式で示されるペルフルオロ
（アルキルビニル）エーテルを含む：
ＣＦ_２＝ＣＦＯ（Ｒ_ｆＯ）_ｎ（Ｒ_ｆＯ）_ｍＲ_ｆ
式中、Ｒ_ｆは、それぞれ独立して、直鎖状または分岐状のＣ_１〜Ｃ_６ペルフルオロアル
キレン基であり、ｍおよびｎは、それぞれ独立して、０〜１０の整数である。

ある実施態様では、ペルフルオロ（アルキルビニル）エーテルは、以下の式で示される
単量体を含む：
ＣＦ_２＝ＣＦＯ（ＣＦ_２ＣＦＸＯ）_ｎＲ_ｆ
式中Ｘは、ＦまたはＣＦ_３であり、ｎは、０〜５の整数であり、Ｒ_ｆは、直鎖状または
分岐状のＣ_１〜Ｃ_６ペルフルオロアルキレン基である。ある実施態様では、ｎは、０また
は１であり、Ｒ_ｆは、１〜３個の炭素原子を含む。このようなペルフルオロ（アルキルビ
ニル）エーテルの代表的な例は、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル（ＰＭＶＥ）、
および、ペルフルオロ（プロピルビニル）エーテル（ＰＰＶＥ）を含む。

ある実施態様では、ペルフルオロ（アルキルビニル）エーテルは、以下の式で示される
単量体を含む：
ＣＦ_２＝ＣＦＯ［（ＣＦ_２）_ｍＣＦ_２ＣＦＺＯ）_ｎＲ_ｆ
式中、Ｒ_ｆは、１〜６個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基であり、ｍは、０
または１の整数であり、ｎは、０〜５の整数であり、Ｚは、ＦまたはＣＦ_３である。ある
実施態様では、Ｒ_ｆは、Ｃ_３Ｆ_７であり、ｍは０であり、ｎは１である。

ある実施態様では、ペルフルオロ（アルキルビニル）エーテル単量体は、以下の式で示
される化合物を含む：
ＣＦ_２＝ＣＦＯ［（ＣＦ_２ＣＦ｛ＣＦ_３｝Ｏ）_ｎ（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ（ＣＦ_２）
_ｐ］Ｃ_ｘＦ_２ｘ＋１
式中、ｍおよびｎは、それぞれ独立して０〜１０の整数であり、ｐは、０〜３の整数で
あり、ｘは、１〜５の整数である。いくつかの実施態様において、ｎは、０または１であ
り、ｍは、０または１であり、ｘは、１である。

有用なペルフルオロ（アルキルビニルエーテル）のその他の例としては、以下が挙げら
れる：
ＣＦ_２＝ＣＦＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ（ＣＦ_２Ｏ）_ｍＣ_ｎＦ_２ｎ＋１
式中、ｎは、１〜５の整数であり、ｍは、１〜３の整数である。ある実施態様では、ｎ
は、１である。

ここで説明されるフルオロエラストマー中に、ペルフルオロ（アルキルビニル）エーテ
ル（ＰＡＶＥ）の共重合単位が存在する実施態様において、ＰＡＶＥ含量は、一般的に、
フルオロエラストマーの総重量に基づいて２５〜７５重量パーセントの範囲である。ＰＡ
ＶＥがペルフルオロ（メチルビニル）エーテル（ＰＭＶＥ）である場合、フルオロエラス
トマーは、３０〜５５重量％の共重合したＰＭＶＥ単位を含む。

ここで説明されるフルオロエラストマーにおいて有用な炭化水素オレフィンとしては、
これらに限定されないが、エチレン（Ｅ）、および、プロピレン（Ｐ）が挙げられる。こ
こで説明されるフルオロエラストマー中に炭化水素オレフィンの共重合単位が存在する実
施態様において、炭化水素オレフィン含量は、一般的に、４〜３０重量パーセントである
。

さらに、ある実施態様では、ここで説明されるフルオロエラストマーは、１種またはそ
れより多くの硬化部位単量体の単位を含んでいてもよい。適切な硬化部位単量体の例とし
ては、以下が挙げられる：ｉ）臭素を含むオレフィン；ｉｉ）ヨウ素を含むオレフィン；
ｉｉｉ）臭素を含むビニルエーテル；ｉｖ）ヨウ素を含むビニルエーテル；ｖ）ニトリル
基を有するフッ素を含むオレフィン；ｖｉ）ニトリル基を有するフッ素を含むビニルエー
テル；ｖｉｉ）１，１，３，３，３−ペンタフルオロプロペン（２−ＨＰＦＰ）；ｖｉｉ
ｉ）ペルフルオロ（２−フェノキシプロピルビニル）エーテル；および、ｉｘ）非共役ジ
エン。

具体的な実施態様において、臭素化した硬化部位単量体は、その他のハロゲンを含んで
いてもよく、好ましくはフッ素を含む。臭素化したオレフィン硬化部位単量体の例として
は、ＣＦ_２＝ＣＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２Ｂｒ；ブロモトリフルオロエチレ
ン；４−ブロモ−３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１（ＢＴＦＢ）；および、そ
の他のもの、例えば臭化ビニル、１−ブロモ−２，２−ジフルオロエチレン；ペルフルオ
ロアリル臭化物；４−ブロモ−１，１，２−トリフルオロブテン−１；４−ブロモ−１，
１，３，３，４，４−ヘキサフルオロブテン；４−ブロモ−３−クロロ−１，１，３，４
，４−ペンタフルオロブテン；６−ブロモ−５，５，６，６−テトラフルオロヘキセン；
４−ブロモペルフルオロブテン−１、および、３，３−ジフルオロ臭化アリルが挙げられ
る。臭素化したビニルエーテル硬化部位単量体は、２−ブロモ−ペルフルオロエチルペル
フルオロビニルエーテル、および、ＣＦ_２Ｂｒ−Ｒ_ｆ−Ｏ−ＣＦ＝ＣＦ_２クラス（式中、
Ｒ_ｆは、ペルフルオロアルキレン基である）のフッ素化化合物、例えばＣＦ_２ＢｒＣＦ_２
Ｏ−ＣＦ＝ＣＦ_２、および、ＲＯＣＦ＝ＣＦＢｒまたはＲＯＣＢｒ＝ＣＦ_２クラス（式中
、Ｒは、低級アルキル基、または、フルオロアルキル基である）のフルオロビニルエーテ
ル、例えばＣＨ_３ＯＣＦ＝ＣＦＢｒ、または、ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ＝ＣＦＢｒを含む。

適切なヨウ化した硬化部位単量体は、式：ＣＨＲ＝ＣＨ−Ｚ−ＣＨ_２ＣＨＲ−Ｉで示さ
れるヨウ化オレフィンを含み、ここで式中、Ｒは、−Ｈまたは−ＣＨ_３であり；Ｚは、Ｃ
_１〜Ｃ_１８（ペル）フルオロアルキレンラジカル（直鎖状または分岐状であり、任意に１
個またはそれより多くのエーテル酸素原子を含んでいてもよい）、または、米国特許第５
，６７４，９５９号で開示された（ペル）フルオロポリオキシアルキレンラジカルである
。有用なヨウ化した硬化部位単量体のその他の例は、以下の式：Ｉ（ＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２
）_ｎＯＣＦ＝ＣＦ_２、および、ＩＣＨ_２ＣＦ_２Ｏ［ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２Ｏ］_ｎＣＦ＝Ｃ
Ｆ_２など（式中ｎは、１〜３の整数である）で示される不飽和エーテルであり、例えば米
国特許第５，７１７，０３６号で開示されたものである。加えて、適切なヨウ化した硬化
部位単量体としては、ヨードエチレン、４−ヨード−３，３，４，４−テトラフルオロブ
テン−１（ＩＴＦＢ）；３−クロロ−４−ヨード−３，４，４−トリフルオロブテン；２
−ヨード−１，１，２，２−テトラフルオロ−１−（ビニルオキシ）エタン；２−ヨード
−１−（ペルフルオロビニルオキシ）−１，１，２，２−テトラフルオロエチレン；１，
１，２，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−ヨード−１−（ペルフルオロビニルオキシ）
プロパン；２−ヨードエチルビニルエーテル；３，３，４，５，５，５−ヘキサフルオロ
−４−ヨードペンテン；および、ヨードトリフルオロエチレン（米国特許第４，６９４，
０４５号に開示されている）が挙げられる。また、ヨウ化アリル、および、２−ヨード−
ペルフルオロエチルペルフルオロビニルエーテルも有用な硬化部位単量体である。

有用なニトリルを含む硬化部位単量体としては、これらに限定されないが、以下に示す
式で示されるものが挙げられる：
ＣＦ_２＝ＣＦ−Ｏ（ＣＦ_２）_ｎ−ＣＮ
式中ｎは、２〜１２の整数である。ある実施態様では、ｎは、２〜６の整数である。
ＣＦ_２＝ＣＦ−Ｏ［ＣＦ_２−ＣＦ（ＣＦ）−Ｏ］_ｎ−ＣＦ_２−ＣＦ（ＣＦ_３）−ＣＮ
式中ｎは、０〜４の整数である。ある実施態様では、ｎは、０〜２の整数である。
ＣＦ_２＝ＣＦ−［ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）］_ｘ−Ｏ−（ＣＦ_２）_ｎ−ＣＮ
式中ｘは、１または２であり、ｎは、１〜４の整数であり；および、
ＣＦ_２＝ＣＦ−Ｏ−（ＣＦ_２）_ｎ−Ｏ−ＣＦ（ＣＦ_３）−ＣＮ
式中ｎは、２〜４の整数である。ある実施態様では、硬化部位単量体は、ニトリル基お
よびトリフルオロビニルエーテル基を有する過フッ化されたポリエーテルである。

ある実施態様では、硬化部位単量体は、以下：
ＣＦ_２＝ＣＦＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＮ
であり、すなわちペルフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オク
テン）、または、８−ＣＮＶＥである。

非共役ジエン硬化部位単量体の例としては、これらに限定されないが、１，４−ペンタ
ジエン；１，５−ヘキサジエン；１，７−オクタジエン；３，３，４，４−テトラフルオ
ロ−１．５−ヘキサジエン；および、その他のもの、例えばカナダ特許第２，０６７，８
９１号、および、欧州特許第０７８４０６４号（Ａ１）で開示されたものが挙げられる。
適切なトリエンは、８−メチル−４−エチリデン−１，７−オクタジエンである。

フルオロエラストマーを過酸化物で硬化する実施態様において、硬化部位単量体は、好
ましくは、これらに限定されないが、４−ブロモ−３，３，４，４−テトラフルオロブテ
ン−１（ＢＴＦＢ）；４−ヨード−３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１（ＩＴＦ
Ｂ）；ヨウ化アリル；ブロモトリフルオロエチレン、および、８−ＣＮＶＥからなる群よ
り選択される。フルオロエラストマーをポリオールで硬化する実施態様において、２−Ｈ
ＰＦＰ、または、ペルフルオロ（２−フェノキシプロピルビニル）エーテルが、好ましい
硬化部位単量体である。フルオロエラストマーを、テトラアミン、ビス（アミノフェノー
ル）、または、ビス（チオアミノフェノール）で硬化する実施態様において、８−ＣＮＶ
Ｅが、好ましい硬化部位単量体である。

硬化部位単量体の単位は、ここで開示されたフルオロエラストマー中に存在する場合、
典型的には０．０５〜１０重量％（フルオロエラストマーの総重量に基づいて）、好まし
くは０．０５〜５重量％、最も好ましくは０．０５〜３重量％のレベルで存在する。

ここで開示された主題で用いることができるフルオロエラストマーとしては、これらに
限定されないが、少なくとも５８重量％のフッ素を有するもの、および、以下の共重合単
位を有するものが挙げられる：ｉ）フッ化ビニリデン、および、ヘキサフルオロプロピレ
ン；ｉｉ）フッ化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、および、テトラフルオロエチ
レン；ｉｉｉ）フッ化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン
、および、４−ブロモ−３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；ｉｖ）フッ化ビニ
リデン、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、および、４−ヨード−３
，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；ｖ）フッ化ビニリデン、ペルフルオロ（メチ
ルビニル）エーテル、テトラフルオロエチレン、および、４−ブロモ−３，３，４，４−
テトラフルオロブテン−１；ｖｉ）フッ化ビニリデン、ペルフルオロ（メチルビニル）エ
ーテル、テトラフルオロエチレン、および、４−ヨード−３，３，４，４−テトラフルオ
ロブテン−１；ｖｉｉ）フッ化ビニリデン、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、テ
トラフルオロエチレン、および、１，１，３，３，３−ペンタフルオロプロペン；ｖｉｉ
ｉ）テトラフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、および、エチレ
ン；ｉｘ）テトラフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、エチレン
、および、４−ブロモ−３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；ｘ）テトラフルオ
ロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、エチレン、および、４−ヨード−
３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；ｘｉ）テトラフルオロエチレン、プロピレ
ン、および、フッ化ビニリデン；ｘｉｉ）テトラフルオロエチレン、および、ペルフルオ
ロ（メチルビニル）エーテル；ｘｉｉｉ）テトラフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチ
ルビニル）エーテル、および、ペルフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキ
サ−１−オクテン）；ｘｉｖ）テトラフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニル）
エーテル、および、４−ブロモ−３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；ｘｖ）テ
トラフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、および、４−ヨード−
３，３，４，４−テトラフルオロブテン−１；および、ｘｖｉ）テトラフルオロエチレン
、ペルフルオロ（メチルビニル）エーテル、および、ペルフルオロ（２−フェノキシプロ
ピルビニル）エーテル。

加えて、ヨウ素を含む末端基、臭素を含む末端基、または、それらの組み合わせが、任
意に、フルオロエラストマー製造中に連鎖移動剤または分子量調節剤を使用した結果とし
て、フルオロエラストマーのポリマー鎖末端の一方または両方に存在していてもよい。連
鎖移動剤が用いられる場合、その量は、フルオロエラストマー中に０．００５〜５重量％
、好ましくは０．０５〜３重量％の範囲のヨウ素または臭素レベルが達成されるように計
算する。

連鎖移動剤の例としては、ポリマー分子の一方または両方の末端に結合するヨウ素を取
り込むためのヨウ素を含む化合物が挙げられる。このような物質の代表例としては、ヨウ
化メチレン；１，４−ジヨードペルフルオロ−ｎ−ブタン；および、１，６−ジヨード−
３，３，４，４−テトラフルオロヘキサンが挙げられる。その他のヨウ化連鎖移動剤とし
ては、１，３−ジヨードペルフルオロプロパン；１，６−ジヨードペルフルオロヘキサン
；１，３−ジヨード−２−クロロペルフルオロプロパン；１，２−ジ（ヨードジフルオロ
メチル）ペルフルオロシクロブタン；モノヨードペルフルオロエタン；モノヨードペルフ
ルオロブタン；２−ヨード−１−ヒドロペルフルオロエタンなどが挙げられる。さらに、
欧州特許第０８６８４４７号（Ａ１）で開示されたシアノ−ヨウ素連鎖移動剤も挙げられ
る。特に好ましくは、二ヨウ化連鎖移動剤である。

臭素化連鎖移動剤の例としては、１−ブロモ−２−ヨードペルフルオロエタン；１−ブ
ロモ−３−ヨードペルフルオロプロパン；１−ヨード−２−ブロモ−１，１−ジフルオロ
エタン、および、その他のもの、例えば米国特許第５，１５１，４９２号で開示されたも
のが挙げられる。

使用に適したその他の連鎖移動剤としては、米国特許第３，７０７，５２９号で開示さ
れたものが挙げられる。このような物質の例としては、イソプロパノール、マロン酸ジエ
チル、酢酸エチル、四塩化炭素、アセトン、および、ドデシルメルカプタンが挙げられる
。

ＩＩ．Ｄ．二重の光硬化性および熱硬化性を有する材料
本発明のその他の実施態様によれば、二重硬化材料（dual cure material）は、１種ま
たはそれより多くの光硬化性成分、および、熱硬化性成分を含む。一実施態様において、
光硬化性成分は、独立して、材料が数回の硬化を受けることができるような熱硬化性成分
から選択される。複数回の硬化を受ける能力を有する材料は、例えば、層状の物品を形成
すること、または、物品をその他の物品に連結もしくは結合させること、または、物品の
部分または構成要素をその他の物品の部分または構成要素に連結もしくは結合させること
において有用である。例えば、光硬化性成分および熱硬化性成分を有する液状材料は、第
一の硬化を受けることによって、例えば光硬化工程または熱硬化工程により第一の物品を
形成することができる。続いて、光硬化または熱硬化した第一の物品を、同じ材料の第二
の物品に接着させてもよいし、または、熱硬化または光硬化させて第一の物品の材料に結
合させる、第一の物品の材料に類似した任意の材料の第二の物品に接着させてもよい。互
いに隣接する第一の物品および第二の物品の位置を決め、第一および第二の物品を熱硬化
または光硬化で処理すると、どちらかの構成要素が第一の硬化で活性化されないままにな
る。その後、光硬化工程によって活性化されなかったままの第一の物品の熱硬化成分、ま
たは、第一の熱硬化によって活性化されなかったままの第一の物品の光硬化成分のいずれ
かが活性化されて第二の物品と結合する。それによって、第一および第二の物品は、接着
して一体化した状態になる。当業者であれば認識しているものと思われるが、硬化工程の
順番はどちらでもよく、まず最初に熱硬化を起こし、それに続いて光硬化を起こしてもよ
いし、または、まず最初に光硬化を起こし、それに続いて熱硬化を起こしてもよい。

さらにその他の実施態様によれば、二重硬化材料は複数種の熱硬化性成分を含んでいて
もよく、このような場合、熱硬化性成分は、複数回の独立した熱硬化で材料を処理できる
ような材料に含まれる。例えば、複数種の熱硬化性成分は、材料が、第一の温度範囲で第
一の熱硬化を受け、第二の温度範囲で第二の熱硬化を受けられるように、それぞれ異なる
活性化温度範囲を有していてもよい。従って、このような材料は、異なる熱硬化によって
複数種のその他の材料に接着させることができ、それによって、複数のラミネート層を有
する物品を形成することができる。

その他の実施態様によれば、二重硬化材料は、異なる波長で反応を開始させることがで
きる複数種の光硬化性成分を有する材料を含んでいてもよい。例えば、第一の光硬化性成
分は、最初に照射した波長で反応を開始させることができ、このような波長で、第二の光
硬化性成分を第二の波長での活性化のために利用可能な状態のままにすることができる。

紫外線硬化性成分にとって適切なエンドキャップ剤であり得る化学基の例としては、以
下が挙げられる：メタクリル酸基、アクリル酸基、スチレン基、エポキシド基、シクロブ
タン基およびその他の２＋２の付加環化可能な基、それらの組み合わせ等。熱硬化性成分
をエンドキャップするのに適している化学基の対の例としては、以下が挙げられる：エポ
キシ／アミン、エポキシ／ヒドロキシル、カルボン酸／アミン、カルボン酸／ヒドロキシ
ル、エステル／アミン、エステル／ヒドロキシル、アミン／無水物、酸ハロゲン化物／ヒ
ドロキシル、酸ハロゲン化物／アミン、アミン／ハロゲン化物、ヒドロキシル／ハロゲン
化物、ヒドロキシル／クロロシラン、アジ化物／アセチレン、および、その他のいわゆる
「クリックケミストリー」反応に関する基、および、グラブス（Ｇｒｕｂｂ’ｓ）タイプ
の触媒の使用を伴うメタセシス反応に関する基、それらの組み合わせ等。

ここで開示された、物品の多層を、互いに、または、別の表面に接着させる方法は、Ｐ
ＦＰＥベースの材料、加えて、ＰＤＭＳおよびその他の液状のポリマーなどの様々なその
他の材料に適用することができる。ここで開示された接着方法での使用に適している液状
の高分子材料の例としては、これらに限定されないが、ＰＤＭＳ、ポリ（テトラメチレン
オキシド）、ポリ（エチレンオキシド）、ポリ（オキセタン）、ポリイソプレン、ポリブ
タジエン、および、フルオロオレフィンベースのフルオロエラストマー、例えばバイトン
（登録商標）、および、カルレッツ（ＫＡＬＲＥＺ（登録商標））という登録商標で入手
することができるものが挙げられる。

従って、ここで開示された方法は、様々な高分子材料の層を接着させて一体化し、例え
ば積層モールドなどの物品を形成するのに用いることができる。

ＩＩ．Ｅ．シリコーンベースの材料
代わりの実施態様によれば、新規のシリコーンベースの材料は、光硬化性および熱硬化
性成分を含む。このような代わりの実施態様において、シリコーンベースの材料は、シリ
コーンベースの材料に本明細書において説明されているような二重硬化能が付与されるよ
うに、１種またはそれより多くの光硬化性および熱硬化性成分を含んでいてもよい。本発
明に適するシリコーンベースの材料は、本明細書および参照により本願の開示に含まれる
参考資料において説明した通りである。

ＩＩ．Ｆ．ホスファゼンを含むポリマー
いくつかの実施態様によれば、本明細書において開示された物品および方法は、以下の
構造を有するホスファゼンを含むポリマーを含む材料を用いて形成することができる。こ
れらの実施態様によれば、以下の構造中のＲは、フッ素を含むアルキル鎖であり得る。こ
のようなフッ素を含むアルキル鎖の例は、Ｌａｎｇｍｕｉｒ，２００５，２１，１１６０
４に記載されており、その開示は、この参照によりその全体が開示に含まれる。この出願
で開示された物品は、ホスファゼンを含むポリマーから形成してもよいし、または、ホス
ファゼンを含むポリマーと組み合わせてＰＦＰＥから形成してもよい。

ＩＩ．Ｇ．アリールトリフルオロビニルエーテル（ＴＶＥ）でエンドキャップされた材
料
ある実施態様では、本明細書において開示された物品および方法は、以下の構造で示す
ように、１種またはそれより多くのアリールトリフルオロビニルエーテル（ＴＶＥ）基で
エンドキャップされた材料を含む材料を用いて形成することができる。ＴＶＥ基でエンド
キャップされた材料の例は、Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，２００３，３６，９０００
に記載されており、これは、この参照によりその全体が開示に含まれる。これらの構造は
約１５０℃で２＋２の付加で反応し、ペルフルオロシクロブチル成分を形成する。ある実
施態様では、Ｒ_ｆは、ＰＦＰＥ鎖であってもよい。ある実施態様では、材料が架橋してネ
ットワークになるように３つのアームを有するＰＦＰＥポリマー上に３個またはそれより
多くのＴＶＥ基が存在する。

ＩＩ．Ｈ．ナトリウムナフタレンエッチング剤
ある実施態様では、ナトリウムナフタレンエッチング剤、例えば市販のテトラエッチ（
ＴＥＴＲＡＥＴＣＨ^ＴＭ）を、例えば本明細書において開示された物品のようなフルオロ
ポリマー物品の層と接触させる。その他の実施態様において、ナトリウムナフタレンエッ
チング剤を、例えば本明細書において開示された積層物品のようなＰＦＰＥベースの物品
の層と接触させる。このような実施態様によれば、エッチング剤が物品のポリマー中のＣ
−Ｆ結合と反応すると、物品の表面に沿って官能基を形成することができる。ある実施態
様では、これらの官能基は続いて、その他の層、シリコン表面、ガラス表面、ポリマー表
面、それらの組み合わせまたは同種のものの上での形態で反応することによって、接着接
合を形成させることができる。ある実施態様では、このような、本明細書において開示さ
れた物品（例えば積層モールド物品）の表面上で利用可能な接着接合は、２つの物品、物
品の層の間の接着またはそれらの組み合わせ等の接着力を高めることができる。積層モー
ルド層間の接着強度を増加させると、例えばラミネート層間の結合強度が増加するために
、物品の官能性を増加させることができる。

ＩＩ．Ｉ．三官能基を有するＰＦＰＥ前駆体
いくつかの実施態様によれば、三官能基を有するＰＦＰＥ前駆体を用いて、本明細書に
おいて開示された物品（例えば積層モールド物品）を製造することができる。本明細書に
おいて開示された三官能基を有するＰＦＰＥ前駆体は、材料に付加することができる官能
基数を増加させることによって、物品全体の官能性を増加させることができる。さらに、
三官能基を有するＰＦＰＥ前駆体は、材料に高い架橋性能を付与することができる。この
ような実施態様によれば、物品は、以下の反応スキームによって合成することができる。

さらなる実施態様において、例えば本明細書において開示された積層物品のような物品
を製造するために三官能基を有するＰＦＰＥ前駆体は、以下の反応スキームによって合成
される。

ＩＩ．Ｊ．フルオロポリマーおよび／またはＰＦＰＥを生成させるためのフルオロアル
キルヨウ化物前駆体
ある実施態様では、機能的なＰＦＰＥまたはその他のフルオロポリマーは、フルオロア
ルキルヨウ化物前駆体を用いて生成させることができる。このような実施態様によれば、
このような材料はエチレンの挿入によって改変することができ、続いて、多数の一般的な
官能基に転換してもよく、このような多数の一般的な官能基にとしては、これらに限定さ
れないが、シラン、グリニャール試薬、アルコール、シアノ、チオール、エポキシド、ア
ミン、および、カルボン酸が挙げられる。

ＩＩ．Ｋ．ジエポキシ材料
いくつかの実施態様によれば、本明細書において開示された物品（例えば積層物品）を
製造するのに有用な１種またはそれより多くのＰＦＰＥ前駆体は、ジエポキシ材料を含む
。ジエポキシ材料は、以下の反応スキームに従って、ＰＦＰＥジオールとエピクロロヒド
リンとの反応によって合成することができる。

ＩＩ．Ｌ．脂環式エポキシドでキャップされたＰＦＰＥ鎖
ある実施態様では、ＰＦＰＥ鎖は、脂環式エポキシド成分、例えばシクロヘキサンエポ
キシド、シクロペンタンエポキシド、それらの組み合わせまたは同種のものでキャップさ
れていてもよい。ある実施態様では、ＰＦＰＥジエポキシは、合成中にジオールとエピク
ロロヒドリンとの比率を変えて合成された、以下の構造を有する鎖延長剤である。いくつ
かの合成手順の例は、Ｔｏｎｅｌｌｉ等によってＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｏｌｙｍｅｒ
Ｓｃｉｅｎｃｅ：Ｐａｒｔ Ａ：Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ １９９６，第
３４巻，３２６３で説明されている（これは、この参照によりその全体が開示に含まれる
）。この方法を利用すれば、硬化された材料の機械特性を既定の基準に調節することがで
きる。

さらなる実施態様において、この反応で形成された第二アルコールを用いて、さらなる
官能基を結合させることができる。その例を以下に示すが、それによれば、第二アルコー
ルは、２−イソシアナトエチルメタクリレートと反応して、フリーラジカルおよびカチオ
ン硬化の両方に対して反応性を有する種を含む材料を生成する。例えばこの実施例におい
て、官能基は、積層モールド中で表面を例えばＰＦＰＥ材料の層と結合させて一体化する
のに利用することができる。

ＩＩ．Ｍ．ジアミンで硬化したＰＦＰＥジエポキシ
ある実施態様では、ＰＦＰＥジエポキシは、従来のジアミンを用いて硬化が可能であり
、このようなジアミンとしては、これらに限定されないが、１，６−ヘキサンジアミン；
イソホロンジアミン；１，２−エタンジアミン；それらの組み合わせ等が挙げられる。い
くつかの実施態様によれば、このようなジエポキシは、イミダゾール化合物を用いて硬化
が可能であり、このようなイミダゾール化合物としては、以下の構造または関連の構造を
有するものが挙げられ、式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、水素原子、または、その他のア
ルキル置換基、例えばメチル、エチル、プロピル、ブチル、フルオロアルキル化合物、そ
れらの組み合わせ等であり得る。いくつかの実施態様によれば、このようなイミダゾール
剤は、エポキシ含量に対して約１〜２５モル％のレベルの濃度でＰＦＰＥジエポキシに添
加される。ある実施態様では、イミダゾール触媒を含むＰＦＰＥジエポキシは、例えば本
明細書の他の場所で説明したように、２つの硬化系のうち熱硬化部分である。

ＩＩ．Ｎ．光酸発生剤を用いて硬化されたＰＦＰＥ
ある実施態様では、ＰＦＰＥジエポキシは、光酸発生剤（ＰＡＧ）の使用によって硬化
することができる。ＰＡＧをエポキシ基に対して約１〜約５モル％の範囲の濃度でＰＦＰ
Ｅ材料に溶解させ、紫外線照射によって硬化する。具体的には、例えばこれらの光酸発生
剤は、以下の構造を有するロードルシル（Ｒｈｏｄｏｒｓｉｌ^ＴＭ）２０７４（ローディ
ア社（Ｒｈｏｄｉａ，Ｉｎｃ））でもよい：

その他の実施態様において、光酸発生剤は、例えば、以下の構造を有するサイラキュア
（Ｃｙｒａｃｕｒｅ^ＴＭ）（ダウ・コーニング（Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ））であっても
よい：

ＩＩ．Ｏ．ポリ（エチレングリコール）を含むＰＦＰＥジオール
ある実施態様では、市販の多数のポリ（エチレングリコール）単位を含むＰＦＰＥジオ
ールは、物品（例えば積層物品）を製造するための材料として用いることができる。その
他の実施態様において、市販の所定数のポリ（エチレングリコール）単位を含むＰＦＰＥ
ジオールは、本明細書において開示されたその他の材料と組み合わせて用いられる。この
ような材料は、上記で説明した光開始剤をＰＦＰＥジエポキシに溶解させる際に有用であ
り、さらに、ポリ（エチレングリコール）単位を含むＰＦＰＥジオールは、エポキシ単位
を成長させながら反応することができるため、材料の機械特性の調節にも有用であり、さ
らに最終的なネットワークに包含させてもよい。

ＩＩ．Ｐ．ＰＦＰＥジエポキシと混合されたＰＦＰＥジオールおよび／またはポリオー
ル
さらなる実施態様において、市販のＰＦＰＥジオールおよび／またはポリオールは、Ｐ
ＦＰＥジエポキシ化合物と混合して、硬化中に成長中のエポキシネットワークに取り込ま
れることによって、機械特性を調節することができる。

ＩＩ．Ｑ．光開始剤とブレンドされたＰＦＰＥエポキシを含むＰＡＧ
ある実施態様では、ＰＦＰＥエポキシを含むＰＡＧは、約１〜約５モル％のフリーラジ
カル光開始剤とブレンドしてもよく、このような光開始剤としては、例えば、２，２−ジ
メトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジエトキシア
セトフェノン、それらの組み合わせまたは同種のものが挙げられる。Ｃｒｉｖｅｌｌｏ等
，Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ ２００５，３８，３５８４（これは、この参照により
その全体が開示に含まれる）である程度説明されているように、これらの材料をＰＡＧと
ブレンドした場合、それらは、ラジカル開始剤が紫外線で活性化されると、ＰＡＧによる
酸化の生成物である反応性のカチオン性化学種を形成する。このようなカチオン性化学種
は、エポキシ重合および／または硬化を開始させることができる。この方法の使用により
、ＰＦＰＥジエポキシを多種多様の波長で硬化することが可能になる。

ＩＩ．Ｒ．光酸発生剤を含み、ＰＦＰＥジメタクリレートとブレンドされたＰＦＰＥジ
エポキシ
ある実施態様では、光酸発生剤を含むＰＦＰＥジエポキシ材料は、フリーラジカル光開
始剤を含み、以下の構造を有するＰＦＰＥジメタクリレート材料とブレンドすることがで
きる：

このようなブレンドされた材料は、１種の波長で硬化し（例えばジメタクリレートを３
６５ｎｍで硬化すること）、続いて、その他の波長（例えば２５４ｎｍ）で第二のジエポ
キシ材料の硬化を活性化することによってその他の材料の層に接着させることができる二
重硬化材料を含む。この方式では、物品全体の様々な製造段階で、パターニングされたＰ
ＦＰＥ材料の複数の層を結合させて、その他の基板（例えばガラス、シリコン、その他の
高分子材料、それらの組み合わせ等）に接着させることができる。

ＩＩ．Ｓ．その他の材料
その代りの実施態様によれば、以下の材料を単独で利用してもよいし、本明細書におい
て開示されたその他の材料と共に利用してもよいし、または、本明細書において開示され
たその他の材料で改変して、本明細書において開示された方法に適用して本明細書におい
て開示された物品を製造してもよい。さらに、末端基は、本明細書において開示されてお
り、さらに、米国特許第３，８１０，８７４号；および、４，８１８，８０１号（これら
はそれぞれ、全てのそこで引用された文献も含めてこの参照により開示に含まれる）でも
開示される。

ＩＩ．Ｓ．ｉ ジウレタンメタクリレート
ある実施態様では、上記材料は、約４．０ＭＰａの弾性率を有するジウレタンメタクリ
レートであるか又はそれを含む材料であり、そしてこの材料は、紫外線硬化性であり、以
下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｉｉ 鎖延長されたジウレタンメタクリレート
ある実施態様では、上記材料は、鎖延長されたジウレタンメタクリレートであるか又は
それを含む材料であり、ここでエンドキャップの前に鎖を延長することによって、架橋間
の分子量を増加させることができ、弾性率が約２．０ＭＰａであり、紫外線硬化性であり
、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｉｉｉ ジイソシアネート
ある実施態様では、上記材料は、典型的には、２種の構成要素の熱硬化系のうち１種の
構成要素であり；湿気硬化技術によってそれ自身で硬化が可能であり；そして、以下の構
造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｉｖ 鎖延長されたジイソシアネート
ある実施態様では、上記材料は、２種の構成要素の熱硬化系のうち１種の構成要素であ
るか又はそれを含む材料であり；数種のＰＦＰＥ鎖を一緒に連結させることによって鎖延
長されており；湿気硬化によってそれ自身で硬化が可能であり；そして、以下の構造を有
する：

ＩＩ．Ｓ．ｖ ブロックされたジイソシアネート
ある実施態様では、上記材料は、２種の構成要素の熱硬化系のうち１種の構成要素であ
るか又はそれを含む材料であり；そして、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｖｉ ３つのアームを有するＰＦＰＥトリオール
ある実施態様では、上記材料は、２種の構成要素の熱硬化性ウレタン系のうち１種の構
成要素として、ＰＦＰＥトリオールであるか又はそれを含む材料であり；その他のＰＦＰ
Ｅ組成物と高い混和性を有するという利点を有し；そして、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｖｉｉ ＰＦＰＥジスチレン
ある実施態様では、上記材料は、紫外線硬化性であり、高い化学的安定性を有し、その
他の組成物との積層コーティングの製造において有用なＰＦＰＥジスチレン材料であるか
又はそれを含む材料であり、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｖｉｉｉ ジエポキシ
ある実施態様では、上記材料は、紫外線硬化することができ；それ自身でイミダゾール
と共に熱硬化することができ；さらに、２種の構成要素のジアミン系中で熱硬化も可能で
あり；高い化学的安定性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｉｘ ジアミン
ある実施態様では、上記材料は、２種の構成要素のジアミン系中で熱硬化することがで
き；６個の官能基を有し（各末端において３個のアミンが利用可能であること）；高い化
学的安定性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘ 熱硬化したＰＵ−テトロール
ある実施態様では、上記材料は、例えば２：１のモル比、約１００〜約１３０℃で混合
された２種の構成要素の系中で熱硬化することができ；強靭で機械的に安定なネットワー
クを形成し；このようにして硬化されたネットワークは、テトロールの非混和性のために
わずかに曇っており；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｉ 熱硬化したＰＵ−トリオール
ある実施態様では、上記材料は、例えば３：２のモル比、約１００〜約１３０℃で混合
された２種の構成要素の系中で熱硬化することができ；強靭で機械的に安定なネットワー
クを形成し；ここでこのようにして硬化されたネットワークは、透明で無色であり；およ
び、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｉｉ 熱硬化したエポキシ
ある実施態様では、上記材料は、例えば３：１のモル比、約１００〜約１３０℃で混合
された２種の構成要素の系中で熱硬化することができ；機械的に安定なネットワークを形
成し；ここでこのようにして硬化されたネットワークは、透明で無色であり；高い化学的
安定性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｉｉｉ 紫外線硬化したエポキシ
ある実施態様では、上記材料は、紫外線硬化性組成物であり；ＰＡＧを可溶化するのに
用いられるＺＤＯＬ−ＴＸを含み；ここでこのようにして硬化されたネットワークは、透
明で黄色であり；高い化学的安定性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｉｘｖ 紫外線と熱による二重硬化
ある実施態様では、上記材料は、２：１（紫外線：熱）の比率で混合することができ；
曇ったネットワーク（テトロール）を形成し；高粘性を有し；極めて強い接着を形成し；
極めて優れた機械特性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｖ トリオールとのオルソ位での硬化
ある実施態様では、上記材料は、２：１（紫外線：熱）の比率で混合することができ；
透明で無色のネットワークを形成し；高粘性を有し；極めて強い接着を形成し；極めて優
れた機械特性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｖｉ 紫外線によるオルソ位での硬化
ある実施態様では、上記材料は、ＺＤＯＬ−ＴＸを含み、これは、１：１の比率（エポ
キシ：メタクリレート）で混合することができ；透明で黄色のネットワークを形成し；強
い接着特性を有し；優れた機械特性を有し；および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｖｉｉ 紫外線とエポキシの二重硬化
ある実施態様では、上記材料は、わずかに黄色のネットワークを形成し；２：１の比率
（紫外線：熱）を示し；優れた機械特性を有し；優れた接着；高い化学的安定性を有し；
および、以下の構造を有する：

ＩＩ．Ｓ．ｘｖｉｉｉ ジイソシアネートを用いたオルソ位での硬化
ある実施態様では、上記材料は、１種の構成要素の熱硬化性の構成要素であり（イソシ
アネートは、ウレタンジメタクリレート上でウレタン結合を用いて反応する）；優れた機
械特性を有し；強い接着を形成し；透明でわずかに黄色のネットワークに硬化され；およ
び、以下の構造を有する：

ＩＩＩ．開示された材料から製造されるパターニングされた（パターンド）積層モール
ド
本発明の材料は、ナノサイズの所定の形状のモールドのラミネート層、および、このよ
うなモールドを製造するための積層の接着促進剤であるつなぎ層を形成するのに利用する
ことができる。ここで図１を参照すると、本発明の一般的な積層モールド１００は、パタ
ーニングされたモールド層１０４につなぎ層１０６により貼り付けられた支持層１０２を
含む。具体的な実施態様において、つなぎ層１０６は、モールド層１０４を支持層１０２
に結合させるのに用いられる。いくつかの実施態様によれば、パターニングされたモール
ド層１０４は、パターニングされた表面１０８を含む。モールド層１０４は、本明細書に
おいて開示された材料、および、それらの組み合わせで作製することができる。パターニ
ングされた表面１０８上のパターンは、空孔１１０、および、空孔１１０の間に広がるラ
ンド領域（land area）Ｌを含んでいてもよい。またパターニングされた表面１０８上の
パターンは、ピッチ（例えばピッチＰ）を含んでいてもよく、これは、一般的に、１つの
空孔の第一の端部から隣接する空孔の第一の端部までの距離であり、例えば、隣接する空
孔の間のランド領域Ｌである。

いくつかの実施態様によれば、積層モールド１００は、二段階の積層工程で製造される
。まず最初に、組成物（例えば、本明細書において説明される材料、例えば二重硬化性組
成物）は、以下の実施例１のスキーム１に示される構造を含む。

続いて、実施例１のスキーム１に示される組成物を、２．０重量％のジエトキシアセト
フェノン光開始剤、および、０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と合わせる。２
つのポリマーシート２０２および２０４を別々に望ましい寸法に切断する。続いてこれら
２つのシートを、それらの面に沿って互いに隣り合うように設計する。いくつかの実施態
様によれば、シートは、例えば、これらに限定されないが、ポリ（エチレンテレフタレー
ト）（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、メリネックス４５３（Ｍｅｌｉｎｅｘ ４
５３（登録商標））（デュポン・テイジン・フィルムズ（Ｄｕｐｏｎｔ Ｔｅｉｊｉｎ
Ｆｉｌｍｓ））で処理したＰＥＴ、メリネックス４５４（登録商標）（デュポン・テイジ
ン・フィルムズ）で処理したＰＥＴ、メリネックス５８２（登録商標）（デュポン・テイ
ジン・フィルムズ）で処理したＰＥＴ、コロナ処理したポリマー、シリコーンベースのポ
リマー、ガラス、ウレタンベースのポリマー、それらの組み合わせ等などのフィルム形成
ポリマーから選択される。

続いて、このように設計されたシートを、２つのロールのニップの位置（例えば図２で
示すように、２つのロールラミネーター２００）に挿入する。２つのロールラミネーター
２００は、２つのローラー２０２および２０４を有し、ローラー２０２または２０４の少
なくとも一方は、モーターで稼働する。ローラー２０２および２０４は、ローラー２０２
および２０４の中心線の間の距離を長くしたり、および／または、短くしたりすることが
できるように、互いに可動性であり、また再現可能な圧力下で互いに対置できる。続いて
、ローラー２０２と２０４との間にポリマーシート２０６および２０８を設置し、ローラ
ーをシート上に閉じる。ある実施態様では、ローラー２０２および２０４は、ゴムのカバ
ー、８５のショアー硬度値を有するゴム、ポリマー材料、金属、セラミック材料、アルミ
ニウム、ステンレス鋼などを用いて製造することができる。ある実施態様では、ローラー
は、約３ｐｓｉｇ〜約８０ｐｓｉｇの圧力でシートを挟むように設計される。その他の実
施態様において、ローラーは、約５ｐｓｉｇ〜約６５ｐｓｉｇの圧力でシートを挟むよう
に設計される。さらにその他の好ましい実施態様において、ローラーは、少なくとも約３
ｐｓｉｇの圧力でシートを挟むように設計される。

このように設計した２つのポリマーシート２０６および２０８の末端の一方をローラー
２０２と２０４との間に挟んだら、ローラー２０２および２０４のニップポイント２１２
の近傍に、つなぎ層材料２１０（例えば、本明細書において開示された二重硬化性材料）
のビード（bead）をポリマーシート２０６と２０８との間に導入する。続いて２つのロー
ルラミネーターを稼働させることよってローラー２０２と２０４との間でポリマーシート
２０６および２０８を圧延し、つなぎ層２１０をポリマーシート２０６と２０８との間に
薄層状に広げる。ある実施態様では、つなぎ層２１０は、約５マイクロメーター〜約７５
マイクロメーターの層に広げられる。その他の実施態様において、つなぎ層２１０は、約
１０マイクロメーター〜約５０マイクロメーターの層に広げられる。ある実施態様では、
つなぎ層２１０は、約１５マイクロメーター〜約４０マイクロメーターの層に広げられる
。ある実施態様では、つなぎ層２１０は、約２０マイクロメーター〜約３０マイクロメー
ターの層に広げられる。ある実施態様では、つなぎ層２１０は、約１０マイクロメーター
〜約３５マイクロメーターの層に広げられる。ある実施態様では、つなぎ層２１０は、約
１０マイクロメーター〜約２５マイクロメーターの層に広げられる。いくつかの実施態様
によれば、２つのロールラミネーターは、約５フィート／分の速度で稼働する。その他の
実施態様によれば、２つのロールラミネーターは、約５フィート／分未満の速度で稼働す
る。その他の実施態様によれば、２つのロールラミネーターは、約１フィート／分〜約１
０フィート／分の速度で稼働する。さらにその他の実施態様によれば、２つのロールラミ
ネーターは、約１フィート／分の速度で稼働する。

ポリマーシート２０６および２０８をそれらの間で広げられたつなぎ層２１０と共にロ
ールで積層した後、積層２１４を硬化（例えば部分的に硬化、紫外線硬化）して、つなぎ
層２１０を硬化または部分的に硬化させる。ある実施態様では、積層２１４の硬化（例え
ば、紫外線硬化）は、コンベヤーを約８フィート／分で移動させ、紫外線出力が約２００
ワット／インチのコンベヤーシステム（例えば、紫外線コンベヤーシステム）で行う。こ
のような実施態様によれば、積層２１４は、紫外線硬化用の紫外線源から約３インチの距
離に位置する。ある実施態様では、硬化後、硬化された積層２１４を、つなぎ層２１０を
硬化するために二次硬化する（例えば、加熱オーブン中に置く）。ある実施態様では、加
熱オーブンを１００℃に設定して、予熱し、積層２１４を加熱オーブンで約１０分という
加熱条件で処理する。積層２１４を二次硬化（例えば熱硬化）した後、ポリマーシート２
０６および２０８を分離する。ある実施態様では、ポリマーシート２０６および２０８は
、手動でシート２０６と２０８とを約１インチ／秒の速度で引き離すことによって分離す
る。好ましい実施態様において、つなぎ層２１０は、ポリマーシート２０６または２０８
の一方の上に実質的に全体が残る。

ある実施態様では、別々に、実施例１のスキーム２に示すような式で示される紫外線硬
化性ＰＦＰＥ樹脂を、２．０重量％のジエトキシアセトフェノンと混合する。ある実施態
様では、紫外線硬化性ＰＦＰＥ樹脂、および、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン
は、ガラスバイアル中で、室温で約２分より長く手動で混合される。

続いて、図３で示すように、つなぎ層２１０が貼り付けられたポリマーシート２０６に
、パターンドマスター（パターニングされたマスター）２１６を設置する。ある実施態様
では、パターンドマスターは、所定の形状を有するナノサイズ構造のアレイのパターンを
有するシリコンウェーハマスターである。その他の実施態様において、パターンドマスタ
ー２１６は、表面上に、ウイルス、ナノチューブ、または、デンドリマーを含む。その他
の実施態様において、パターンドマスター２１６は、陽極処理したアルミナのテンプレー
トを含んでいてもよい。ある実施態様では、ナノサイズ構造は、２００ｎｍ×２００ｎｍ
×４００ｎｍの円柱形のポストである。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、
２ミクロン×２ミクロン×０．７ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造
である。

その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、１ミクロン×１ミクロン×０．７ミク
ロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、
ナノサイズ構造は、直径１ミクロン×高さ０．７ミクロンの、シリコンマスターから突き
出た円柱形のポスト構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．９
ミクロン×０．９ミクロン×０．９ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構
造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．９ミクロン×０．９ミク
ロン×０．７ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実
施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．９ミクロン×高さ０．９ミクロンの、シリ
コンマスターから突き出た円柱形の構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ
構造は、０．８ミクロン×０．８ミクロン×０．８ミクロンの、シリコンマスターから突
き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．８ミクロ
ン×０．８ミクロン×０．６ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造であ
る。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．８ミクロン×高さ０．８ミ
クロンの、シリコンマスターから突き出た円柱形の構造である。その他の実施態様におい
て、ナノサイズ構造は、０．７ミクロン×０．７ミクロン×０．７ミクロンの、シリコン
マスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は
、０．７ミクロン×０．７ミクロン×０．５ミクロンの、シリコンマスターから突き出た
立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．７ミクロン
×高さ０．７ミクロンの、シリコンマスターから突き出た円柱形の構造である。その他の
実施態様において、ナノサイズ構造は、０．６ミクロン×０．６ミクロン×０．６ミクロ
ンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナ
ノサイズ構造は、０．６ミクロン×０．６ミクロン×０．３ミクロンの、シリコンマスタ
ーから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径
０．６ミクロン×高さ０．６ミクロンの、シリコンマスターから突き出た円柱形の構造で
ある。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．５ミクロン×０．５ミクロン
×０．５ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態
様において、ナノサイズ構造は、０．５ミクロン×０．５ミクロン×０．２ミクロンの、
シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイ
ズ構造は、直径０．５ミクロン×高さ０．８ミクロンの、シリコンマスターから突き出た
円柱形の構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．４ミクロン×
０．４ミクロン×０．４ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。
その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．４ミクロン×０．４ミクロン×０．
７ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様にお
いて、ナノサイズ構造は、直径０．４ミクロン×高さ０．４ミクロンの、シリコンマスタ
ーから突き出た円柱形の構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０
．３ミクロン×０．３ミクロン×０．３ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方
体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．３ミクロン×０．３
ミクロン×０．１ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構造である。その他
の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．３ミクロン×高さ０．２ミクロンの、
シリコンマスターから突き出た円柱形の構造である。その他の実施態様において、ナノサ
イズ構造は、０．２ミクロン×０．２ミクロン×０．２ミクロンの、シリコンマスターか
ら突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、０．２ミ
クロン×０．２ミクロン×０．０５ミクロンの、シリコンマスターから突き出た立方体構
造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．２ミクロン×高さ０
．２ミクロンの、シリコンマスターから突き出た円柱形の構造である。その他の実施態様
において、ナノサイズ構造は、０．１ミクロン×０．１ミクロン×０．１ミクロンの、シ
リコンマスターから突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ
構造は、０．１ミクロン×０．１ミクロン×０．０５ミクロンの、シリコンマスターから
突き出た立方体構造である。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、直径０．１
ミクロン×高さ０．１ミクロンの、シリコンマスターから突き出た円柱形の構造である。

さらにその他の実施態様によれば、ナノサイズ構造は、最も広い寸法が約１０ｎｍ未満
であってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約２５ｎｍ
であってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約５０ｎｍ
であってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約７５ｎｍ
であってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約１００ｎ
ｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約１５０
ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約２０
０ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約２
５０ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜約
３５０ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ〜
約５００ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎｍ
〜約７５０ｎｍであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造は、約５ｎ
ｍ〜約１マイクロメーターであってもよい。その他の実施態様において、ナノサイズ構造
は、約５ｎｍ〜約２マイクロメーターであってもよい。その他の実施態様において、ナノ
サイズ構造は、約５ｎｍ〜約５マイクロメーターであってもよい。

続いて、パターンドマスター２１６およびその組み合わせのパターン側に隣接するよう
に配置されたつなぎ層２１０を有するポリマーシート２０６を、２つのロールラミネータ
ー（例えば上述の２つのロールラミネーター２００）のニップに導入する。ローラー２０
２および２０４中で、ポリマーシート２０６とパターンドマスター２１６とを貼り付けた
後、本明細書において開示されているような紫外線硬化性材料２１８を、パターンドマス
ター２１６とポリマーシート２０６のつなぎ層２１０との境界面の間に導入する。続いて
２つのロールラミネーター２００を稼働させることによって、ポリマーシート２０６、つ
なぎ層２１０、紫外線硬化性材料２１８、および、パターンドマスター２１６を積層して
一体化する。層の組み合わせが２つのロールラミネーター２００を通過した後、この組み
合わせ積層体を硬化（例えば、紫外線硬化）して、硬化性材料２１８を固化した層へと硬
化させ、つなぎ層２１０に結合させる。いくつかの実施態様によれば、ラミネート層２０
６、２１０および２１８からパターンドマスター２１６を分離した後に得られる積層体は
、ポリマーシート２０６に接着しているつなぎ層２１０に接着した硬化性材料２１８の薄
層を含む。さらに硬化層２１８は、パターンドマスター２１６の特徴的構造（例えば空孔
１１０）を有する逆パターンの複製を含む。ある実施態様では、硬化層２１８は、約５ミ
クロン〜約５０ミクロンの厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約５ミクロ
ン〜約３０ミクロンの厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約１０ミクロン
〜約２５ミクロンの厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約７５ミクロン未
満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約７０ミクロン未満の厚さである
。ある実施態様では、硬化層２１８は、約６５ミクロン未満の厚さである。ある実施態様
では、硬化層２１８は、約６０ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２
１８は、約５５ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約５０
ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約４５ミクロン未満の
厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約４０ミクロン未満の厚さである。あ
る実施態様では、硬化層２１８は、約３５ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では
、硬化層２１８は、約３０ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８
は、約２５ミクロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約２０ミク
ロン未満の厚さである。ある実施態様では、硬化層２１８は、約１５ミクロン未満の厚さ
である。ある実施態様では、硬化層２１８は、約１０ミクロン未満の厚さである。ある実
施態様では、硬化層２１８は、約７ミクロン未満の厚さである。

さらにその他の好ましい実施態様において、支持層１０２、および、支持層１０２に直
接接着した単一のラミネート層１０４を有する積層モールド１００が設計される。具体的
な実施態様によれば、ラミネート層１０４は、本明細書において開示された二重硬化性材
料、本明細書において開示された紫外線硬化性材料、熱硬化性材料である。このような積
層モールドは、図３に従って製造されるが、支持層２０６上につなぎ層２１０を使用しな
い。従って、支持層２０６、および、パターンドマスター２１６は、本明細書において説
明されているように、それぞれ互いに隣接して、且つ、それぞれローラー２０２および２
０４と隣接するように設計される。続いて、本明細書において説明される二重硬化性材料
、本明細書において開示される紫外線硬化性材料または熱硬化性材料のいずれかは、ロー
ラー２０２および２０４の入り口側において、支持層２０６とパターンドマスター２１６
との間に導入される。続いて、ローラーを稼働させて、二重硬化または紫外線硬化性材料
を支持層２０６とパターンドマスター２１６との間で広げ、パターンドマスター２１６の
パターンに適合させる。続いて、図４で示すように、支持層２０６、硬化されていない二
重硬化または紫外線硬化性材料、および、パターンドマスター２１６の積層体を紫外線硬
化処理Ｔで処理する。紫外線硬化の後、紫外線硬化性材料を用いた場合、図４の右側に示
すように、パターンドマスター２１６と支持層２０６とを分離する。しかしながら、二重
硬化性材料を利用した場合には、二重硬化のうち熱硬化性成分を活性化するために、紫外
線硬化された積層体を熱硬化で処理する。熱硬化の後、図４で示すように、二重硬化層が
パターンドマスター２１６のパターンの複製になり、支持層２０６に接着するように、支
持層２０６とパターンドマスター２１６とを分離する。

ここで図５を参照すると、パターンドマスター２１６のパターン構造を複製した積層モ
ールド５００が示される。図５によれば、この複製された構造は、空孔または直径２００
ｎｍの円柱形の空孔であり、ランド領域Ｌは、およそ２００ｎｍであり、ピッチＰは、お
よそ４００ｎｍである。図６は、図５の積層モールド５００から成形された成形材料６０
０を示し、ここで構造６０２は、直径２００ｎｍの円柱形のポストであり、ランド領域Ｌ
は、およそ２００ｎｍであり、ピッチＰは、およそ４００ｎｍである。

ある実施態様では、空孔１１０は、シリコーンウェーハ上にエッチングされるあらゆる
構造を含んでいてもよい。ある実施態様では、空孔１１０は、同じ構造もしくは様々な構
造のサイズおよび形状の、反復パターン、ランダムなパターン、および、それらの組み合
わせである構造のアレイを含んでいてもよい。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０
は、約５マイクロメーター未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様によれば、空
孔１１０は、約２マイクロメーター未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様によ
れば、空孔１１０は、約１マイクロメーター未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約５００ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約２５０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約２００ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約１５０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約１００ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施
態様によれば、空孔１１０は、約７５ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態
様によれば、空孔１１０は、約５０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様
によれば、空孔１１０は、約４０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様に
よれば、空孔１１０は、約３０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様によ
れば、空孔１１０は、約２０ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様によれ
ば、空孔１１０は、約１５ｎｍ未満の断面の直径を有する。いくつかの実施態様によれば
、空孔１１０は、約１０ｎｍ未満の断面の直径を有する。

いくつかの実施態様によれば、空孔１１０は、約５００ｎｍ未満の深さを有する。その
他の実施態様によれば、空孔１１０は、約３００ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実
施態様によれば、空孔１１０は、約２５０ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様
によれば、空孔１１０は、約１５０ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様によれ
ば、空孔１１０は、約１００ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様によれば、空
孔１１０は、約７５ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０
は、約５０ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０は、約３
０ｎｍ未満の深さを有する。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０は、約２０ｎｍ未
満の深さを有する。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０は、約１５ｎｍ未満の深さ
を有する。いくつかの実施態様によれば、空孔１１０は、約１０ｎｍ未満の深さを有する
。

その他の実施態様によれば、空孔１１０は、約１，０００：１〜約１００，０００：１
の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様によれば、空孔１１０は、約１，０００
：１〜約１０，０００：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様によれば、空
孔１１０は、約１００：１〜約１，０００：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実
施態様によれば、空孔１１０は、約１，０００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約８００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約６００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約５００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約４００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約３００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約２００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約１００：１の幅と深さとの比率を有する。その他
の実施態様によれば、空孔１１０は、約８０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の
実施態様によれば、空孔１１０は、約７０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実
施態様によれば、空孔１１０は、約５０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施
態様によれば、空孔１１０は、約４０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態
様によれば、空孔１１０は、約３０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様
によれば、空孔１１０は、約２０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様に
よれば、空孔１１０は、約１０：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様によ
れば、空孔１１０は、約５：１の幅と深さとの比率を有する。その他の実施態様によれば
、空孔１１０は、約２：１の幅と深さとの比率を有する。

いくつかの実施態様によれば、空孔１１０の形状は、円柱形、立方体、星型、矢印、半
球形、円錐形、三日月形、ウイルス、細胞、凹んだ皿状、および、パターンドマスター（
例えばシリコンウェーハ）にエッチングが可能なその他のあらゆる形状からなる群より選
択される。

ある実施態様では、ポリマーシート２０６は、約１０ミル未満の厚さを有するＰＥＴシ
ートである。ある実施態様では、つなぎ層２１０、および、紫外線硬化性ＰＦＰＥ層２１
８を有するＰＥＴシートは、約１４００ＭＰａの弾性率を有していてもよい。

いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％〜約
９９％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域は、全表面積
の約５％〜約９０％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域
は、全表面積の約５％〜約８０％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モールド
のランド領域は、全表面積の約５％〜約７５％である。いくつかの実施態様によれば、本
積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％〜約６０％である。いくつかの実施態様
によれば、本積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％〜約５０％である。いくつ
かの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％〜約４０％で
ある。いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％
〜約３０％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド領域は、全表
面積の約５％〜約２５％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モールドのランド
領域は、全表面積の約５％〜約２０％である。いくつかの実施態様によれば、本積層モー
ルドのランド領域は、全表面積の約５％〜約１５％である。いくつかの実施態様によれば
、本積層モールドのランド領域は、全表面積の約５％〜約１０％である。

いくつかの実施態様によれば、本発明の積層モールドの二重硬化性材料および紫外線硬
化性材料は、本明細書において説明される材料を含んでいてもよい。ある実施態様では、
本明細書において説明されるＰＦＰＥ調合物そのものが、成形されたラミネート層として
用いられる。さらなる実施態様において、成形されたＰＦＰＥ層は、様々な官能性を有す
る末端基を含むＰＦＰＥを用いて配合されたつなぎ層を用いて支持基板に接着される。さ
らなる実施態様において、つなぎ層は、１種の構成要素が化学線での硬化が可能であり、
他方が熱硬化が可能なように、ＰＦＰＥ材料の二重硬化性混合物を含む。その他の実施態
様において、成形されたＰＦＰＥ層それ自身が、二重硬化性のＰＦＰＥ調合物を含んでい
てもよい。

ある実施態様では、基板とＰＦＰＥモールドとの間に追加のつなぎ層構造は必要ではな
い。さらなる実施態様において、本モールドの製造に用いられるＰＦＰＥ調合物は、硬化
の際に特定の支持材料に接着するように配合される。さらなる実施態様において、支持材
料は、特定のＰＦＰＥモールド調合物に接着するように化学的に官能化される。

しかしながら、本発明は、様々な形態で具体化することができ、本明細書に記載の実施
態様に限定されると解釈されないこととする。特に他の定義がない限り、本明細書におい
て用いられる全ての専門用語や科学用語は、本明細書において説明された主題が属する分
野の当業者によって一般的に解釈される意味と同じ意味を有する。本明細書で述べられた
全ての出版物、特許出願、特許およびその他の参考文献は、この参照によりそれらの全体
が開示に含まれる。本明細書および請求項中、示された化学式または名称は、全ての光学
および立体異性体、加えてラセミ混合物（このような異性体および混合物が存在する場合
）を包含するものとする。

ＩＶ．実施例
当業者にここで開示された主題の代表的な実施態様を実施するための指針を提供するた
めに、以下の実施例を示す。本発明の開示および当業界における一般的な能力のレベルの
観点から、当業者であれば、以下の実施例は、単に説明を目的としており、ここで開示さ
れた主題の範囲から逸脱することなく多数の変化、改変および変更を用いることができる
こととする。

実施例１
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、以下の実施
例１のスキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物
を手動で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、ＰＦ
ＰＥ構造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤およ
び０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に、スキーム１に示される構造を含む
。

工程２：２つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）で処理したポ
リ（エチレンテレフタレート）（ＰＥＴ）（片面を処理した）の６インチ×１２インチ×
７ミルのシートを準備した。続いて２つのシートを、一方のシートの処理した側と他方の
シートの未処理側とが向かい合うように配置した。このように配置したシートを、直径１
インチのゴムでコーティングされた長さ８インチの２つのローラーを有する２つのロール
ラミネーターに挿入した（いずれのゴムローラーも８５のショアー硬度値を有する）。ロ
ーラーを閉じ直径１インチの２つのシリンダーを空気圧で稼働させて生じた６０ｐｓｉｇ
の圧力で上記配置シートを挟み、約２インチのＰＥＴシートをローラーの出口側に引き伸
ばした。約２ｍＬの二重硬化性混合物を、ローラーの入り口側の２枚のＰＥＴシート間の
ニップポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物
を均一なビードの状態で載せた。続いて、図２で示すように、２つのロールラミネーター
を１フィート／分の速度で稼働させ、この構造全体をニップに通し、２枚のＰＥＴシート
間に二重硬化性混合物を広げ、間の二重硬化性樹脂の薄膜で２枚のＰＥＴシートを圧着し
た。２枚のＰＥＴシートが全てニップポイントを通過し終える前に、約１インチのＰＥＴ
がローラーの入り口側の上に残るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いて、ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、紫外線コンベヤーシステ
ム（モデルＵＶＰＳ６Ｔの水銀アークランプ源を備えたＵＶＰＳコンベヤーシステム）中
で紫外線硬化した。サンプルの約３インチ上方に置かれた紫外線コンベヤーを、８フィー
ト／分で、２００ワット／インチの出力で動かした。ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積
層体を紫外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するために紫外線コンベヤーを約
１０分間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、１００
℃で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＰＥＴ／二重硬化/
ＰＥＴ積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、２枚のＰＥＴ
シートを約１インチ／秒の速度で剥がすことによって分離した。シートはきれいに分離し
、二重硬化性樹脂は、積層体のＰＥＴのメリネックス４５３ではない側上に残存し、剥が
されたメリネックス４５３で処理した側には二重硬化性樹脂が含まれなかった。

工程５：別に、以下の実施例１のスキーム２に記載の式で示される紫外線硬化性ＰＦＰ
Ｅ樹脂を、ガラスバイアル中で、２．０重量％のジエトキシアセトフェノンと、室温で約
２分間、手で混ぜた。

工程６：続いて、２００ｎｍ×２００ｎｍ×４００ｎｍの円柱形のポストのアレイでパ
ターン化した８インチのシリコンウェーハマスターを、工程１〜４で形成されたＰＥＴ／
二重硬化積層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うように
配置した。続いてこれらの積層体およびウェーハを、直径１インチのゴムでコーティング
された長さ８インチの２つのローラーを有する２つのロールラミネーターに挿入した（い
ずれのゴムローラーも８５のショアー硬度値を有する）。ローラーを閉じ、直径１インチ
の２つの鋼製シリンダーを空気圧で稼働させて生じた６０ｐｓｉｇの圧力で上記配置シー
トを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程５で説明した約１ｍＬ
の紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、ＰＥＴ／二重硬化シートと、ローラーの注入口側のニ
ップポイント近傍のウェーハとの間に均一に置いた。約１ｍｍの開口部を有するシリンジ
から紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せた。図３で示すように、続いてラミネー
ターを６フィート／分の速度で稼働させ、ＰＥＴ／二重硬化シートを８インチのパターン
ウェーハに積層し、その間に紫外線硬化性ＰＦＰＥの薄膜を圧延した。続いて、ＰＥＴ／
二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注入口側の上
に約１インチ残留した時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開け
て、ＰＥＴ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り
外した。

工程７：サンプルから約３インチの位置に置いたフラッドランプ（オリエル（Ｏｒｉｅ
ｌ）アークランプ、水銀−キセノン、モデル８１１７２）を用いて、二重硬化シート／紫
外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体にＰＥＴシートを介して紫外線を１分間照
射し、紫外線硬化性ＰＦＰＥ樹脂を硬化した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／
シリコンウェーハ積層体にＵＶフラッドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖
機運転した。１０分間曝露した後、光を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／
シリコンウェーハ積層体を取り出した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラ
ッドランプから取り出した後、シリコンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がす
ことによって慎重に分離した。分離したところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ
層は、ＰＥＴに接着させた二重硬化物に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチング
されたシリコンウェーハの特徴的構造を有していた。図４に、これらの手法の例を示す。

工程８：製造後に走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）によってＰＦＰＥモールドを検査した。図
５に、代表的な画像を示す。

工程９：工程１〜７で形成された積層モールドの機械特性を、スキーム２に示される紫
外線硬化性ＰＦＰＥ組成物のみから製造された厚さ１ｍｍのモールドと比較した。該厚い
モールドは、シリコンマスター上に直接キャスティングし、エレクトロライト社（Ｅｌｅ
ｃｔｒｏｌｉｔｅ Ｃｏｒｐ．コネチカット州ベテル）より入手可能なＥＬＣ−４００１
ＵＶフラッドランプを用いて窒素下で２分間紫外線硬化することによって形成した。

工程１０：工程７で形成された積層モールドを、メリネックス４５３の６インチ×１２
インチ×７ミルのシートと、モールドのパターン側とＰＥＴの処理した側とが向かい合う
ように配置した。これらシートを、直径１インチのゴムでコーティングされた長さ６イン
チの２つのローラーを有する２つのロールラミネーター（一方は、３０のショアー硬度を
有し、他方は、７０のショアー硬度を有する）に挿入した。積層モールド上のパターンと
３０デュロメータのローラーとを向かい合わせた。ローラーを閉じ、直径１インチの２つ
の鋼製シリンダーを空気圧で稼働させて生じた４０ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟
み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。約１ｍＬの紫外線硬化性の光学接
着剤、ダイマックス（Ｄｙｍａｘ）１１８０−Ｍ（ダイマックス社（ＤＹＭＡＸ Ｃｏｒ
ｐ．），コネチカット州トリントン）を、ローラー表面の２枚のＰＥＴシート間のニップ
ポイントに置いた。続いてラミネーターを４．６フィート／分の速度で稼働させ、２枚の
ＰＥＴシートと、その間のダイマックス１１８０−Ｍ樹脂の薄膜とを共に圧着した。

工程１１：工程３で説明した、２００ワット／インチの出力で８フィート／分で移動す
る、サンプルより約３インチ上方に置かれたコンベヤーシステム上で、積層体を紫外線硬
化した。ＰＥＴで支持したＰＦＰＥモールド側を紫外線ランプに向けて、積層体を紫外線
硬化した。

工程１２：続いてこの層を、手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重に分
離したところ、ダイマックス１１８０−Ｍ中で形成されたオリジナルのパターンを有する
シリコンマスターの複製パターンが出現した。ＳＥＭを用いてパターンの正確さを検査し
た。図６に、本積層モールドから形成された複製パターンの代表的な画像を示す。

実施例２
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、実施例１の
スキーム１に示すＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物を、ガラスバイアル中で、室温で少な
くとも２分間、手で混ぜた。詳細には、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物は、２．０重量
％のジエトキシアセトフェノン光開始剤および０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触
媒と共に、実施例１のスキーム１に示される構造を含む。

工程２：２つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリ（エチレ
ンテレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２インチ×７ミルのシートを切断した。続
いて２つのシートを、一方のシートの処理した側と他方のシートの未処理側とが向かい合
うように配置した。このように配置したシートを、２種の異なるサイズのローラーを有す
る２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有す
る直径１６ｍｍのゴムで覆われた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直
径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じて、直径１．
５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じたｐｓｉｇの圧力で上
記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの二重
硬化性混合物を、ローラーの入り口側の２枚のＰＥＴシート間のニップポイント近傍に配
置した。約１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物を均一なビードの状態で
載せた。続いて２つのロールラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、この構造
全体をニップに通し、２枚のＰＥＴシート間に二重硬化性混合物を広げ、２枚のＰＥＴシ
ートと、その間の二重硬化性樹脂の薄膜とを共に圧着した。２枚のＰＥＴシートの全てが
ニップポイントを通過し終える前に、約１インチのＰＥＴがローラーの入り口側の上に残
るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いて、ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、ＵＶフラッドランプ（Ｅ
ＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜
４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中で、ランプから約３インチの
位置で１分間照射することによって紫外線硬化した。ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積
層体を紫外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを
約１０分間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、１００
℃で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＰＥＴ／二重硬化/
ＰＥＴ積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、２枚のＰＥＴ
シートを約１インチ／秒の速度で剥がすことによって分離した。シートはきれいに分離し
、二重硬化性樹脂は、積層体のＰＥＴのメリネックス４５３ではない側上に残存し、剥が
されたメリネックス４５３で処理した側には二重硬化性樹脂が含まれなかった。

工程５：別に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ樹
脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２．０重量％のジエトキシアセ
トフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×０．７μｍの立方体のポストをパターニングしたア
レイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたＰＥＴ／二重硬化積
層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うように配置した。
この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラミ
ネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍの
ゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直径３０
ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じ、直径１．５インチ
の２つの鋼製シリンダーを空気圧で稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シート
を挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程５で説明した約１ｍＬの
紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、ＰＥＴ／二重硬化シートと、ローラーの注入口側のニッ
プポイント近傍のウェーハとの間に均一に置いた。約１ｍｍの開口部を有するシリンジか
ら紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せた。続いてラミネーターを３フィート／分
の速度で稼働させ、ＰＥＴ／二重硬化シートを、８６インチのパターンウェーハに積層し
、その間に紫外線硬化性ＰＦＰＥの薄膜を圧延した。続いて、ＰＥＴ／二重硬化積層体／
紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注入口側の上に約１インチ残留
した時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開けて、ＰＥＴ／二重
硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り外した。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体を、ＰＥＴ
シートを介して、ＵＶフラッドランプ（エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製
のＥＬＣ−４００１）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６
５ｎｍ））を用いて、ランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線
照射した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体にＵＶフラ
ッドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１０分間曝露した後、
光を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体を取り出し
た。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラッドランプから取り出した後、シリ
コンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重に分離した。分離
したところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層が、ＰＥＴに接着させた二重硬化
物に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコンウェーハの特徴的構
造を有していた。

実施例３
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、スキーム１
または実施例１に示されるように、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物を、ガラスバイアル
中で、手動で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、
ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤
および０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に、実施例１のスキーム１に示さ
れる構造を含む。

工程２：１つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリ（エチレ
ンテレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２インチ×７ミルのシート、および、１つ
のメリネックス４５４（アミンで官能化した）（デュポン・テイジン・フィルムズ）ＰＥ
Ｔの６インチ×１２インチ×４ミルのシートを製造した。続いて２つのシートを、メリネ
ックス４５３ＰＥＴで処理した側とメリネックス４５４ＰＥＴシートの未処理側とが向か
い合うように配置した。このように配置したシートを、２種の異なるサイズのローラーを
有する２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を
有する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方
のローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを
閉じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐ
ｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた
。約２ｍＬの二重硬化性混合物を、ローラーの入り口側の２枚のＰＥＴシート間のニップ
ポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物を均一
なビードの状態で載せた。続いて２つのロールラミネーターを３フィート／分の速度で稼
働させ、この構造全体をニップに通し、２枚のＰＥＴシート間に二重硬化性混合物を広げ
、２枚のＰＥＴシートと、その間の二重硬化性樹脂の薄膜とを共に圧着した。２枚のＰＥ
Ｔシートが全てニップポイントを通過し終える前に約１インチのＰＥＴがローラーの入り
口側の上に残るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いてメリネックス４５４ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリネックス４５３ＰＥ
Ｔ積層体を、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカッ
ト州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎ
ｍ））中で、ランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線硬化した
。メリネックス４５４ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリネックス４５３ＰＥＴ積層体を紫外
線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを約１０分間
暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたメリネックス４５４ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリ
ネックス４５３ＰＥＴ積層体を、１００℃で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中
に置いた。この後、積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、
２枚のＰＥＴシートを約１インチ／秒の速度で剥がすことによって分離した。シートはき
れいに分離し、二重硬化性樹脂は、積層体のメリネックス４５４ＰＥＴシート上に残存し
、剥がされたメリネックス４５３処理側には二重硬化性樹脂が含まれなかった。

工程５：別に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ樹
脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２．０重量％のジエトキシアセ
トフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×０．７μｍの立方体のポストでパターニングされた
アレイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたメリネックス４５
４ＰＥＴ／二重硬化積層シートと、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うよ
うに配置した。この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有する２
つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、
直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラ
ーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じ、直
径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの
圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程５
で説明した約１ｍＬの紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、メリネックス４５４ＰＥＴ／二重
硬化シートと、ローラーの注入口側のニップポイント近傍のウェーハとの間に均一に置い
た。約１ｍｍの開口部を有するシリンジから紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せ
た。続いてラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、メリネックス４５４ＰＥＴ
／二重硬化シートを６インチのパターンウェーハに積層し、その間に紫外線硬化性ＰＦＰ
Ｅの薄膜を圧延した。続いて、約１インチのメリネックス４５４ＰＥＴ／二重硬化積層体
／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注入口側の上に残留した時点
で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開けて、メリネックス４５４Ｐ
ＥＴ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り外した
。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体に紫外線を
メリネックス４５４ＰＥＴシートを介して、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ−４００１，エ
レクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀ア
ークランプ（ピークは３６５ｎｍ））を用いてランプから約３インチの位置で１分間照射
することによって処理した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ
積層体にＵＶフラッドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１０
分間曝露した後、光を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ
積層体を取り出した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラッドランプから取
り出した後、シリコンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重
に分離した。分離したところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層は、ＰＥＴに接
着させた二重硬化物に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコンウ
ェーハの特徴的構造を有していた。

実施例４
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、実施例１の
スキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物を手動
で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、ＰＦＰＥ構
造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤および０．
１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に、実施例１のスキーム１に示される構造を
含む。

工程２：１つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリ（エチレ
ンテレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２インチ×７ミルのシート、および、１つ
のメリネックス５８２（カルボキシルで官能化した）（デュポン・テイジン・フィルムズ
）ＰＥＴの６インチ×１２インチ×４ミルのシートを製造した。続いて２つのシートを、
メリネックス４５３ＰＥＴで処理した側とメリネックス５８２ＰＥＴシートの未処理側と
が向かい合うように配置した。このように配置したシートを、２種の異なるサイズのロー
ラーを有する２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー
硬度を有する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり
、他方のローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ロー
ラーを閉じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じ
た５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出
させた。約２ｍＬの二重硬化性混合物を、ローラーの入り口側の２枚のＰＥＴシート間の
ニップポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物
を均一なビードの状態で載せた。続いて２つのロールラミネーターを３フィート／分の速
度で稼働させ、この構造全体をニップに通し、２枚のＰＥＴシート間に二重硬化性混合物
を広げ、２枚のＰＥＴシートと、その間の二重硬化性樹脂の薄膜とを共に圧着した。２枚
のＰＥＴシートが全てニップポイントを通過し終える前に約１インチのＰＥＴがローラー
の入り口側の上に残るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いてメリネックス５８２ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリネックス４５３ＰＥ
Ｔ積層体を、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカッ
ト州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎ
ｍ））中でランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線硬化した。
メリネックス５８２ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリネックス４５３ＰＥＴ積層体を紫外線
硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを約１０分間暖
機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたメリネックス５８２ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／メリ
ネックス４５３ＰＥＴ積層体を、１００℃で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中
に置いた。この後、積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、
２枚のＰＥＴシートを約１インチ／秒の速度で剥がすことによって分離した。シートはき
れいに分離し、二重硬化性樹脂は、積層体のメリネックス５８２ＰＥＴシート上に残存し
、剥がされたメリネックス４５３処理側には二重硬化性樹脂が含まれなかった。

工程５：別に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ樹
脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２．０重量％のジエトキシアセ
トフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×１．４μｍの立方体のポストでパターニングされた
アレイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたメリネックス５８
２ＰＥＴ／二重硬化積層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい
合うように配置した。この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有
する２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有
する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方の
ローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉
じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓ
ｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。
工程５で説明した約１ｍＬの紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、メリネックス５８２ＰＥＴ
／二重硬化シートと、ローラーの注入口側のニップポイント近傍のウェーハとの間に均一
に置いた。約１ｍｍの開口部を有するシリンジから紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態
で載せた。続いてラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、メリネックス５８２
ＰＥＴ／二重硬化シートを６インチのパターンウェーハに積層し、その間に紫外線硬化性
ＰＦＰＥの薄膜を圧延した。続いて、約１インチのメリネックス５８２ＰＥＴ／二重硬化
積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注入口側の上に残留し
た時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開けて、メリネックス５
８２ＰＥＴ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り
外した。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体に、メリネ
ックス５８２ＰＥＴシートを介して、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ−４００１，エレクト
ロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークラ
ンプ（ピークは３６５ｎｍ））を用いてランプから約３インチの位置で１分間照射するこ
とによって紫外線を照射した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェー
ハ積層体にＵＶフラッドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１
０分間曝露した後、光を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェー
ハ積層体を取り出した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラッドランプから
取り出した後、シリコンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎
重に分離した。分離したところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層は、ＰＥＴに
接着させた二重硬化物に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコン
ウェーハの特徴的構造を有していた。

実施例５
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、実施例１の
スキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物を手動
で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、ＰＦＰＥ構
造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤および０．
１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に、実施例１のスキーム１に示される構造を
含む。

工程２：メリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリ（エチレンテレ
フタレート）（ＰＥＴ）の２つの６インチ×１２インチ×７ミルのシートを切断した。続
いて２つのシートを、一方のシートの処理した側と他方のシートの未処理側とが向かい合
うように配置したが、未処理側を１分間のコロナ処理で処理した。このように配置したシ
ートを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラミネーターに挿入した。
一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングさ
れた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチの
アルミニウムローラーである。ローラーを閉じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダ
ーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラ
ーの出口側に１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの二重硬化性混合物を、ローラーの
入り口側の２枚のＰＥＴシート間のニップポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を
有するシリンジからこの二重硬化物を均一なビードの状態で載せた。続いて２つのロール
ラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、この構造全体をニップに通し、２枚の
ＰＥＴシート間に二重硬化性混合物を広げ、２枚のＰＥＴシートと、その間の二重硬化性
樹脂の薄膜とを共に圧着した。２枚のＰＥＴシートが全てニップポイントを通過し終える
前に約１インチのＰＥＴがローラーの入り口側の上に残るように２つのロールラミネータ
ーを止めた。

工程３：続いて、ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、ＵＶフラッドランプ（Ｅ
ＬＧ−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製の）（出力範囲２９０
〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中でランプから約３インチの
位置で１分間照射することによって紫外線硬化した。ＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積
層体を紫外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを
約１０分間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＰＥＴ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、１００
℃で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＰＥＴ／二重硬化/
ＰＥＴ積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、２枚のＰＥＴ
シートを約１インチ／秒の速度で剥がすことによって分離した。シートはきれいに分離し
、二重硬化性樹脂は、積層体の１分間コロナ処理したＰＥＴのメリネックス４５３ではな
い側上に残存し、剥がされたメリネックス４５３処理側には二重硬化性樹脂が含まれなか
った。

工程５：別々に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ
樹脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２．０重量％のジエトキシア
セトフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×０．７μｍの立方体のポストでパターニングされた
アレイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたＰＥＴ／二重硬化
積層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うように設計した
。この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラ
ミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍ
のゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直径３
０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じ、直径１．５イン
チの２つの鋼製シリンダーを一緒に空気圧で稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記で
設計したシートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程５で説明
した約１ｍＬの紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、ＰＥＴ／二重硬化シートと、ローラーの
注入口側のニップポイント近傍のウェーハとの間に均一に置いた。約１ｍｍの開口部を有
するシリンジから紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せた。続いてラミネーターを
３フィート／分の速度で稼働させ、ＰＥＴ／二重硬化シートを、８６インチのパターンウ
ェーハに積層し、その間に紫外線硬化性ＰＦＰＥの薄膜が圧延された。続いて、約１イン
チのＰＥＴ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの
注入口側の上に残留した時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開
けて、ＰＥＴ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取
り外した。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体に、ＰＥＴ
シートを介して、ＵＶフラッドランプ（エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製
のＥＬＣ−４００１）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６
５ｎｍ））を用いてランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線を
照射した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体にＵＶフラ
ッドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１０分間曝露した後、
光を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体を取り出し
た。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラッドランプから取り出した後、シリ
コンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重に分離した。分離
したところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層は、ＰＥＴに接着させた二重硬化
物に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコンウェーハの特徴的構
造を有していた。

実施例６
工程１：ＰＦＰＥモールドのポリカーボネートに対する接着促進剤を形成するために、
実施例１のスキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組
成物を手動で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、
ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤
および０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に、実施例１のスキーム１に示さ
れる構造を含む。

工程２：１つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリエチレン
テレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２インチ×７ミルのシート、および、１つの
ポリカーボネート（ＰＣ）の６インチ×１２インチ×６．５ミルのシートを切断した。続
いて２つのシートを、ＰＥＴシートの処理した側とＰＣシートとが向かい合うように配置
した。このように配置したシートを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロー
ルラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６
ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直
径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じ、直径１．５
インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上
記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの二重
硬化性混合物を、ローラーの入り口側のＰＥＴ／ＰＣシート間のニップポイント近傍に配
置した。約１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物を均一なビードの状態で
載せた。続いて２つのロールラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、この構造
全体をニップに通し、ＰＥＴ／ＰＣシートの間に二重硬化性混合物を広げ、ＰＥＴ／ＰＣ
シートと、その間の二重硬化性樹脂の薄膜とを共に圧着した。ＰＥＴ／ＰＣシートが全て
ニップポイントを通過し終える前に、約１インチのＰＥＴ／ＰＣシートがローラーの入り
口側の上に残るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いてＰＣ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ
−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２
０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中でランプから約３インチの位置で
１分間照射することによって紫外線硬化した。ＰＣ／二重硬化性樹脂／ＰＥＴ積層体を紫
外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを約１０分
間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＰＣ／二重硬化性樹脂／ＰＥＴ積層体を、１００℃
で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＰＣ／二重硬化/ＰＥ
Ｔ積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴ／ＰＣシートを、手動で、ＰＥＴ／Ｐ
Ｃシートを約１インチ／秒の速度で引き剥がすことによって分離した。シートはきれいに
分離し、二重硬化性樹脂は、積層体のＰＣ側上に残存し、引き剥がされたメリネックス４
５３処理ＰＥＴは、二重硬化性樹脂を含んでいなかった。

工程５：別々に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ
樹脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２．０重量％のジエトキシア
セトフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×０．７μｍの立方体のポストでパターンニングされ
たアレイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたＰＣ／二重硬化
積層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うように配置した
。この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラ
ミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍ
のゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直径３
０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じることによって、
直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇ
の圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程
５で説明した約１ｍＬの紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、ＰＣ／二重硬化シートと、ロー
ラーの注入口側のニップポイント近傍のウェーハとの間に均一に置いた。約１ｍｍの開口
部を有するシリンジから紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せた。続いてラミネー
ターを３フィート／分の速度で稼働させ、ＰＣ／二重硬化シートを６インチのパターンウ
ェーハに積層し、その間に紫外線硬化性ＰＦＰＥの薄膜が圧延された。続いて、約１イン
チのＰＣ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注
入口側の上に残留した時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開け
て、ＰＣ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り外
した。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体に、ＰＣシ
ートを介して、ＵＶフラッドランプ（エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製の
ＥＬＣ−４００１）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５
ｎｍ））を用いてランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線を照
射した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体にＵＶフラッ
ドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１０分間曝露した後、光
を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体を取り出した
。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層をフラッドランプから取り出した後、シリコ
ンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重に分離した。分離し
たところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層は、ＰＥＴに接着させた二重硬化物
に接着されており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコンウェーハの特徴的構造
を有していた。

実施例７
工程１：ＰＦＰＥモールドのシリコンゴムに対する接着促進剤を形成するために、実施
例１のスキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物
を手動で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、ＰＦ
ＰＥ構造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤およ
び０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に実施例１のスキーム１に示される構
造を含む。

工程２：１つのメリネックス４５３（デュポン・テイジン・フィルムズ）ポリ（エチレ
ンテレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２インチ×７ミルのシート、および、１つ
のコロナ処理したシリコーンゴム（ＳＲ）の６インチ×１２インチ×１０ミルのシートを
切断した。続いて２つのシートを、シリコーンゴムシートのコロナ処理した側と、ＰＥＴ
シートの処理した側とが向かい合うように配置した。このように配置したシートを、２種
の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラ
ーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９イ
ンチのローラーであり、他方のローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウム
ローラーである。ローラーを閉じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で
一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に
１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの二重硬化性混合物を、ローラーの入り口側のＳ
Ｒ／ＰＥＴシート間のニップポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を有するシリン
ジからこの二重硬化物を均一なビードの状態で載せた。続いて２つのロールラミネーター
を３フィート／分の速度で稼働させ、この構造全体をニップに通し、ＳＲ／ＰＥＴシート
の間に二重硬化性混合物を広げ、ＳＲ／ＰＥＴシートと、その間の二重硬化性樹脂の薄膜
とを共に圧着した。ＳＲ／ＰＥＴシートが全てニップポイントを通過し終える前に、約１
インチのＳＲ／ＰＥＴがローラーの入り口側の上に残るように２つのロールラミネーター
を止めた。

工程３：続いてＳＲ／二重硬化性樹脂／ＰＥＴ積層体を、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ
−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２
０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中でランプから約３インチの位置で
１分間照射することによって紫外線硬化した。ＳＲ／二重硬化性樹脂／ＰＥＴ積層体を紫
外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドランプを約１０分
間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＳＲ／二重硬化性樹脂/ＰＥＴ積層体を、１００℃
で１０分間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＳＲ／二重硬化／ＰＥ
Ｔ積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＳＲ／ＰＥＴシートを、手動で、ＳＲ／ＰＥ
Ｔシートを約１インチ／秒の速度で引き剥がすことによって分離した。シートはきれいに
分離し、二重硬化性樹脂は、ＳＲシート上に残存しており、引き剥がされたメリネックス
４５３処理ＰＥＴ側には、二重硬化性樹脂が含まれなかった。

工程５： 別に、実施例１のスキーム２で示される式で示される紫外線硬化性ＰＦＰＥ
樹脂を、ガラスバイアル中で、手動で室温で約２分より長く２.０重量%のジエトキシアセ
トフェノンと混合した。

工程６：続いて、２μｍ×２μｍ×１．４μｍの立方体のポストでパターンニングされ
たアレイを含む６インチのシリコンマスターを、工程１〜４で形成されたＳＲ／二重硬化
積層シートを用いて、二重硬化側とウェーハのパターン側とが向かい合うように配置した
。この積層体およびウェーハを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロールラ
ミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍ
のゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、直径３
０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ローラーを閉じることによって、
直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇ
の圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。工程
５で説明した約１ｍＬの紫外線硬化性ＰＦＰＥ化合物を、ＳＲ／二重硬化シートと、ロー
ラーの注入口側のニップポイント近傍のウェーハとの間に均一に置いた。約１ｍｍの開口
部を有するシリンジから紫外線硬化性ＰＦＰＥをビードの状態で載せた。続いてラミネー
ターを３フィート／分の速度で稼働させ、ＳＲ／二重硬化シートを６インチのパターンウ
ェーハに積層し、その間に紫外線硬化性ＰＦＰＥの薄膜が圧延された。続いて、ＳＲ／二
重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターが、ローラーの注入口側の上に
約１インチ残留した時点で２つのロールラミネーターを止めた。ローラーを慎重に開けて
、ＳＲ／二重硬化積層体／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンマスターの積層体を取り外し
た。

工程７：二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体に、ＳＲシ
ートを介して、ＵＶフラッドランプ（ＥＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカ
ット州ベテル）製）（出力範囲２９０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５
ｎｍ））を用いてランプから約３インチの位置で１分間照射することによって紫外線を照
射した。二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体にＵＶフラッ
ドランプを照射する前に、紫外線光源を１０分間暖機運転した。１０分間曝露した後、光
を消し、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ／シリコンウェーハ積層体を取り出した
。フラッドランプを取り除いた後、二重硬化シート／紫外線硬化性ＰＦＰＥ層を、シリコ
ンマスターから手動で約１インチ／秒で引き剥がすことによって慎重に分離した。分離し
たところ、薄い（１０〜２０ミクロンの）ＰＦＰＥ層はＳＲに接着した二重硬化に接着さ
れており、薄いＰＦＰＥ層は、エッチングされたシリコンウェーハの特徴的構造を有して
いた。

実施例８
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、実施例１の
スキーム１に示すように、ガラスバイアル中で、ＰＦＰＥ構造の二重硬化性組成物を手動
で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的に言えば、ＰＦＰＥ構
造の二重硬化性組成物は、２．０重量％のジエトキシアセトフェノン光開始剤、および、
０．１重量％のジブチル錫ジアセテート触媒と共に実施例１のスキーム１に示される構造
を含む。

工程２：１つの未処理のポリ（エチレンテレフタレート）（ＰＥＴ）の６インチ×１２
インチ×７ミルのシートを切断した。ＰＥＴシートを、２μｍ×２μｍ×１．４μｍの立
方体のポストでパターン化したアレイを含む６インチのシリコンマスターが隣接するよう
に配置した。このように配置されたＰＥＴシート／シリコンウェーハマスターを、２種の
異なるサイズのローラーを有する２つのロールラミネーターに挿入した。一方のローラー
は、３０のショアー硬度を有する、直径１６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９イン
チのローラーであり、他方のローラーは、直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムロ
ーラーである。ゴムローラーを、シリコンマスターに隣接させた位置にし、アルミニウム
ローラーを、ＰＣに隣接させた位置にした。ローラーを閉じ、直径１．５インチの２つの
鋼製シリンダーを空気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを
挟み、ローラーの出口側に１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの二重硬化性混合物を
、ローラーの入り口側のＰＥＴ／マスター構造の間のニップポイント近傍に配置した。約
１ｍｍの開口部を有するシリンジからこの二重硬化物を均一なビードの状態で載せた。続
いて２つのロールラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、この構造全体をニッ
プに通し、ＰＥＴ／マスター構造の間に二重硬化性混合物を広げ、ＰＥＴ／マスター構造
と、その間の二重硬化性樹脂の薄膜とを共に圧着した。ＰＥＴ／マスター構造が全てニッ
プポイントを通過し終える前に、約１インチのＰＥＴ／マスター構造がローラーの入り口
側の上に残るように２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いてＰＥＴ／二重硬化性樹脂／マスターの積層体を、ＵＶフラッドランプ（
ＥＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９０
〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中でランプから約３インチの
位置で３分間照射することによって紫外線硬化した。ＰＥＴ／二重硬化性樹脂／マスター
の積層体を紫外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッドラン
プを約１０分間暖機運転した。

工程４：続いて、紫外線硬化されたＰＥＴ／二重硬化性樹脂／マスターの積層体を、１
１５℃で３時間に設定して予熱した加熱オーブン中に置いた。この後、ＰＥＴ／二重硬化
／マスターの積層体を室温で１分間自然冷却し、その後ＰＥＴシートを、手動で、ＰＥＴ
シートを約１インチ／秒の速度で引き剥がすことによってマスターから分離した。この後
、ＰＥＴ／二重硬化積層体がきれいにマスターウェーハから分離され、ＰＥＴに接着した
パターニングされた二重硬化モールドが出現した。

実施例９
工程１：ＰＦＰＥモールドのＰＥＴに対する接着促進剤を形成するために、実施例１の
スキーム２で示されるＰＦＰＥ構造の紫外線硬化性組成物を、ガラスバイアル中で、手動
で撹拌することによって室温で少なくとも２分間混合した。具体的には、ＰＦＰＥ構造の
紫外線硬化性組成物は、実施例１のスキーム２で示される構造、および、２．０重量％の
ジエトキシアセトフェノンを含む。

工程２：１つのポリカーボネート（ＰＣ）の６インチ×１２インチ×６．５ミルのシー
トを切断した。ＰＣシートを、２μｍ×２μｍ×１．４μｍの立方体のポストでパターン
化したアレイを含む６インチのシリコンマスターが隣接するように配置した。このように
配置されたＰＣ／シリコンマスターを、２種の異なるサイズのローラーを有する２つのロ
ールラミネーターに挿入した。一方のローラーは、３０のショアー硬度を有する、直径１
６ｍｍのゴムでコーティングされた長さ９インチのローラーであり、他方のローラーは、
直径３０ｍｍ、長さ９インチのアルミニウムローラーである。ゴムでコーティングされた
ローラーを、シリコンマスターに隣接させた位置にし、アルミニウムローラーを、ＰＣに
隣接させた位置にした。ローラーを閉じ、直径１．５インチの２つの鋼製シリンダーを空
気圧で一緒に稼働させて生じた５ｐｓｉｇの圧力で上記配置シートを挟み、ローラーの出
口側に１インチの層を突き出させた。約２ｍＬの紫外線硬化性混合物を、ローラーの入り
口側のＰＣ／マスター構造の間のニップポイント近傍に配置した。約１ｍｍの開口部を有
するシリンジから紫外線硬化性混合物を均一なビードの状態で載せた。続いて２つのロー
ルラミネーターを３フィート／分の速度で稼働させ、この構造全体をニップに通し、ＰＣ
／マスター構造の間に紫外線硬化性混合物を広げ、ＰＣ／マスター構造と、その間に紫外
線硬化性混合物の薄膜とを共に圧着した。ＰＣ／マスター構造が全てニップポイントを通
過し終える前に、約１インチのＰＣ／マスター構造がローラーの入り口側の上に残るよう
に２つのロールラミネーターを止めた。

工程３：続いてＰＣ／紫外線硬化性混合物／マスターの積層体を、ＵＶフラッドランプ
（ＥＬＣ−４００１，エレクトロライト社（コネチカット州ベテル）製）（出力範囲２９
０〜４２０ｎｍの水銀アークランプ（ピークは３６５ｎｍ））中でランプから約３インチ
の位置で３分間照射することによって紫外線硬化した。ＰＣ／紫外線硬化性混合物／マス
ターの積層体を紫外線硬化で処理する前に、十分な運転能を達成するためにＵＶフラッド
ランプを約１０分間暖機運転した。

工程４：続いて、ＰＣ／紫外線硬化性混合物の積層体はマスターウェーハからきれいに
分離し、ＰＣに接着したパターニングされた紫外線硬化性モールドが出現した。

実施例１０：ゲル分画
上記で示したように二重硬化材料を合成した。各サンプルにおいて、重量がわかってい
る２０ｍＬのガラスバイアルに約２ｇの未硬化材料を量って入れた。サンプル作成の間、
該材料はデシケーター中で保存した。加熱試験用として、バイアルをＴ１〜Ｔ７と標識し
、紫外線硬化用として、バイアルをＵ１〜Ｕ６と標識した。全てのサンプルのＩＲスペク
トルを取った。

熱硬化試験のために、デジタルの対流式オーブンを１００℃に設定した。バイアルを、
オーブン中に既定の時間（１０秒、３０秒、１分、２分、４分、８分、または、１２分）
置いた。オーブンからバイアルを取り出し、室温に冷却した。ピンセットを用いてサンプ
ルを繊維の形成に関して、当業者に知られる「トゥースピックテスト（toothpick test）
」に類似した方式でチェックした。続いてサンプルバイアルを約２０ｍＬのＳＯＬＫＡＮ
Ｅ^ＴＭ（１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン）（ソルベイ・ソレクシス，ブリュ
ッセル，ベルギー）で充填し、２分間振盪し、ゾル分画を抽出した。液体をデカントして
捨て、４５μｍのフィルターを通過させて重量がわかっているガラスバイアルに入れ、Ｔ
１ａ、Ｔ２ａ等と標識した。真空オーブン中に全てのバイアルを置き、乾燥するまでその
ままにした（約２時間）。バイアルの重さを計り、ゾル分画およびゲル化した材料の質量
を測定した。

紫外線硬化試験のために、低い出力の紫外線オーブン（３６５ｎｍで２４〜２８ｍＷ／
ｃｍ^２）をエレクトロライト（エレクトロライト社，コネチカット州ベテル）から入手し
た。紫外線オーブン中にバイアルを置き、窒素で２分間パージし、続いて既定の時間（１
０秒、３０秒、１分、２分、４分、８分、または、１２分）硬化した。紫外線オーブンか
らバイアルを取り出した。ピンセットを用い、サンプルの繊維の形成に関して、当業者に
知られる「トゥースピックテスト」に類似した方式でチェックした。続いてサンプルバイ
アルを約２０ｍＬのＳＯＬＫＡＮＥ^ＴＭ（１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン）
（ソルベイ・ソレクシス，ブリュッセル，ベルギー）で充填し、２分間振盪し、ゾル分画
を抽出した。液体をデカントして捨て、４５μｍのフィルターを通過させて重量がわかっ
ているガラスバイアルに入れ、Ｕ１ａ、Ｕ２ａ等と標識した。真空オーブン中に全てのバ
イアルを置き、乾燥するまでそのままにした（約２時間）。バイアルの重さを計り、ゾル
分画およびゲル化した材料の質量を測定した。ゾルゲル分画試験の結果は以下の通りであ
る：

本願に適した特性を有するサンプルは、番号Ｔ６およびＴ７（１００℃で８分間より長
く熱硬化した）、および、Ｕ５およびＵ６（２４〜２８ｍＷ／ｃｍ^２、３６５ｎｍで４分
間より長く紫外線硬化した）を含む。

ＩＲデータは以下に示す通りである：

１００ 積層モールド
１０２ 支持層
１０４ モールド層
１０６ つなぎ層
１０８ パターン化した表面
１１０ 空孔
Ｌ ランド領域
Ｐ ピッチ
２００ ロールラミネーター
２０２ ローラー
２０４ ローラー
２０６ ポリマーシート
２０８ ポリマーシート
２１０ つなぎ層
２１２ ニップポイント
２１４ 積層
２１６ パターンドマスター
２１８ 硬化層
Ｔ 紫外線硬化処理
５００ 積層モールド
６００ 成形材料
６０２ 構造

Claims (76)

1. 所定の形状を有する空孔を画定するペルフルオロポリエーテル層；および、
   該ペルフルオロポリエーテル層とカップリングされる支持層、
   を含む、積層ナノモールド。
2. ペルフルオロポリエーテル層と支持層とをカップリングするつなぎ層をさらに含む、請
   求項１に記載の積層体。
3. 前記つなぎ層が、二重硬化材料を含む、請求項２に記載の積層体。
4. ペルフルオロポリエーテル層に画定された複数の空孔をさらに含む、請求項１に記載の
   積層体。
5. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、円柱形、直径２００ｎｍの円柱、立方体、２００
   ｎｍの立方体の形状、三日月形、および、凹んだ皿状からなる群より選択される所定の形
   状を有する、請求項４に記載の積層体。
6. 前記複数の空孔が、様々な所定の形状の空孔を含む、請求項４に記載の積層体。
7. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１０マイクロメーター未満の最大寸法を有する
   、請求項４に記載の積層体。
8. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５マイクロメーター未満の最大寸法を有する、
   請求項４に記載の積層体。
9. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１マイクロメーター未満の最大寸法を有する、
   請求項４に記載の積層体。
10. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約７５０ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４に記載の積層体。
11. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４に記載の積層体。
12. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約３００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４に記載の積層体。
13. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約２００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４に記載の積層体。
14. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４に記載の積層体。
15. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約７５ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
16. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
17. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約４０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
18. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約３０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
19. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約２０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
20. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４に記載の積層体。
21. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約５０マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
22. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約４０マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
23. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約３０マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
24. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約２０マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
25. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約１５マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
26. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約１０マイクロメーター未満である、請求項
    １に記載の積層体。
27. 前記支持層が、ポリマーを含む、請求項１に記載の積層体。
28. 前記支持層のポリマーが、ポリエチレンテレフタレートを含む、請求項２７に記載の積
    層体。
29. 前記支持層が、厚さ約２０ミル未満である、請求項１に記載の積層体。
30. 前記支持層が、厚さ約１５ミル未満である、請求項１に記載の積層体。
31. 前記支持層が、厚さ約１０ミル未満である、請求項１に記載の積層体。
32. 前記支持層が、厚さ約５ミル未満である、請求項１に記載の積層体。
33. 前記支持層が、１０００より大きい弾性率を積層体に導入する、請求項１に記載の積層
    体。
34. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、光開始剤を用いたカップリング、および、熱重合
    開始剤を用いたカップリングによって支持層とカップリングされる、請求項３に記載の積
    層体。
35. 前記ペルフルオロポリエーテルが、光硬化性成分を含む、請求項１に記載の積層体。
36. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、約２５平方センチメートルより大きいフットプリ
    ントを有する、請求項１に記載の積層体。
37. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、約５０平方センチメートルより大きいフットプリ
    ントを有する、請求項１に記載の積層体。
38. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、約１００平方センチメートルより大きいフットプ
    リントを有する、請求項１に記載の積層体。
39. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、隣接する空孔から約５マイクロメーター未満であ
    る、請求項４に記載の積層体。
40. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、隣接する空孔から約２マイクロメーター未満であ
    る、請求項４に記載の積層体。
41. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、隣接する空孔から約１マイクロメーター未満であ
    る、請求項４に記載の積層体。
42. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、隣接する空孔から約７５０ナノメートル未満であ
    る、請求項４に記載の積層体。
43. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、隣接する空孔から約５００ナノメートル未満であ
    る、請求項４に記載の積層体。
44. 前記ペルフルオロポリエーテルが、約１０パーセント未満のゾル分画を有する、請求項
    １に記載の積層体。
45. 積層ナノモールドの製造方法であって；
    パターンドマスターを支持層に隣接して配置すること；
    前記配置されたパターンドマスターと隣接する支持層とを、ロールラミネーターのニッ
    プに挿入すること；
    ロールラミネーターの入り口側に隣接したパターンドマスターと支持層との間に、硬化
    性ペルフルオロポリエーテルを導入すること；
    ロールラミネーターを稼働させて、パターンドマスターと支持層とを積層すること（こ
    こで硬化性ペルフルオロポリエーテルは、パターンドマスターと支持層との間で広げられ
    る）；および、
    積層体を処理して硬化性ペルフルオロポリエーテルの硬化性成分を活性化して、ペルフ
    ルオロポリエーテルを固化させること、を含む、上記方法。
46. パターンドマスターを支持層に隣接して配置する前に、活性化した際に硬化性ペルフル
    オロポリエーテルがつなぎ層と結合するように、つなぎ層を支持層を用いて配置すること
    をさらに含む、請求項４５に記載の方法。
47. 前記つなぎ層が、二重硬化材料を含む、請求項４６に記載の方法。
48. 前記パターンドマスターが、円柱形、直径２００ｎｍの円柱、立方体、２００ｎｍの立
    方体の形状、三日月形、および、凹んだ皿状からなる群より選択される所定の形状を有す
    る複数の空孔を含む、請求項４５に記載の方法。
49. 前記複数の空孔が、様々な所定の形状の空孔を含む、請求項４８に記載の方法。
50. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１０マイクロメーター未満の最大寸法を有する
    、請求項４８に記載の方法。
51. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５マイクロメーター未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
52. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１マイクロメーター未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
53. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約７５０ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
54. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
55. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約３００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
56. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約２００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
57. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１００ナノメートル未満の最大寸法を有する、
    請求項４８に記載の方法。
58. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約７５ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
59. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約５０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
60. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約４０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
61. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約３０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
62. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約２０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
63. 前記複数の空孔のそれぞれの空孔が、約１０ナノメートル未満の最大寸法を有する、請
    求項４８に記載の方法。
64. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約５０マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
65. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約４０マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
66. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約３０マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
67. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約２０マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
68. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約１５マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
69. 前記ペルフルオロポリエーテル層が、厚さ約１０マイクロメーター未満である、請求項
    ４５に記載の方法。
70. 前記支持層が、ポリマーを含む、請求項４５に記載の方法。
71. 前記支持層のポリマーが、ポリエチレンテレフタレートを含む、請求項７０に記載の方
    法。
72. 第一のポリマー層；
    第二のポリマー層；および、
    第一のポリマー層と第二のポリマー層との間に配置されたつなぎ層、
    を含み、ここで該つなぎ層は、二重硬化されたフルオロポリマーを含む、層状の高分子モ
    ールド。
73. 第一または第二の層のポリマーが、フルオロポリマーを含む、請求項７２に記載の層状
    の高分子モールド。
74. 第一または第二の層のポリマーが、ペルフルオロポリエーテルを含む、請求項７３に記
    載の層状の高分子モールド。
75. 第一または第二の層のポリマーが、ポリエチレンテレフタレートを含む、請求項７２に
    記載の層状の高分子モールド。
76. 前記つなぎ層のフルオロポリマーが、ペルフルオロポリエーテルを含む、請求項７２に
    記載の層状の高分子モールド。

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