JP2015007809A - 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 - Google Patents
分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015007809A JP2015007809A JP2014200831A JP2014200831A JP2015007809A JP 2015007809 A JP2015007809 A JP 2015007809A JP 2014200831 A JP2014200831 A JP 2014200831A JP 2014200831 A JP2014200831 A JP 2014200831A JP 2015007809 A JP2015007809 A JP 2015007809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- microscope
- illumination
- resolution
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 80
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 28
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 56
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 22
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 7
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 7
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 7
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 101000857682 Homo sapiens Runt-related transcription factor 2 Proteins 0.000 description 3
- 102100025368 Runt-related transcription factor 2 Human genes 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 240000001973 Ficus microcarpa Species 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005293 physical law Methods 0.000 description 1
- 229920013655 poly(bisphenol-A sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0072—Optical details of the image generation details concerning resolution or correction, including general design of CSOM objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/008—Details of detection or image processing, including general computer control
Abstract
【解決手段】本方法では、第1の位置において、照明パターン(I)が、好ましくはほぼ顕微鏡の達成可能な光学的分解能程度またはそれ以上の分解能で試料(P)上に形成され、検出と照明パターン(I)との間で少なくとも1回、顕微鏡の分解能限界より小さいステップで、有利には照明方向に対して垂直に、照明パターンの第1の位置から少なくとも1つの第2の位置への相対的変位が試料上で行われ、第1の位置でも第2の位置でも検出および検出信号の記憶が行われる。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、「オーバーサンプリング」により分解能を向上させる試みが記載されている。これによっては顕微鏡の回折限界より低い格別に改善された分解能は得られない。
分解能を向上させるための別の類似の方法が、特許文献7に記載されている。そこでは構造化された照明によって、非線形のプロセスが利用される。ここで非線形性として前記刊行物は、蛍光の飽和を挙げている。この方法は、構造化された照明によって、光学システムの伝達関数に対する対象空間スペクトルの変位を実現することを要求する。具体的には、スペクトル変位とは、対象物空間周波数V0が空間周波数V0−Vmにおいて伝達されることを意味し、Vmは構造化された照明の周波数である。システムにより伝達可能な最大空間周波数が与えられると、これにより、変位周波数Vmだけ伝達関数の最大周波数より高い対象物の空間周波数の転移が可能になる。このアプローチは、像形成のための再構築アルゴリズムと、1つの像に対して複数の記録の使用を必要とする。この方法においても、必要とされる構造化された照明が試料ボリューム全体を通過するので、試料が検出焦点の外の領域で不要に放射の負荷を受けることが欠点とみなされる。その他、この方法は現在の所、厚い試料には使用することができない。なぜなら、焦点外で励起された蛍光がバックグランド信号としてともに検出器に達し、したがって検出される放射のダイナミックレンジを劇的に低下させるからである。
結局の所、マーキング分子は、活性化放射の強度を適切に選択することによって統計的に部分量で活性化される。したがって、すべてのマーキング分子の位置が計算により、例えば回折限界を上回る分解能で決定できる、試料の全体像を生成するには、多数の個別像を評価しなければならない。個別像は最高で10000個になることがある。その結果、大きなデータ量が処理され、それに対応して測定に長時間かかる。全体像を記録するのに既に数分が必要であり、これは実質的に使用するカメラの読み出し速度によって決まる。個別像における分子の位置決定は、例えば非特許文献1に記載されているように、コストのかかる計算手順によって行われる。すべての個別像を処理し、高分解能の全体像、すなわちマーキング分子の位置が回折限界を上回る分解能で示される1つの像に統合するのに、典型的には1〜2時間かかる。
a.達成可能な光学的分解能を上回る精度で、検出用照明(照明パターン)を変位させる。
b.変位中に、照明パターンのそれぞれ特定の変位位置に対応する複数の像を、達成可能な最高の光学的分解能で記録する。
c.個々の記録の検出された信号、例えば蛍光信号から高分解能の像を計算する。
d.非線形励起と対応する蛍光マーカーとを使用することにより、分解能をさらに改善することができる。
1.回折制限された点は、側方にすべての空間方向で「変調/構造化」を示すので、LSMの走査モードを(x方向およびy方向で)維持することができ、それでも近似的に等方性の分解能向上を達成することができる。照明を走査する際に、点状の構造化によって、照明は、すべての空間方向で増大し、再び減少する。この方法は、少なくとも3つの空間方向を必要とする構造化された照明と比較すると有利である。したがって、ピンポイントスキャナを使用する別の機構においても速度上の利点が得られる。
2.回折制限されたそれぞれの点は、可能な最高の空間周波数と可能な最強の変調を既に含んでいる。
3.アレイ検出器は、各検出器サブユニット(ピクセル)が共焦点で検出するように構成されている。これにより共焦点のバックグランド抑制の他に、共焦点LSMを超える側方分解能向上が得られる。
4.アレイ検出器は、検出スポット上の励起の、通常は必要である付加的な走査を平行して読み出す。
垂直(Z)分解能の向上
本発明の高分解能は、同様にして、公知のようにZスタックで試料を走査する際に、付加的にZ方向に変位させることによって焦点面と照明面の間に間隔を形成し、そのつどそれを検出することによって、垂直(z)方向にも達成することができる。例えば図2において、Z方向に変位可能なレンズ(チューブレンズTLについて概略的にz方向の矢印で示されている)を設けて、例えば圧電対物レンズによりZ方向に調整される焦点を、Zスタックの周囲で記録するために、像記録の際に個々のZ位置の間の中間位置にもってくるようにすることができる。
基本的考察:
各ピクセルにおける強度は以下の形で表わすことができる。
次に励起スポットまたは励起パターンが、x方向に沿って高精度で試料の上を移動される場合、次の方程式系が得られる。
数学形式:
一次元像は、次の積分によって与えられる。
フーリエ空間における測定信号の表現
D(x,p)をx座標に関してまたはp座標に関してフーリエ変換することができる。構造化照明
D(x,p)をxに関してフーリエ変換すると、次式が得られる。
走査照明
D(x,p)をpに関してフーリエ変換すると、次式が得られる。
位置空間(カメラ):
CCDピクセルで検出される信号は次のとおりである。
与のモデルにおいて、「オーバーサンプリング」をm/2で量子化することができる。式(4)により、検出されるピクセルD(xk,p)およびD(xk+Δx,p)は下記の形をとる。
ここで
この誤差は解Aに伝達され、したがってAにも誤差ΔAがある。
1.通常のデコンボリューションと同様にS/N比に依存する。すなわち上記の方程式はノイズのため、場合により、もはや線形で独立なものと認められず、したがって解に寄与することができない。この解は一義性を失う。
2.「照明pfs」の傾き。変調が大きいほど、方程式系の解に寄与することのできる線形で独立な情報がより早く得られる。
変調された照明:
記述の方法(励起を検出に重ねて走査する)は、PSFが低下するため、励起と検出の重なりが小さい場合には、測定される強度が小さく、したがってSN比も小さいという欠点が検出側にも励起側にもある。例えばレーザ強度がAOTFより高くなるように照明を変調し、またはレーザを直接変調し、またパルス照明の場合にはパルス速度もしくは高さを適合させ、または照明時間等を適合させることにより照明を変調すると、この効果を完全に除去し、これらデータ点に対するSN比を格段に改善することができる。ここでは制御回路における強度変化または変調を、最適の検出信号を達成するための調整可能な制御量gで表すことができる。
1.STED/RESOLFT、なぜならそこではPSFは、2−3倍またはそれ以上に急峻であり、したがって生じる分解能の向上が既にそれで充分だからである。
2.光活性化可能色素の使用、なぜならここでは活性化と蛍光励起のPSFが乗算され、したがって有効PSFがより急峻になるからである。
3.色素等の飽和など、非線形に構造化された照明に対しても使用できるすべての方法(アール.ハインツマン(R.Heintzmann)、ティー.エム.ジョビン(T.M.Jovin)およびシー.クレーマー(C.Cremer)、Saturated Patterned excitation microscopy−A concept
for optical resolution Improvement.J.Opt.Soc.Am.A.19(8):1599−1609,2002)。
4.多光子顕微鏡(欧州特許第500717号明細書)。
中間像中における絞りの移動:
この方法は簡単な系においても機能し、そこでは照明側において中間像中で絞りを移動することにより同じ方法を適用することができる。ここでは照明の縁部が照明の重みとして用いられ、展開に利用される。鮮明な縁部を備える広視野照明は、最も広義には照明の構造化である。
−さらに、この方法を(蛍光のない)反射に使用するのが特に有利である。なぜなら通常、SN比は反射における方が格段に良好だからである(例えば物質顕微鏡におけるスポット走査)。
スピニングディスク
この方法をスピニングディスク構造に使用することも有利である。ここではディスクによってのみ照明され、カメラ上でピンホールなしで検出される。共焦点性は、ソフトウエアおよび/またはカメラ上での像処理(仮想ピンホール)によって行うことができる。ここで検出のための走査および試料における精度は、ディスクの製造に入り込む可能性がある。このことは極めて有利であり、差引計算のエラー源が回避される。
SPIM
SPIM技術は、例えば独国特許出願公開第10257423号明細書、国際公開第2004/0530558号パンフレットに記載されている。本発明の方法を使用すると、SPIMの場合、シート光の走査の際に、軸方向における分解能利得がされる。分解能向上は側方では、例えばシート光の構造化によって行われ、その位相が走査されながら試料中を移動される。SPIMのあらゆる典型的な利点に加えて、分解能の向上が得られる。
Claims (13)
- 照明された試料を検出する際の顕微鏡の分解能を向上させる方法であって、
第1の位置において、照明パターンが、好ましくはほぼ顕微鏡の達成可能な光学的分解能程度またはそれ以上の分解能で試料上に形成され、
検出と照明パターンとの間に少なくとも1回、顕微鏡の分解能限界より小さいステップ幅で、有利には照明方向に対して垂直に、照明パターンの第1の位置から少なくとも1つの第2の位置へ、試料上で相対的に変位され、第1の位置でも第2の位置でも検出および検出信号の記憶が行われる、方法。 - 照明された試料を検出する際の顕微鏡の分解能を向上させる方法であって、
変調された照明野、好ましくは照明パターン、試料上の少なくとも1つの回折制限された点が形成され、これが試料および検出の少なくとも一方に対して相対的に変位され、該変位のステップ幅が、顕微鏡の分解能限界より小さく、好ましくは分解能限界の半分より小さく、検出信号がそのつど記憶される、方法。 - 記憶された検出信号の差引計算によって、高分解能の像が形成される、請求項1または2に記載の方法。
- 相対的変位は、顕微鏡の光軸に対して垂直方向、および光軸方向のうちの少なくとも一つの方向に行われ、顕微鏡の光軸に対して垂直方向の相対的変位は、水平方向分解能を向上させるためのものであり、光軸方向の相対的変位は、垂直方向分解能を向上させるためのものである、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。
- 検出器上の各像点における信号強度Dが
xはベクトル(x,y)であり、
励起スポットまたは励起パターンが1つの方向(例えばx)に沿って試料の上を移動され、
照明調整のための位置1,2,....nについて、および検出器(カメラ)ピクセルに対する指標jについて、それぞれ強度
得られる方程式系が、cについて少なくとも近似的に解かれる、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。 - 照明パターンが、試料の点状または線状のラスタ走査、および点ラスタまたは線ラスタの形成によって生成される、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 試料の広視野照明が行われ、照明パターンが、グリッド投影、または光分布の投影、または有孔ディスクの投影によって生成される、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の方法。
- 相対的変位は、
試料の変位、走査野の変位、読み出される検出器エレメントの変位、およびグリッドもしくは照明パターンの変位のうちの少なくとも一つによって行われるものである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の方法。 - 顕微鏡機構を介して試料上に達する照明光と、試料光を検出するための検出ユニットとからなる、特に請求項1乃至8のいずれか一項に記載の顕微鏡であって、
変調された照明野、好ましくは照明パターン、試料上の少なくとも1つの点を形成するための手段が設けられており、該手段は、照明された試料部分、および検出された試料部分の少なくとも一方との間にそれぞれ間隔を有し、該間隔が好ましくはほぼ顕微鏡の達成可能な光学的分解能程度またはそれを超えており、
試料および検出の少なくとも一方と照明パターンとの間で、試料の照明パターンの第1の位置から少なくとも1つの第2の位置への相対的変位を形成するための手段が設けられており、該手段は、該間隔よりも小さい大きさの相対的変位を形成し、
検出ユニット内に、第1の位置および少なくとも第2の位置において検出信号を検出し、記憶するための検出および記憶手段が設けられている、顕微鏡。 - 好ましくは請求項5記載の方法に従って、記憶された検出信号を差引計算し、高分解能の像を形成するための手段、およびソフトウエアの少なくとも一方が設けられている、請求項9記載の顕微鏡。
- 照明がラスタ化されたレーザ走査顕微鏡であり、好ましくはスポット走査またはライン走査する、請求項9または10に記載の顕微鏡。
- 好ましくはグリッドまたは投影された強度分布またはニポーディスクを介して照明が構造化された広視野顕微鏡である、請求項9乃至11のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記相対的変位を形成するための手段が、
試料を変位させるための手段、走査野を変位させるための手段、読み出される検出器エレメントの変位を生成するための手段、およびグリッドまたは照明パターンを変位させるための手段のうちの少なくとも一つである、請求項9乃至12のいずれか一項に記載の顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009051291 | 2009-10-28 | ||
DE102009051291.8 | 2009-10-28 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237381A Division JP5852305B2 (ja) | 2009-10-28 | 2010-10-22 | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015007809A true JP2015007809A (ja) | 2015-01-15 |
JP6059190B2 JP6059190B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=43513752
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237381A Active JP5852305B2 (ja) | 2009-10-28 | 2010-10-22 | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
JP2014200831A Active JP6059190B2 (ja) | 2009-10-28 | 2014-09-30 | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237381A Active JP5852305B2 (ja) | 2009-10-28 | 2010-10-22 | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8705172B2 (ja) |
EP (2) | EP3667391A1 (ja) |
JP (2) | JP5852305B2 (ja) |
DE (1) | DE102010049627A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017158695A1 (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | オリンパス株式会社 | 点像分布関数の測定装置、測定方法、画像取得装置および画像取得方法 |
Families Citing this family (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5852305B2 (ja) | 2009-10-28 | 2016-02-03 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
DE102010055882A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Pinhole für ein konfokales Laser-Scanning Mikroskop |
US8237835B1 (en) * | 2011-05-19 | 2012-08-07 | Aeon Imaging, LLC | Confocal imaging device using spatially modulated illumination with electronic rolling shutter detection |
DE102011107645A1 (de) * | 2011-07-12 | 2013-01-17 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren von Licht |
JP5562919B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2014-07-30 | オリンパス株式会社 | 超解像観察装置 |
DE102012204128B4 (de) | 2012-03-15 | 2023-11-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
US9360660B2 (en) * | 2012-05-24 | 2016-06-07 | Northwestern University | Methods and apparatus for laser scanning structured illumination microscopy and tomography |
US20150144806A1 (en) * | 2012-05-29 | 2015-05-28 | Macquarie University | Two-directional scanning for luminescence microscopy |
DE102012017920B4 (de) * | 2012-09-11 | 2023-11-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optikanordnung und Lichtmikroskop |
DE102012023024B4 (de) * | 2012-11-07 | 2023-05-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und Mikroskopieverfahren |
JP6131448B2 (ja) * | 2012-12-04 | 2017-05-24 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 共焦点光学式検査装置および共焦点光学式検査方法 |
WO2014105520A1 (en) | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Omni Medsci, Inc. | Near-infrared lasers for non-invasive monitoring of glucose, ketones, hba1c, and other blood constituents |
US9500635B2 (en) | 2012-12-31 | 2016-11-22 | Omni Medsci, Inc. | Short-wave infrared super-continuum lasers for early detection of dental caries |
CA2895982A1 (en) | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Omni Medsci, Inc. | Short-wave infrared super-continuum lasers for early detection of dental caries |
US10660526B2 (en) | 2012-12-31 | 2020-05-26 | Omni Medsci, Inc. | Near-infrared time-of-flight imaging using laser diodes with Bragg reflectors |
WO2014143276A2 (en) | 2012-12-31 | 2014-09-18 | Omni Medsci, Inc. | Short-wave infrared super-continuum lasers for natural gas leak detection, exploration, and other active remote sensing applications |
US9897536B2 (en) * | 2013-01-04 | 2018-02-20 | University Of Limerick | Differential infra red nanoscopy system and method |
DE102013001238B4 (de) * | 2013-01-25 | 2020-06-10 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und Mikroskopieverfahren |
US9435993B2 (en) | 2013-03-24 | 2016-09-06 | Bruker Nano, Inc. | Three dimensional microscopy imaging |
DE102013005563A1 (de) | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und verfahren zum untersuchen einer mikroskopischen probe |
DE102013019347A1 (de) * | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102013019348A1 (de) * | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102013017468B4 (de) | 2013-09-03 | 2018-07-19 | Georg-August-Universität Göttingen Stiftung Öffentlichen Rechts | Verfahren zum Erstellen eines Mikroskopbildes und Mikroskopievorrichtung |
DE102013015933A1 (de) * | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102013218795A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Laserscanningmikroskop und Verfahren zur Korrektur von Abbildungsfehlern insbesondere in der hochauflösenden Scanning-Mikroskopie |
DE102013015932A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102013015931A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102013017124A1 (de) * | 2013-10-15 | 2015-04-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Scanmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Scanmikroskops |
US10352860B2 (en) | 2014-04-24 | 2019-07-16 | Bruker Nano, Inc. | Super resolution microscopy |
DE102014212450B4 (de) | 2014-06-27 | 2022-09-01 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Verbesserung der Auflösung von STEM-Abbildungen, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt |
DE102014111167A1 (de) | 2014-08-06 | 2016-02-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie mit der Unterscheidung mindestens zweier Wellenlängenbereiche |
JP6635052B2 (ja) * | 2015-02-05 | 2020-01-22 | 株式会社ニコン | 構造化照明顕微鏡、及び観察方法 |
DE102015202172B4 (de) | 2015-02-06 | 2017-01-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlsystem und Verfahren zur teilchenoptischen Untersuchung eines Objekts |
EP3267676A4 (en) * | 2015-03-02 | 2018-01-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Super-resolution processing method, super-resolution processing device, and super-resolution processing system |
DE102015105018A1 (de) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | Laser-Laboratorium Göttingen e.V. | Verfahren und Rasterfluoreszenzlichtmikroskop zum mehrdimensional hochauflösenden Abbilden einer Struktur oder eines Wegs eines Partikels in einer Probe |
DE102015111702A1 (de) | 2015-07-20 | 2017-01-26 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende, spektral selektive Scanning-Mikroskopie einer Probe |
DE102016117096C5 (de) | 2015-09-22 | 2023-11-30 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren zum hochaufgelösten lokalen Abbilden einer Struktur in einer Probe |
DE102015116435A1 (de) | 2015-09-29 | 2017-03-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie mit der Unterscheidung mindestens zweier Spektralbereiche |
DE102015116598A1 (de) | 2015-09-30 | 2017-03-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und Mikroskop zur hochauflösenden Abbildung mittels SIM |
JP6789620B2 (ja) * | 2015-10-08 | 2020-11-25 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置及びその制御方法、コンピュータプログラム |
DE102016103736A1 (de) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Bestimmung einer Höhenlage eines Objekts |
EP3427036B2 (de) | 2016-03-07 | 2022-11-09 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren zum hochaufgelösten lokalen abbilden einer struktur in einer probe, um reaktionen eines interessierenden objekts auf veränderte umgebungsbedingungen zu erfassen |
DE102016110433B4 (de) | 2016-06-06 | 2022-01-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop und Mikroskopieverfahren |
DE102016007839A1 (de) | 2016-06-28 | 2017-12-28 | Horst Wochnowski | Hochauflösendes Verfahren zur Mikroskopie und Nanostrukturierung von Substratoberflächen basierend auf dem SIM-Verfahren (Structured Illumination Microscopy) |
DE102016119262B4 (de) * | 2016-10-10 | 2018-06-07 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren zum räumlich hochauflösenden Bestimmen des Orts eines vereinzelten, mit Anregungslicht zur Emission von Lumineszenzlicht anregbaren Moleküls in einer Probe |
DE102017207611A1 (de) * | 2017-05-05 | 2018-11-08 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Beleuchtungsvorrichtung zur Strukturierung von Beleuchtungslicht und Verfahren zu deren Betrieb |
DE102017113683A1 (de) | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie mit der Unterscheidung mindestens zweier Wellenlängenbereiche |
DE102017119531A1 (de) | 2017-08-25 | 2019-02-28 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende 2D-Mikroskopie mit verbesserter Schnittdicke |
DE102017122858A1 (de) | 2017-10-02 | 2019-04-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Konfokalmikroskop mit hoher Auflösung |
IT201800001891A1 (it) * | 2018-01-25 | 2019-07-25 | Fondazione St Italiano Tecnologia | Metodo di imaging risolto nel tempo ad alta risoluzione spaziale. |
RU2670779C9 (ru) * | 2018-02-28 | 2018-11-23 | Общество с ограниченной ответственностью научно-исследовательское предприятие "ПАНОРАМА" | Способ получения панорамного изображения гистологических, цитологических и иммуноцитологических препаратов (варианты) |
DE102018104693A1 (de) | 2018-03-01 | 2019-09-05 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur beschleunigten, hochauflösenden Scanning-Mikroskopie |
DE102018127281A1 (de) * | 2018-10-31 | 2020-04-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop und Verfahren zur Mikroskopie |
DE102018009056A1 (de) * | 2018-11-12 | 2020-05-14 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Beschleunigte Verfahren und Vorrichtungen für die dreidimensionale Mikroskopie mit strukturierter Beleuchtung |
WO2020106972A1 (en) * | 2018-11-21 | 2020-05-28 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Wide-field nanosecond imaging methods using wide-field optical modulators |
DE102019100184A1 (de) | 2019-01-07 | 2020-07-09 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie |
DE102019107267A1 (de) | 2019-03-21 | 2020-09-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie |
CN112444506B (zh) * | 2019-09-04 | 2022-03-18 | 复旦大学 | 显微成像的方法及装置 |
DE102019129932B4 (de) * | 2019-11-06 | 2023-12-21 | Technische Universität Braunschweig | Optische Detektionseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer optischen Detektionseinrichtung |
WO2022050221A1 (ja) * | 2020-09-02 | 2022-03-10 | 株式会社ニコン | 顕微鏡 |
CN112162079B (zh) * | 2020-09-09 | 2022-07-01 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种无人值守式熔体热物性参数的测试系统装置及测试方法 |
JP2023541449A (ja) * | 2020-09-14 | 2023-10-02 | シンギュラー・ゲノミクス・システムズ・インコーポレイテッド | 多次元撮像のための方法およびシステム |
WO2023248853A1 (ja) * | 2022-06-20 | 2023-12-28 | ソニーグループ株式会社 | 情報処理方法、情報処理装置、及び顕微鏡システム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5814820A (en) * | 1996-02-09 | 1998-09-29 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Pump probe cross correlation fluorescence frequency domain microscope and microscopy |
JP2000098259A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点顕微鏡用撮影装置 |
JP2003255231A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光イメージングシステム及び光イメージのデータ処理方法 |
WO2005038441A1 (ja) * | 2003-10-15 | 2005-04-28 | Japan Science And Technology Agency | 3次元分析装置 |
JP2006221190A (ja) * | 2006-05-01 | 2006-08-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 共焦点走査型顕微鏡システム |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3013467A (en) * | 1957-11-07 | 1961-12-19 | Minsky Marvin | Microscopy apparatus |
US3926500A (en) * | 1974-12-02 | 1975-12-16 | Ibm | Method of increasing the depth of focus and or the resolution of light microscopes by illuminating and imaging through a diaphragm with pinhole apertures |
JP2946466B2 (ja) | 1989-07-13 | 1999-09-06 | アンリツ株式会社 | 顕微方法及び装置 |
US5034613A (en) | 1989-11-14 | 1991-07-23 | Cornell Research Foundation, Inc. | Two-photon laser microscopy |
US5296703A (en) * | 1992-04-01 | 1994-03-22 | The Regents Of The University Of California | Scanning confocal microscope using fluorescence detection |
DE4416558C2 (de) | 1994-02-01 | 1997-09-04 | Hell Stefan | Verfahren zum optischen Messen eines Probenpunkts einer Probe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US5866911A (en) | 1994-07-15 | 1999-02-02 | Baer; Stephen C. | Method and apparatus for improving resolution in scanned optical system |
US5867604A (en) | 1995-08-03 | 1999-02-02 | Ben-Levy; Meir | Imaging measurement system |
DE19702753C2 (de) | 1997-01-27 | 2003-04-10 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
EP0911667B1 (en) * | 1997-10-22 | 2003-04-02 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Programmable spatially light modulated microscope and microscopy method |
US6201639B1 (en) * | 1998-03-20 | 2001-03-13 | James W. Overbeck | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
US6248988B1 (en) * | 1998-05-05 | 2001-06-19 | Kla-Tencor Corporation | Conventional and confocal multi-spot scanning optical microscope |
DE19908883A1 (de) | 1999-03-02 | 2000-09-07 | Rainer Heintzmann | Verfahren zur Erhöhung der Auflösung optischer Abbildung |
JP2002062261A (ja) | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Olympus Optical Co Ltd | 光学装置および顕微鏡 |
DE10257423A1 (de) | 2002-12-09 | 2004-06-24 | Europäisches Laboratorium für Molekularbiologie (EMBL) | Mikroskop |
US20060079668A1 (en) | 2002-12-11 | 2006-04-13 | Eli Lilly And Company | Junctional adhesion molecule splice variants |
DE10325459A1 (de) | 2003-04-13 | 2004-11-18 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Räumlich hochaufgelöstes Erzeugen einer dauerhaften Struktur |
DE102004034962A1 (de) * | 2004-07-16 | 2006-02-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Mikroskop mit erhöhter Auflösung |
JP4709278B2 (ja) | 2005-05-23 | 2011-06-22 | エフ. ヘスス ハラルド | 光変換可能な光学標識を用いる光学顕微鏡法 |
DE502006004676D1 (de) * | 2005-07-22 | 2009-10-08 | Zeiss Carl Microimaging Gmbh | Auflösungsgesteigerte lumineszenz-mikroskopie |
WO2007109861A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | The University Of Queensland | Super resolution microscopy |
DE102006021317B3 (de) | 2006-05-06 | 2007-10-11 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren und Fluoreszenzlichtmikroskop zum räumlich hochauflösenden Abbilden einer Struktur einer Probe |
US8244021B2 (en) | 2006-12-20 | 2012-08-14 | Ventana Medical Systems, Inc. | Quantitative, multispectral image analysis of tissue specimens stained with quantum dots |
JP4835750B2 (ja) * | 2007-04-12 | 2011-12-14 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置 |
US7978403B2 (en) * | 2007-05-10 | 2011-07-12 | Stc.Unm | Imaging interferometric microscopy |
US8280131B2 (en) * | 2007-11-26 | 2012-10-02 | Carl Zeiss Micro Imaging Gmbh | Method and configuration for optically detecting an illuminated specimen |
US8089691B2 (en) | 2007-12-10 | 2012-01-03 | Quorum Technologies Inc. | Projection device for patterned illumination and microscopy |
US20090219607A1 (en) * | 2008-01-17 | 2009-09-03 | Baylor College Of Medicine | Method and apparatus for enhanced resolution microscopy of living biological nanostructures |
JP5852305B2 (ja) | 2009-10-28 | 2016-02-03 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 |
-
2010
- 2010-10-22 JP JP2010237381A patent/JP5852305B2/ja active Active
- 2010-10-22 EP EP20151281.1A patent/EP3667391A1/de active Pending
- 2010-10-22 EP EP10013882.5A patent/EP2317362B1/de active Active
- 2010-10-27 US US12/913,487 patent/US8705172B2/en active Active
- 2010-10-28 DE DE102010049627A patent/DE102010049627A1/de active Pending
-
2014
- 2014-09-30 JP JP2014200831A patent/JP6059190B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5814820A (en) * | 1996-02-09 | 1998-09-29 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Pump probe cross correlation fluorescence frequency domain microscope and microscopy |
JP2000098259A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点顕微鏡用撮影装置 |
US6191885B1 (en) * | 1998-09-22 | 2001-02-20 | Olympus Optical Co., Ltd. | Confocal microscope apparatus and photographing apparatus for confocal microscope |
JP2003255231A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光イメージングシステム及び光イメージのデータ処理方法 |
WO2005038441A1 (ja) * | 2003-10-15 | 2005-04-28 | Japan Science And Technology Agency | 3次元分析装置 |
JP2005121432A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Japan Science & Technology Agency | 3次元分析装置 |
JP2006221190A (ja) * | 2006-05-01 | 2006-08-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 共焦点走査型顕微鏡システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017158695A1 (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | オリンパス株式会社 | 点像分布関数の測定装置、測定方法、画像取得装置および画像取得方法 |
US11042017B2 (en) | 2016-03-14 | 2021-06-22 | Olympus Corporation | Point-spread-function measurement device and measurement method, image acquisition apparatus, and image acquisition method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8705172B2 (en) | 2014-04-22 |
EP2317362A1 (de) | 2011-05-04 |
EP2317362B1 (de) | 2020-01-15 |
EP3667391A1 (de) | 2020-06-17 |
JP2011095745A (ja) | 2011-05-12 |
US20110267688A1 (en) | 2011-11-03 |
JP6059190B2 (ja) | 2017-01-11 |
DE102010049627A1 (de) | 2011-05-05 |
JP5852305B2 (ja) | 2016-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6059190B2 (ja) | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 | |
JP5485352B2 (ja) | 解像度を高めたルミネセンス顕微鏡検査 | |
JP5738765B2 (ja) | 構造化照明を備えた顕微鏡法のための改良された方法および装置 | |
JP5734191B2 (ja) | 試料を検査するための装置、特に顕微鏡 | |
JP2019211788A (ja) | 高分解能走査顕微鏡 | |
JP6706263B2 (ja) | 物体の超解像度画像を取得するための撮像方法およびシステム | |
US8970688B2 (en) | Method and microscope for three-dimensional resolution-enhanced microscopy | |
CN109477954A (zh) | 具有相位调制元件的scape显微术和图像重构 | |
JP2018517171A (ja) | 共焦点レーザ走査顕微鏡を使用した蛍光走査顕微鏡法の信号の評価 | |
JP5823287B2 (ja) | 分解能の向上したルミネセンス顕微鏡 | |
JP2017529559A (ja) | 少なくとも2つの波長範囲を区別する高解像度走査型顕微鏡検査法 | |
JP2011511966A (ja) | 試料の構造を空間的に高分解能で結像するための装置および方法 | |
US10191263B2 (en) | Scanning microscopy system | |
CN109425978B (zh) | 具有改进的截面厚度的高分辨率2d显微镜检查 | |
US10394009B2 (en) | Polarisation microscope | |
US20130126756A1 (en) | Fluorescence imaging apparatus and method | |
JP2021507299A (ja) | 誘導放出抑制を伴う蛍光顕微鏡を使用してサンプルを結像するための方法 | |
JPWO2007055082A1 (ja) | 共焦点顕微鏡装置 | |
NL2023860B1 (en) | Pattern activated structured illumination localization microscopy | |
CN114740008A (zh) | 一种超分辨晶圆缺陷检测系统 | |
JP2023537295A (ja) | 放射光検出方法、検出装置及びレーザ走査顕微鏡 | |
CN117369106B (zh) | 一种多点共聚焦图像扫描显微镜及成像方法 | |
JP2010039323A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
CN112639448A (zh) | 利用光开关和驻波照射技术提高显微镜轴向分辨率的系统和方法 | |
Jerome | Confocal Digital Image Capture |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141023 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141023 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151104 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160203 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6059190 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |