JP2014533009A - 時間領域スイッチを用い加速度感度および位相ノイズの低い共振器 - Google Patents
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Abstract
Description
ただし、
Kは、バネ定数であり、
mは、振動子質量であり、
f0は、振動子共振周波数であり、
T0は、対応する振動周期である。
ただし、
Iは、出力電流であり、
Uは、印加されたトンネルバイアス電圧であり、
dは、トンネルギャップ幅であり、
Claims (20)
- 実質的に第1の周波数で振動するように構成された第1の振動子と、
実質的に前記第1の周波数で前記第1の振動子とは位相がずれた状態で振動するように構成された第2の振動子とを含み、前記第1の振動子および第2の振動子は、双振動子共振器に対する外部擾乱に対して同様の様態で応動するように配置され、さらに、
前記第1の振動子および第2の振動子の振幅が互いに実質的に等しい場合に出力信号を生成するように構成された検出回路を含む双振動子共振器。 - フレームと、
該フレームに対して振動するように構成された第1の振動子と、
該第1の振動子を前記第1の振動子の共振周波数で駆動するように構成された第1の駆動装置と、
前記第1の振動子へ取り付けられた第1の相対位置スイッチの第1の半体と、
前記第1の振動子と実質的に同じ共振周波数を有する第2の振動子とを含み、前記第1の振動子および第2の振動子は、前記フレームに対する外部擾乱に対して実質的に同じ様態で応動するように設計され、さらに、
前記第2の振動子へ取り付けられた前記第1の相対位置スイッチの第2の半体を含み、前記第1の振動子が振動すると、前記第1の振動子および第2の振動子間に相対的動きが発生して、前記第1の相対位置スイッチの前記第1のスイッチ半体および第2のスイッチ半体が互いにすれ違う際、各振動ごとに前記第1の相対位置スイッチが閉鎖状態を通過する共振器。 - 前記第2の振動子を該第2の振動子の共振周波数で前記第1の振動子と位相がずれた状態で駆動するように構成された第2の駆動装置をさらに含む請求項2に記載の共振器。
- 前記第2の振動子は駆動されない請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチは、各振動ごとの閉鎖状態において電気インパルスを通すように構成された請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチの前記第1の半体および第2の半体は平面導体を含む請求項5に記載の共振器。
- 前記平面導体はそれぞれ実質的に直線状の縁部を含み、該縁部は実質的に平行であり、前記第1の相対位置スイッチが前記閉鎖状態になると、前記縁部は微小ギャップよって互いに分離される請求項6に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチは電子トンネルチップを含む請求項7に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチは容量スイッチである請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチは光スイッチである請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の相対位置スイッチは、各振動ごとに閉鎖状態にある際、2値で変化する電気信号を出力して、該共振器の出力がデジタル信号となるように構成された請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の駆動装置は、前記第1の振動子へ動作的に接続された電極を含む請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の駆動装置は、共振動作を維持する電気信号を生成するように構成されたフィードバック回路を含む請求項2に記載の共振器。
- 前記第1の駆動装置は、前記第1の振動子を駆動するように構成された圧電変換素子を含む請求項2に記載の共振器。
- 第1の半体および第2の半体を含む絶対位置スイッチをさらに含み、該絶対位置スイッチの前記第1の半体は前記第1の振動子へ取り付けられ、前記絶対位置スイッチの前記第2の半体は前記フレームへ取り付けられて、前記第1の振動子の各振動ごとに前記絶対位置スイッチが閉鎖状態を通る請求項2に記載の共振器。
- 第1の半体および第2の半体を有する第2の相対位置スイッチをさらに含み、該第2の相対位置スイッチの前記第1の半体および第2の半体はそれぞれ、前記第1の相対位置スイッチの前記第1の半体および第2の半体の上方に配置されて、前記第1の振動子上のいずれかの所与の相対位置スイッチ半体から電流が該所与の相対位置スイッチ半体と整列した前記第2の振動子上の前記相対位置スイッチ半体のうちのいずれかへ通ることができる請求項2に記載の共振器。
- フレームを設け、
第1の振動子を前記フレームに対して振動するように構成し、
前記第1の振動子の共振周波数で前記第1の振動子を駆動し、
前記第1の振動子へ相対位置スイッチの第1の半体を取り付け、
前記第1の振動子と実質的に同じ共振周波数を有する第2の振動子を設け、前記第1の振動子および第2の振動子は、前記フレームに対する外部擾乱に対して実質的に同じ様態で応動するように設計され、前記第1の振動子が振動すると、前記第1の振動子および第2の振動子間に相対的動きが発生し、
前記相対位置スイッチの第2の半体を前記第2の振動子へ取り付けて、各振動ごとに前記第1のスイッチ半体および第2のスイッチ半体が互いにすれ違うと、前記相対位置スイッチが閉鎖状態を通り、
前記相対位置スイッチの連続する閉鎖状態間の差として振動周期を判定することを含む、共振器に時間領域スイッチを設ける方法。 - 前記第2の振動子の共振周波数で前記第2の振動子を前記第1の振動子と位相がずれた状態で駆動するステップをさらに含む請求項17に記載の方法。
- 絶対位置スイッチを前記第1の振動子および前記フレームへ取り付けて、前記第1の振動子の各振動ごとに前記絶対位置スイッチが閉鎖状態を通るようにするステップをさらに含む請求項17に記載の方法。
- 前記絶対位置スイッチの出力に基づいて時変加速度を判定し、前記振動周期のスキューを前記時変加速度に基づいて補償するステップをさらに含む請求項19に記載の方法。
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