JP2014501031A - 低熱伝導率および熱電性エネルギー転換材料のためのナノメッシュのフォノン性構造 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2A
Description
本発明は、米国エネルギー省によって付与された契約番号DE-FG02-04ER46175の下で連邦政府の支援を受けてなされたものである。連邦政府は本発明の一定の権利を有する。
熱電効果は、温度差および電圧間の転換を参照し、熱電性材料において観測され得る。熱電性材料は、発電(例えば廃熱からの電気エネルギー再生)、冷却(例えば集積回路の冷却)および加熱(例えばポリメラーゼ連鎖反応装置などの精密な加熱用途)などの分野における利用を見出す。
添付の図面は、本明細書と共に、本発明の典型的な実施形態を図示し、また、本明細書と共に、本発明の原理を説明するのに役立つ。
以下の詳細な説明において、説明のために、本発明の特定の実施形態のみが、図面と共に記載される。当業者が認識するように、本発明は多くの異なる形で実施することができ、本明細書において記載される実施例に限定されるものとして解釈してはならない。本明細書において、同等の参照符号は、同等の要素を参照する。
Claims (21)
- シートを含むナノメッシュのフォノン性構造であって、
前記シートは第1の金属を含み、前記シートは、フォノン性ピッチで間隔を置く複数のフォノン性サイズ機構を有し、前記フォノン性ピッチは、前記第1の金属の最大フォノンの平均自由行程の2倍以下であり、かつ、前記フォノン性サイズは前記第1の金属の最大フォノンの平均自由行程以下である、ナノメッシュのフォノン性構造。 - 前記フォノン性ピッチは、前記第1の金属の支配的フォノンの平均自由行程の2倍未満であり、かつ、前記フォノン性サイズは、前記材料の支配的フォノンの平均自由行程以下である請求項1に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズ機構は、空孔または空隙である請求項1に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズ機構は、半導体とは異なる第2の材料で充填される請求項3に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記第2の材料は、前記第1の金属よりも低い熱伝導率を有する材料、または、前記第1の金属とは高程度の音響性不調和である材料を含む請求項4に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記第1の材料は半導体材料を含む請求項1に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記半導体材料はシリコンを含む請求項6に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズは、5〜100nmの範囲内である請求項7に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズ機構の各々は、約15nm径である請求項8に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性ピッチは、10〜200nmの範囲内である請求項6に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズ機構は、約30nmピッチで間隔を置く請求項10に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- 前記フォノン性サイズ機構は、円形または矩形である請求項1に記載のナノメッシュのフォノン性構造。
- シートを含む熱電性デバイスであって、
前記シートは半導体材料を含み、前記シートは、フォノン性ピッチで間隔を置く複数のフォノン性サイズ機構を有し、前記フォノン性ピッチは、前記半導体材料の最大フォノンの平均自由行程の2倍以下であり、かつ、前記フォノン性サイズは、前記半導体材料の最大フォノンの平均自由行程以下であり、前記シートはn型ドープ領域およびp型ドープ領域を含み、
第1電極は前記シートの第1側面と電気接続し、
第2電極は前記シートの第2側面と電気接続する、熱電性デバイス。 - ナノメッシュのフォノン性構造の製造方法であって、
シリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウエハに予めドープする工程と、
エッチングにより、マスクから前記SOIウエハのシリコン・エピタキシャル層にデバイス規定パターンを転写する工程と、
フォノン性ピッチで間隔を置く複数のフォノン性サイズ機構を形成するために用いる前記SOIウエハをパターニングする工程と、を含むナノメッシュのフォノン性構造の製造方法。 - 前記SOIウエハに予めドープする工程は、スピンオン・ドーパント塗布を含む請求項14に記載の方法。
- 前記SOIウエハに予めドープする工程は、イオン注入を含む請求項14に記載の方法。
- 前記エッチングは、反応性イオンエッチングである請求項14に記載の方法。
- 前記反応性イオンエッチングは、CF4/He反応性イオンエッチングである請求項17に記載の方法。
- 前記エッチングにより、マスクから前記SOIウエハのシリコン・エピタキシャル層にデバイス規定パターンを転写する工程は、自己集合性ブロック共重合体を用いるマスクの形成および化学エッチングを用いるエッチングを含む請求項14に記載の方法。
- 前記SOIウエハをパターニングする工程は、超格子ナノワイヤーのパターン転写技術を用いることを含む請求項14に記載の方法。
- 前記SOIウエハをパターニングする工程は電子ビーム・リソグラフィーを用いることを含む請求項14に記載の方法。
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